JP4808464B2 - 加工装置及びターゲットパターンの登録支援方法 - Google Patents

Description

本発明は、ウェーハに対して切削等の加工を施す加工装置、及びその加工装置において加工位置の目印となるウェーハ上のターゲットパターンの選定を支援する方法に関するものである。

ＩＣ、ＬＳＩ等のデバイスが分離予定ラインに区画されて複数形成されたウェーハは、切削装置、レーザ加工装置等の分割装置によって分離予定ラインが分離させることにより個々のデバイスに分割され、各種電子機器に利用されている。

ウェーハを分割するにあたっては、デバイスに形成された回路パターンの中から、各デバイスに１つしかない特徴的な部分がターゲットパターンとして選出され、選出されたターゲットパターンと分離予定ラインとの距離が座標等により把握される。そして、ウェーハの分割時には、ウェーハごとにターゲットパターンがパターンマッチングにより検出され、その位置から一定距離離れた分離予定ラインを、切削、レーザ光の照射等により分離させ、以降は、分離予定ライン間隔ずつインデックス送りしながらすべての分離予定ラインを分離させて個々のデバイスに分割している（特許文献１）。

特公平−２７０４３号公報

しかし、オペレータが選出したターゲットパターンと形状が近似するパターンがデバイス領域に存在すると、パターンマッチングの際に、ターゲットパターンとは異なるパターンを検出してマッチングしたものと判断してしまうことがある。そしてその場合は、その誤ったマッチングに基づいて切削を行うと、切削すべきでない部分が切削されてデバイスを損傷させるという問題がある。

また、すでに加工装置に登録してあるターゲットパターンを別の新しい加工装置にコピーして使用する場合には、加工装置ごとの個性、コピー時の操作ミス等により、コピーしたターゲットパターンが新しい加工装置において有効に機能しない場合があるため、この場合も誤ったパターンマッチングによりデバイスを損傷させるという問題が生じる。一方、かかる問題が生じるのを回避するために、新しい加工装置において、新たにターゲットパターンを選出して登録する作業を行うのでは、生産性を低下させる。

そこで、本発明が解決しようとする課題は、登録されたターゲットパターンが、パターンマッチングに適したものかどうかを容易に確認できるようにすることである。

本発明に係る加工装置は、ウェーハを保持するチャックテーブルと、チャックテーブルに保持されたウェーハを加工する加工手段と、チャックテーブルに保持されたウェーハの表面を撮像して予め登録されたターゲットパターンと同一のパターンを認識して加工すべき領域を検出する加工領域検出手段と、加工領域検出手段が取得した画像を表示する表示手段とを少なくとも備えた加工装置であって、加工領域検出手段は、ターゲットパターンの画像情報を記憶するターゲットパターン記憶部と、ウェーハの表面を撮像する撮像部と、ターゲットパターン記憶部に記憶されたターゲットパターンの画像情報と撮像部によって撮像されたパターンの画像情報とのパターンマッチングを行うパターンマッチング部とから構成され、パターンマッチング部におけるパターンマッチングが終了するごとに、その旨をオペレータに報知する報知手段と、報知手段による報知の回数をカウントして記憶し報知の回数を表示手段に表示させる報知回数カウント手段と、パターンマッチングにおいて発生したエラーの回数を記憶しエラーの回数を表示手段に表示させる発生エラー回数記憶手段と、パターンマッチングにおけるエラーの許容回数を記憶する許容エラー回数記憶手段と、許容エラー回数記憶手段に記憶された許容回数と発生エラー回数記憶手段に記憶されたエラーの回数とを比較してその比較結果を表示手段に表示させる比較手段と、報知回数カウント手段に記憶された報知の回数の上限値を記憶する報知回数上限値記憶手段と、報知回数カウント手段に記憶された報知の回数が報知回数上限値記憶手段に記憶された上限値に達したか否かを判断してその判断結果を表示手段に表示させる報知回数判断手段とを備える。

