JP4606319B2

JP4606319B2 - 復旧支援装置

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Publication number: JP4606319B2
Application number: JP2005364917A
Authority: JP
Inventors: 雅之山本; 典祥長田
Original assignee: Nitto Denko Corp
Current assignee: Nitto Denko Corp
Priority date: 2005-12-19
Filing date: 2005-12-19
Publication date: 2011-01-05
Anticipated expiration: 2025-12-19
Also published as: US7925363B2; CN1987497B; CN1987497A; JP2007173305A; US20070142952A1; KR20070065234A; KR101312735B1; TWI400458B; TW200732675A

Description

本発明は、ワークを加工する機構や搬送機構など種々の駆動機構を備えた装置で発生する異常や故障などのエラーを表示装置に表示し、この表示されたエラーの復旧の手順を支援する復旧支援装置に関する。

ワークの加工や搬送を行う各種駆動機構を備えた装置やこれらを組み合わせた工程において、各駆動機構で発生した異常や故障などのエラーをオペレータに示す表示装置が知られている。例えば、ＩＣの搬送装置において、ローダからアンローダまでの間の各処理機構を経てＩＣが搬送される過程で搬送エラーが発生した場合、その発生場所を容易に特定できる表示器を備えている。

この表示器は、ローダからアンローダまでの間の主たる工程が表示されているとともに、エラーが発生した場合には、その工程部分が点滅するようになっている。また、表示領域の下方にエラーメッセージが個別に表示されるようになっている（例えば、特許文献１参照）。

特開平６−１４８２５号公報（図１）

しかしながら、従来の表示装置では、次のような問題がある。

すなわち、従来の表示装置は、エラーが発生した工程を特定するのに有効である。しかしながら、その工程の駆動機構がどのような状態でエラーとなっているかを知る手段としては、表示装置に表示された文字情報のみである。したがって、その文字情報から駆動機構のどの箇所でエラーが発生しているかを短時間で特定するには、熟練したオペレータでなければできないといった不都合がある。

特に、近年において装置の自動化が進み、オペレータが常時管理する必要がなくなりつつあるため、熟練したオペレータが減少し、非熟練のオペレータがエラーの復旧処理に携わることが多くなりつつある。そのため、エラー内容に応じた復旧手順を操作マニュアなどの書面を参照しなければならず、その結果、エラーの復旧処理に時間がかかるといった問題がある。

この発明は、このような事情に鑑みてなされたものであって、ワークの加工や搬送工程で発生したその工程に含まれる駆動機構のエラー発生箇所の特定と、発生したエラーの復旧処理を効率よく行うことのできる復旧支援装置を提供することを主たる目的とする。

この発明は、上記目的を達成するために次のような構成をとる。

第１の発明は、駆動機構で発生した異常や故障を含むエラーの復旧支援装置であって、
複数の前記駆動機構の作動状況を含む各種情報を表示する表示手段と、
前記種駆動機構の少なくともいずれかで発生したエラーを検出し、この検出結果を検出信号として送信する検出手段と、
前記駆動機構で発生し得る複数種類のエラー内容を、前記検出手段によって検出されるエラー内容とエラー発生箇所の駆動機構の画像データとに関連付けし、これらをエラー情報として記憶する記憶手段と、
前記検出手段から送信される検出信号に対応するエラー情報を前記記憶手段から選択して読み出し、そのエラー情報に含まれるエラー内容と画像データに基づく画像を前記表示手段に表示させるエラー選択手段と、
前記エラー選択手段によって表示されるエラーの発生箇所が正常に作動するか否かの状態を前記表示手段に表示させる作動状態確認手段と、
前記作動状態確認手段によってエラー発生箇所の作動が正常であることが確認できた後、前記表示手段に表示されたエラー内容を示す画像を終了させる第１画像切替え手段と、
所定の駆動機構または複数の駆動機構にわたって同時に複数箇所でエラーが発生した場合、各検出手段から送信される検出信号に基づくエラー内容を比較し、復旧処理の手順を考慮して優先度の低いエラー内容を示す画像上に優先度の高い画像がくるように積層した状態で複数の画像を前記表示手段に表示するように制御する表示制御手段を備え、
前記第１画像切替え手段は、さらにエラー発生箇所が正常に作動していることが確認できたとき、前記表示手段に表示されている該エラー情報の表示を終了させ、下層にある他のエラー情報の画像へと順番に切り替えてゆくことを特徴とする。

