KR20100130998A

KR20100130998A - 시트 박리 장치 및 박리 방법

Info

Publication number: KR20100130998A
Application number: KR1020107023334A
Authority: KR
Inventors: 히데아키 카토
Original assignee: 린텍 가부시키가이샤
Priority date: 2008-04-11
Filing date: 2009-03-16
Publication date: 2010-12-14
Also published as: US8435366B2; KR101464488B1; CN101998929A; US20110036477A1; JP4782892B2; WO2009125651A1; CN101998929B; DE112009000844T5; JPWO2009125651A1

Abstract

시트 박리 장치(10)는 박리용 테이프(PT)를 접착 시트(S)에 눌러서 첩부하는 첩부 수단(14)과, 접착 시트(S)에 첩부된 박리용 테이프(PT)와 웨이퍼(W)를 유지하는 유지 수단(11)을 상대이동시켜 접착 시트(S)를 박리하는 이동 수단(15)과, 접착 시트(S)의 외측 가장자리 위치를 검지하고, 그 신호를 출력하는 검지 수단(17)과, 보정값을 입력하는 입력 수단(18)과, 검지 수단(17)의 출력신호와 보정값에 기초하여 접착 시트(S)로의 박리용 테이프(PT)의 누름 위치를 결정하고, 당해 누름 위치에서 접착 시트(S)를 첩부하도록 이동 수단(15)을 제어하는 제어 수단(19)을 구비하고 있다.

Description

시트 박리 장치 및 박리 방법{SHEET-PEELING APPARATUS AND PEELING METHOD}

본 발명은 시트 박리 장치 및 박리 방법에 관한 것으로, 더욱 상세하게는, 피착체에 첩부된 접착 시트에 박리용 테이프를 접착하고, 당해 박리용 테이프를 통하여 접착 시트를 박리하는 것에 적합한 시트 박리 장치 및 박리 방법에 관한 것이다.

반도체 웨이퍼(이하, 단지 「웨이퍼」라고 칭함)는 그 회로면에 보호용의 접착 시트가 첩부되고, 이면 연삭 등, 여러 공정을 거친 후에 접착 시트가 박리된다. 이러한 접착 시트의 박리 장치로서는, 예를 들면, 특허문헌 1에 개시되어 있다. 동 문헌에서, 웨이퍼는, 그 핸들링성을 확보하기 위하여, 마운트용 테이프를 통하여 링 프레임에 일체화되어 있다. 웨이퍼로부터 접착 시트를 박리하는 공정은, 박리용 테이프를 접착 시트의 외측 가장자리측에 첩부한 후, 당해 박리용 테이프와, 링 프레임과 함께 웨이퍼를 지지하는 테이블를 상대이동시킴으로써 행해진다.

일본 특개 2007-43047호 공보

(발명의 개시)

(발명이 해결하고자 하는 과제)

그렇지만, 이러한 구성에 있어서는, 박리용 테이프를 첩부할 때, 웨이퍼의 외측 가장자리로부터 튀어나온 접착 시트가 마운트용 테이프에 접착되기 쉬워진다고 하는 문제를 초래한다. 특히, 도 6에 도시되는 바와 같이, 외주가 곡면(R)이 되도록 모따기 된 웨이퍼(W)와 같은 경우, 외측 가장자리를 따라 접착 시트(S)를 절단한 후, 당해 웨이퍼(W)를 이면 연마하면, 상기 튀어나옴량(H)이 커지기 때문에, 상기 문제가 나타나게 된다. 이 결과, 접착 시트가 마운트용 테이프에 접착되어 버려, 이러한 상태에서 접착 시트를 박리하려고 하면, 마운트용 테이프가 박리용 테이프에 잡아 당겨져, 웨이퍼가 손상된다고 하는 문제가 발생한다.

