JP2002270481A - 試料自動回収システム - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】装置が停止してその復旧の後に確実に試料の有
無を判断し、人の手作業による回収の手間を減らして自
動的に試料を回収して無人化に貢献できること。 【解決手段】装置の通常の動作中に搬送エラー等が発生
して装置全体が停止し、その復旧後に、試料搬送部４と
試料位置合わせ部５と試料検査部６とにおいてそれぞれ
試料３を吸着動作を試み、各真空センサ１２、１３、１
４から出力される検出信号のオン（吸着可能）、オフ
（吸着不可能）から試料搬送部４と試料位置合わせ部５
と試料検査部６とにおけるそれぞれの試料３の有無を判
断する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、例えば半導体デバ
イスなどの試料を吸着保持しながら試料位置合わせ部や
試料検査部に搬送して試料の欠陥検査を行なう試料検査
装置に係わり、当該装置に緊急停止などが発生してその
復旧の後に、試料の回収を行なう試料自動回収システム
に関する。

【０００２】

【従来の技術】例えば半導体デバイスの製造ライン内で
基板の搬送エラーが発生したときに基板の復帰処理を行
なう技術しては、例えば特開平１０−１２７０２号公報
がある。この技術は、デバイス製造ライン内での基板の
処理状況を常時監視し、搬送エラーが発生したときに監
視している処理状況に基づいてデバイス製造ライン内に
存在する全ての基板について各々の基板が搬出された搬
出元格納部を判別して、全ての基板を判別された搬出元
格納部に搬送して回収し、この回収された後に、搬出元
格納部に回収された基板の処理を再開するもので、基板
の処理を再開する前に搬出元格納部に回収された基板の
うち処理済の基板については搬入先格納部に搬送するも
のである。なお、自動回収の前に、自動回収不可能な基
板が存在する場合には、オペレータの手作業によりその
基板を回収し、その後に復帰の指示を与えて自動回収す
る。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記技
術では、搬送エラーが発生したときに、監視している処
理状況に基づいてデバイス製造ライン内に存在する基板
の有無を判断しているが、この判断では実際にその場所
に基板が存在しているか否かを適確に判断することは困
難である。

【０００４】又、自動回収の前に、自動回収不可能な基
板をオペレータの手作業により回収し、その後に復帰の
指示を与えて自動回収するというように、試料の自動回
収を人（オペレータ）が行なうかどうかの判断を自動回
収する前に行なっているために、人に対する負担が多く
なっている。

【０００５】又、搬送エラーが発生したときに、監視し
ている処理状況に基づいて自動回収を行なっているが、
瞬時停止時等のマンマシンコントローラでの監視してい
る処理状況の記録ミスやマンマシンコントローラの故障
時には、自動回収に対処できなくなるおそれがある。

【０００６】そこで本発明は、装置が停止してその復旧
の後に確実に試料の有無を判断できる試料自動回収シス
テムを提供することを目的とする。

【０００７】又、本発明は、装置が停止してその復旧の
後に確実に試料の有無を判断し、人の手作業による回収
の手間を減らして自動的に試料を回収して無人化に貢献
できる試料自動回収システムを提供することを目的とす
る。

【０００８】

【課題を解決するための手段】請求項１記載による本発
明は、半導体デバイスを搬送部により吸着保持しながら
各工程間に搬送する半導体製造装置において、この半導
体製造装置が停止してからの復旧後に、前記搬送部や前
記工程においてそれぞれ吸着動作を試みる手段と、これ
ら吸着の可能又は不可能により前記搬送部や前記工程に
おけるそれぞれでの前記半導体デバイスの有無を判断す
る手段と、この有無判断において前記半導体デバイスが
有ると判断された場合にその半導体デバイスを前記搬送
部により自動回収する手段とを具備したことを特徴とす
る試料自動回収システムである。

【０００９】請求項２記載による本発明は、試料を吸着
保持して位置合わせを行なう試料位置合わせ部と、前記
試料を吸着保持して前記試料の少なくとも欠陥の検査を
行なう試料検査部と、前記試料を試料保管部から取り出
して吸着保持し、前記試料を前記試料保管部と前記試料
位置合わせ部と前記試料検査部との間に搬送する試料搬
送部とからなる試料検査装置において、この試料検査装
置が停止してからの復旧後に、前記試料位置合わせ部と
前記試料検査部と前記試料搬送部においてそれぞれ吸着
動作を試みる手段と、これら吸着の可能又は不可能によ
り前記試料位置合わせ部と前記試料検査部と前記試料搬
送部とのそれぞれで前記試料の有無を判断する手段とを
具備したことを特徴とする試料自動回収システムであ
る。

【００１０】請求項３記載による本発明は、請求項２記
載の試料自動回収システムにおいて、前記吸着動作を試
みたところ吸着不可能であれば、前記試料検査装置の検
査状況の記録から前記試料の有無を判断し、前記試料が
有ることになっていれば試料有りの報知を行ない、前記
試料が無いことになっていれば前記試料の無しと判断す
る手段を備えたことを特徴とする。