上記加工装置には、ターゲットパターンの画像情報を取り込んでターゲットパターン記憶部に転送して記憶させるターゲットパターン入力手段を備えることが望ましい。

本発明に係るターゲットパターンの登録支援方法は、ウェーハを保持するチャックテーブルと、チャックテーブルに保持されたウェーハを加工する加工手段と、チャックテーブルに保持されたウェーハの表面を撮像して予めターゲットパターン記憶部に記憶させたターゲットパターンと同一のパターンを認識して加工すべき領域を検出する加工領域検出手段と、加工領域検出手段が取得した画像を表示する表示手段とを少なくとも備えた加工装置におけるターゲットパターンの登録支援方法であって、ターゲットパターンをターゲットパターン記憶部に記憶する記憶工程と、加工領域検出手段によりウェーハの表面を撮像してターゲットパターンと同一のパターンを認識するパターン認識工程と、パターン認識工程において認識されたパターンの画像を表示手段に表示させる表示工程と、パターン認識が終了するごとに、その旨をオペレータに報知する報知工程と、報知工程の実行回数をカウントして報知回数カウント手段に記憶し報知工程の実行回数を表示手段に表示させる報知回数カウント工程と、パターン認識工程において発生したエラーの回数を発生エラー回数記憶手段に記憶しエラーの回数を表示手段に表示させる発生エラー回数カウント工程と、エラーの許容回数を許容エラー回数記憶手段に記憶する許容エラー回数記憶工程と、比較手段において許容エラー回数記憶手段に記憶された許容回数と発生エラー回数記憶手段に記憶されたエラーの回数とを比較してその比較結果を該表示手段に表示させる比較工程と、報知の回数の上限値を報知回数上限値記憶手段に記憶する上限値記憶工程と、報知回数カウント手段に記憶された報知の回数が報知回数上限値記憶手段に記憶された上限値に達したか否かを判断してその判断結果を表示手段に表示させる報知回数判断工程とを少なくとも含む。

上記ターゲットパターンの登録支援方法には、ターゲットパターンの画像情報を取り込んで前記ターゲットパターン記憶部に転送して記憶させるターゲットパターン転送工程が含まれることもある。

また、上記ターゲットパターンの登録支援方法における表示工程では、認識されたパターンと共に、パターンと相関関係がある分離予定ラインが表示されることが望ましい。この場合、第一の方向の分離予定ラインと第二の方向の分離予定ラインとの交差領域が表示されることが望ましい。

本発明では、パターン認識が終了するごとにその旨がオペレータに報知されるため、オペレータは、マッチングされたパターンの画像をパターンマッチングが終わるごとに表示手段で確認することができると共に、パターンマッチングが行われた回数を把握することができる。したがって、オペレータは、表示手段に表示された画像からマッチングエラーが発生したかどうか、及びマッチングエラーの発生回数を把握することができ、パターンマッチングの回数とマッチングエラーの発生回数との関係から、ターゲットパターン記憶部に記憶させたパターンがターゲットパターンとして適切かどうかを判断することができる。例えば、報知手段からの報知回数が２０回であり、マッチングエラーの発生回数が０回であれば、ターゲットパターン記憶部に記憶させたパターンが、ターゲットパターンとして適切であると判断することができる。

また、報知回数がカウントされてその回数が表示手段に表示されることにより、パターンマッチングが行われた回数をオペレータが容易に把握することができるため、行われたパターンマッチング回数との関係でのターゲットパターンとしての適性の判断がしやすくなる。

パターンマッチングにおいて発生したエラーの回数を記憶し、そのエラーの回数を表示手段に表示させることにより、実際に発生したエラーの回数をオペレータが容易に把握することができるため、発生したエラーの回数との関係でのターゲットパターンとしての適性の判断がしやすくなる。

エラーの許容回数を記憶させ、記憶された許容回数と実際に発生したエラーの回数とを比較してその比較結果を表示手段に表示させることにより、オペレータは、比較結果を見るだけで、ターゲットパターンとしての適性を判断することができる。

報知の回数の上限値を記憶させ、実際の報知の回数が上限値に達したか否かを判断してその判断結果を表示手段に表示させることにより、オペレータは、ターゲットパターンの適性の判断のタイミングがきたことを認識することができる。

ターゲットパターンの画像情報を取り込んでターゲットパターン記憶部に転送して記憶させるようにすると、別の加工装置において使用していたターゲットパターンを新しい加工装置にコピーして使用することができ、その場合に、そのコピーしたターゲットパターンが適性に機能するかどうかを確認することができる。

