JP2007227552A - 半導体ウエハの粘着テープ貼付け方法およびこれを用いた装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】粘着テープTの供給およびセパレータsの剥離が停止された時点における粘着テープ上のセパレータsの剥離点pが、次のテープ貼付け作動によって半導体ウエハWから外れた位置に移動されるように、粘着テープTの供給作動に対応してセパレータsの剥離回収作動を制御する。
【選択図】図2
Description
粘着テープの供給およびセパレータの剥離が停止された時点における粘着テープ上のセパレータの剥離点が、次のテープ貼付け作動によって半導体ウエハから外れた位置に移動されるように、粘着テープの供給作動に対応してセパレータの剥離回収作動を制御することを特徴とする。
前記剥離点は、供給される前記粘着テープからセパレータを剥離している過程で、次のテープ貼付け時に剥離点が半導体ウエハから外れる位置が検知され、その検知結果に基づいて決定され、
セパレータの前記剥離回収制御は、粘着テープを貼付ける過程で前記剥離点の位置を維持するように、粘着テープの繰り出し量に応じて回収した前記セパレータを繰り出すことを特徴とする。
前記半導体ウエハを載置保持する保持テーブルと、
前記保持テーブルに載置保持された半導体ウエハの表面に粘着テープを供給する粘着テープ供給手段と、
貼付けローラを備え、この貼付けローラを転動移動させて粘着テープをウエハの表面に押圧して貼付ける貼付けユニットと、
前記粘着テープの供給経路におけるセパレータの剥離点を検知する剥離点検知手段と、
前記剥離点検知手段の検知情報に基づいてセパレータの回収ボビンを正逆転制御するセパレータ剥離回収制御手段とを備え、
前記セパレータ剥離回収制御手段は、粘着テープの供給およびセパレータの剥離が停止された時点における粘着テープ上のセパレータ剥離点が、次のテープ貼付け作動によって半導体ウエハから外れた位置に移動されるように、セパレータ剥離点の位置制御を行うよう構成したことを特徴とする。
前記剥離点検知手段が、粘着テープの供給経路におけるセパレータの剥離点に残された剥離停止跡を光学的に検知する光センサで構成してあることを特徴とする。
21 … 回収ボビン
23 … 貼付けローラ
36 … 光センサ
36a… 投光器
36b… 受光器
37 … 制御装置
p … 剥離点
s … セパレータ
T … 粘着テープ
W … 半導体ウエハ
Claims (4)
- 繰り出されたセパレータ付きの粘着テープからセパレータを剥離して半導体ウエハの表面に沿って貼り付けてゆく半導体ウエハの粘着テープ貼付け方法であって、
粘着テープの供給およびセパレータの剥離が停止された時点における粘着テープ上のセパレータの剥離点が、次のテープ貼付け作動によって半導体ウエハから外れた位置に移動されるように、粘着テープの供給作動に対応してセパレータの剥離回収作動を制御する
ことを特徴とする半導体ウエハの粘着テープ貼付け方法。 - 請求項1に記載の半導体ウエハの粘着テープ貼付け方法において、
前記剥離点は、供給される前記粘着テープからセパレータを剥離している過程で、次のテープ貼付け時に剥離点が半導体ウエハから外れる位置が検知され、その検知結果に基づいて決定され、
セパレータの前記剥離回収制御は、粘着テープを貼付ける過程で前記剥離点の位置を維持するように、粘着テープの繰り出し量に応じて回収した前記セパレータを繰り出す
ことを特徴とする半導体ウエハの粘着テープ貼付け方法。 - 繰り出されたセパレータ付きの粘着テープからセパレータを剥離して半導体ウエハの表面に沿って貼り付けてゆく半導体ウエハの粘着テープ貼付け装置であって、
前記半導体ウエハを載置保持する保持テーブルと、
前記保持テーブルに載置保持された半導体ウエハの表面に粘着テープを供給する粘着テープ供給手段と、
貼付けローラを備え、この貼付けローラを転動移動させて粘着テープをウエハの表面に押圧して貼付ける貼付けユニットと、
前記粘着テープの供給経路におけるセパレータの剥離点を検知する剥離点検知手段と、
前記剥離点検知手段の検知情報に基づいてセパレータの回収ボビンを正逆転制御するセパレータ剥離回収制御手段とを備え、
前記セパレータ剥離回収制御手段は、粘着テープの供給およびセパレータの剥離が停止された時点における粘着テープ上のセパレータ剥離点が、次のテープ貼付け作動によって半導体ウエハから外れた位置に移動されるように、セパレータ剥離点の位置制御を行うよう構成した
ことを特徴とする半導体ウエハの粘着テープ貼付け装置。 - 請求項3に記載の半導体ウエハの粘着テープ貼付け装置において、
前記剥離点検知手段は、前記粘着テープの供給経路におけるセパレータの剥離点に残された剥離停止跡を光学的に検知する光センサである
ことを特徴とする半導体ウエハの粘着テープ貼付け装置。
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