TWI400458B - 回復支援裝置 - Google Patents

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Noriyoshi Nagata
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Description

回復支援裝置
本發明係有關一種回復支援裝置，其係用以將備有加工工件的機構、搬運機構等之各種驅動機構的裝置中所發生之異常、故障等的錯誤予以顯示，並對該顯示的錯誤之回復程序進行支援者。
可知在習知的顯示裝置、係於備有進行工件加工、搬運的各種驅動機構之裝置或將此等組合的工程中，把在各驅動機構所發生的異常或故障等之錯誤告知操作者。例如，於IC的搬運裝置中備有顯示器，其可在經過自裝載器到卸載器為止的各處理機構進行IC搬運的過程中有發生搬運錯誤的情況下，容易地特定其發生部位。
該顯示器係顯示從裝載器到卸載器之間的主要工程，同時在既發生錯誤的情況，可使其工程部分閃爍。又，於顯示領域的下方，形成可個別地顯示錯誤訊息(參照日本國特開平6-148251號公報的第1圖)。
然而，在以往的顯示裝置中具有如次的問題。
亦即，以往的顯示裝置在對既發生錯誤的工程之特定上是有效的。然而，有關用以獲知其工程的驅動機構在那種狀態下發生錯誤的手段方面，則僅止於被顯示於顯示裝置上的文字資訊而已。因此，具有所謂的在短時間要由其文字資訊來對驅動機構的那個部位正發生錯誤進行特定上，則非得熟練的操作者不可之不理想的情況。
特別是近年來裝置自動化突發猛進，因為操作者變得不需常時管理、所以熟練的操作者減少而不熟練的操作者參與錯誤回復處理之情形逐漸變多。
因此，針對錯誤內容的回復程序係必要參照操作手冊等之書面，其結果為，具有所謂在錯誤的回復處理上耗費時間的問題。
本發明乃有鑒於此種實情而完成者，主要目的為提供一種回復支援裝置，其可特定在工件加工或搬運工程所發生之包含在其工程中之驅動機構的錯誤發生部位、及有效地進行既發生錯誤之回復處理。
本發明為達成該目的，係採用如次那樣的構成。
係把包含有在驅動機構發生的異常、故障等之錯誤的回復支援裝置，前述裝置係包含以下的構成要素：顯示手段，顯示包含複數個前述驅動機構之作動狀況等的各種資訊；檢測手段，檢測在前述驅動機構之至少任一所發生的錯誤，將該檢測結果作為檢測信號進行傳送；記憶手段，將可能在前述驅動機構發生之複數種類的錯誤內容、和藉前述檢測手段所檢測之錯誤內容、以及錯誤發生部位之驅動機構的畫像資料賦予關連，並將該等作為錯誤資訊加以記憶；錯誤選擇手段，將與由前述檢測手段所傳送的檢測信號相 對應之錯誤資訊，自前述記憶手段選擇讀出，並使依據其錯誤資訊所含的錯誤內容和畫像資料的畫像顯示於前述顯示手段；作動狀態確認手段，把依前述錯誤資訊選擇手段而顯示之錯誤的發生部位是否正常作動之狀態顯示於前述顯示手段；及第1畫像切換手段，在利用前述作動狀態確認手段完成了確認錯誤發生部位之作動係正常之後，結束用以表示前述顯示手段所顯示之錯誤內容的畫像。
若依據本發明之回復支援裝置，係利用檢測手段檢測在各種驅動機構所發生之錯誤，並利用錯誤資訊選擇手段從記憶手段讀出依據其檢測信號的錯誤內容及發生部位的畫像資料。然後，將既讀出之屬錯誤資訊的錯誤內容及驅動機構的畫像顯示在顯示手段。因此，可容易由顯示手段所顯示的內容來特定錯誤發生部位。亦即，不限於熟練的操作者而可容易地特定錯誤發生部位，所以能短時間執行回復處理。
又，在施行錯誤發生部位之回復處理後，一進行作動狀態確認手段之操作時，利用顯示手段之畫面可容易地確認其錯誤發生部位是否處於正常的作動狀態。再者，在確認了錯誤發生部位之作動狀態是正常之後，係結束被顯示在顯示手段上用以表示錯誤內容的畫像。亦即，在依據被顯示在顯示手段上的內容而施以錯誤發生部位之回復處理後，可容易地從顯示手段的畫面上確認錯誤之回復狀況。