図１に示す加工装置１は、ウェーハを切削して個々のデバイスに分割する機能を有する装置であり、加工対象のウェーハＷは、テープＴを介してリング状にフレームＦと一体になった状態で、ウェーハカセット２に複数収容される。図２に示すように、ウェーハＷの表面には、縦横に設けられた第一の方向の分離予定ラインＳ１、第二の方向の分離予定ラインＳ２に区画されて複数のデバイスＤが形成されている。

図１に示すように、ウェーハカセット２の−Ｙ方向側には、ウェーハカセット２から加工前のウェーハＷを搬出するとともに、加工後のウェーハをウェーハカセット２に搬入する搬出入手段３が配設されている。ウェーハカセット２と搬出入手段３との間には、搬出入対象のウェーハが一時的に載置される領域である仮置き領域４が設けられており、仮置き領域４には、ウェーハＷを一定の位置に位置合わせする位置合わせ手段５が配設されている。

仮置き領域４の近傍には、ウェーハＷと一体になったフレームＦを吸着して搬送する第一の搬送手段６が配設されており、第一の搬送手段６の可動域にはチャックテーブル７が配設されている。チャックテーブル７は、ウェーハＷを保持してＸ軸方向に移動可能であると共に回転可能となっている。

チャックテーブル７のＸ軸方向の移動経路の上方には、ウェーハＷの加工すべき領域である分離予定ラインを検出する加工領域検出手段８が配設されている。図３に示すように、加工領域検出手段８には、ウェーハＷの表面を撮像する撮像部８０と、撮像部８０によって撮像され登録されたターゲットパターンの画像情報を記憶するターゲットパターン記憶部８１を備えている。ターゲットパターン記憶部８１は、メモリ等の記憶装置によって構成される。ターゲットパターン記憶部８１にはターゲットパターン入力手段１９が接続されており、ターゲットパターン入力手段１９から入力された画像情報をターゲットパターン記憶部８１に転送して記憶させることもできる。

また、加工領域検出手段８には、ターゲットパターン記憶部８１に記憶されたターゲットパターンの画像情報と、撮像部８０によって撮像され取得したパターンの画像情報とのパターンマッチングを行うパターンマッチング部８２を備えている。パターンマッチング部８２には、ＣＰＵ、メモリ等を備え、ターゲットパターン記憶部８１に記憶された画像情報を構成する画素情報と、撮像部８０によって取得された画像情報を構成する画素情報との比較により、取得した画像情報に含まれるパターンとターゲットパターンの画像情報とが一致するかどうかのパターンマッチングを行うことにより、加工すべき分離予定ラインを検出することができる。加工領域検出手段８が取得した画像は、表示手段９に転送されて表示される

パターンマッチング部８２は、音を鳴らす等によってオペレータに対する報知を行う機能を有する報知手段１０に接続されている。報知手段１０には、１回のパターンマッチングが終了した旨の情報が、パターンマッチング部８２から通知される。また、報知手段１０は、メモリ等の記憶装置によって構成される報知回数カウント手段１１に接続されており、報知手段１０がオペレータに対する報知をすると、その度に、報知回数カウント手段１１が報知の回数をカウントしてその回数の情報を記憶し、その報知の回数の情報を表示手段９に表示させる。

報知回数カウント手段１１によってカウントされる報知回数は、報知回数判断手段１２によって認識される。報知回数判断手段１２には、報知回数カウント手段１１に記憶された報知の回数の上限値の情報を記憶する報知回数上限値記憶手段１３が接続されている。報知回数判断手段１２では、報知回数カウント手段１１に記憶された報知の回数が、報知回数上限値記憶手段１３に記憶された上限値に達したか否かを判断してその判断結果を表示手段９に表示させる。

パターンマッチング部８２によるパターンマッチングについては、表示手段９に表示されるため、オペレータが表示手段９を見ることにより、エラーの発生を把握することができる。エラーの発生回数の情報は、メモリ等の記憶装置によって構成される発生エラー回数記憶手段１４に記憶され、表示手段９に表示される。