【００１１】請求項４記載による本発明は、請求項２又
は３記載の試料自動回収システムにおいて、前記吸着動
作を試みたところ吸着可能で前記試料が有る場合、前記
試料検査装置の検査状況の記録から前記試料保管部にお
ける収納可能なスペースを確認し、当該スペースに前記
試料を前記試料搬送部を動作させて回収させる手段を備
えたことを特徴とする。

【００１２】請求項５記載による本発明は、請求項４記
載の試料自動回収システムにおいて、前記前記試料保管
部に前記試料を回収できない場合にその旨を報知するこ
とを特徴とする。

【００１３】請求項６記載による本発明は、請求項２乃
至５のうちいずれか１項記載の試料自動回収システムに
おいて、前記吸着動作を試みたところ吸着不可能であれ
ば、試料有無確認センサにより前記試料の有無を検出す
る手段を備えたことを特徴とする。

【００１４】請求項７記載による本発明は、請求項２乃
至６のうちいずれか１記載の試料自動回収システムにお
いて、前記吸着動作を試みたところ吸着不可能であれ
ば、試料有無確認センサにより前記試料の有無を検出す
る手段と、この検出により前記試料が有れば、試料修正
用センサの検出信号に基づいて前記試料の姿勢のずれ量
を検出する手段と、前記基板を前記試料保管部に回収す
るときに前記基板を前記姿勢のずれ量に基づいて姿勢を
修正して前記試料保管部に収納する手段とを備えたこと
を特徴とする。

【００１５】

【発明の実施の形態】以下、本発明の一実施の形態につ
いて図面を参照して説明する。

【００１６】図１は本発明の試料自動回収システムを備
えた試料検査装置の全体構成図である。装置本体１に
は、試料保管部２が設けられている。この試料保管部２
は、例えば半導体ウエハやフラットディスプレイのガラ
ス基板などの半導体デバイスを含む吸着搬送可能な試料
３がを上下方向に所定間隔で複数の収納するカセットで
ある。

【００１７】試料搬送部４は、ロボットハンド等により
試料３を吸着保持して試料保管部２と試料位置合わせ部
５と試料検査部６との相互間を搬送し、これら試料保管
部２と試料位置合わせ部５と試料検査部６とに対してそ
れぞれ試料３の受け渡しを行なうものである。

【００１８】試料位置合わせ部５は、試料保管部２に揃
えられずに収納されている試料３を、試料検査部６に受
け渡すときに、試料３の向きや中心位置を合わせる機能
を有している。例えば試料３が半導体ウエハであれば、
この半導体ウエハのオリフラやノッチの位置及び半導体
ウエハの中心ずれを検出して、この検出結果に基づいて
半導体ウエハの向き中心を位置合わせを行なっている。

【００１９】試料検査部６は、試料位置合わせ部５によ
り位置合わせされた試料３を試料搬送部４から受け取っ
て吸着保持し、この状態で試料３を顕微鏡を通してＣＣ
Ｄカメラ等の撮像装置により撮像して試料３の拡大画像
を取得し、この拡大画像から試料３上の欠陥を検出する
機能を有している。又、この試料検査部６は、試料位置
合わせ部５により位置合わせされた試料３を試料搬送部
４から受け取って吸着保持し、この状態で試料３にライ
ン照明光を照射し、その回折光をラインセンサカメラ等
の撮像装置により撮像し、その画像から試料３上の欠陥
を検出するものであってもよい。

【００２０】これら試料搬送部４のロボットハンドと試
料位置合わせ部５の回転テーブルと試料検査部６の試料
ホルダの各吸着部には、真空引き管９、１０、１１が接
続され、真空供給口７を介して真空源８が接続されてい
る。真空源８は、試料搬送部４と試料位置合わせ部５と
試料検査部６とにおいて試料３を吸着保持するために必
要な吸引力となるように真空引きするものである。

【００２１】これら真空引き管９、１０、１１には、そ
れぞれ真空センサ１２、１３、１４が接続されている。
これら真空センサ１２、１３、１４は、それぞれ試料搬
送部４、試料位置合わせ部５及び試料検査部６において
試料３の有無及び吸着不良を検出するためのもので、真
空引きの掛かる状態、すなわち試料３が吸着されている
ときオンの検出信号、試料３が吸着されていないとき
や、吸着不良のときにオフの検出信号を出力するものと
なる。

【００２２】又、試料搬送部４、試料位置合わせ部５及
び試料検査部６には、それぞれ試料有無確認センサ１
５、１６、１７が設けられている。これら試料有無確認
センサ１５、１６、１７は、試料搬送部４、試料位置合
わせ部５及び試料検査部６においてそれぞれ試料３が有
るか無いか又は試料３の位置ずれを検出するもので、例
えば反射センサ又は遮光センサが用いられている。