又，上述回復支援裝置係以具備如次構成者較佳。
具備顯示控制手段，係控制成在既定之驅動機構或複數個驅動機構同時在複數個部位發生錯誤的情況，比較基於各檢測手段所傳送之檢測信號的錯誤內容，考慮回復處理之程序，並以在表示優先等級低的錯誤內容之畫像上積層有優先等級高的畫像的狀態將複數個畫像顯示在前述顯示手段
前述第1畫像切換手段，更在確認了錯誤發生部位正在正常作動時，結束正由前述顯示手段顯示之該錯誤資訊的顯示，並朝位在下層之其他錯誤資訊的畫像順序地切換下去。
若依據該構成，在發生複數個錯誤之情況，應優先執行回復處理之錯誤部位的資訊係藉顯示控制手段而被顯示在顯示手段之畫面上。然後，按被顯示之錯誤內容施以回復處理並在回復處理完了而在操作第1畫像切換手段時，在未處理之錯誤發生部位、必需優先施以回復處理的部位之錯誤內容係被顯示在顯示手段。因此，操作者按照被顯示在顯示手段之畫面的內容僅執行錯誤發生部位之回復處理，不會有弄錯處理程序而對驅動機構或要處理的工件等造成損傷之狀況發生。且變得不需安排既發生之複數個部位的錯誤之回復處理程序。
再者，上述發明裝置係以如次之構成者較佳。
係構建為、前述記憶手段所記憶著的畫像資料，係記憶著在表示前述驅動機構的構成之畫像上用以表示前述檢測手段的位置之第1畫像資料、以及在含有既檢測出錯誤的該檢測手段所特定的錯誤發生部位之文字資訊的狀態下會進行警告錯誤發生之強調顯示用的第2畫像資料，再者，畫像資料生成手段係利用由前述錯誤選擇手段所選擇之錯誤資訊，以在依據前述第1畫像資料而被輸出顯示的第1畫像上、重疊依據第2畫像資料而被輸出顯示的第2畫像的方式生成一對畫像資料；第2畫像切換手段係在基於由前述畫像資料生成手段所生成的畫像資料之畫像既顯示在前述顯示手段時，將顯示在顯示手段上的畫像從上層的第2畫像切換為下層的第1畫像；在藉由前述第2畫像切換手段將顯示於前述顯示手段的畫像切換為第1畫像的狀態下，構建成在前述作動狀態確認手段一被操作時，錯誤發生部位之檢測手段係作動而進行動作確認，在前述驅動機構是處在正常作動狀態時，而驅動機構是處在錯誤發生狀態時的任一情況，使表示在第1畫像上的前述檢測手段之位置進行強調顯示。
若依據該構成，當在任一個驅動機構發生錯誤時，作為表示錯誤發生內容的文字資訊之第2畫像被顯示手段強調顯示。接著，在操作者操作第2切換手段而將顯示手段之畫面從第2畫像切換顯示為第1畫像之後，在用以表示驅動機構的構成之畫像上係顯示既檢測出錯誤發生的檢測手段之位置。因此，錯誤發生部位的特定係更容易。
又，在第2畫像被顯示的狀態，一操作作動狀況確認手段時，檢測手段係進行錯誤發生部位是否正在正常作動之確認。接著，在正常狀態或錯誤發生狀態之任一情況，由顯示手段所示之正發生錯誤之驅動機構上的檢測手段之位置顯示係被強調顯示。因此，操作者無需一邊使驅動機構一邊動作一邊目視錯誤發生部位的動作而進行確認，光是事先觀看顯示手段就可容易地確認動作狀況。亦即，操作者在未參照操作手冊等之情況下、藉由按顯示於顯示手段的內容而施以錯誤之回復處理，而得以不延誤操作程序並在短時間內結束回復處理。
此外，本發明中的顯示手段係藉由觸及與被顯示之畫像對應的部分以行畫像指定之觸控面板式，前述第1及第2切換手段係在畫像上之既定部分作為GUI(Graphical User Interface；圖形使用者介面)而被設置，前述作動狀態確認手段係以作為GUI而被設置在前述第1畫像上之既定部分，同時被構成為每觸及該第1畫像上之既定部分的GUI就使強調顯示與非強調顯示交互地切換者較佳。