発生エラー回数記憶手段１４の内容は、比較手段１５によって認識される。比較手段１５には、エラーの許容回数の情報を記憶する許容エラー回数記憶手段１６が接続されており、比較手段１５においては、発生エラー回数記憶手段１４に記憶された発生エラーの回数と、許容エラー回数記憶手段１６に記憶された許容値とが比較され、その比較結果が表示手段９に表示される。

図１に戻って説明すると、加工領域検出手段８の＋Ｘ方向側には、チャックテーブル７に保持されたウェーハＷに対して切削加工を施す加工手段１７が配設されている。加工手段１７には加工領域検出手段８が固定されており、両者が連動する構成となっている。加工手段１７は、回転可能なスピンドル１７０の先端に切削ブレード１７１が装着されて構成され、Ｙ軸方向及びＺ軸方向に移動可能となっている。切削ブレード１７１は撮像部８０のＸ軸方向の延長線上に位置している。

以下では、図４のフローチャートを参照しながら、ターゲットパターンを選出して確定させる手順について説明する。まず、加工領域検出手段８が切削すべき分離予定ラインを検出するために、図３に示したターゲットパターン記憶部８１に登録する画像は、切削前に予め取得しておく必要がある。そこで、チャックテーブル７に保持されたウェーハＷを加工領域検出手段８の直下に位置付けられた状態で、撮像部８０がウェーハＷの表面を撮像し、取得した画像を表示手段９に表示させる。例えば、表示手段９には、図５に示すように、デバイスに形成された複雑な回路パターンが表示される。オペレータは、図１に示す加工装置１の前面側に設けられた操作手段１８を操作することにより、撮像部８０をゆっくりと移動させながら、必要に応じてチャックテーブル７も移動させて、パターンマッチングのターゲットとなるキーパターンを探す。そして、複雑な回路パターンから、各デバイスに１つしかなく、パターンマッチングに適した特徴的形状を有する部分をターゲットパターンＰとして選出し、操作手段１８の操作により、選出したターゲットパターンＰを含む画像情報をターゲットパターン記憶部８１に登録して記憶させる。そして、登録した画像において、ターゲットパターンＰから第一の方向の分離予定ラインＳ１までの距離、ターゲットパターンＰから第二の方向の分離予定ラインＳ２までの距離を座標情報から算出し、これらの情報をターゲットパターン記憶部８１に記憶させる（記憶工程）。

このようにしてターゲットパターンＰを含む画像情報及びターゲットパターンＰから各分離予定ラインまでの距離がターゲットパターン記憶部８１に登録されると、図１に示したウェーハカセット２に収容されたウェーハＷの切削が行われる。

図１を参照して説明すると、ウェーハカセット２に収容されたウェーハＷは、搬出入手段３によってフレームＦが挟持され、搬出入手段３が−Ｙ方向に移動し、仮置き領域４においてその挟持が解除されることにより、仮置き領域４に載置される。そして、位置合わせ手段５が互いに接近する方向に移動することにより、ウェーハＷが一定の位置に位置付けられる。

次に、第一の搬送手段６によってフレームＦが吸着され、第一の搬送手段６が旋回することによりフレームＦと一体になったウェーハＷがチャックテーブル７に搬送され、保持される。そして、チャックテーブル７が＋Ｘ方向に移動してウェーハＷが加工領域検出手段８を構成する撮像部８０の直下に位置付けられる。

ウェーハＷが撮像部８０の直下に位置すると、ウェーハＷの表面が撮像部８０によって撮像されて取得した画像に基づき、加工領域検出手段８によってパターン認識により加工すべき分離予定ラインが検出される。そして、更にチャックテーブル７が＋Ｘ方向に移動すると共に、切削ブレード１７１が高速回転しながら加工手段１７が下降することにより、検出された分離予定ラインが切削される。また、チャックテーブル７をＸ軸方向に移動させながら、予め加工領域検出手段８に記憶させた分離予定ライン間隔ずつ加工手段１７をＹ軸方向にインデックス送りして切削を行うと、同方向の分離予定ラインがすべて切削される。また、チャックテーブル７を９０度回転させてから上記と同様の切削を行うと、すべての分離予定ラインが縦横に切削されて分離され、個々のデバイスＤに分割される。