【００２３】試料保管部３と試料搬送部４との間の搬送
路上には、自動修正用センサ１８が設けられている。こ
の自動修正用センサ１８は、検査が終了した試料３を試
料搬送部４により試料保管部２内に戻すときに試料３の
挿入姿勢を修正するためにその姿勢ずれを検出するもの
である。この自動修正用センサ１８は、例えばラインセ
ンサが用いられている。この自動修正用センサ１８によ
る検査結果に基づいて試料搬送部４のロボットハンドを
制御し、試料３が試料保管部２に正しく挿入できるよう
に少なくとも左右に対する中心ずれを修正する。

【００２４】なお、この自動修正用センサ１８は、例え
ば図２に示すように試料搬送部４の搬送路（試料３の搬
送路）上の両側にそれぞれセンサ１９ａ、１９ｂを配置
した構成にしてもよい。

【００２５】さらに、この自動修正用センサ１８と上記
試料有無確認センサ１５とを兼用し、１つの自動修正・
試料有無確認センサとして構成してもよい。

【００２６】装置コントローラ２０は、試料検査装置の
動作全体を制御するもので、試料搬送部４、試料位置合
わせ部５及び試料検査部６に各種の制御指令を発すると
共に、これら試料搬送部４、試料位置合わせ部５及び試
料検査部６のシーケンスが動作状況及び検査状況を記録
し、かつ各真空センサ１２、１３、１４から出力される
検出信号を取り込む機能を有している。

【００２７】具体的には、吸着試み手段２１は、本試料
検査装置が何らかの原因により停止してからの復旧する
際に、真空源８を動作させて試料搬送部４と試料位置合
わせ部５と試料検査部６とにおいてそれぞれ吸着動作を
試みさせる機能を有している。

【００２８】試料有無手段２２は、上記吸着試み手段２
１により各真空引き管９、１０、１１の図示しないバル
ブを開放し、試料搬送部４と試料位置合わせ部５と試料
検査部６に対して吸着を試みたときの各真空センサ１
２、１３、１４から出力される検出信号を取り込み、こ
れら検出信号のオン（吸着可能）、オフ（吸着不可能又
は吸着不良）から試料搬送部４と試料位置合わせ部５と
試料検査部６とのそれぞれで試料３の有無を判断する機
能を有している。

【００２９】検査状況手段２３は、上記吸着試み手段２
１により吸着動作を試みたところ吸着不可能若しくは吸
着不良と判断されれば、試料検査装置の検査状況（検査
ログ）の記録から試料３の現在位置を確認し、試料搬送
部４、試料位置合わせ部５、試料検査部６に試料３が有
ることになっていれば試料有りの報知を行ない、試料３
が無いことになっていれば試料３の無しを判断する機能
を有している。

【００３０】回収手段２４は、検査状況手段２３により
確認された位置に対応する真空引き管９、１０、１１の
バルブを上記吸着試み手段２１により開放させて吸着動
作を試みたところ吸着可能で試料３の回収ができる場
合、試料検査装置の検査状況の記録から試料保管部２に
おける収納可能なスペースを確認し、当該スペースに試
料３を試料搬送部４を動作させて回収させる機能を有し
ている。

【００３１】報知手段２５は、上記回収手段２４により
試料保管部２における収納可能なスペースへの試料３の
回収ができない場合、表示装置２９や音声、ブザー等に
よりその旨を報知する機能を有している。

【００３２】センサ確認手段２６は、シーケンス動作状
況及び検査状況の記録から試料３の位置が判断でき、上
記吸着試み手段２１により吸着動作を試みたところ吸着
不可能であれば、試料搬送部４と試料位置合わせ部５と
試料検査部６とにそれぞれ設けられた各試料有無確認セ
ンサ１５、１６、１７から出力される検出信号により試
料３の有無及び搬送位置（現在位置）を検出する機能を
有している。

【００３３】位置ずれ検出手段２７は、各試料有無確認
センサ１５、１６、１７から出力される検出信号により
試料３が有ると判断されれば、自動修正用センサ１８の
検出信号に基づいて試料３の姿勢のずれ量（ＸＹＺ方
向）を求める機能を有している。

【００３４】位置修正手段２８は、位置ずれ検出手段２
７で求められた試料３の姿勢のずれ量に基づいて試料搬
送部４のロボットアームを制御し、試料３の搬入姿勢を
修正して試料３を試料保管部２に収納する機能を有して
いる。

【００３５】次に、上記の如く構成された装置の通常の
動作について説明する。

【００３６】試料搬送部４は、試料保管部２の前方に移
動して停止し、この試料保管部２から未検査の試料３を
取り出して吸着保持する。この試料搬送部４は、試料３
を吸着保持した状態で移動し、試料位置合わせ部５の前
方に到達し、試料３をこの試料位置合わせ部５に受け渡
す。