（作用・効果）第１の発明によると、各種駆動機構で発生したエラーが検出手段によって検出され、その検出信号に基づくエラー内容と発生箇所の画像データがエラー情報選択手段により記憶手段から読み出される。そして、読み出されたエラー情報であるエラー内容と駆動機構の画像が表示手段に表示される。したがって、表示手段に表示された内容からエラー発生箇所を容易に特定できる。すなわち、熟練したオペレータに限らずエラー発生箇所を容易に特定できるので、復旧処理を短時間で行うことができる。

また、エラー発生箇所の復旧処理を施した後に、作動状態確認手段を操作すると、そのエラー発生箇所が正常な作動状態にあるか否かを表示手段の画面を利用して容易に確認することができる。さらに、エラー発生箇所の作動状態が正常であることが確認できると、表示手段に表示されているエラー内容を示す画像が終了する。すなわち、表示手段に表示された内容に基づいて、エラー発生箇所の復旧処理を施した後、表示手段の画面上からエラーの復旧状況を容易に確認できる。
さらに、複数のエラーが発生した場合、表示制御手段によって復旧処理を優先的に行うべきエラー箇所の情報が、表示手段の画面上に表示される。そして、表示されたエラー内容に従って復旧処理を施して復旧処理が完了して第１画像切替え手段を操作すると、未処理のエラー発生箇所で優先的に復旧処理を施さなければならない箇所のエラー内容が表示手段に表示される。したがって、オペレータは、表示手段に表示された画面の内容に従ってエラー発生箇所の復旧処理を行うだけで、処理手順を誤って駆動機構や取り扱うワークに損傷を与えることがない。また、発生した複数箇所のエラーの復旧処理手順を組み立てる必要もなくなる。

第２の発明は、第１の発明において、
前記記憶手段が記憶している画像データは、前記駆動機構の構成を示す画像上に前記検出手段の位置を示した第１画像データと、エラーを検出した前記検出手段と該検出手段によって特定されるエラー発生箇所の文字情報を含ませた状態でエラー発生を警告する強調表示用の第２画像データとを記憶し、
さらに、前記エラー選択手段によって選択されたエラー情報を利用し、前記第１画像データに基づいて出力表示される第１画像上に第２画像データに基づいて出力表示される第２画像が重畳されるように一対の画像データを生成する画像データ生成手段と、
前記画像データ生成手段によって生成された画像データに基づく画像を前記表示手段に表示したとき、表示手段に表示される画像を上層の第２画像から下層の第１画像に切り替える第２画像切替え手段と、
前記第２画像切替え手段によって前記表示手段に表示される画像を第１画像に切り替えた状態で前記作動状態確認手段が操作されると、エラー発生箇所の検出手段が作動して動作確認を行ない、前記駆動機構が正常な作動状態にあるときと、駆動機構がエラー発生状態のままであるときのいずれかの場合に、第１画像上に示される前記検出手段の位置を強調表示させるように構成した
ことを特徴とする。

（作用・効果）第２の発明によると、いずれかの駆動機構でエラーが発生すると、エラーの発生内容を示す文字情報としての第２画像が表示手段に強調表示される。そして、オペレータが第２切替え手段を操作して表示手段の画面を第２画像から第１画像に切り替え表示させると、駆動機構の構成を示す画像上にエラー発生を検出した検出手段の位置が表示される。したがって、エラー発生箇所の特定がさらに容易となる。

また、第２画像が表示された状態で、作動状況確認手段を操作すると検出手段によってエラー発生箇所が正常に作動しているか否かの確認を行う。そして、正常状態またはエラー発生状態のいずれかの場合に表示手段に示されるエラーの発生している駆動機構上の検出手段の位置表示が強調表示される。したがって、オペレータは、駆動機構を動作させながらエラー発生箇所の動作を目視して確認する必要がなく、表示手段だけを見ておくだけで動作状況を容易に確認することができる。すなわち、オペレータは、操作マニュアルなどを参照することなく、表示手段に表示される内容に従ってエラーの復旧処理を施すことで、操作手順を誤ることなく短時間で復旧処理を完了することができる。
ことができる。

第３の発明は、第２の発明において、
前記表示手段は、表示された画像に対応する部分に触れることで、画像指定がなされるタッチパネル式であり、
前記第１および第２切替え手段は、画像上の所定部分にGraphical User Interfaceとして設けられており、
前記作動状態確認手段は、前記第１画像上の所定部分にGraphical User Interfaceとして設けられるとともに、この第１画像上の所定部分のGraphical User Interfaceに触れるごとに強調表示と非強調表示が交互に切り替わるように構成されている
ことを特徴とする。