こうして１枚のウェーハが分割されると、第二の搬送手段２０によってウェーハＷが洗浄手段２１に搬送され、洗浄手段２１において切削屑が除去される。洗浄後は、第一の搬送手段６によってウェーハＷが仮置き領域４に搬送され、搬出入手段３によってウェーハカセット２に収容される。このような一連の作業が、ウェーハカセット２に収容されたすべてのウェーハについて行われる。

上記一連の作業のうち、パターン認識により切削すべき分離予定ラインを検出する作業は、各ウェーハについてそれぞれ行われる。パターン認識が開始される前に、報知回数上限値記憶手段１３には、報知回数の上限値の情報がオペレータによって操作手段２５から入力され、予め記憶される（上限値記憶工程）。この上限値は、例えばウェーハ１枚につき１回のパターン認識を行う場合は、何枚のウェーハを対象にするかに応じて定まる。例えば、２０枚のウェーハを対象にしてターゲットパターンとしての適性を判断する場合は、上限値として２０を操作手段１８から入力して報知回数上限値記憶手段１３に記憶させる。また、許容エラー回数記憶手段１６には、パターン認識エラーの回数の許容値の情報を予め操作手段１８から入力して記憶させておく（許容エラー回数記憶工程）。

撮像部８０は、ウェーハＷの表面を撮像し、図３に示したパターンマッチング部８２では、撮像部８０が取得した画像情報とターゲットパターン記憶部８１に記憶された画像情報とのパターンマッチングが行われ、ターゲットパターンＰと同一のパターンが認識される（パターン認識工程）。また、パターン認識工程において認識されたパターンに基づく画像情報は、表示手段９に表示される（表示工程）。表示工程において表示される画像では、認識されたパターンまたはパターンと相関関係がある分離予定ラインが表示される。ここで、相関関係とは、パターンからの距離によって分離予定ラインの位置を把握できる関係をさす。この場合、第一の方向の分離予定ラインと第二の方向の分離予定ラインとの交差領域が表示されるようにすることが望ましい。

パターン認識が終了すると、ウェーハを切削することなく、その旨が報知手段１０に通知され、報知手段１０では、パターン認識の終了をオペレータに報知する（報知工程）。報知工程が実行されるごとに、その実行回数がカウントされて報知回数カウント手段１１に記憶され、実行回数が表示手段９に表示される（報知回数カウント工程）。かかる報知回数のカウントは、オペレータによって行われてもよい。報知を受けたオペレータは、表示手段９に表示された画像を見ることにより、ターゲットパターン記憶部８１に記憶されたターゲットパターンＰと同一のパターンが認識されたか否かを確認することができると共に、報知回数を把握することができる。

ターゲットパターンＰと同一のパターンが認識された場合は、加工すべき分離予定ラインが検出されて適正に切削が行われるが、ターゲットパターンＰと異なるパターンが認識された場合は、分離予定ライン以外の部分を切削してしまうおそれがある。そこで、オペレータは、表示工程において表示手段９に表示された画像に基づき、ターゲットパターンＰと異なるパターンが認識されたことを確認した場合は、マッチングエラーが生じたと判断し、図１に示した操作手段１８の所定の操作により、マッチングエラー回数をカウントアップする操作を行う。かかる操作が行われると、図３に示した発生エラー回数記憶手段１４にエラーの回数がカウントアップされてその情報が記憶され、更にそのエラーの回数が表示手段９に表示される（発生エラー回数カウント工程）。なお、発生したエラーの回数は、オペレータ自身が把握してもよい。

報知回数判断手段１２では、報知回数カウント手段１０に記憶された報知回数が、報知回数上限値記憶手段１３に記憶された上限値に達したか否かを判断する（報知回数判断工程）。オペレータが報知回数及び上限値を把握している場合は、オペレータ自身によって判断される。そして、かかる上限値に達していない場合は、すべてのウェーハについてのパターン認識が終了していないため、パターン認識工程に戻り、別のウェーハについて同様の作業を行う。一方、すべてのウェーハについてパターン認識が終了している場合は、かかる上限値に達しているため、発生エラー回数記憶手段１４の値を読み出し、実際に発生したエラーの回数と許容エラー回数記憶手段１６に記憶されたエラーの許容回数とを比較し、比較結果を表示手段９に表示させる（比較工程）。発生エラー回数記憶手段１４に記憶されたエラー発生回数の値が、許容エラー回数記憶手段１６に記憶された値を超えている場合、又は両値が等しい場合は、オペレータは、選出したターゲットパターンＰがパターン認識に適していないと判断し、再度ターゲットパターンＰを選定しなおす。かかる比較は、オペレータ自身によって行われることもある。

