JP5603100B2 - シート切断装置及び切断方法 - Google Patents
シート切断装置及び切断方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP5603100B2 JP5603100B2 JP2010034763A JP2010034763A JP5603100B2 JP 5603100 B2 JP5603100 B2 JP 5603100B2 JP 2010034763 A JP2010034763 A JP 2010034763A JP 2010034763 A JP2010034763 A JP 2010034763A JP 5603100 B2 JP5603100 B2 JP 5603100B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- cutting
- adhesive sheet
- cutter blade
- sheet
- adherend
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Landscapes
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Description
同文献に開示された装置は、保護テープ(接着シート)をウエハに貼付した後に、当該ウエハの形状に合わせて接着シートをカッター刃で所定形状に切断するように構成されている。
このような構成では、カッター刃100が損傷したりして、その切断能力が低下したような場合、或いは、接着シートSの接着力が弱い場合には、図8に示されるように、ウエハWに貼付された接着シートSの外周部部分が持ち上げられてしまい、切断後にウエハWの外周より接着シートSがはみ出してしまい、接着シートSを所定形状に切断できない、という不都合がある。
また、図9に示されるように、カッター刃100を接着シートSに突き刺した後、当該カッター刃100が動き始めようとするときの切断抵抗が非常に大きいため、接着シートSを部分的に持ち上げてしまうような現象が発生し、接着シートSの切り残し部分SRを生じさせてしまい、上記と同様に接着シートSを所定形状に切断できない、という不都合がある。
更に、図4(A)に示されるように、複数の分割シートS1、S2に分割可能とする切込Cを備えた接着シートSの場合には、その切込C部分をカッター刃の刃縁が通過するとき、つまり、刃縁が一方の分割シートから他方の分割シートへ移り替わるときに、他方の接着シートを部分的に巻き込んだり、持ち上げたりして切込C部分におけるカッター刃100の切断方向下流側に接着シートSの切り残し部分SRが生じる。また、図10に示されるように、カッター刃100の刃縁が切込C部分で引っ掛かった瞬間に、切込C部分におけるカッター刃100の切断方向上流側に切り残し部分SRが生じる、という不都合もある。
ここで、上記のような不都合を解消するために、カッター刃100をもう1度ウエハの外周に沿って一方向に回転させれば、切り残し部分SRを切断できる場合があるが、切り残し部分SRの導入部SR1(図4参照)が先のカッター刃100による切断動作によって折れ曲がったり、捩れたりしていることがあり、同じ一方向の回転では切断し難く、稀に切断できない場合がある。
本発明の目的は、被着体に貼付された接着シートを被着体の大きさに合わせて切断する際に、被着体の外側に接着シートの切り残し部分を生じさせることなく、当該接着シートを所定形状に切断することができるシート切断装置及び切断方法を提供することにある。
前記シート切断装置において、前記カッター刃は、切断方向の両側に刃縁を有する、という構成を採っている。
前記接着シートにカッター刃を突刺して当該カッター刃を前記被着体の外縁に沿う一方向に移動して前記接着シートを被着体の大きさに合わせて切断する第1切断工程と、前記第1切断工程の後に、前記カッター刃の突刺深さと、前記接着シートの面に直交する切断方向上面視において、前記カッター刃の中心線が切断方向に対して傾斜するトウイン角と、前記接着シートの面に平行な切断方向正面視において、前記カッター刃の中心線が接着シート面に対して傾斜するキャンバ角と、前記接着シートの面に平行な切断方向側面視において、前記カッター刃の中心線が切断方向に傾斜するキャスタ角と、の内の少なくとも2つを変更させ、前記カッター刃を前記一方向とは反対の方向に移動して前記接着シートを被着体の大きさに合わせて切断する第2切断工程とを行う、という手法を採っている。
また、切り残し部分の導入部が先の切断動作によって折れ曲がったり、捩れたりして同じ一方向の回転では切断し難い場合でも、一方向とは反対の方向に移動して接着シートを切断すれば、切り残し部分の導入部を切断最終部として切断できるため、切り残し部分が生じないように接着シートを所定形状に切断することができる。
また、接着シートが切込によって複数に分割可能に設けられたものである場合には、一方向に接着シートを切断すると切込の前後に切り残し部分を生じ得るが、この場合でも、一方向とは反対の方向から接着シートを再度切断することにより、切り残し部分を確実に切断することが可能となる。なお、切込C部分におけるカッター刃の切断方向下流側を切込の後とし、切込C部分におけるカッター刃の切断方向上流側を切込の前とする。