（作用・効果）第３の発明によると、表示手段は、表示された画像の所定部分に触れることで、画像指定がなされるタッチパネル式であることが好ましい。また、第１および第２切替え手段は、画像上の所定部分にGraphical User Interfaceとして設けられていることが好ましい。さらに、作動状態確認手段は第１画像上の所定部分にGraphical User Interfaceが設けられるとともに、この第１画像上のGraphical User Interfaceの表示形態が触れるごとに強調表示と非強調表示が交互に切り替わるように構成されていることが好ましい。

この構成によれば、表示手段の画像の表示領域内だけで、全ての確認操作をすることができる。したがって、不要な動作がなくなり処理作業の効率の向上を図ることができる。また、切替え手段を操作すると表示形態が強調表示するので、表示手段が正常に動作していることが確認できるとともに、エラー発生箇所が正常か否かも容易に確認することができる。

この発明に係る復旧支援装置によれば、駆動機構で発生したエラー内容と発生箇所が表示手段に表示されるので、エラー発生箇所を容易に特定できる。すなわち、熟練したオペレータに限らずエラー発生箇所を容易に特定でき復旧処理を行うことができる。

また、エラー発生箇所の復旧処理を施した後に、エラー発生箇所の作動状態が正常であることが確認できると、表示手段に表示されているエラー内容を示す画像が終了する。すなわち、表示手段に表示された内容に基づいて、エラー発生箇所の復旧処理を施した後、表示手段の画面上からエラーの復旧状況を容易に確認できる。

以下、図面を参照して本発明の実施例を説明する。なお、本実施例では、半導体ウエハに保護テープを貼り付ける保護テープ貼付け装置に復旧支援装置を備えた場合を例に採って説明する。

図１は、保護テープ貼付け装置の全体構成を示す斜視図である。

この保護テープ貼付け装置は、貼り合せ対象物である半導体ウエハＷ（以下、単に「ウエハＷ」という）を収納したカセットＣ１と、保護テープ貼付け後のウエハＷ’を収納するカセットＣ２とが装填されるウエハ供給・回収部１、ロボットアーム２を備えたウエハ搬送機構３、アライメントステージ４、ウエハＷを載置して吸着保持するチャックテーブル５、ウエハＷに向けて保護テープＴを供給するテープ供給部６、テープ供給部６から供給されたセパレータ付きの保護テープＴからセパレータｓ１を剥離回収するセパレータ回収部７、チャックテーブル５に載置されて吸着保持されたウエハＷに保護テープＴを貼付ける貼付けユニット８、ウエハＷに貼付けられた保護テープＴをウエハＷの外形に沿って切り抜き切断するテープ切断機構９、ウエハＷに貼り付けて切断処理した後の不要テープＴ’を剥離する剥離ユニット１０、剥離ユニット１０で剥離された不要テープＴ’を巻き取り回収するテープ回収部１１、テープ供給速度など種々の保護テープ貼付け条件などの設定入力などを行う操作部１３等が備えられている。以下に各構造部および機構についての具体的な構成を説明する。

ウエハ供給・回収部１には２台のカセットＣ１およびカセットＣ２を並列して装填可能である。カセットＣ１には、配線パターン面を上向きにした多数枚のウエハＷが多段に水平姿勢で差込み収納されている。また、カセットＣ２には、保護テープ貼付け後のウエハＷ’が多段に水平姿勢で差込み収納される。また、ウエハ供給・回収部１には、各カセットＣ１およびカセットＣ２の位置を検出するセンサが備わっている。このセンサは、各カセットＣ１、Ｃ２の位置を検出することができない場合に、後述する制御部２５に信号を送信する。

ウエハ搬送機構３に備えられたロボットアーム２は、水平に進退移動可能に構成されるとともに、全体が駆動旋回および昇降可能となっている。そして、ロボットアーム２の先端には、図示しないが馬蹄形をした真空吸着式の保持部が備えられており、各カセットＣ１、Ｃ２に多段に収納されたウエハＷ同士の間隙に保持部を差し入れてウエハを引き出して各機構に搬送したり、保護テープ貼付け後のウエハＷ’同士の間隙に保持部を差し入れて収納したりする。

本実施例の場合、ロボットアーム２がカセットＣ１からウエハＷを取り出したとき、アライメントステージ４、チャックテーブル５、およびカセットＣ２の順にウエハＷを搬送するようになっている。なお、ロボットアーム２は、駆動部や吸着機構などに、その作動状況を検出するセンサを備えている。このセンサからの検出信号は、後述する制御部２５に送信される。