【００３７】この試料位置合わせ部５は、試料３を受け
取って吸着保持し、この試料３を試料検査部６に受け渡
すときの向きを揃えるために試料３の向きを位置合わせ
する。例えば試料３が半導体ウエハであれば、この半導
体ウエハのオリフラやノッチや中心ずれを検出し、試料
３を搭載した回転テーブルを回転させて位置合わせす
る。又、半導体ウエハの中心合わせは、試料位置合わせ
部５の回転テーブルをＸ−Ｙ方向に移動させるか、若し
くは試料搬送部４のロボットハンドをＸ−Ｙ方向に移動
させることで中心位置を合せる。

【００３８】この試料位置合わせが終了すると、試料搬
送部４は、試料位置合わせ部５から試料３を取り出して
吸着保持し、この状態で移動して試料検査部６の前方に
到達し、試料３をこの試料検査部６に受け渡す。

【００３９】この試料検査部６は、試料搬送部４から試
料３を受け取って吸着保持し、この状態で試料３を例え
ば対物レンズを通してＣＣＤカメラ等の撮像装置により
撮像して試料３の拡大画像を取得し、この拡大画像から
試料３上の欠陥を検出する。

【００４０】この試料３の検査が終了すると、試料搬送
部４は、試料検査部６から試料３を取り出して吸着保持
し、この状態で移動して試料保管部２の前方に到達し、
試料３をこの試料保管部２に戻す。

【００４１】これ以降、上記同様に、試料搬送部４によ
り試料保管部２から未検査の試料３を取り出して吸着保
持して移動し、試料３を試料位置合わせ部５に受け渡し
てここで試料３の向きや中心を位置を合わせ、再び試料
搬送部４により試料３を吸着保持し試料検査部６に受け
渡し、ここで試料３上の欠陥を検出し、この後、試料搬
送部４により試料３を取り出して試料保管部２に戻すこ
とを繰り返す。

【００４２】次に、搬送エラー等が発生して装置全体が
停止した際の試料３の各回収方法について説明する。

【００４３】（ａ）先ず、第１の回収方法について図３
に示す第１の回収フローチャートに従って説明する。

【００４４】上記のような装置の通常の動作中に搬送エ
ラー等が発生して装置全体が停止し、その復旧後に、装
置コントローラ２０の吸着試み手段２１は、ステップ＃
１において、真空源８を動作させ、試料搬送部４と試料
位置合わせ部５と試料検査部６とにおいてそれぞれ試料
３を吸着動作を試みる。

【００４５】この吸着動作中に各真空センサ１２、１
３、１４は、それぞれ試料搬送部４、試料位置合わせ部
５及び試料検査部６において真空引きの掛かる状態、す
なわち試料３が吸着されているときオンの検出信号、試
料３が吸着されていないときにオフの検出信号を出力す
る。

【００４６】次に、装置コントローラ２０の試料有無手
段２２は、ステップ＃２、＃３及び＃４において略同時
又は順番に、各真空センサ１２、１３、１４から出力さ
れる検出信号を取り込み、これら検出信号のオン（吸着
可能）、オフ（吸着不可能）に基づいて試料搬送部４と
試料位置合わせ部５と試料検査部６とにおけるそれぞれ
の試料３の有無を判断する。

【００４７】すなわち、試料有無手段２２は、試料搬送
部４に対応する真空センサ１２から出力される検出信号
がオンであれば、ステップ＃５において試料搬送部４上
に試料３が有ると判断し、真空センサ１２から出力され
る検出信号がオフであれば、ステップ＃６において試料
搬送部４上に試料３が無いと判断する。

【００４８】又、試料有無手段２２は、試料位置合わせ
部５に対応する真空センサ１３から出力される検出信号
がオンであれば、ステップ＃７において試料位置合わせ
部５上に試料３が有ると判断し、真空センサ１２から出
力される検出信号がオフであれば、ステップ＃８におい
て試料位置合わせ部５上に試料３が無いと判断する。

【００４９】これと共に、試料有無手段２２は、試料検
査部６に対応する真空センサ１４から出力される検出信
号がオンであれば、ステップ＃９において試料検査部６
上に試料３が有ると判断し、真空センサ１２から出力さ
れる検出信号がオフであれば、ステップ＃１０において
試料検査部６上に試料３が無いと判断する。

【００５０】次に、装置コントローラ２０は、ステップ
＃１１で、試料搬送部４と試料位置合わせ部５と試料検
査部６のいずれかの位置に試料３が有ると判断された結
果を表示装置２９に表示してオペレータに報知する。こ
の報知により指定された場所、すなわち試料搬送部４、
試料位置合わせ部５又は試料検査部６にオペレータが赴
いて試料３を回収する。この場合、表示装置２９には、
半導体ウエハを搬送経路を模式的に表示し、この経路図
上に試料３の現在位置を点滅表示又は赤色等の色表示で
示すと、半導体ウエハの位置を容易に確認でき望まし
い。

【００５１】（ｂ）次に、第２の回収方法について図４
に示す第２の回収フローチャートに従って説明する。な
お、図３に示すステップと同一のステップには、同一ス
テップ符号を付してその詳しい説明は省略する。この第
２の回収方法において第１の回収方法と異なるところ
は、ステップ＃２０〜＃２３を加えたところである。