更に、制御手段に突刺深さ制御手段を設け、当該突刺深さ制御手段を介してカッター刃の接着シートへの突き刺し深さを変更し、当該カッター刃の第1部位と第2部位とを使い分ける構成では、カッター刃の同じ部位ばかりを使い続けることでカッター刃の切断能力が低下し、切り残し部分が発生することを防止することができる。
また、キャンバ角制御手段を設けた構成では、第1キャンバ角で一方向にカッター刃を移動させて接着シートを切断した後、第2キャンバ角で一方向とは反対の方向にカッター刃を移動させて接着シートを切断することで、接着シートの切り残し部分の発生を抑制することができる。
更に、カッター刃が両側に刃縁を有する場合には、カッター刃を切断方向に合わせて回転させる必要がなくなり、切断効率を向上させることができる。
本実施形態におけるカッター刃51は、図3(A)、(B)に示されるように、工具保持チャック52の被把持部となる軸部53を備えており、当該カッター刃51は、刃縁51Aが片側に形成されたタイプのものや刃縁51Aが両側に形成されたタイプのものを採用することができる。
この第1切断工程に際し、制御手段19が記憶部からプログラムを読み出して切断手段15を制御し、カッター刃51の突き刺し深さD、トウイン角TI、キャンバ角CN、キャスタ角CSが所定角度となるように制御される。本実施形態の場合、突刺深さ制御手段により、図6に示されるように、カッター刃51の突き刺し深さDがD1に調整されてカッター刃51の第1部位51aが接着シートSの切断に使用され、且つ、キャンバ角制御手段により、図7に示されるように、カッター刃51のキャンバ角がCN1に制御されて接着シートSの切断が行われる。
ここで、第1切断工程では、キャンバ角CN1は、接着シートSの面に対して直交する角度若しくは直交する角度に近い方がよい。これは、図7の二点鎖線で示されるように、キャンバ角CNが小さくなるに連れて、カッター刃51と接着シートSとが接触する面積が大きくなることでカッター刃51による切断抵抗が大きくなってしまい、ウエハWに貼付された接着シートSの外周部部分を持ち上げ易くなり、切り残し部分SRを発生し易くなるためである。
この第2切断工程に際し、上記第1切断工程と同様に、制御手段19が記憶部からプログラムを読み出して切断手段15を制御し、カッター刃51の突き刺し深さD、トウイン角TI、キャンバ角CN、キャスタ角CSが所定角度となるように制御される。本実施形態の場合、突刺深さ制御手段により、図6に示されるように、カッター刃51の突き刺し深さDがD2に調整されてカッター刃51の第2部位51bが接着シートSの切断に使用され、且つ、キャンバ角制御手段により、図7に示されるように、カッター刃51のキャンバ角がCN2に制御されて接着シートSの切断が行われる。
ここで、第2切断工程では、キャンバ角CN2は、第1切断工程でのキャンバ角CN1よりも小さい角度となるように設定されている。このようにキャンバ角CN2を小さく設定することで、例えば、ウエハWが別の工程(研削工程等)において、図7の二点鎖線で示される厚さにまで研削されたときに、ウエハWの外縁から接着シートS(切り残し部分SR)がはみ出るようなことがなくなり、研削時にはみ出た接着シートSが研削装置の研削部材との間に入り込んでウエハWを損傷させることを防止することができる。この場合の切り残し部分SRは、第1切断工程の後に、第2切断工程で切断される部分である。
なお、第2切断工程では、キャンバ角CNを小さく設定することにより、カッター刃51と接着シートSとが接触する面積が大きくなるが、図4(B)、図5(B)に示されるように、第2切断工程で切断されるウエハWの外側の部分(切り残し部分SR)は、ウエハWの外側へ逃げるように変位するため、第1切断工程でキャンバ角CNを小さくして切断するときに比べて、その切断抵抗は小さく、ウエハWに貼付された接着シートSの外周部部分を持ち上げて切り残し部分SRが切断できなくなるようなことはない。なお、キャンバ角や、突刺し深さは、必ずしも変更することを要せず、接着シートSの厚みや剛性、或いは、被着体の外縁端面形状等によっては変更することなく切断してもよい。
また、第1、第2切段工程において、トウイン角TIとキャスタ角CSとをそれぞれトウイン角制御手段とキャスタ角制御手段とを介して違う角度に設定してもよいし、それぞれ同じ角度に設定してもよい。本実施形態の場合、トウイン角TIは、第1、第2切断工程共(線対照で)同じ角度に設定されているが、キャスタ角CSは、第1切段工程でCS1に設定され、第2切段工程でCS2に設定されている。キャスタ角CS1に比べてキャスタ角CS2を大きな角度としたり、突き刺し深さD1に比べて突き刺し深さD2を浅く設定したりすることによっても、接着シートSの切断抵抗を小さくすることができる。
すなわち、本発明は、主に特定の実施形態に関して特に図示、説明されているが、本発明の技術的思想及び目的の範囲から逸脱することなく、以上説明した実施形態に対し、形状、位置若しくは配置等に関し、必要に応じて当業者が様々な変更を加えることができるものである。