アライメントステージ４は、ウエハＷの周縁に形成されたＶノッチやオリエンテーションフラットなどの検出部位の位置検出を行ない、その結果に基づいて位置合せを行う。つまり、ウエハＷの位置を検出するセンサ２６を備えている。このセンサ２６の検出信号は、検出信号は、後述する制御部２５に送信される。

チャックテーブル５は、ウエハ搬送機構３から移載されて所定の位置合せ姿勢で載置されたウエハＷを真空吸着するようになっている。また、このチャックテーブル５の上面には、後述するテープ切断機構９に備えたカッタ刃１２をウエハＷの外形に沿って旋回移動させて両面粘着テープＴを切断するためにカッタ走行溝が形成されている。なお、チャックテーブル５は、吸着機構の作動・停止状態を監視するセンサを備えている。

テープ供給部６は、図２に示すように、供給ボビン１４から繰り出されたセパレータｓ１付きの保護テープＴをガイドローラ１５群に巻回案内し、セパレータｓ１を剥離した保護テープＴを貼付けユニット８に導くよう構成されており、供給ボビン１４に適度の回転抵抗を与えて過剰なテープ繰り出しが行われないように構成されている。なお、テープ供給部６は、保護テープＴの繰り出しを行う駆動機構を備えており、この駆動機構自体は、作動・停止状態を監視するセンサを備えている。

セパレータ回収部７は、両面粘着テープＴから剥離されたセパレータｓ１を巻き取る回収ボビン１６が巻き取り方向に回転駆動されるようになっている。

貼付けユニット８には貼付けローラ１７が前向き水平に備えられている。この貼付けローラ１７は、シリンダの伸縮動作によって保護テープを押圧してウエハＷに貼り付ける作用位置と、上方の待機位置とにわたって昇降駆動するとともに、図示しないスライド案内機構およびネジ送り式の駆動機構によって図中左右水平に往復駆動されるようになっている。なお、貼付けユニット８には、貼付けローラ１７が待機位置と作用位置とにわたって正常に昇降駆動しているか否かを検出す第１センサ２７と第２センサ２８の組を備えている。これら第１センサ２７および第２センサ２８からの検出信号は、後述する制御部２５に送信される。

作用位置にある第１センサ２７は、保護テープＴの貼り付け時に貼付けローラ１７が正常に所定高まで降下したか否かを検出する。

待機位置にある第２センサ２８は、貼付けローラ１７が保護テープＴの貼り付けを終了した後に、上昇して待機位置に戻ったか否かを検出する。

剥離ユニット１０には剥離ローラ１９が前向き水平に備えられており、図示しないスライド案内機構およびネジ送り式の駆動機構によって左右水平に往復駆動されるようになっている。

テープ回収部１１は、不要テープＴ’を巻き取る回収ボビン２０が巻き取り方向に回転駆動されるようになっている。なお、テープ回収部１１には、この回転駆動の状態および不要テープＴ’の巻き取りが満杯になったか否かを逐次に巻取センサ３７によって検出されている。なお、巻取りセンサ３７からの検出信号は、後述する制御部２５に送信される。

テープ切断機構９は、駆動昇降可能な図示しない可動台の下部に、チャックテーブル５の中心上に位置する縦軸心Ｐの周りに駆動旋回可能に一対の支持アームが並列装備されるとともに、この支持アームの遊端側に備えたカッタユニット２３に、刃先を下向きにしたカッタ刃１２が装着され、支持アーム２２が縦軸心Ｐ周りに旋回することでカッタ刃１２がウエハＷの外周に沿って走行して両面粘着テープＴを切り抜くよう構成されている。

なお、テープ切断機構９は、カッタユニット２３が、保護テープＴを切断する作用位置と、上方の待機位置とにわたって正常に昇降駆動しているかを検出するセンサと、旋回駆動状況を監視するセンサとを備えている。これらセンサからの検出信号は、後述する制御部２５に送信される。

操作部１３は、タッチパネル式の液晶表示装置で構成されており、画面上に表示される絵文字を介してオペレータオペレータが操作を行うインターフェイス（以下、単に、「ＧＵＩ」という GUI: Graphical User Interface）によって構成されている。

制御部２５は、図３に示すように、ウエハ供給・回収部１、搬送機構３、アライメントステージ４、チャックテーブル５、貼付けユニット８、テープ切断機構９、およびテープ回収部１１の動作を総括的に制御するとともに、これら各部に備わった各センサから送信される信号を受信し、各部の動作状況を監視している。各センサから異常を示すエラー信号が送信されてくると、そのエラー内容に応じた各情報を記憶部から選択して操作部１３の液晶表示装置に表示する。なお、制御部２５の具体的な処理ついては、後述する。