若依據該構成，則光是在顯示手段之畫像的顯示領域內就可進行確認所有的確認操作。因此，可省略不必要的動作而圖謀處理作業之效率提升。又，因為一操作切換手段時、顯示形態係進行強調顯示，所以可確認顯示手段是否正常地動作，同時可容易地確認錯誤發生部位是否正常。
此外，錯誤發生部位之文字資訊係例如至少構成為用以表示驅動機構的名稱和驅動機構的錯誤內容之警告文，至少包含有被登錄在操作手冊或回復手冊上的錯誤內容及與錯誤內容賦予關連的錯誤編號當中的錯誤編號。
又，被顯示在第1畫像上之檢測手段的位置及第2畫像之警告的強調顯示，例如是使其部分的光強度變化。
 【發明最佳實施型態】
以下，參照圖面來說明本發明的實施例。
此外，本實施例中，係針對以對半導體晶圓進行保護帶貼附之保護帶貼附裝置上備有回復支援裝置的情況為例進行說明。
第1圖係顯示保護帶貼附裝置之整體構成的立體圖。
該保護帶貼附裝置具備有：裝填有將屬貼合對象物的半導體晶圓W(以下，僅稱之為「晶圓W」)收納之晶圓匣C1、及用以收納保護帶貼附後的晶圓W，之晶圓匣C2的晶圓供給/回收部1；具備機械手臂2的晶圓搬運機構3；對準台4；載置晶圓W並予以吸附保持之夾盤台5；朝晶圓W供給保護帶T的保護帶供給部6；從保護帶供給部6所供給之附剝離帶的保護帶T將剝離帶s1剝離回收的剝離帶回收部7；對載置於夾盤台5並被吸附保持的晶圓W貼附保護帶T的貼附單元8；將貼附於晶圓W上的保護帶T沿著晶圓W外形切下切斷的保護帶切斷機構9；將貼附於晶圓W並被切斷處理後的不要的保護帶T’予以剝離的剝離單元10；將由剝離單元10所剝離之不要的保護帶T’予以捲繞回收的保護帶回收部11；用以執行保護帶供給速度等之各種保護帶貼附條件等的設定輸入之操作部13。以下針對各構造部及機構的具體構成作說明。
晶圓供給/回收部1可並列裝填2台晶圓匣C1及晶圓匣C2。在晶圓匣C1，配線圖案面朝向的多數片晶圓W被以多段式且以水平姿勢被插入收納著。又，在晶圓匣C2，保護帶貼附後之晶圓W’係以多段式且水平姿勢被插入收納。又，晶圓供給/回收部1備有用以檢測各晶圓匣C1及晶圓匣C2位置的感測器。該感測器係在無法檢測各晶圓匣C1、C2的位置之情況，對後述的控制部25傳送信號。
備於晶圓搬運機構3的機械臂部2係構建成可水平進退移動、同時整體形成可驅動旋轉及升降。此外，機械手臂2前端備有未圖示之呈馬蹄形的真空吸附式的保持部，用以對各晶圓匣C1、C2所多段收納之晶圓W彼此的間隙插入保持部以提取晶圓並搬運至各機構、及對保護帶貼附後的晶圓W’彼此的間隙插入保持部以進行收納。
在本實施例之情況，在機械手臂2自晶圓匣C1取出晶圓W時，係成為以對準台4、夾盤台5、及晶圓匣C2的順序來搬運晶圓W。此外，機械臂部2係於驅動部或吸附機構等上具備檢測其作動狀況用的感測器。來自於該感測器的檢測信號係被傳送到後述的控制部25。
對準台4，係執行被形成在晶圓W周緣之V刻痕或定向面等檢測部位的位置檢測，並依據其結果而執行對位。亦即，如第3圖所示，具備用以檢測晶圓W位置之感測器26。該感測器26之檢測信號係被傳送至後述的控制部25。
夾盤台5係成為將從晶圓搬運機構3移載並以既定對位姿勢載置的晶圓W予以真空吸附。又，在該夾盤台5上面形成有切刀運行溝，用以使後述的保護帶切斷機構9所備有的切刃12沿著晶圓W外形旋轉移動而將雙面黏著保護帶T切斷。此外，夾盤台5具備用以對吸附機構之作動/停止狀態作監視的感測器。
保護帶供給部6係被構成為，如第2圖所示般，將自供給捲軸14所陸續抽出之附剝離帶s1的保護帶T捲回引導至導引滾筒群15，並將既剝離剝離帶s1的保護帶T引導於貼附單元8，並對供給捲軸14賦予適度的旋轉阻力而不使過量的保護帶被陸續抽出。此外，保護帶供給部6係備有執行保護帶T之陸續抽出的驅動機構，該驅動機構自體係備有對作動/停止狀態作監視之感測器。