일반적으로, 접착 시트에 대한 박리용 테이프의 첩부 위치는, 접착 시트의 초기단계의 박리를 행하기 쉽게 하기 위하여, 웨이퍼의 외측 가장자리에 가까워질수록 바람직하다. 그래서, 접착 시트의 외측 가장자리 위치를 센서로 검출하고, 당해 검출 위치를 박리용 테이프의 첩부 위치로 하여 제어하는 것이 고려되지만, 이 경우, 웨이퍼의 외측 가장자리로부터 접착 시트가 튀어나와 있으면, 당해 밀려나온 부분이 마운트용 테이프에 접착하여 전술의 문제를 초래한다. 따라서, 박리용 테이프의 첩부 위치를 웨이퍼의 외측 가장자리에 근접시키면서, 밀려나온 접착 시트가 다른 부분에 접착하는 것을 방지할 수 있는 시트 박리 장치 및 박리 방법의 출현이 요망되고 있었다.

[발명의 목적]

본 발명은 이러한 요청에 따라 안출된 것으로, 그 목적은, 박리용 테이프의 첩부에 의해, 피착체의 외측 가장자리로부터 튀어나온 접착테이프가 다른 부위에 접착하는 것을 방지하여 박리를 행할 수 있는 시트 박리 장치 및 박리 방법을 제공하는 것에 있다.

상기 목적을 달성하기 위하여, 본 발명은 피착체에 첩부된 접착 시트에 박리용 테이프를 첩부하고, 당해 박리용 테이프를 통하여 상기 접착 시트를 피착체로부터 박리하는 시트 박리 장치에 있어서,

상기 피착체를 유지하는 유지 수단과, 상기 박리용 테이프를 풀어내는 풀어내기 수단과, 박리용 테이프를 접착 시트에 눌러 첩부하는 첩부 수단과, 접착 시트에 첩부된 박리용 테이프와 상기 유지 수단을 상대이동시켜서 접착 시트를 박리하는 이동 수단과, 상기 피착체에 첩부된 접착 시트의 외측 가장자리 위치를 검지하고, 그 신호를 출력하는 검지 수단과, 이동 수단을 소정 제어하기 위한 보정값을 입력하는 입력 수단과, 상기 검지 수단의 출력신호와 상기 입력 수단의 보정값에 기초하여 접착 시트에 대한 박리용 테이프의 누름 위치를 결정하고, 당해 누름 위치에서 첩부를 행하도록 이동 수단을 제어하는 제어 수단을 구비한다고 하는 구성을 채용하고 있다.

본 발명에 있어서, 상기 보정값은 피착체 외측 가장자리로부터의 접착 시트 외측 가장자리의 튀어나옴량으로 하고,

상기 제어 수단은, 상기 누름 위치를 결정할 때, 이동 수단에 의한 유지 수단의 이동량을 상기 튀어나옴량 만큼 조정하는 것이 바람직하다.

또, 상기 첩부 수단은 박리용 테이프를 가열 가능한 가열 수단을 갖는다고 하는 구성도 바람직하게 채용된다.

또, 본 발명의 박리 방법은 피착체에 첩부된 접착 시트에 박리용 테이프를 첩부하고, 당해 박리용 테이프를 통하여 상기 접착 시트를 피착체로부터 박리하는 시트 박리 방법에 있어서,

상기 피착체를 유지 수단으로 유지하는 공정과,

상기 피착체에 첩부된 접착 시트의 외측 가장자리 위치를 검지하는 공정과,

상기 검지된 외측 가장자리 위치와 입력 수단에 의해 입력된 보정값에 기초하여 접착 시트에 대한 박리용 테이프의 누름 위치를 결정하는 공정과,

상기 박리용 테이프를 풀어내는 공정과,

상기 결정된 누름 위치에 박리용 테이프를 첩부하는 공정과,

상기 접착 시트에 첩부된 박리용 테이프와 상기 유지 수단을 상대이동시켜 접착 시트를 박리하는 공정을 구비한다고 하는 방법을 채용하고 있다.

또한, 본 발명의 박리 방법에 있어서, 상기 보정값은 피착체 외측 가장자리로부터의 접착 시트 외측 가장자리의 튀어나옴량으로 하고,

상기 누름 위치를 결정할 때, 유지 수단의 이동량을 상기 튀어나옴량 만큼 조정하는 것이 바람직하다.