本実施例の場合、上述の各部が備えているセンサは、本発明の検出手段に相当する。

次に、上記実施例装置を用いてウエハＷに保護テープＴを貼り付ける過程、駆動機構部分で異常や故障などのエラーが発生し、復旧するまでの復旧支援装置の処理について、図３に示す装置構成のブロック図、図４に示すフローチャート、および、図５〜９に示す表示画面の図に基づいて説明する。

保護テープ貼付け装置への初期設定が完了し、作動指令が出されると、ウエハ搬送機構３のカセットＣ１またはＣ２に収納されたウエハＷを取り出して、保護テープＴを貼り付けた後に、再びいずれかのカセットに回収するまでの処理が自動で繰り返し行われる（ステップＳ１）。

具体的には、ロボットアーム２がウエハ供給・回収部１に載置装填されたカセットＣ１またはカセットＣ２に向けて移動され、先端の保持部がいずれかのカセットに収容されているウエハＷを吸着保持して搬出し、取り出したウエハＷをアライメントステージ４に移載する。

アライメントステージ４では載置されたウエハＷの位置合せが行われ、位置合せが終了すると、再びロボットアーム２がウエハＷを吸着保持搬送し、チャックテーブル５に載置する。

チャックテーブル５では、貼付けユニットの貼付けローラ１７が降下して保護テープＴ上を押圧転動し、この保護テープＴをウエハＷに貼り付けてゆく。貼付けローラ１７が貼付け終了端に達すると上昇する。その後、テープ切断機構９のカッタユニット２３が切断作用位置に降下し、その先端に備わったカッタ刃１２によって保護テープＴをウエハＷの外周に沿って切断する。切断が終了するとカッタユニット２３は上昇して待機位置に戻る。

カッタユニット２３が待機位置に戻ると、剥離ユニット１０が図中右方向に移動して切断後の不要テープＴ'を剥離する。剥離ユニット１０が剥離終了端に達すると、この剥離ユニット１０と貼付けユニット８とが貼付け初期位置に戻る。このとき、上昇した貼付けローラ１７は、待機位置に戻っている。

保護テープＴの貼付けられたウエハＷは、ロボットアーム２によって吸着搬送され、カセットＣ１またはＣ２に回収される。この保護テープＴがウエハＷに貼り付けられている間に、次に保護テープ貼付け対象のウエハＷがロボットアーム２によってカセットから取り出されてアライメントステージ４に載置されている。この一連の処理が繰り返し行われる。

この処理過程で、例えば、貼付けローラの昇降異常である第１エラー発生（ステップＳ２）、アライメントステージ４での位置検出異常である第２エラー発生（ステップＳ３）の順番で、略同時にエラーが発生したと仮定すると、エラーを検出した各センサから順番にエラー信号が制御部２５のエラー情報選択部２９に送信される。つまり、以下の処理を経てエラーが液晶表示装置１３の画面に表示される。なお、エラー情報選択部２９は、本発明のエラー情報選択手段に相当する。

先ず、ステップＳ１では、貼付けローラ１７が保護テープＴの貼り付ける動作に入る前に待機位置から作用位置に降下する。しかし、降下開始時点から所定時間内に作用位置に降下したことを第１センサ２７が検出することができなかった場合に、この第２センサ２７がエラー信号を制御部２５のエラー情報選択部２９に送信する。

また、先行処理されるウエハＷをチャックテーブル５に載置した後に、ロボットアーム２は、新たなウエハＷをカセットＣ１から取り出してアライメントステージ４の保持テーブルに載置する。

ウエハＷが載置されると、アライメントステージ４を構成する保持テーブル３０がウエハＷの吸着保持したまま中心縦軸Ｐの回りに回転する。この回転過程でウエハＷのノッチの検出処理を行う。つまり、センサ２６は受光センサであって、図５に示すように、保持テーブルが中心縦軸Ｐの回りに回転駆動するのに連動して作動し、上方の光源３１からウエハ外周に向けて照射された光を、ウエハＷを挟んで光源３１と対向配備された位置で受光する。したがって、制御部２５から保持テーブル３０に回転駆動信号が送信されると同時にセンサ２６が作動し、センサ２６から光強度の信号が制御部２５に送信される。

制御部２５は、この信号から光強度が変化する位置を比較演算により求める。演算の結果、光強度の変化を求めることができない場合に、保持テーブル３０の回転駆動機構の作動エラーとして判断し、エラー信号をエラー情報選択部２９に送信する（ステップＳ２）。

