JP2006073603A - ウエハのアライメント方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 少なくとも表面に保護テープ2が貼り付けられたウエハ1を吸着回転テーブル21で保持して回転させ、赤外線照射ユニット22の赤外線発光素子23とCCDカメラ24を用い、上記ウエハ1の外周部を赤外線によって非接触で検出してアライメントする。
【選択図】 図1
Description
2 保護テープ
3 ダイボンドテープ
4 ノッチ
5 吸着回転テーブル
6 可視光照射ユニット
7 可視光発光素子
8 CCDカメラ
9 光学式検出機構
10 吸着ハンド
11 可視光
12 受光素子
13 フレーム
14 回路パターン
21 吸着回転テーブル
22 赤外線照射ユニット
23 赤外線発光素子
24 CCDカメラ
25 赤外線
26 吸着ハンド
27 センサーフレーム
28 赤外線受光素子
29 非接触ハンド
30 円板
31 ベルヌーイ吸着パッド
32 ストッパー
33 搬送用アーム
34 回転モータ
35 基台
36 貼り付け前ウエハの収納部
37 ダイボンドテープ貼り付け済みウエハ収納部
38 ダイボンドテープ貼り付け部
39 本加熱部
40 カバーシート剥離部
41 アライメントポジション
42 アライメント装置
43 移送ロボット
44 スペーサ搬送機構
45 ウエハ収納容器
46 スペーサ
47 ウエハ収納容器
48 レール
49 昇降シリンダ
50 移動部材
51 吸着テーブル
52 レール
53 スライダ
54 固定枠
55 昇降シリンダ
56 ロボットアーム
57 非接触ハンド
Claims (4)
- 少なくとも表面に保護テープが貼り付けられたウエハを保持して回転させ、このウエハの外周部を赤外線を用いて非接触で検出してアライメントするウエハのアライメント方法。
- 上記ウエハの外周部を、赤外線発光素子とCCDカメラを用いて赤外線で検出する請求項1に記載のウエハのアライメント方法。
- 上記ウエハの外周部を、赤外線発光素子と赤外線受光素子を用いて赤外線で検出する請求項1に記載のウエハのアライメント方法。
- ウエハを非接触式ハンドにて吸着保持しながらアライメントを行う請求項1乃至3の何れかの項に記載のウエハのアライメント方法。
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