剝離帶回收部7係形成為，用以捲繞從雙面黏著保護帶T剝離的剝離帶s1之回收捲軸16係被旋轉驅動於捲繞方向。
貼附單元8係水平配置著朝向前方之貼附滾筒17。該貼附滾筒17係在依氣缸的伸縮動作而按壓保護帶以貼附晶圓W的作用位置與上方的待機位置之範圍作升降驅動，同時利用未圖示的滑動引導機構及螺紋進給式驅動機構而被往復驅動於圖中左右水平方向。此外，貼附單元8乃如第2圖所示，係具備用以檢測貼附滾筒17是否在待機位置與作用位置之範圍正常地作升降驅動之第1感測器27與第2感測器28之組件。來自於該等第1感測器27及第2感測器28的檢測信號係被傳送到後述的控制部25。
位在作用位置之第1感測器27係用以檢測在進行保護帶T之貼附時、貼附滾筒17是否既下降到正常的既定高度。
位於待機位置上之第2感測器28，係檢測貼附滾筒17在結束保護帶T之貼附後是否既上昇並返回待機位置。
剝離單元10水平配置著朝向前方之剝離滾筒19，形成利用未圖示的滑動引導機構及螺紋進給式驅動機構而被往復驅動於左右水平方向。
保護帶回收部11形成用以捲繞不要的保護帶T’之回收捲軸20係被旋轉驅動於捲繞方向。此外，於保護帶回收部11，有關該旋轉驅動之狀態及不要的保護帶T’的捲繞是否既已裝滿，乃係利用捲繞感測器37逐次地檢測。此外，來自於捲繞感測器37的檢測信號係被傳送到後述的控制部25。
保護帶切斷機構9係構成為，在可升降驅動之未圖示的可動台之下部，並列裝備有一對支持臂部，其可在位於夾盤台5中心上的縱向軸心P之周圍驅動旋動，同時於該支持臂部的自由端側所具備的切刀單元23裝設有刀尖朝下的切刃12，藉支持臂部22在縱向軸心P周圍旋動而使切刃12可沿著晶圓W的外周運行以將保護帶T切下。
此外，保護帶切斷機構9係具備：感測器，用以檢測切刀單元23是否在切斷保護帶T的作用位置和上方的待機位置之範圍內正常地進行升降驅動；以及監視旋轉驅動狀況的感測器。來自於該等感測器的檢測信號係被傳送到後述的控制部25。
操作部13係由觸控面板式之液晶顯示裝置所構成，且依透過被顯示在畫面上之圖文字而由操作者進行操作的介面(以下，僅稱之為「GUI」；GUI：圖形使用者介面)所構成。
控制部25係如第3圖所示，統一地控制晶圓供給/回收部1、搬運機構3、對準台4、夾盤台5、貼附單元8、和保護帶切斷機構9及保護帶回收部11的動作，同時接收來自該等各部所備有的各感測器所傳送來的信號以監視各部的動作狀況。當從各感測器傳送來表示異常的錯誤信號時，從記憶部選擇因應其錯誤內容的各資訊並顯示於操作部13的液晶顯示裝置。此外，有關控制部25之具體的處理將於後面述及。
在本實施例的情況，上述各部所具備的感測器係相當於本發明的檢測手段。
其次，有關使用上述實施例裝置對晶圓W貼附保護帶T的過程、和針對在驅動機構部分發生異常或故障等之錯誤、以及迄至回復之前的回復支援裝置之處理，茲依據第3圖所示之裝置構成的方塊圖、第4圖所示的流程、及第5圖~第9圖所示的顯示畫面之圖面作說明。
在對保護帶貼附裝置之起始設定完了且自控制部25發出作動指令時，利用晶圓搬運機構3將晶圓匣C1或C2所收納的晶圓W取出並貼附保護帶T後，迄至晶圓HW再回收到任一晶圓匣之前的處理係被自動反覆執行(步驟S1)。
具體而言，機械手臂2係朝向被載置裝填於晶圓供給/回收部1的晶圓匣C1或晶圓匣C2移動，前端的保持部係將收容於任一晶圓匣的晶圓W吸附保持並予以搬出。機械手臂2將既取出的晶圓W移載於對準台4。
在對準台4對所載置的晶圓W進行對位。而在晶圓W的對位一結束時，機械手臂2再度將晶圓W吸附保持而搬運載置於夾盤台5。