エラー情報選択部２９は、記憶部３２に予め記憶されたエラー情報からエラー信号に応じた情報を選択して読み出す。つまり、記憶部３２には、装置に備わった各センサからのエラー信号に基づいて決めたエラー内容とエラー発生箇所を示す画像データとを予め記憶している。（ステップＳ３）。なお、記憶部は、本発明の記憶手段に相当する。

エラー情報選択部２９によって読み出された両エラー情報は、表示制御部３３に送られる。表示制御部３３は、いずれのエラーを優先的に復旧すべきかを判断する。この場合、例えば、駆動機構に備わった各センサから、駆動部の現在位置情報を取得し、いずれの順番に復旧すれば駆動部同士が接触したりして損傷することがないかなどを判断する。本実施例に場合、貼付けローラ１７で発生したエラーが、アライメントステージ４で発生したエラーよりも優先度が高いと判断される（ステップＳ４）。

表示制御部３３によって、エラー表示の優先度が決定されると、その優先情報が画像データ生成部３４に送信される。画像データ生成部３４は、記憶部３２に格納されたエラー情報と優先情報に基づいて、エラー警告を文字表示する第１画像と、エラー発生箇所の駆動機構の概略構成を示す第２画像とからなる１組の画像をエラー信号ごとに生成する。つまり第１画像３５ａは、図６に示すように、液晶表示装置１３の画面に、例えば、赤色で強調された面に『エラー』の文字、エラー番号（図中の１５０７）、エラー発生箇所と内容である「貼付けローラ降下エラー」の文字、およびエラーを検出したセンサ番号（Ｌ０９１）が表示される。なお、エラー番号は、エラー内容を更に詳しく知りたい場合に、操作・復旧マニュアルなどから参照できるように登録されたものである。

また、第１画面内には、複数のＧＵＩａ〜ｇが設けられており、これらの箇所に触れると、画面が切り替わって適宜な情報が画面上に表示されるようになっている。これらＧＵＩの中で右上の『メッセージクリア』と記載されたＧＵＩａに触れると、エラー警告表示から、図７に示す、エラー発生箇所の駆動機構の概略構成と、各駆動部に設けたセンサの位置とが表示された第２画像３６ａが表示される。なお、『メッセージクリア』と記載されたＧＵＩａは、本願発明の第２切替え手段として機能する。

具体的には、中央に貼付けユニット８の構成が表示され、貼付けローラら１７に設けられた第１センサ２７と第２センサ２８、および、不要テープＴ’の巻き取りが満杯になったことを検出するセンサ３７とが表示されている。なお、これら各センサの表示は、貼付けユニット８がエラー発生により駆動停止しているので、白抜き表示されている。各機構が正常に動作している場合には、センサ部分が、例えば、赤色に強調表示されている。

また、画面の左右には、各駆動部分の名称とコード番号が表示されており、コード番号はＧＵＩ表示となっている（ステップＳ５）。

オペレータは、第２画像３６ａで表示されエラー発生箇所の貼付けローラ１７の位置と第１センサ２７の位置を見てエラー発生箇所を特定し、復旧作業に取り掛かる（ステップＳ６）。

オペレータが復旧作業を完了したと判断すると、液晶表示装置１３の画面下の領域に設けられた文字表示を有するＧＵＩの『エラー』、『 CORRECT 』、『メイン』、および、『前頁』の中から、『 CORRECT 』を選択して触れる。この部分は、触れるごとに背景色が赤色の強調表示と、白抜きの非強調表示とに交互に切り替わるようになっている。すなわち、接触操作を行うと、作動信号が制御部２５から貼付けユニット８に送信され、貼付けユニット８が作動する。同時に、各駆動部が正常に作動すると、センサが赤色に強調表示される。もし、『 CORRECT 』を操作しても、エラー発生箇所を検出した第２センサ３６が強調表示されなかった場合は、第２センサ部分は非強調表示のままで、復旧が完了していないことを意味する。したがって、復旧処理および復旧確認の操作を繰り返し行うことになる（ステップＳ７）。なお、この『 CORRECT 』と記載されたＧＵＩは、本願発明の作動状態確認手段に相当する。

貼付けローラ１７の降下エラーの復旧の完了が確認されると、制御部２５に備わった判定部３８によって所定時間経過後、例えば数秒後に貼付けユニット７に関するエラー内容の表示画面が全て消去され、次のエラー内容が液晶表示装置１３の画面に表示される。つまり、図７に示すように、赤色に強調表示された面に『エラー』の文字、エラー番号エラー発生箇所と内容、およびエラーを検出したセンサ番号の記載された第１画像３５ｂが表示される（ステップＳ８）。

