WO2014174963A1 - 封止シート切断方法および封止シート切断装置 - Google Patents
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Abstract
Description
前記半導体基板よりも大形の封止シートを当該半導体基板に貼り付ける貼付け過程と、
前記半導体基板に形成されたノッチを覆って貼り付けられた封止シートの当該ノッチ部分を残しながら、第1切断機構に備わった第1切断刃を半導体基板の外径に沿わせて当該封止シートを切断する第1切断過程と、
前記半導体基板の形状に切り抜かれた封止シートを回収する回収過程と、
前記ノッチの開口端の一方から第2切断機構の第2切断刃をノッチに沿わせて奥端まで切り込みを入れる第2切断過程と、
前記ノッチの開口端の他方から第2切断機構の第2切断刃をノッチに沿わせて奥端まで切り込みを入れて前半の切り込みと繋ぎ合わせてノッチ形状に封止シートを切り抜く第3切断過程と、
を備えたことを特徴とする。
前記半導体基板を載置保持する第1保持テーブルと、
前記半導体基板に封止シートを貼り付ける貼付け機構と、
前記半導体基板に形成されたノッチを覆って貼り付けられた封止シートの当該ノッチ部分を残しながら、半導体基板の外形に第1切断刃を沿わせて当該封止シートを切断する第1切断機構と、
前記半導体基板の形状に切り抜かれた残余の封止シートを回収するシート回収機構と、
前記封止シートの貼り付けられた半導体基板を載置保持しながら水平移動するとともに、半導体基板の中心軸周りに回転する第2保持テーブルと、
前記第2保持テーブルに載置保持された半導体基板のノッチを検出する検出器と、
第2切断刃の刃縁をノッチに沿わせて当該ノッチ部分を覆う封止シートを切り抜く第2切断機構を備え、
前記検出器によって検出されたノッチの位置情報に基づいて、第2保持テーブルを回転および水平移動させてノッチの開口端と第2切断刃の刃先を対向するよう位置合わせするごとに、第2切断機構に配備された第2切断刃に対して当該第2保持テーブルを往復移動させる過程で、当該第2切断刃をノッチに沿わせてノッチ奥端まで切り込みを入れ、両切り込みをノッチ奥端で繋ぎ合わせてノッチ形状に封止シートを切り抜くように構成した
ことを特徴とする。
5 … シート供給部
7 … 貼付けユニット
8 … 第1切断機構
9 … 剥離ユニット
10 … シート回収部
11 … 第2切断機構
41 … カッタ(第1切断刃)
50 … 第2保持テーブル
64 … カッタ(第2切断刃)
65 … 吸引ノズル
T … 封止シート
V … ノッチ部分
W … 半導体基板
封止シートTは、例えば、図1および図2に示すように、長尺の封止シートTを巻き回した原反ロールで供給される。また、当該封止シートTは、封止層Mの両面に保護用の第1剥離ライナS1および第2剥離ライナS2が添設されている。
以下、図面を参照し半導体基板(以下、単に「基板」という)に上記封止シートを貼り付ける装置について説明する。
Claims (10)
- 半導体基板に貼り付けられた樹脂組成物からなる封止層の形成された封止シートを切断する封止シート切断方法であって、
前記半導体基板よりも大形の封止シートを当該半導体基板に貼り付ける貼付け過程と、
前記半導体基板に形成されたノッチを覆って貼り付けられた封止シートの当該ノッチ部分を残しながら、第1切断機構に備わった第1切断刃を半導体基板の外径に沿わせて当該封止シートを切断する第1切断過程と、
前記半導体基板の形状に切り抜かれた封止シートを回収する回収過程と、
前記ノッチの開口端の一方から第2切断機構の第2切断刃をノッチに沿わせて奥端まで切り込みを入れる第2切断過程と、
前記ノッチの開口端の他方から第2切断機構の第2切断刃をノッチに沿わせて奥端まで切り込みを入れてノッチ形状に封止シートを切り抜く第3切断過程と、
を備えたことを特徴とする封止シート切断方法。 - 請求項1に記載の封止シート切断方法において、
前記第2切断過程および第3切断過程は、ホルダに揺動可能に軸支された第2切断刃を切り込み方向に弾性付勢させながら封止シートに切り込みを入れる
ことを特徴とする封止シート切断方法。 - 請求項1に記載の封止シート切断方法において、
前記第2切断過程および第3切断過程のうち、少なくとも第3切断過程においてノッチ部分を吸引しながら封止シートを切り抜く
ことを特徴とする封止シート切断方法。 - 請求項1に記載の封止シート切断方法において、
前記第3切断過程の後、ノッチ部分の封止シートの切断不良を検査する検査過程を備えた
ことを特徴とする封止シート切断方法。 - 請求項1に記載の封止シート切断方法において、
前記第1切断過程ないし第3切断過程は、第1切断刃および第2切断刃を加熱器で加熱しながら封止シートを切断する
ことを特徴とする封止シート切断方法。 - 半導体基板に貼り付けられた樹脂組成物からなる封止層の形成された封止シートを切断する封止シート切断装置であって、
前記半導体基板を載置保持する第1保持テーブルと、
前記半導体基板に封止シートを貼り付ける貼付け機構と、
前記半導体基板に形成されたノッチを覆って貼り付けられた封止シートの当該ノッチ部分を残しながら、半導体基板の外形に第1切断刃を沿わせて当該封止シートを切断する第1切断機構と、
前記半導体基板の形状に切り抜かれた残余の封止シートを回収するシート回収機構と、
前記封止シートの貼り付けられた半導体基板を載置保持しながら水平移動するとともに、半導体基板の中心軸周りに回転する第2保持テーブルと、
前記第2保持テーブルに載置保持された半導体基板のノッチを検出する検出器と、
第2切断刃の刃縁をノッチに沿わせて当該ノッチ部分を覆う封止シートを切り抜く第2切断機構を備え、
前記検出器によって検出されたノッチの位置情報に基づいて、第2保持テーブルを回転および水平移動させてノッチの開口端と第2切断刃の刃先を対向するよう位置合わせするごとに、第2切断機構に配備された第2切断刃に対して当該第2保持テーブルを往復移動させる過程で、当該第2切断刃をノッチに沿わせてノッチ奥端まで切り込みを入れ、両切り込みをノッチ奥端で繋ぎ合わせてノッチ形状に封止シートを切り抜くように構成した
ことを特徴とする封止シート切断装置。 - 請求項6に記載の封止シート切断装置において、
前記第2切断刃は、第2切断機構のホルダに揺動可能に軸支されており、かつ、封止シートの切り込み方向に弾性付勢されている
ことを特徴とする封止シート切断装置。 - 請求項6に記載の封止シート切断装置において、
前記半導体基板を挟んで第2切断刃と対向配備され、ノッチ部分を吸引する吸引機構を備えた
ことを特徴とする封止シート切断装置。 - 請求項6に記載の封止シート切断装置において、
前記第2切断刃を加熱する加熱器を備えた
ことを特徴とする封止シート切断装置。 - 請求項6に記載の封止シート切断装置において、
前記ノッチ部分の封止シートの切断の有無を検出する検出器と、
当該検出器からの検出信号に基づいて、ノッチ部分の切断不良を判別する判別部を備えた
ことを特徴とする封止シート切断装置。
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