【００５２】装置の通常の動作中に搬送エラー等が発生
して装置全体が停止し、その復旧後に、装置コントロー
ラ２０の吸着試み手段２１は、ステップ＃１において、
真空源８を動作させ、試料搬送部４と試料位置合わせ部
５と試料検査部６とにおいてそれぞれ試料３を吸着動作
を試みる。

【００５３】そして、装置コントローラ２０の試料有無
手段２２は、ステップ＃２、＃３及び＃４において略同
時又は順番に、各真空センサ１２、１３、１４から出力
される検出信号を取り込み、これら検出信号のオン（吸
着可能）、オフ（吸着不可能）に基づいて試料搬送部４
と試料位置合わせ部５と試料検査部６とにおけるそれぞ
れの試料３の有無を判断する。

【００５４】この判断の結果、試料３が有れば、この報
知により表示装置２９に表示された搬送経路上にて指定
された試料搬送部４、試料位置合わせ部５又は試料検査
部６にオペレータが赴いて試料３を回収する。

【００５５】一方、試料搬送部４と試料位置合わせ部５
と試料検査部６とにそれぞれ対応する各真空センサ１
２、１３、１４から出力される検出信号がオフ（吸着不
可能）であれば、装置コントローラ２０の検査状況手段
２３は、ステップ＃２０、＃２１、＃２１において略同
時又は順番に、装置コントローラ２０自身で記録してい
る検査状況の記録から試料搬送部４と試料位置合わせ部
５と試料検査部６とにおける各試料３の有無を判断し、
試料３が有ることになっていれば試料有りの警告等の報
知を行ない（ステップ＃２３）、記試料が無いことにな
っていれば試料３の無しと判断する（ステップ＃６、＃
８、＃１０）。

【００５６】このうち試料３が有ると判断された場合
（ステップ＃２３）、試料有りの警告等の報知を行なっ
て、オペレータが試料３の有無を確認することになる。

【００５７】（ｃ）次に、第３の回収方法について図５
に示す第３の回収フローチャートに従って説明する。な
お、図４に示すステップと同一のステップには、同一ス
テップ符号を付してその詳しい説明は省略する。この第
３の回収方法の第２の回収方法と異なるところは、ステ
ップ＃３０〜＃３２を加えたところである。

【００５８】装置の通常の動作中に搬送エラー等が発生
して装置全体が停止し、その復旧後に、真空源８を動作
させ、試料搬送部４と試料位置合わせ部５と試料検査部
６とにおいてそれぞれ試料３を吸着動作を試みる。そし
て、各真空センサ１２、１３、１４から出力される検出
信号のオン（吸着可能）、オフ（吸着不可能）から試料
搬送部４と試料位置合わせ部５と試料検査部６とにおけ
るそれぞれの試料３の有無を判断する。

【００５９】この判断の結果、試料搬送部４と試料位置
合わせ部５と試料検査部６とにおいて試料３が有れば、
装置コントローラ２０の回収手段２４は、ステップ＃３
０において、装置コントローラ２０自身で記録している
検査状況の記録から試料保管部２における収納可能なス
ペースを確認する。

【００６０】次に、回収手段２４は、ステップ＃３１に
おいて、試料搬送部４を動作させて試料位置合わせ部５
又は試料検査部６から試料３を回収させる指令を試料搬
送部４に発する。これにより、試料搬送部４は、試料位
置合わせ部５と試料検査部６とに有る試料３の回収動
作、例えば試料位置合わせ部５の手前に移動してこの試
料位置合わせ部５から試料３を取り出して吸着保持し、
この状態で試料保管部２の手前まで移動し、試料３を検
査状況の記録から判断された試料保管部２における収納
可能なスペース（元の収納位置）に収納する。続いて、
試料搬送部４は、試料検査部６の手前に移動してこの試
料検査部６から試料３を取り出して吸着保持し、この状
態で試料保管部２の手前まで移動し、試料３を検査状況
の記録から判断された試料保管部２における収納可能な
スペースに収納する。

【００６１】何らかの原因で試料３を回収できない場合
には、装置コントローラ２０の報知手段２５は、ステッ
プ＃３２において、表示装置２９や音声、ブザー等によ
りその旨を報知し、オペレータにより試料３を手作業で
回収するように促す。

【００６２】（ｄ）次に、第４の回収方法について図６
に示す第４の回収フローチャートに従って説明する。な
お、図５に示すステップと同一のステップには、同一ス
テップ符号を付してその詳しい説明は省略する。この第
４の回収方法の第３の回収方法と異なるところは、ステ
ップ＃４０〜＃４２を加えたところである。