上述のステップＳ５と同様に、『メッセージクリア』と記載されたＧＵＩａに触れるとアライメントステージの構成とセンサの位置を示す第２画像３６ｂが表示される。オペレータは、この第２画像３６ｂからエラー発生箇所を特定し、復旧作業に取り掛かる（ステップＳ９）。

オペレータは、復旧作業が完了したと判断すると、液晶表示装置の画面下の領域に設けられた『 CORRECT 』を操作し正常に復旧したか否かを確認する。この時点で、エラーの復旧が完了していると、判定部３８によって数秒後に液晶表示装置１３の画面上に表示されていたエラー内容が全て終了させられ、通常の自動運転の画面に戻り、保護テープＴの貼り付けの自動運転が開始される。そして、保護テープＴの貼付対象のウエハＷが所定数に達したか否かを確認する（ステップＳ１０）。所定するに達していれば貼付処理を終了し、所定数に達していなければ、自動運転による処理が継続する。以上で、エラー発生時の一連のエラー警告表示および復旧処理が完了する。なお、判定部３８は、本発明の第１画像切替え手段として機能する。

上述のように、いずれかの駆動機構で故障や異常によるエラーが発生すると、液晶表示装置１３の画面に文字情報によるエラー内容およびエラーの発生を検出したセンサを第１画像に表示し、この第１画像でエラー内容を確認した後に、第１画像の下層にある第２画像に切り替えることにより、エラーの発生した箇所が駆動機構の構成を示す絵柄の中に示されるので、非熟練のオペレータであってもエラーの発生箇所を容易に特定することができる。

また、エラー発生箇所の復旧作業を行った後に、液晶表示装置１３の画面に表示された『 CORRECT 』のＧＵＩを操作すれば、駆動機構が作動状態になり、エラー発生箇所のセンサが、エラー発生箇所の動作確認を行う。この動作確認の結果、正常に復旧した場合は、センサの部分が強調表示されるので、オペレータは、駆動装置自体を目視してエラーの復旧が正常に完了したか否かの動作確認を行う必要がない。すなわち、オペレータは、液晶表示装置１３を操作するだけで、エラー内容および復旧完了を容易に確認することができる。

また、複数のエラーが同時または略同時に発生した場合は、エラー復旧処理を行う過程で駆動部同士が衝突したり干渉しあったりすることのないように復旧手順の優先度を決定し、優先度の高いエラー内容の順番に液晶表示装置１３の画面に表示されるので、その内容に従って復旧処理をすれば、駆動部などに損傷などを与えることなく効率よく復旧処理を行うことができる。また、画面上の内容を確認し、画面上から各種操作を行うだけでよいので操作マニュアルなどを参照する必要がない。すなわち、非熟練のオペレータであっても処理手順を誤ることなく、処理時間を短縮させて作業効率の向上を図らせることができる。

なお、本発明は以下のような形態で実施することも可能である。

（１）上記各実施例では、エラーが同時に複数箇所で発生した場合に、復旧の優先度を考慮してエラーの表示順番を決定していたが、この形態に限られず、例えば、エラーの発生した順番であってもよい。

（２）上記実施例では、保護テープ貼付け装置に復旧支援装置を備えた場合を例にとって説明したが、駆動機構を備えた他の装置にも適用することができる。

（３）上記実施例では、第２画像の『 CORRECT 』と記載されたＧＵＩを操作すれば、所定時間経過後に判定部３８の指令に基づいて液晶表示装置１３の画面が自動運転用の画面に復帰していたが、判定部３８による判定とは個別にオペレータの操作により自動運転用の画面に復帰できるように操作可能なＧＵＩを設けてもよい。

（４）上記実施例では、画面に表示されているエラーの復旧が完了するごとに、そのエラー内容の表示を終了させていたが、次のように構成してもよい。

例えば、エラー復旧処理後に次のエラー表示画面が液晶表示装置１３の画面に表示されていても、画面右下の『前頁』と記載されたＧＵＩに触れる操作を行えば、先に完了したエラー内容などを順番に遡って確認できるように構成する。