発生エラー回数記憶手段１４に記憶された実際の発生エラーの回数が、許容エラー回数記憶手段１６に記憶された値より小さい場合は、ターゲットパターン記憶手段８１に登録したターゲットパターンＰを用いてその後の切削を行うことができると判断し、操作手段１８を操作することにより、ターゲットパターン記憶部８１に記憶させたターゲットパターンＰの画像情報を確定させる。そしてその後は、その確定したターゲットパターンを用いてパターン認識を行い、ウェーハを切削する。

例えば、２０枚のウェーハのうち、パターン認識におけるエラーが発生したウェーハが２枚以内の場合にそのターゲットパターンＰを確定させるとした場合は、報知回数上限値記憶手段１３に、報知回数として２０回を記憶させると共に、許容エラー回数記憶手段１６にエラー上限値として２回を記憶させておけば、２０枚のウェーハについてパターン認識が終了した時点で、発生したエラーの回数が２回以上かどうかを比較手段１５において判断する。そして、発生したエラーの回数が２回以内であれば、ターゲットパターン記憶部８１に記憶したターゲットパターンを確定させる。一方、発生したエラーの回数が３回以上であれば、記憶工程に戻り、ターゲットパターンの選定からやり直す。

なお、許容エラー回数記憶手段１６がない場合は、実際のエラーの発生回数を表示手段９に表示させるなどして、オペレータが、実際のエラーの回数を把握し、ターゲットパターンＰの登録を確定させるか否かを決定することができる。また、報知回数カウント手段１１がない場合は、報知の回数をオペレータが把握し、すべてのウェーハについてのパターン認識が終了したかどうかを判断する。

なお、別の加工装置に登録してあるターゲットパターンの画像情報を加工装置１にコピーして使用する場合には、図３に示すターゲットパターン入力手段１９から、その画像情報を入力すれば、ターゲットパターン記憶部８１に転送されて記憶される（ターゲットパターン転送工程）。そして、上記と同様に、ターゲットパターンの適性を判断することができる。

以上の例では、加工装置として、切削によりウェーハを分割する装置について説明したが、他の加工装置としては、例えばレーザ光の照射によりウェーハを分割するレーザ加工装置等もある。

加工装置の一例を示す斜視図である。 テープを介してフレームと一体になったウェーハを示す斜視図である。 加工装置の構成を示す機能ブロック図である。 ターゲットパターンの登録支援方法の一例を示すフローチャートである。 ターゲットパターンの画像の一例を示す説明図である。

１：加工装置
２：ウェーハカセット ３：搬出入手段 ４：仮置き領域 ５：位置合わせ手段
６：第一の搬送手段 ７：チャックテーブル
８：加工領域検出手段
８０：撮像部 ８１：ターゲットパターン記憶部 ８２：パターンマッチング部
９：表示手段
１０：報知手段 １１：報知回数カウント手段 １２：報知回数判断手段
１３：報知回数上限値記憶手段 １４：発生エラー回数記憶手段 １５：比較手段
１６：許容エラー回数記憶手段
１７：加工手段 １８：操作手段 １９：ターゲットパターン入力手段
２０：第二の搬送手段 ２１：洗浄手段
１７０：スピンドル １７１：切削ブレード
Ｗ：ウェーハ
Ｓ１：第一の方向の分離予定ライン Ｓ２：第二の方向の分離予定ライン
Ｄ：デバイス Ｐ：ターゲットパターン
Ｔ：テープ Ｆ：フレーム

Claims (6)