본 발명에 의하면, 검지한 접착 시트의 외측 가장자리 위치에 대하여, 박리용 테이프의 누름 위치를 보정하여 접착 시트에 첩부할 수 있다. 이것에 의해, 피착체의 외측 가장자리로부터 접착테이프가 튀어나온 경우이어도, 접착 시트가 눌려서 마운트용 테이프 등에 접착하는 것을 방지하는 것이 가능하게 된다. 이 결과, 접착 시트의 박리를 무난히 행할 수 있게 되는 외에, 박리동작에 의해 마운트용 테이프 등이 잡아당겨져, 웨이퍼 등의 피착체가 파손되는 것을 회피 가능하게 된다. 게다가, 박리용 테이프의 누름 위치를 피착체의 외측 가장자리에 근접시킬 수 있어, 박리 초기단계에서의 박리를 원활하게 행할 수 있다.

도 1은 실시형태에 따른 시트 박리 장치의 개략 정면도.
도 2는 핀치 롤러의 설명도.
도 3은 검지 수단이 접착 시트 외측 가장자리를 검지한 상태의 설명도.
도 4는 첩부 수단이 박리용 테이프를 첩부한 상태의 설명도.
도 5는 접착 시트를 박리하고 있는 상태의 설명도.
도 6은 웨이퍼가 이면 연마되어, 튀어나옴이 형성된 상태를 나타내는 설명도.

(발명을 실시하기 위한 최선의 형태)

이하, 본 발명의 실시형태에 대하여 도면을 참조하면서 설명한다.

도 1에는, 실시형태에 따른 시트 박리 장치의 개략 정면도가 도시되어 있다. 이 도면에서, 시트 박리 장치(10)는 피착체로서의 웨이퍼(W)를 상면에서 흡착하여 유지하는 테이블로 이루어지는 유지 수단(11)과, 웨이퍼(W)의 회로면(상면)에 부착된 보호용의 접착 시트(S)에 접착되는 띠 형상의 박리용 테이프(PT)를 풀어내는 풀어내기 수단(12)과, 박리용 테이프(PT)의 리드단측을 접착 시트(S)의 외측 가장자리측에 첩부하는 첩부 수단(14)과, 상기 유지 수단(11)을 도 1 중 좌우방향으로 이동시키기 위한 직동 모터(15A) 및 그 슬라이더(15B)로 이루어지는 이동 수단(15)과, 접착 시트(S)의 외측 가장자리 위치를 검지 가능한 검지 수단(17)과, 후술하는 보정값을 입력하기 위한 입력 수단(18)과, 유지 수단(11), 풀어내기 수단(12), 첩부 수단(14) 및 이동 수단(15)을 소정 제어하는 제어 수단(19)을 구비하여 구성되어 있다.

상기 웨이퍼(W)는 링 프레임(RF)의 개구 내부에 배치되어 있다. 또, 웨이퍼(W)는 회로면의 반대면(하면)에 첩부된 마운트용 테이프(MT)를 통하여 링 프레임(RF)과 일체화되고, 이 일체화된 상태에서 유지 수단(11)에 유지되어 있다. 또한, 본 실시형태에서는, 전술한 바와 같이, 웨이퍼(W)를 대단히 얇게 한 관계상, 웨이퍼(W)의 외측 가장자리로부터 접착 시트(S)의 외측 가장자리가 튀어나온 상태로 되어 있다(도 6 참조).

상기 풀어내기 수단(12)은 감겨진 박리용 테이프(PT)를 지지하는 지지축(21)과, 박리용 테이프(PT)가 둘러 걸쳐지는 복수의 가이드 롤러(22)와, 모터(M1)를 통하여 회전 가능하게 설치된 구동 롤러(26)와, 당해 구동 롤러(26)와의 사이에 박리용 테이프(PT)를 끼워넣는 핀치 롤러(27)와, 이들 구동 롤러(26) 및 핀치 롤러(27)의 좌측에 설치되고, 상하방향으로 이동하여 상호 이간, 접근 가능한 상척과 하척(28A, 28B)으로 이루어지는 척(28)을 구비하고 있다. 또한, 척(28)은 도시하지 않은 구동장치를 통하여 도 1 중 좌우방향으로 이동 가능하게 구성되어 있다.