在夾盤台5，貼附單元之貼附滾筒17下降並在保護帶T上按壓轉動，以將該保護帶T貼附於晶圓W。貼附滾筒17一到達貼附結束端時會上昇。其後，保護帶切斷機構9之切刀單元23下降到切斷作用位置，利用其前端所具備的切刃12將保護帶T沿著晶圓W的外周切斷。在切斷一結束後，切刀單元23係上昇並返回待機位置。
在切刀單元23一返回待機位置時，剝離單元10係於圖中右方向移動以剝離切斷後之不要的保護帶T’。剝離單元10一到達剝離結束端時，該剝離單元10和貼附單元8係返回貼附起始位置。此時，既上昇的貼附滾筒17係正返回待機位置。
被貼附著保護帶T的晶圓W係被機械臂部2吸附搬運，而回收到晶圓匣C1或C2。在該保護帶T被貼附於晶圓W的期間，下個保護帶貼附對象之晶圓W被機械臂部2自晶圓匣取出並載置於對準台4。該一連串的處理係被反覆執行。
在該處理過程，例如若假設成、以屬貼附滾筒17之升降異常的第1錯誤發生(步驟S2)、屬在對準台4之晶圓W位置檢測異常的第2錯誤發生(步驟S3)之順序略同時地發生錯誤時，則自既檢出錯誤的各感測器依序將錯誤信號傳送至控制部25的錯誤資訊選擇部29。亦即，經由以下的處理，錯誤內容被顯示於液晶顯示裝置13的畫面上。此外，錯誤資訊選擇部29係相當於本發明之錯誤資訊選擇手段。
首先，在步驟S1，在貼附滾筒17進行保護帶T之貼附動作之前，係由待機位置下降到作用位置。但是，在第1感測器27無法檢測到貼附滾筒17既已在距下降開始時間點的既定時間內下降到作用位置之情況，該第1感測器27係將錯誤信號傳送到控制部25之錯誤資訊選擇部29。
又，在把要先行處理的晶圓W載置於夾盤台5之後，機械手臂2係將新的晶圓W從晶圓匣C1取出並載置於對準台4的保持台。
晶圓W被載置後，構建對準台4的保持台30係以吸附保持著晶圓W的狀態而在中心縱向軸P周圍旋轉。在該旋轉過程進行晶圓W之刻痕的檢測處理。亦即，感測器26是受光感測器，如第5圖所示，係與保持台在中心縱向軸P之周圍旋轉驅動而連動地作動，且在包夾晶圓W而與光源31對向配置的位置接收來自於上方的光源31並被朝晶圓外周照射的光。因此，旋轉驅動信號自控制部25被傳送到保持台30、同時感測器26作動，光強度的信號係自感測器26被傳送到控制部25。
控制部25係自該信號利用比較演算來求取光強度變化的位置。而在無法求取演算的結果，光強度之變化的情況，係判斷保持台30之旋轉驅動機構的作動錯誤，將錯誤信號對錯誤資訊選擇部29傳送(步驟S2)。
錯誤資訊選擇部29，係將從預先記憶在記憶部32的錯誤資訊所接收的錯誤信號之對應資訊選擇讀出。亦即，於記憶部32中預先記憶著畫像資料，其用以表示基於來自裝置所備有的各感測器之錯誤信號所決定的錯誤內容和錯誤發生部位。(步驟S3)。此外，記憶部相當於本發明的記憶手段。
依錯誤資訊選擇部29而被讀出之兩錯誤資訊係被送往顯示控制部33。相當於顯示控制手段的顯示控制部33係判斷是否應將任一錯誤優先地回復。在該情況，例如，從驅動機構所備有之各感測器取得驅動部之現在位置資訊，判斷若以任一順序進行回復作業是否會使驅動部彼此接觸而造成損傷等情況。在本實施例之情況，係判斷在貼附滾筒17所發生的錯誤比起在對準台4發生的錯誤，其優先等級較高(步驟S4)。
在藉由顯示控制部33決定錯誤顯示之優先等級後，其優先資訊被傳送到畫像資料生成部34。畫像資料生成部34係依據記憶部32所儲存之錯誤資訊和優先資訊，於各錯誤信號生成由將錯誤警告作文字顯示的第1畫像、及表示錯誤發生部位之驅動機構的概略構成之第2畫像所成的1組畫像。亦即、第1畫像35a，如第6圖所示般，係於液晶顯示裝置13之畫面上顯示有，例如在以紅色強調的面上出現『錯誤』的文字、錯誤編號(圖中的1507)、和錯誤發生部位及屬內容的『貼附滾筒下降錯誤』之文字、及檢測到錯誤之感測器編號(L 091)。此外，錯誤編號係以在欲知更詳細錯誤內容之情況可參照操作/回復手冊等方式而既被登錄者。