また、前記実施形態において、制御手段19は、切断手段15を介してウエハWの外縁に沿ってカッター刃51を一方向a1に移動させて接着シートSを切断した後に、突き刺し深さDとトウイン角TIとキャンバ角CNとキャスタ角CSとの少なくとも1を変更させ、カッター刃51を一方向とは反対の方向a2に移動させて接着シートSを切断するように構成してもよい。
12 繰出手段
14 押圧手段
15 切断手段(シート切断装置)
19 制御手段
51 カッター刃(切断部材)
51A 刃縁
51a 第1部位
51b 第2部位
A 接着剤層
BS 基材シート
C 切込
S 接着シート
S1 第1分割シート(分割シート)
S2 第2分割シート(分割シート)
SR 切り残し部分
a1 一方向
a2 一方向とは反対の方向
W 半導体ウエハ(被着体)
Claims (3)
- 基材シートの一方の面に接着剤層が設けられ、当該接着剤層を介して被着体に貼付された接着シートを切断するシート切断装置であって、
前記被着体に貼付された接着シートを突刺して被着体の大きさに合わせて切断するカッター刃を含む切断手段と、
前記切断手段を所定制御する制御手段とを備え、
前記制御手段は、前記切断手段を介して前記被着体の外縁に沿って前記カッター刃を一方向に移動させて前記接着シートを切断した後に、
前記カッター刃の突刺深さと、
前記接着シートの面に直交する切断方向上面視において、前記カッター刃の中心線が切断方向に対して傾斜するトウイン角と、
前記接着シートの面に平行な切断方向正面視において、前記カッター刃の中心線が接着シート面に対して傾斜するキャンバ角と、
前記接着シートの面に平行な切断方向側面視において、前記カッター刃の中心線が切断方向に傾斜するキャスタ角と、
の内の少なくとも2つを変更させ、前記カッター刃を前記一方向とは反対の方向に移動させて前記接着シートを切断することを特徴とするシート切断装置。 - 前記カッター刃は、切断方向の両側に刃縁を有することを特徴とする請求項1に記載のシート切断装置。
- 基材シートの一方の面に接着剤層が設けられ、当該接着剤層を介して被着体に貼付された接着シートを切断するシート切断方法であって、
前記接着シートにカッター刃を突刺して当該カッター刃を前記被着体の外縁に沿う一方向に移動して前記接着シートを被着体の大きさに合わせて切断する第1切断工程と、
前記第1切断工程の後に、
前記カッター刃の突刺深さと、
前記接着シートの面に直交する切断方向上面視において、前記カッター刃の中心線が切断方向に対して傾斜するトウイン角と、
前記接着シートの面に平行な切断方向正面視において、前記カッター刃の中心線が接着シート面に対して傾斜するキャンバ角と、
前記接着シートの面に平行な切断方向側面視において、前記カッター刃の中心線が切断方向に傾斜するキャスタ角と、
の内の少なくとも2つを変更させ、前記カッター刃を前記一方向とは反対の方向に移動して前記接着シートを被着体の大きさに合わせて切断する第2切断工程とを行うことを特徴とするシート切断方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010034763A JP5603100B2 (ja) | 2010-02-19 | 2010-02-19 | シート切断装置及び切断方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010034763A JP5603100B2 (ja) | 2010-02-19 | 2010-02-19 | シート切断装置及び切断方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2011171561A JP2011171561A (ja) | 2011-09-01 |
JP5603100B2 true JP5603100B2 (ja) | 2014-10-08 |
Family
ID=44685353
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2010034763A Expired - Fee Related JP5603100B2 (ja) | 2010-02-19 | 2010-02-19 | シート切断装置及び切断方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5603100B2 (ja) |
Family Cites Families (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5042339A (en) * | 1990-08-21 | 1991-08-27 | Gerber Garment Technology, Inc. | Method and apparatus for cutting successive segments of sheet material with cut continuation |
JPH04105813A (ja) * | 1990-08-27 | 1992-04-07 | Hitachi Seiko Ltd | プリント基板外形加工方法 |
JPH07136982A (ja) * | 1993-11-19 | 1995-05-30 | Roland D G Kk | カッティング装置におけるカッティング制御方法 |
