JP2014053526A - ウエーハの加工方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】表面に格子状に形成されたストリートによって区画された複数の領域にデバイスが形成されたウエーハをストリートに沿って分割するウエーハの加工方法であって、ウエーハの表面に保護部材を貼着する保護部材貼着工程と、ウエーハの裏面側からストリートに沿って切削ブレードを位置付け、ストリートに対応する領域に表面に至らない所定の厚みを残して分割溝を形成する分割溝形成工程と、分割溝形成工程が実施されたウエーハの裏面を環状のフレームに装着されたダイシングテープに貼着するとともに保護部材を剥離するウエーハ支持工程と、ウエーハ支持工程が実施されダイシングテープに貼着されたウエーハに外力を付与し、ウエーハを分割溝が形成されたストリートに沿って個々のデバイスに分割するウエーハ分割工程とを含む。
【選択図】図6
Description
ウエーハの表面に保護部材を貼着する保護部材貼着工程と、
ウエーハの裏面側からストリートに沿って切削ブレードを位置付け、ストリートに対応する領域に表面に至らない所定の厚みを残して分割溝を形成する分割溝形成工程と、
該分割溝形成工程が実施されたウエーハの裏面を環状のフレームに装着されたダイシングテープに貼着するとともに該保護部材を剥離するウエーハ支持工程と、
該ウエーハ支持工程が実施され該ダイシングテープに貼着されたウエーハに外力を付与し、ウエーハを分割溝が形成されたストリートに沿って個々のデバイスに分割するウエーハ分割工程と、を含む、
ことを特徴とするウエーハの加工方法が提供される。
また、上記裏面研削工程を実施した後、上記分割溝形成工程を実施する前にウエーハのストリートに対応する領域における表面の高さ位置を計測し高さデータを作成する高さデータ作成工程を実施し、上記分割溝形成工程は高さデータ作成工程で作成された高さデータに基づいて切削ブレードを制御しウエーハのストリートに対応する領域に表面に至らない所定の厚みを残して分割溝を形成する。
上述したように半導体ウエーハ2の表面2aに形成されたデバイス22を保護するために、半導体ウエーハ2の表面2aに貼着する保護部材としての保護テープ3は、厚みが均一ではない場合がある。保護テープ3の厚みが均一でないと、保護テープ3が表面aに貼着された半導体ウエーハ2は、上記裏面研削工程が実施されると、図10に誇張して示すように裏面2b(上面)が保護テープ3の下面と平行に研削されるため、厚みが不均一となる。このように厚みが不均一に研削された半導体ウエーハ2に対して上記分割溝形成工程を実施すると、半導体ウエーハ2の表面2a側に残存される所定の厚みが不均一となり、次工程であるウエーハ分割工程において欠けが発生したり分割されない部分が生じる原因となる。
21:ストリート
22:デバイス
23:分割溝
3:保護テープ
4:研削装置
41:チャックテーブル
42:研削手段
424:研削ホイール
426:研削砥石
5:切削装置
51:チャックテーブル
52:切削手段
521:切削ブレード
6:ウエーハ分割装置
61:フレーム保持手段
62:テープ拡張手段
63:ピックアップコレット
F:環状のフレーム
T:ダイシングテープ
Claims (3)
- 表面に格子状に形成されたストリートによって区画された複数の領域にデバイスが形成されたウエーハをストリートに沿って分割するウエーハの加工方法であって、
ウエーハの表面に保護部材を貼着する保護部材貼着工程と、
ウエーハの裏面側からストリートに沿って切削ブレードを位置付け、ストリートに対応する領域に表面に至らない所定の厚みを残して分割溝を形成する分割溝形成工程と、
該分割溝形成工程が実施されたウエーハの裏面を環状のフレームに装着されたダイシングテープに貼着するとともに該保護部材を剥離するウエーハ支持工程と、
該ウエーハ支持工程が実施され該ダイシングテープに貼着されたウエーハに外力を付与し、ウエーハを分割溝が形成されたストリートに沿って個々のデバイスに分割するウエーハ分割工程と、を含む、
ことを特徴とするウエーハの加工方法。 - 該保護部材貼着工程を実施した後、該分割溝形成工程を実施する前にウエーハの裏面を研削してウエーハをデバイスの仕上がり厚みに形成する裏面研削工程を実施する、請求項1記載のウエーハの加工方法。
- 該裏面研削工程を実施した後、該分割溝形成工程を実施する前にウエーハのストリートに対応する領域における表面の高さ位置を計測し高さデータを作成する高さデータ作成工程を実施し、該分割溝形成工程は高さデータ作成工程で作成された高さデータに基づいて切削ブレードを制御しウエーハのストリートに対応する領域に表面に至らない所定の厚みを残して分割溝を形成する、請求項2記載のウエーハの加工方法。
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