【００６３】装置の通常の動作中に搬送エラー等が発生
して装置全体が停止し、その復旧後に、真空源８を動作
させ、試料搬送部４と試料位置合わせ部５と試料検査部
６とにおいてそれぞれ試料３を吸着動作を試みる。そし
て、各真空センサ１２、１３、１４から出力される検出
信号のオン（吸着可能）、オフ（吸着不可能）から試料
搬送部４と試料位置合わせ部５と試料検査部６とにおけ
るそれぞれの試料３の有無を判断する。

【００６４】この判断の結果、試料搬送部４と試料位置
合わせ部５と試料検査部６とにおいて試料３が無けれ
ば、装置コントローラ２０のセンサ確認手段２６は、ス
テップ＃４０、＃４１、＃４２において略同時又は順番
に、試料搬送部４と試料位置合わせ部５と試料検査部６
とにそれぞれ設けられた各試料有無確認センサ１５、１
６、１７から出力される検出信号により試料３の有無を
検出する。

【００６５】このとき、各試料有無確認センサ１５、１
６、１７は、試料搬送部４と試料位置合わせ部５と試料
検査部６とにおいてそれぞれ試料３の有無を検出し、試
料３が有ればオンの検出信号を出力し、試料３が無けれ
ばオフの検出信号を出力しているので、試料搬送部４と
試料位置合わせ部５と試料検査部６とにおける試料３の
有無が判断される。

【００６６】この判断の結果、試料搬送部４と試料位置
合わせ部５と試料検査部６とにおいて試料３が有れば、
ステップ＃９から＃３０に移り、装置コントローラ２０
自身で記録している検査状況の記録から試料保管部２に
おける収納可能なスペースを確認し、次のステップ＃３
１において、試料搬送部４を動作させて試料位置合わせ
部５又は試料検査部６から試料３を回収させる指令を試
料搬送部４に発し、この試料搬送部４により試料位置合
わせ部５と試料検査部６とに有る試料３を回収動作させ
る。

【００６７】一方、上記ステップ＃４０、＃４１、＃４
２の判断の結果、各試料有無確認センサ１５、１６、１
７から出力される検出信号がオフであれば、装置コント
ローラ２０の検査状況手段２３は、ステップ＃２０、＃
２１、＃２２において略同時又は順番に、装置コントロ
ーラ２０自身で記録している検査状況の記録から試料搬
送部４と試料位置合わせ部５と試料検査部６とにおける
各試料３の有無を判断し、試料３が有ることになってい
ればオペレータ（人）によって確認する旨の警告等の報
知を行ない（ステップ＃２３）、記試料が無いことにな
っていれば試料３の無しを判断する（ステップ＃６、＃
８、＃１０）。

【００６８】（ｅ）次に、第５の回収方法について図７
に示す第５の回収フローチャートに従って説明する。な
お、図６に示すステップと同一のステップには、同一ス
テップ符号を付してその詳しい説明は省略する。この第
５の回収方法の第４の回収方法と異なるところは、ステ
ップ＃５０〜＃５２を加えたところである。

【００６９】装置の通常の動作中に搬送エラー等が発生
して装置全体が停止し、その復旧後に、真空源８を動作
させ、試料搬送部４と試料位置合わせ部５と試料検査部
６とにおいてそれぞれ試料３を吸着動作を試みる。そし
て、各真空センサ１２、１３、１４から出力される検出
信号のオン（吸着可能）、オフ（吸着不可能）から試料
搬送部４と試料位置合わせ部５と試料検査部６とにおけ
るそれぞれの試料３の有無を判断する。

【００７０】この判断の結果、試料搬送部４と試料位置
合わせ部５と試料検査部６とにおいて試料３が無けれ
ば、装置コントローラ２０のセンサ確認手段２６は、ス
テップ＃４０、＃４１、＃４２において略同時に、試料
搬送部４と試料位置合わせ部５と試料検査部６とにそれ
ぞれ設けられた各試料有無確認センサ１５、１６、１７
から出力される検出信号により試料３の有無を検出す
る。

【００７１】このとき、各試料有無確認センサ１５、１
６、１７は、試料搬送部４と試料位置合わせ部５と試料
検査部６とにおいてそれぞれ試料３の有無を検出し、試
料３が有ればオンの検出信号を出力し、試料３が無けれ
ばオフの検出信号を出力しているので、試料搬送部４と
試料位置合わせ部５と試料検査部６とにおける試料３の
有無が判断される。

【００７２】この判断の結果、試料搬送部４と試料位置
合わせ部５と試料検査部６とにおいて試料３が有れば、
ステップ＃５、＃７、＃９からステップ＃５０に移り、
装置コントローラ２０の位置ずれ検出手段２７は、自動
修正用センサ１８の検出信号に基づいて試料３の姿勢の
所定の姿勢とのずれ量を検出する。

【００７３】すなわち、このとき試料搬送部４は、試料
搬送部４自身に吸着保持している試料３、試料位置合わ
せ部５から受け取った試料３又は試料検査部６から受け
取った試料３を試料保管部２に戻すために、この試料保
管部２に向かって移動し、自動修正用センサ１８の例え
ば上方を通過する。