又，於第1畫面內設置有複數個GUIa~g，當一觸及該等部位時，畫面係切換而有適宜的資訊被顯示於畫面上。當碰觸該等GUI之中的右上記載著『訊息清除』的GUIa時，自錯誤警告顯示，顯示如第7圖所示之用以表示錯誤發生部位之驅動機構的概略構成、及設置在各驅動部之感測器的位置之第2畫像36a。此外，記載著『訊息清除』的GUIa，係作為本案發明之第2切換手段來發揮作用。
具體而言，於中央顯示有貼附單元8之構成，並顯示貼附滾筒17所設之第1感測器27和第2感測器28，及檢測不要的保護帶T’之捲繞是否既已裝滿所用的感測器37。此外，此等各感測器之顯示係因貼附單元8發生錯誤所引發之驅動停止而被不清晰地顯示著。在各機構是正常地動作之情況，感測器部分係例如被強調顯示成紅色。
又，在畫面之左右係顯示著各驅動部分的名稱與代碼編號，代碼編號係成為GUI顯示(步驟S5)。
操作者係看見在第2畫像36a所顯示之錯誤發生部位的貼附滾筒17之位置與第1感測器27之位置而特定錯誤發生部位並著手於回復作業(步驟S6)。
操作者係於判斷回復作業既已完了時，自液晶顯示裝置13之畫面下的區域所設之具有文字顯示的GUI『錯誤』、『正確』、『主頁』及『前頁』當中，選擇並觸碰『正確』。該部分每一被觸碰時，背景色係交互地切換為紅色的強調顯示及不清晰之非強調顯示。亦即，當執行接觸操作時，作動信號從控制部25被傳送到貼附單元8而使貼附單元8作動。同時，在各驅動部正常地作動時，感測器被以紅色作強調顯示。如果，在就算是對『正確』作操作，而既檢測出錯誤發生部位的第2感測器36未被強調顯示的情況係意味著第2感測器部分係維持非強調顯示且回復也未完了。因此，成為反覆進行回復處理及回復確認之操作(步驟S7)。此外，該記載著『正確』的GUI係相當於本案發明的作動狀態確認手段。
在確認了貼附滾筒17之下降錯誤的回復既已完了時，依控制部25所備有的判定部38而在既定時間經過後，例如於數秒後，有關貼附單元7之錯誤內容的顯示畫面全被消去，而會有如次的錯誤內容被顯示於液晶顯示裝置13的畫面上。亦即，如第8圖所示般，於被強調顯示為紅色的面上顯示記載有『錯誤』之文字、錯誤編號、錯誤發生部位與內容、及既已檢出錯誤之感測器編號的第1畫像35b(步驟S8)。
與上述步驟S5同樣地，一觸及記載著『訊息清除』的GUIa時，則顯示表示對準台構成與感測器位置之第2畫像36b。操作者係由該第2畫像36b特定錯誤發生部位並著手於回復作業(步驟S9)。
操作者係在判斷回復作業既已完了時，操作液晶顯示裝置之畫面下的區域所設的『正確』以確認是否既已正常地回復。而於該時間點，在錯誤回復完了時，依判定部38而在數秒後使液晶顯示裝置13之畫面上顯示的錯誤內容全部結束。然後，返回通常之自動運轉的畫面，使保護帶T之貼附開始自動運轉。其後，確認保護帶T之貼附對象的晶圓W是否達到既定數(步驟S10)。若達到既定數則結束貼附處理，而若未達到既定數，則繼續依自動運轉的處理。以上，錯誤發生時之一連串的錯誤警告顯示及回復處理係完了。此外，判定部38係作為本發明的第1畫像切換手段來發揮作用。
如同上述，當在任一個驅動機構發生由故障或異常所引起的錯誤時，於液晶顯示裝置13之畫面上，將文字資訊的錯誤內容及檢測出錯誤發生之感測器顯示於第1畫像。在以該第1畫像確認了錯誤內容之後，切換成位於第1畫像下層之第2畫像，藉此使既發生錯誤之部位被顯示於表示驅動機構之構成的圖案之中，所以就算是不熟練的操作者也可容易地特定錯誤發生部位。