상기 지지축(21)은 모터(M2)를 통하여 프레임(F)에 회전 가능하게 지지되어 있다. 핀치 롤러(27)는, 도 2에 도시되는 바와 같이, 3분할되고, 회전축(27B)에 부착되어 클리어런스(27A)를 형성하고, 각 클리어런스(27A)는 대략 수평방향으로 향해진 축 형상의 가이드 부재(30)가 삽입통과 가능하게 설치되어 있다. 각 가이드 부재(30)는 실린더(31)를 통하여 진퇴 가능하게 설치되고, 구동 롤러(26) 및 핀치 롤러(27)의 도 1 중 좌측으로 출몰하게 되어 있다. 이것에 의해, 가이드 부재(30)는, 도 1의 2점 쇄선으로 표시되는 바와 같이, 구동 롤러(26) 및 핀치 롤러(27)의 좌측으로 풀어내지는 박리용 테이프(PT)를 밑에서 지지하고, 그 리드단 영역을 척(28)에 의해 파지할 수 있는 위치로 인도하는 것이 가능하게 된다.

상기 첩부 수단(14)은 직동 모터(33)와, 당해 직동 모터(33)에 의해 상하방향으로 진퇴 가능하게 설치된 가열 수단으로서의 히터(34A)를 갖는 누름 헤드(34)를 구비하고 있다. 이 첩부 수단(14)은 상기 척(28)에 의해 접착 시트(S)의 상면측으로 풀어내진 박리용 테이프(PT)를 상기 누름 헤드(34)로 눌러 가열함으로써, 박리용 테이프(PT)를 접착 시트(S)에 용착하여 양자를 연결하도록 구성되어 있다.

첩부 수단(14)의 우측에는 테이프 절단 수단(36)이 설치되어 있다. 이 테이프 절단 수단(36)은 커터날(37)과, 이 커터날(37)을 도 1 중 지면 직교방향으로 이동시키는 절단용 실린더(38)와, 이 절단용 실린더(38)를 동 도면 중 상하방향으로 이동시키는 상하용 실린더(39)에 의해 구성되어 있다.

상기 검지 수단(17)은 핀치 롤러(27)의 우측에서의 프레임(F)의 하부에 설치되는 센서로 이루어진다. 검지 수단(17)은, 이동 수단(15)에 의한 웨이퍼(W)의 이동 중에, 당해 검지 수단(17)의 바로 아래를 통과하는 접착 시트(S)의 외측 가장자리 위치를 검지하고, 그 위치신호를 제어 수단(19)에 출력 가능하게 설치되어 있다.

상기 입력 수단(18)은 제어 수단(19)이 전기적으로 접속되는 터치패널 등으로 이루어진다. 입력 수단(18)은 이동 수단(15)에 의한 유지 수단(11)의 이동량의 보정값 이외에, 제어 수단(19)을 통하여 제어되는 각 수단의 작동 조건이나 데이터를 입력하고, 제어 수단(19)에 출력 가능하게 되어 있다.

상기 제어 수단(19)은 검지 수단(17)이 검지하여 출력하는 위치신호를 입력하는 기능과, 입력 수단(18)으로 입력된 보정값 등의 데이터를 기억하는 기능과, 검지 수단(17)의 출력신호와, 상기 입력 수단(18)의 보정값에 기초하여 접착 시트(S)로의 박리용 테이프(PT)의 누름 위치를 결정하는 기능과, 당해 누름 위치에서 첩부를 행하도록 이동 수단(15)의 이동량 및 첩부 수단(14)의 누름의 타이밍을 제어하는 기능을 구비하고 있다.

다음에, 상기 시트 박리 장치(10)에 의한 접착 시트(S)의 박리 방법에 대하여 설명한다.

처음에 지지축(21)으로부터 박리용 테이프(PT)를 끌어내어 각 가이드 롤러(22)에 둘러 걸친 후, 박리용 테이프(PT)의 리드단측을 구동 롤러(26) 및 핀치 롤러(27) 사이를 통과시킨 상태로 한다. 또, 입력 수단(18)을 통하여, 상기 보정값으로서 웨이퍼(W) 외측 가장자리로부터의 접착 시트(S) 외측 가장자리의 튀어나옴량(H)(도 3 참조)을 입력한다. 또한, 검지 수단(17)으로부터 누름 헤드(34)까지의 수평 거리(H1)(도 4 참조)를 제어 수단(19)에 미리 기억한다. 또한, 튀어나옴량(H)은 접착 시트(S)의 절단반경과 웨이퍼(W)의 연삭량의 관계로부터 산출할 수 있다.