【００７４】このとき自動修正用センサ１８は、例えば
ラインランサを用いたものであり、例えば当該自動修正
用センサ１８を試料３で遮光したときの試料３の両端位
置に基づいて試料３の姿勢（ＸＹＺ方向、回転方向）を
検出し、所定の姿勢からの位置ずれ量を求める。

【００７５】次に、回収手段２４は、ステップ＃３０に
おいて、装置コントローラ２０自身で記録している検査
状況の記録から試料保管部２における収納可能なスペー
スを確認する。

【００７６】次に、回収手段２４は、ステップ＃５１に
おいて、試料搬送部４を動作させて回収させる指令を試
料搬送部４に発し、この試料搬送部４により試料位置合
わせ部５と試料検査部６とに有る試料３を回収動作させ
る。

【００７７】このとき試料搬送部４は、試料３を試料保
管部２に収納するとき、位置修正手段２８により自動修
正用センサ１８の検出信号に基づいて求められた試料３
の姿勢のずれ量に基づいて姿勢を修正して試料３を試料
保管部２に収納する。

【００７８】そして、何らかの原因で試料３を回収でき
ない場合には、装置コントローラ２０の報知手段２５
は、ステップ＃３２において、表示装置２９や音声、ブ
ザー等によりその旨を報知し、オペレータにより試料３
を手作業で回収するように促す。

【００７９】そして、装置コントローラ２０は、ステッ
プ＃５２において、試料３の自動回収後、検査状況の記
録から試料３の検査状況を判断し、自動回収した未検査
の試料３から検査を再開する。

【００８０】このように上記一実施の形態によれば、装
置の通常の動作中に搬送エラー等が発生して装置全体が
停止し、その復旧後に、試料搬送部４と試料位置合わせ
部５と試料検査部６とにおいてそれぞれ試料３を吸着動
作を試み、各真空センサ１２、１３、１４から出力され
る検出信号のオン（吸着可能）、オフ（吸着不可能）か
ら試料搬送部４と試料位置合わせ部５と試料検査部６と
におけるそれぞれの試料３の有無を判断するので、装置
が停止してその復旧の後に確実に試料搬送部４と試料位
置合わせ部５と試料検査部６とにおける試料３の有無を
判断でき、これら試料３の有る試料搬送部４、試料位置
合わせ部５又は試料検査部６から順次に試料３を試料搬
送部４により回収でき、オペレータ（人）の手作業によ
る回収の手間を減らして自動的に試料３を回収して無人
化に貢献できる。

【００８１】又、装置コントローラ２０自身で記録して
いる検査状況の記録から試料搬送部４と試料位置合わせ
部５と試料検査部６とにおける各試料３の有無を判断す
るので、試料搬送部４と試料位置合わせ部５と試料検査
部６とにおける試料３の有無をより確実に判断できる。

【００８２】又、試料検査装置の検査状況の記録から試
料保管部２における収納可能なスペースを確認し、当該
スペースに試料３を試料搬送部４を動作させて回収させ
るので、試料保管部２における収納可能なスペースを自
動的に確認して回収できる。

【００８３】又、試料保管部２における収納可能なスペ
ースへの試料３の回収ができない場合、表示装置２９や
音声、ブザー等によりその旨を報知するので、かかる場
合にはオペレータによる手作業により確実に試料３を回
収できる。

【００８４】さらに、試料３の吸着動作の試みによる試
料３の有無の判断に併用して、試料搬送部４と試料位置
合わせ部５と試料検査部６とにそれぞれ設けられた各試
料有無確認センサ１５、１６、１７から出力される検出
信号により試料３の有無を検出するので、試料搬送部４
と試料位置合わせ部５と試料検査部６とにおける試料３
の有無の判断の確実性をより向上できる。

【００８５】又、試料３を回収するときに自動修正用セ
ンサ１８の検出信号に基づいて試料３の姿勢のずれ量を
検出し、この姿勢のずれ量に基づいて姿勢を修正して試
料３を試料保管部２に収納するので、試料保管部２に試
料３を収納するときに、試料３が試料保管部２に接触す
ることがなく、かつ試料保管部２内に試料３を一定姿勢
に整列して収納できる。

【００８６】なお、本発明は、上記一実施の形態に限定
されるものでなく、実施段階ではその要旨を逸脱しない
範囲で種々に変形することが可能である。

【００８７】さらに、上記実施形態には、種々の段階の
発明が含まれており、開示されている複数の構成要件に
おける適宜な組み合わせにより種々の発明が抽出でき
る。例えば、実施形態に示されている全構成要件から幾
つかの構成要件が削除されても、発明が解決しようとす
る課題の欄で述べた課題が解決でき、発明の効果の欄で
述べられている効果が得られる場合には、この構成要件
が削除された構成が発明として抽出できる。