又，在執行了錯誤發生部位之回復作業後，若操作被顯示在液晶顯示裝置13的畫面之『正確』的GUI，則驅動機構成為作動狀態，而錯誤發生部位的感測器係執行錯誤發生部位之動作確認。該動作確認之結果，在既回復成正常的情況，因為感測器的部分會被強調顯示，所以操作者並不需目視驅動裝置自體以進行錯誤之回復是否既正常地完了的動作檢核。亦即，操作者光是操作液晶顯示裝置13就可容易地對錯誤內容及回復完了進行確認。
又，在複數個錯誤是同時或略同時發生的情況，係以在執行錯誤回復處理的過程不會發生驅動部彼此衝突、相互干涉的方式決定回復程序之優先等級，再以優先等級高的錯誤內容之順序被顯示於液晶顯示裝置13的畫面。若按其內容作回復處理，則可在未對驅動部等造成損傷等之情況下有效率地進行回復處理。又，因為只要確認畫面上的內容並從畫面上進行各種操作即可、所以無需參照操作手冊等。亦即，即使是不熟練的操作者也不會弄錯處理程序而可縮短處理時間並能圖謀作業效率之提升。
此外，本發明也能以如下那樣的形態來實施。
(1)在上述各實施例中，係於錯誤同時在複數個部位發生的情況，考慮回復的優先等級而決定錯誤的顯示順序，但不限於該形態，例如也可以是發生錯誤的順序。
(2)上述實施例中，係針對保護帶貼附裝置備有回復支援裝置的情況為例所作的說明，但亦可適用於備有驅動機構的其他裝置上。
(3)上述實施例中，若操作第2畫像之記載著『正確』的GUI的話，則在經過既定時間之後，液晶顯示裝置13的畫面係依據判定部38的指令而回復成自動運轉用之畫面，但是也可以設置與利用判定部38作判定不同之可供操作的GUI，而能依操作者的操作而回復成自動運轉用的畫面。
(4)上述實施例中是毎在畫面所顯示之錯誤回復時，結束其錯誤內容的顯示，但是也可以是如次的構成。
例如，也可構成為、在錯誤回復處理後，即使下一個錯誤顯示畫面被顯示於液晶顯示裝置13的畫面上，只要執行對畫面右下之記載著『前頁』的GUI進行觸摸操作的話，則按順序確認先前既完了的錯誤內容等。
※雖然針對本發明進行說明而圖式了認為現在再合適的幾個形態，但期能理解本發明並未受圖示那樣的構成及對策所限定。
1‧‧‧晶圓供給/回收部
2‧‧‧機械手臂
3‧‧‧搬運機構
4‧‧‧對準台
5‧‧‧夾盤台
6‧‧‧保護帶供給部
7‧‧‧回收部
8‧‧‧貼附單元
9‧‧‧切斷機構
10‧‧‧剝離單元
11‧‧‧回收部
12‧‧‧切刃
13‧‧‧操作部
14‧‧‧供給捲軸
15‧‧‧導引滾筒群
17‧‧‧貼附滾筒
19‧‧‧剝離滾筒
20‧‧‧回收捲軸
23．．．切刀單元
25．．．控制部
26．．．感測器
27．．．第1感測器
28．．．第2感測器
29．．．錯誤資訊選擇部
30．．．保持台
32．．．記憶部
33．．．顯示控制部
34．．．畫像資料生成部
35a．．．第1畫像
36a．．．第2畫像
37．．．感測器
38．．．判定部
W．．．半導體晶圓
C1、C2．．．晶圓匣
第1圖係表示本發明之一實施例所涉及的保護帶貼附裝置之整體立體圖，第2圖係表示貼附單元的概略構成之側視圖，第3圖係表示本實施例所涉及的保護帶貼附裝置之電氣構成方塊圖，第4圖係表示錯誤顯示處理程序的流程，第5圖係表示對準台之概略構成的側視圖，第6圖係表示第1錯誤內容的第1畫像，第7圖係表示第1錯誤內容的第2畫像，第8圖係表示第2錯誤內容的第1畫像，第9圖係表示第2錯誤內容的第2畫像。
※本發明可在未逸脫該思想或本質之下以其他的具體形態來實施，因此，用以表示本發明的範圍並非以上的說明，而是應參照所附加的申請專利範圍。

Claims (8)