우선, 도시하지 않은 반송 수단을 통하여, 유지 수단(11)의 상면에 링 프레임(RF)과 일체화된 웨이퍼(W)를 유지시킨다. 이어서, 도 3의 2점 쇄선으로 표시되는 바와 같이, 접착 시트(S)의 동 도면 중 우측의 외측 가장자리가 검지 수단(17)보다 우측에 위치하도록 이동 수단(15)을 통하여 유지 수단(11)을 이동시킨다. 그 후, 검지 수단(17)에 의한 센싱을 행하면서, 유지 수단(11)을 좌측방향으로 이동시키고, 도 3의 실선으로 표시되는 바와 같이, 검지 수단(17)의 바로 아래 위치로 접착 시트(S)의 우측의 외측 가장자리가 이동했을 때, 이것을 검지 수단(17)이 검지하고, 그 좌표위치를 신호로 하여 제어 수단(19)에 출력한다.

다음에, 검지 수단(17)이 접착 시트(S)의 우측 외측 가장자리를 검지한 위치로부터, 누름 헤드(34)에 의해 박리용 테이프(PT)를 누르기 위해 유지 수단(11)을 정지하여 대기하는 위치까지의 유지 수단(11)의 이동거리(H2)를 이하의 식 (1)에 의해 제어 수단(19)에 의해 구하여 이동 수단(15)을 제어한다.

이동거리(H2)=수평 거리(H1)―튀어나옴량(H) ···(1)

이것에 의해, 이동 수단(15)에 의한 유지 수단(11)의 이동량이 상기 수평 거리(H1)에 대하여, 튀어나옴량(H)만큼 옮겨지도록 조정되어 박리용 테이프(PT)의 누름 위치가 결정되게 된다.

이어서, 모터(M1)를 작동하여 구동 롤러(26)를 회전시키고, 구동 롤러(26) 및 핀치 롤러(27)의 좌측으로 소정 길이의 박리용 테이프(PT)를 풀어낸다. 그 후, 실린더(31)를 작동하여 가이드 부재(30)를 도 1 중 2점 쇄선으로 표시되는 위치로 진행시키고, 도시하지 않은 구동 수단을 작동하여 상척과 하척(28A, 28B) 사이에 가이드 부재(30) 및 박리용 테이프(PT)를 위치시킨다. 그리고, 가이드 부재(30)가 후퇴하여, 상척과 하척(28A, 28B)이 접근함으로써 박리용 테이프(PT)를 파지한다. 그 후, 당해 척(28)을 좌측 방향으로 이동시켜 박리용 테이프(PT)를 끌어내고, 누름 헤드(34)의 하방으로 박리용 테이프(PT)를 위치시킨다.

다음에 도 4에 도시되는 바와 같이, 히터(34A)에 의해 가열된 누름 헤드(34)를 직동 모터(33)에 의해 하방으로 이동시키고, 박리용 테이프(PT)를 접착 시트(S)에 가열하면서 눌러 첩부한다. 이 때, 전술한 첩부 위치를 설정하는 공정을 행했으므로, 접착 시트(S)가 누름 헤드(34)에 눌려 마운트용 테이프(MT)에 접착하는 것과 같은 일은 없어, 박리용 테이프(PT)의 첩부 위치를 웨이퍼(W)의 외측 가장자리에 가능한 한 근접시키는 것이 가능하게 된다.