本発明の実施例に係る保護テープ貼付け装置の全体を示す斜視図である。貼付ユニットの概略構成を示す側面図である。本実施例に係る保護テープ貼付け装置の電気的な構成を示すブロック図である。エラー表示処理手順を示すフローチャートである。アライメントステージの概略構成を示す側面図である。第１エラー内容を示す第１画像の図である。第１エラー内容を示す第２画像の図である。第２エラー内容を示す第１画像の図である。第２エラー内容を示す第２画像の図である。

符号の説明

１ … ウエハ供給・回収部
３ … ウエハ搬送機構
４ … アライメントステージ
５ … チャックテーブル
６ … テープ供給部
７ … セパレータ回収部
８ … 貼付けユニット
１０ … 剥離ユニット
１１ … テープ回収部
１３ … 操作部（液晶表示装置）
１７ … 貼付けローラ
２５ … 制御部
２６ … センサ（光学センサ）
２７ … 第１センサ
２８ … 第２センサ
２９ … エラー情報選択部
３１ … 光源
３２ … 記憶部
３３ … 表示制御部
３４ … 画像データ生成部
３５ … 第１画像
３６ … 第２画像
a〜ｇ … GUI（Graphical User Interface）

Claims

駆動機構で発生した異常や故障を含むエラーの復旧支援装置であって、
複数の前記駆動機構の作動状況を含む各種情報を表示する表示手段と、
前記種駆動機構の少なくともいずれかで発生したエラーを検出し、この検出結果を検出信号として送信する検出手段と、
前記駆動機構で発生し得る複数種類のエラー内容を、前記検出手段によって検出されるエラー内容とエラー発生箇所の駆動機構の画像データとに関連付けし、これらをエラー情報として記憶する記憶手段と、
前記検出手段から送信される検出信号に対応するエラー情報を前記記憶手段から選択して読み出し、そのエラー情報に含まれるエラー内容と画像データに基づく画像を前記表示手段に表示させるエラー選択手段と、
前記エラー選択手段によって表示されるエラーの発生箇所が正常に作動するか否かの状態を前記表示手段に表示させる作動状態確認手段と、
前記作動状態確認手段によってエラー発生箇所の作動が正常であることが確認できた後、前記表示手段に表示されたエラー内容を示す画像を終了させる第１画像切替え手段と、
所定の駆動機構または複数の駆動機構にわたって同時に複数箇所でエラーが発生した場合、各検出手段から送信される検出信号に基づくエラー内容を比較し、復旧処理の手順を考慮して優先度の低いエラー内容を示す画像上に優先度の高い画像がくるように積層した状態で複数の画像を前記表示手段に表示するように制御する表示制御手段を備え、
前記第１画像切替え手段は、さらにエラー発生箇所が正常に作動していることが確認できたとき、前記表示手段に表示されている該エラー情報の表示を終了させ、下層にある他のエラー情報の画像へと順番に切り替えてゆく
ことを特徴とする復旧支援装置。
請求項１に記載の復旧支援装置において、
前記記憶手段が記憶している画像データは、前記駆動機構の構成を示す画像上に前記検出手段の位置を示した第１画像データと、エラーを検出した前記検出手段と該検出手段によって特定されるエラー発生箇所の文字情報を含ませた状態でエラー発生を警告する強調表示用の第２画像データとを記憶し、
さらに、前記エラー選択手段によって選択されたエラー情報を利用し、前記第１画像データに基づいて出力表示される第１画像上に第２画像データに基づいて出力表示される第２画像が重畳されるように一対の画像データを生成する画像データ生成手段と、
前記画像データ生成手段によって生成された画像データに基づく画像を前記表示手段に表示したとき、表示手段に表示される画像を上層の第２画像から下層の第１画像に切り替える第２画像切替え手段と、
前記第２画像切替え手段によって前記表示手段に表示される画像を第１画像に切り替えた状態で前記作動状態確認手段が操作されると、エラー発生箇所の検出手段が作動して動作確認を行ない、前記駆動機構が正常な作動状態にあるときと、駆動機構がエラー発生状態のままであるときのいずれかの場合に、第１画像上に示される前記検出手段の位置を強調表示させるように構成した
ことを特徴する復旧支援装置。
請求項２に記載の復旧支援装置において、
前記表示手段は、表示された画像に対応する部分に触れることで、画像指定がなされるタッチパネル式であり、
前記第１および第２切替え手段は、画像上の所定部分にGraphical User Interfaceとして設けられており、
前記作動状態確認手段は、前記第１画像上の所定部分にGraphical User Interfaceとして設けられるとともに、この第１画像上の所定部分のGraphical User Interfaceに触れるごとに強調表示と非強調表示が交互に切り替わるように構成されている
ことを特徴とする復旧支援装置。