  1. 一種回復支援裝置，係包含有在驅動機構發生的異常、故障等之錯誤的回復支援裝置，前述裝置係包含以下的構成要素：顯示手段，顯示包含複數個前述驅動機構之作動狀況等的各種資訊；檢測手段，檢測在前述驅動機構之至少任一者所發生的錯誤，將該檢測結果作為檢測信號進行傳送；記憶手段，將可在前述驅動機構發生之複數種類的錯誤內容、和藉前述檢測手段所檢測之錯誤內容、以及錯誤發生部位之驅動機構的畫像資料賦予關連，並將該等作為錯誤資訊加以記憶；錯誤選擇手段，將與由前述檢測手段所傳送的檢測信號相對應之錯誤資訊，自前述記憶手段選擇讀出，並使依據其錯誤資訊所含的錯誤內容和畫像資料的畫像顯示於前述顯示手段；作動狀態確認手段，把依前述錯誤資訊選擇手段而顯示之錯誤的發生部位是否正常作動之狀態顯示於前述顯示手段；及第1畫像切換手段，在利用前述作動狀態確認手段完成了確認錯誤發生部位之作動係正常之後，結束用以表示前述顯示手段所顯示之錯誤內容的畫像。
  2. 如申請專利範圍第1項所記載之回復支援裝置，其中具備顯示控制手段，係控制成在既定之驅動機構或複數個驅動機構同時在複數個部位發生錯誤的情況，比較基於各檢測手段所傳送之檢測信號的錯誤內容，考慮回復處理之程序，並以在表示優先等級低的錯誤內容之畫像上會有優先等級高的畫像層疊的狀態，將複數個畫像顯示在前述顯示手段，前述第1畫像切換手段，更在確認了錯誤發生部位正在正常作動時，結束正由前述顯示手段顯示之該錯誤資訊的顯示，並朝位在下層之其他錯誤資訊的畫像順序地切換下去。
  3. 如申請專利範圍第2項所記載之回復支援裝置，其中前述記憶手段所記憶著的畫像資料，係記憶著在表示前述驅動機構的構成之畫像上用以表示前述檢測手段的位置之第1畫像資料、以及在含有既檢測出錯誤的該檢測手段所特定的錯誤發生部位之文字資訊的狀態下會進行警告錯誤發生之強調顯示用的第2畫像資料，再者，畫像資料生成手段係利用由前述錯誤選擇手段所選擇之錯誤資訊，以在依據前述第1畫像資料而被輸出顯示的第1畫像上，重疊依據第2畫像資料而被輸出顯示的第2畫像的方式生成一對畫像資料；第2畫像切換手段係在基於由前述畫像資料生成手段所生成的畫像資料之畫像既顯示在前述顯示手段時， 將顯示在顯示手段上的畫像從上層的第2畫像切換為下層的第1畫像；建構成在藉由前述第2畫像切換手段將顯示於前述顯示手段的畫像切換為第1畫像的狀態下，在前述作動狀態確認手段一被操作時，錯誤發生部位之檢測手段係作動而進行動作確認，在前述驅動機構是處在正常作動狀態時，而驅動機構是處在錯誤發生狀態時的任一情況，使表示在第1畫像上的前述檢測手段之位置進行強調顯示。
  4. 如申請專利範圍第3項所記載之回復支援裝置，其中前述顯示手段係藉由觸及與被顯示之畫像對應的部分以進行畫像指定之觸控面板式，前述第1及第2切換手段係在畫像上之既定部分作為GUI(Graphical User Interface：圖形使用者介面)而被設置，前述作動狀態確認手段係作為GUI而被設置在前述第1畫像上之既定部分，同時被構成為每觸及該第1畫像上之既定部分的GUI就使強調顯示與非強調顯示交互地切換。
  5. 如申請專利範圍第3項所記載之回復支援裝置，其中，前述錯誤發生部位之文字資訊係至少構成為用以表示驅動機構的名稱和驅動機構的錯誤內容之警告文。
  6. 如申請專利範圍第3項所記載之回復支援裝置，其中， 前述錯誤發生部位之文字資訊係構成為，至少包含有被登錄在操作手冊或回復手冊上的錯誤內容及與錯誤內容賦予關連的錯誤編號當中的錯誤編號。
  7. 如申請專利範圍第3項所記載之回復支援裝置，其中，前述第2畫像之強調顯示及第1畫像上所顯示之前述檢測手段的位置之強調顯示，係表示檢測手段的部分之顏色變化。
  8. 如申請專利範圍第3項所記載之回復支援裝置，其中，前述第1畫像上所顯示之前述檢測手段的位置及前述第2畫像之警告的強調顯示，係其部分之光的強度變化。
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