박리용 테이프(PT)가 접착 시트(S)에 첩부된 후, 척(28)에 의한 박리용 테이프(PT)의 파지를 해제하고, 모터(M1)에 의해 구동 롤러(26)의 회전을 로킹시킨다. 그리고, 도 5에 도시되는 바와 같이, 접착 시트(S)에 첩부된 박리용 테이프(PT)와 유지 수단(11)이 동 도면 중 좌우방향으로 상대이동하도록, 이동 수단(15)을 통하여 지지 수단(11)을 우측방향으로 이동시킨다. 이것에 의해, 접착 시트(S)가 웨이퍼(W) 위에서 되접히게 되어, 동 도면 중 우측의 외측 가장자리로부터 접착 시트(S)가 박리된다. 이 때, 박리용 테이프(PT)의 첩부 위치를 상기한 바와 같이 설정했으므로, 마운트용 테이프(MT)가 박리용 테이프(PT)에 의해 잡아 당겨지지 않아, 웨이퍼(W)를 파손시키는 것과 같은 문제는 발생하지 않는다.

접착 시트(S)의 박리가 끝나면, 박리용 테이프(PT)에 첩부된 접착 시트(S)가 구동 롤러(26) 및 핀치 롤러(27)의 좌측에서 아래로 늘어뜨려진 상태로 된다. 이 상태에서, 가이드 부재(30)를 진행시켜 실린더(38, 39)를 작동함으로써, 가이드 부재(30) 위에서 박리용 테이프(PT)가 절단된다. 그리고, 유지 수단(11)이 좌측 위치로 되돌아가 도시하지 않은 반송 수단에 의해 링 프레임(RF)과 함께 웨이퍼(W)가 소정 위치로 반송되어, 새로운 링 프레임(RF) 부착의 웨이퍼(W)가 유지 수단(11) 위에 재치되고 이후 상기와 같은 동작이 행해진다.

따라서, 이러한 실시형태에 의하면, 웨이퍼(W)의 외측 가장자리에 누름 헤드(34)에 의해 박리용 테이프(PT)를 누를 수 있어, 웨이퍼(W)의 외측 가장자리로부터 접착 시트(S)의 외측 가장자리가 튀어나와도, 당해 튀어나온 접착 시트(S)를 누르는 것을 방지할 수 있다. 이것에 의해, 접착 시트(S)가 마운트용 테이프(MT)에 접착되는 것을 회피할 수 있어, 접착 시트(S)의 박리시에 웨이퍼(W)가 파손되는 것을 방지하는 것이 가능하게 된다.

이상과 같이, 본 발명을 실시하기 위한 최선의 구성, 방법 등은, 상기 기재에서 개시되어 있는데, 본 발명은 이것에 한정되는 것은 아니다.

즉, 본 발명은, 주로 특정 실시형태에 관하여 특별히 도시, 설명되어 있지만, 본 발명의 기술적 사상 및 원하는 범위로부터 일탈하지 않고, 이상에서 설명한 실시형태에 대하여, 형상, 위치 혹은 배치 등에 관하여, 필요에 따라 당업자가 여러 변경을 가할 수 있는 것이다.

따라서, 상기에 개시한 형상 등을 한정한 기재는 본 발명의 이해를 쉽게 하기 위하여 예시적으로 기재한 것으로, 본 발명을 한정하는 것은 아니므로, 그것들의 형상 등의 한정의 일부 혹은 전부의 한정을 벗어난 부재의 명칭에서의 기재는 본 발명에 포함되는 것이다.

예를 들면, 제어 수단(19)에 있어서의 누름 헤드(34)의 누름 위치를 결정하는 연산방법은, 상기 식 (1)에 한정되는 것이 아니고, 검지 수단(17)의 출력신호와 입력 수단(18)의 보정값에 기초하여 연산하고, 상기 누름 위치를 웨이퍼(W) 외측 가장자리에 근접시키면서, 튀어나온 접착 시트(S)가 다른 부분에 접착되는 것을 방지 가능한 한 여러 변경이 가능하다. 구체적으로는, 상기 입력 수단(18)의 보정값을 상기 이동거리(H2)로 하고, 당해 이동거리(H2)와 검지 수단(17)의 출력신호에 기초하여 누름 헤드(34)에 의한 박리용 테이프(PT)의 누름 위치를 결정해도 된다.

또, 본 발명에서의 피착체로서는, 반도체 웨이퍼에 한정되는 것이 아니고, 유리판, 강판, 또는, 수지판 등, 그 밖의 피착체도 대상으로 할 수 있고, 반도체 웨이퍼는 실리콘 웨이퍼나 화합물 웨이퍼이어도 된다.