1. ウェーハを保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持されたウェーハを加工する加工手段と、該チャックテーブルに保持されたウェーハの表面を撮像して予め登録されたターゲットパターンと同一のパターンを認識して加工すべき領域を検出する加工領域検出手段と、該加工領域検出手段が取得した画像を表示する表示手段とを少なくとも備えた加工装置であって、
   該加工領域検出手段は、ターゲットパターンの画像情報を記憶するターゲットパターン記憶部と、ウェーハの表面を撮像する撮像部と、該ターゲットパターン記憶部に記憶されたターゲットパターンの画像情報と撮像部によって撮像されたパターンの画像情報とのパターンマッチングを行うパターンマッチング部とから構成され、
   該パターンマッチング部におけるパターンマッチングが終了するごとに、その旨をオペレータに報知する報知手段と、
   該報知手段による報知の回数をカウントして記憶し、該報知の回数を該表示手段に表示させる報知回数カウント手段と、
   該パターンマッチングにおいて発生したエラーの回数を記憶し、該エラーの回数を該表示手段に表示させる発生エラー回数記憶手段と、
   該パターンマッチングにおけるエラーの許容回数を記憶する許容エラー回数記憶手段と、
   該許容エラー回数記憶手段に記憶された許容回数と該発生エラー回数記憶手段に記憶されたエラーの回数とを比較してその比較結果を該表示手段に表示させる比較手段と、
   該報知回数カウント手段に記憶された報知の回数の上限値を記憶する報知回数上限値記憶手段と、
   該報知回数カウント手段に記憶された報知の回数が、該報知回数上限値記憶手段に記憶された上限値に達したか否かを判断してその判断結果を該表示手段に表示させる報知回数判断手段と、
   を備えた加工装置。
2. ターゲットパターンの画像情報を取り込んで前記ターゲットパターン記憶部に転送して記憶させるターゲットパターン入力手段を備えた請求項１に記載の加工装置。
3. ウェーハを保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持されたウェーハを加工する加工手段と、該チャックテーブルに保持されたウェーハの表面を撮像して予めターゲットパターン記憶部に記憶させたターゲットパターンと同一のパターンを認識して加工すべき領域を検出する加工領域検出手段と、該加工領域検出手段が取得した画像を表示する表示手段とを少なくとも備えた加工装置における該ターゲットパターンの登録支援方法であって、
   ターゲットパターンを該ターゲットパターン記憶部に記憶する記憶工程と、
   該加工領域検出手段によりウェーハの表面を撮像して該ターゲットパターンと同一のパターンを認識するパターン認識工程と、
   該パターン認識工程において認識されたパターンの画像を該表示手段に表示させる表示工程と、
   パターン認識が終了するごとに、その旨をオペレータに報知する報知工程と、
   該報知工程の実行回数をカウントして報知回数カウント手段に記憶し、該報知工程の実行回数を前記表示手段に表示させる報知回数カウント工程と、
   パターン認識工程において発生したエラーの回数を発生エラー回数記憶手段に記憶し、該エラーの回数を前記表示手段に表示させる発生エラー回数カウント工程と、
   該エラーの許容回数を許容エラー回数記憶手段に記憶する許容エラー回数記憶工程と、
   比較手段において、該許容エラー回数記憶手段に記憶された許容回数と該発生エラー回数記憶手段に記憶されたエラーの回数とを比較してその比較結果を該表示手段に表示させる比較工程と、
   該報知の回数の上限値を報知回数上限値記憶手段に記憶する上限値記憶工程と、
   該報知回数カウント手段に記憶された報知の回数が、該報知回数上限値記憶手段に記憶された上限値に達したか否かを判断してその判断結果を前記表示手段に表示させる報知回数判断工程と、
   を少なくとも含むターゲットパターンの登録支援方法。
4. ターゲットパターンの画像情報を取り込んで前記ターゲットパターン記憶部に転送して記憶させるターゲットパターン転送工程を含む請求項３に記載のターゲットパターンの登録支援方法。
5. 前記表示工程では、認識されたパターンと共に、該パターンと相関関係がある分離予定ラインが表示される請求項３または４に記載のターゲットパターンの登録支援方法。
6. 前記表示工程では、第一の方向の分離予定ラインと第二の方向の分離予定ラインとの交差領域が表示される請求項５に記載のターゲットパターンの登録支援方法。

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