【００８８】例えば、試料３としては、半導体デバイス
として半導体ウエハや液晶ディスプレイ基板の検査にも
適用できる。

【００８９】

【発明の効果】以上詳記したように本発明によれば、装
置が停止してその復旧の後に確実に試料の有無を判断で
きる試料自動回収システムを提供できる。

【００９０】又、本発明によれば、装置が停止してその
復旧の後に確実に試料の有無を判断し、人の手作業によ
る回収の手間を減らして自動的に試料を回収して無人化
に貢献できる試料自動回収システムを提供できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係わる試料自動回収システムの一実施
の形態を備えた試料検査装置を示す全体構成図。

【図２】本発明に係わる試料自動回収システムの一実施
の形態における自動修正用センサの別の構成を示す図。

【図３】本発明に係わる試料自動回収システムの一実施
の形態における第１の回収フローチャート。

【図４】本発明に係わる試料自動回収システムの一実施
の形態における第２の回収フローチャート。

【図５】本発明に係わる試料自動回収システムの一実施
の形態における第３の回収フローチャート。

【図６】本発明に係わる試料自動回収システムの一実施
の形態における第４の回収フローチャート。

【図７】本発明に係わる試料自動回収システムの一実施
の形態における第５の回収フローチャート。

【符号の説明】

１：装置本体 ２：試料保管部 ３：試料 ４：試料搬送部 ５：試料位置合わせ部 ６：試料検査部 ７：真空供給口 ８：真空源 ９，１０，１１：真空引き管 １２，１３，１４：真空センサ １５，１６，１７：試料有無確認センサ １８：自動修正用センサ ２０：装置コントローラ ２１：吸着試み手段 ２２：試料有無手段 ２３：検査状況手段 ２４：回収手段 ２５：報知手段 ２６：センサ確認手段 ２７：位置ずれ検出手段 ２８：位置修正手段 ２９：表示装置

Claims (7)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 半導体デバイスを搬送部により吸着保持
   しながら各工程間に搬送する半導体製造装置において、 この半導体製造装置が停止してからの復旧後に、前記搬
   送部や前記工程においてそれぞれ吸着動作を試みる手段
   と、 これら吸着の可能又は不可能により前記搬送部や前記工
   程におけるそれぞれでの前記半導体デバイスの有無を判
   断する手段と、 この有無判断において前記半導体デバイスが有ると判断
   された場合にその半導体デバイスを前記搬送部により自
   動回収する手段と、を具備したことを特徴とする試料自
   動回収システム。
2. 【請求項２】 試料を吸着保持して位置合わせを行なう
   試料位置合わせ部と、前記試料を吸着保持して前記試料
   の少なくとも欠陥の検査を行なう試料検査部と、前記試
   料を試料保管部から取り出して吸着保持し、前記試料を
   前記試料保管部と前記試料位置合わせ部と前記試料検査
   部との間に搬送する試料搬送部とからなる試料検査装置
   において、 この試料検査装置が停止してからの復旧後に、前記試料
   位置合わせ部と前記試料検査部と前記試料搬送部におい
   てそれぞれ吸着動作を試みる手段と、 これら吸着の可能又は不可能により前記試料位置合わせ
   部と前記試料検査部と前記試料搬送部とのそれぞれで前
   記試料の有無を判断する手段と、を具備したことを特徴
   とする試料自動回収システム。
3. 【請求項３】 前記吸着動作を試みたところ吸着不可能
   であれば、前記試料検査装置の検査状況の記録から前記
   試料の有無を判断し、前記試料が有ることになっていれ
   ば試料有りの報知を行ない、前記試料が無いことになっ
   ていれば前記試料の無しと判断する手段、を備えたこと
   を特徴とする請求項２記載の試料自動回収システム。
4. 【請求項４】 前記吸着動作を試みたところ吸着可能で
   前記試料が有る場合、前記試料検査装置の検査状況の記
   録から前記試料保管部における収納可能なスペースを確
   認し、当該スペースに前記試料を前記試料搬送部を動作
   させて回収させる手段、を備えたことを特徴とする請求
   項２又は３記載の試料自動回収システム。
5. 【請求項５】 前記前記試料保管部に前記試料を回収で
   きない場合にその旨を報知することを特徴とする請求項
   ４記載の試料自動回収システム。
6. 【請求項６】 前記吸着動作を試みたところ吸着不可能
   であれば、試料有無確認センサにより前記試料の有無を
   検出する手段、を備えたことを特徴とする請求項２乃至
   ５のうちいずれか１項記載の試料自動回収システム。
7. 【請求項７】 前記吸着動作を試みたところ吸着不可能
   であれば、試料有無確認センサにより前記試料の有無を
   検出する手段と、 この検出により前記試料が有れば、試料修正用センサの
   検出信号に基づいて前記試料の姿勢のずれ量を検出する
   手段と、 前記基板を前記試料保管部に回収するときに前記基板を
   前記姿勢のずれ量に基づいて姿勢を修正して前記試料保
   管部に収納する手段と、を備えたことを特徴とする請求
   項２乃至６のうちいずれか１記載の試料自動回収システ
   ム。