또한, 박리용 테이프(PT)는 감열접착성의 접착 테이프 이외에 감압접착성의 접착테이프를 채용해도 된다.

또, 박리용 테이프(PT)와 유지 수단(11)의 상대이동은, 유지 수단(11)이 정지한 상태에서, 박리용 테이프(PT)를 도 5 중 좌측으로 이동하도록 하거나, 양자가 떨어지는 방향으로 이동하도록 구성해도 된다.

또한, 검지 수단(17)을 구성하는 센서는 광전관, 에리어 센서, 카메라 등이어도 된다.

또, 제어 수단(19)은 시퀀서나 pc 등으로 구성할 수 있다.

10 시트 박리 장치
11 유지 수단
12 풀어내기 수단
14 첩부 수단
15 이동 수단
17 검지 수단
18 입력 수단
19 제어 수단
34A 히터(가열 수단)
PT 박리용 테이프
S 접착 시트
W 반도체 웨이퍼(피착체)

Claims

피착체에 첩부된 접착 시트에 박리용 테이프를 첩부하고, 당해 박리용 테이프를 통하여 상기 접착 시트를 피착체로부터 박리하는 시트 박리 장치에 있어서,
상기 피착체를 유지하는 유지 수단과, 상기 박리용 테이프를 풀어내는 풀어내기 수단과, 박리용 테이프를 접착 시트에 눌러 첩부하는 첩부 수단과, 접착 시트에 첩부된 박리용 테이프와 상기 유지 수단을 상대이동시켜 접착 시트를 박리하는 이동 수단과, 상기 피착체에 첩부된 접착 시트의 외측 가장자리 위치를 검지하고, 그 신호를 출력하는 검지 수단과, 이동 수단을 소정 제어하기 위한 보정값을 입력하는 입력 수단과, 상기 검지 수단의 출력신호와 상기 입력 수단의 보정값에 기초하여 접착 시트로의 박리용 테이프의 누름 위치를 결정하고, 당해 누름 위치에서 첩부를 행하도록 이동 수단을 제어하는 제어 수단을 구비하는 것을 특징으로 하는 시트 박리 장치.
제 1 항에 있어서, 상기 보정값은 피착체 외측 가장자리로부터의 접착 시트 외측 가장자리의 튀어나옴량으로 하고,
상기 제어 수단은, 상기 누름 위치를 결정할 때, 이동 수단에 의한 유지 수단의 이동량을 상기 튀어나옴량 만큼 조정하는 것을 특징으로 하는 시트 박리 장치.
제 1 항 또는 제 2 항에 있어서, 상기 첩부 수단은 박리용 테이프를 가열 가능한 가열 수단을 갖는 것을 특징으로 하는 시트 박리 장치.
피착체에 첩부된 접착 시트에 박리용 테이프를 첩부하고, 당해 박리용 테이프를 통하여 상기 접착 시트를 피착체로부터 박리하는 시트 박리 방법에 있어서,
상기 피착체를 유지 수단으로 유지하는 공정과,
상기 피착체에 첩부된 접착 시트의 외측 가장자리 위치를 검지하는 공정과,
상기 검지된 외측 가장자리 위치와 입력 수단에 의해 입력된 보정값에 기초하여 접착 시트로의 박리용 테이프의 누름 위치를 결정하는 공정과,
상기 박리용 테이프를 풀어내는 공정과,
상기 결정된 누름 위치에 박리용 테이프를 첩부하는 공정과,
상기 접착 시트에 첩부된 박리용 테이프와 상기 유지 수단을 상대이동시켜 접착 시트를 박리하는 공정을 구비하고 있는 것을 특징으로 하는 시트 박리 방법.
제 4 항에 있어서, 상기 보정값은 피착체 외측 가장자리로부터의 접착 시트 외측 가장자리의 튀어나옴량으로 하고,
상기 누름 위치를 결정할 때, 유지 수단의 이동량을 상기 튀어나옴량 만큼 조정하는 것을 특징으로 하는 시트 박리 방법.