JP2001156423A (ja) * | 1999-11-30 | 2001-06-08 | Icom Inc | プリント基板分割装置 |
JP4612453B2 (ja) * | 2005-03-30 | 2011-01-12 | 株式会社タカトリ | ウエハへのテープ貼付方法と貼付装置 |
JP4452691B2 (ja) * | 2005-08-04 | 2010-04-21 | リンテック株式会社 | シート切断装置及び切断方法 |
JP4606319B2 (ja) * | 2005-12-19 | 2011-01-05 | 日東電工株式会社 | 復旧支援装置 |
JP5037849B2 (ja) * | 2006-04-28 | 2012-10-03 | リンテック株式会社 | シート切断方法 |
JP5015495B2 (ja) * | 2006-05-25 | 2012-08-29 | リンテック株式会社 | シート切断装置及び切断方法 |
JP5028233B2 (ja) * | 2007-11-26 | 2012-09-19 | 日東電工株式会社 | 半導体ウエハの保護テープ切断方法および保護テープ切断装置 |
-
2010
- 2010-02-19 JP JP2010034763A patent/JP5603100B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2011171561A (ja) | 2011-09-01 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5261522B2 (ja) | 貼付装置及び貼付方法 | |
JP6247075B2 (ja) | 保護テープ剥離方法および保護テープ剥離装置 | |
JP5465944B2 (ja) | 保護テープ貼付け方法 | |
JP5750632B2 (ja) | 基板へのシート貼付装置 | |
JP5572045B2 (ja) | シート貼付装置及び貼付方法 | |
KR20090115681A (ko) | 보호 테이프 부착 장치 | |
JP5421746B2 (ja) | シート剥離装置及び剥離方法 | |
JP5006176B2 (ja) | シート切断方法 | |
JP2009253083A (ja) | シート貼付装置及び貼付方法 | |
JP5603100B2 (ja) | シート切断装置及び切断方法 | |
JP2012004290A (ja) | シート剥離装置及び剥離方法 | |
JP5654311B2 (ja) | シート貼付装置および貼付方法 | |
JP5603101B2 (ja) | シート切断装置及び切断方法 | |
JP4326363B2 (ja) | 粘着シート貼付け方法およびこれを用いた装置 | |
JP4528553B2 (ja) | シート剥離装置及び剥離方法 | |
JP4334420B2 (ja) | 保護テープ貼付け方法および保護テープ貼付け装置 | |
JP5554100B2 (ja) | シート切断方法およびシート切断装置 | |
JP2008098278A (ja) | シート貼付装置及び貼付方法 | |
JP4643512B2 (ja) | シート貼付装置及び貼付方法 | |
JP5690895B2 (ja) | シート剥離装置及び剥離方法 | |
JP5139004B2 (ja) | シート切断装置 | |
JP2011114274A (ja) | シート剥離装置及び剥離方法 | |
JP2011187465A (ja) | シート貼付装置及び貼付方法 | |
JP2011114273A (ja) | シート剥離装置及び剥離方法 | |
JP6006048B2 (ja) | シート貼付装置及び貼付方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20121029 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20131010 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20131022 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20131218 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20140401 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20140529 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20140819 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20140821 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5603100 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |