JP5686542B2 - 分割予定ラインの検出方法 - Google Patents
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Description
S1,S2 分割予定ライン
D デバイス
T ダイシングテープ
F 環状フレーム
2 切削装置
6 表示手段
11 キーパターン
18 チャックテーブル
22 撮像手段(撮像カメラ)
24 切削手段
28 切削ブレード
Claims (2)
- 分割予定ラインによって区画された各領域にデバイスが形成されたウエーハを保持し回転可能なチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持されたウエーハを撮像カメラで撮像し分割予定ラインを特定するキーパターンを検出する検出手段と、該検出手段によって検出されたキーパターンによって特定された分割予定ラインに所定の加工を施す加工手段と、該チャックテーブルをX軸方向に相対的に加工送りする加工送り手段と、該加工手段をX軸方向に直交するY軸方向に相対的に割り出し送りする割り出し送り手段とを備えた加工装置における分割予定ラインの検出方法であって、
該チャックテーブルに保持されたウエーハのX軸方向における隣り合った分割予定ラインに沿って存在するキーパターンを間違って検出することがない第1の距離離れた二つの領域を撮像カメラで撮像してそれぞれキーパターンを検出し、検出した二個のキーパターンを結ぶ直線がX軸方向と平行となるように該チャックテーブルを回転して補正する第1の位置合わせ工程と、
該第1の位置合わせ工程を実施した後、該チャックテーブルに保持されたウエーハのX軸方向における該第1の距離より大きい第2の距離離れた二つの領域を撮像カメラで撮像してそれぞれキーパターンを検出し、検出した二個のキーパターンを結ぶ直線がX軸方向と平行となるように該チャックテーブルを回転して補正する第2の位置合わせ工程と、
を具備したことを特徴とする分割予定ラインの検出方法。 - 分割予定ラインによって区画された各領域にデバイスが形成されたウエーハを保持し回転可能なチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持されたウエーハを撮像カメラで撮像し分割予定ラインを特定するキーパターンを検出する検出手段と、該検出手段によって検出されたキーパターンによって特定された分割予定ラインに所定の加工を施す加工手段と、該チャックテーブルをX軸方向に相対的に加工送りする加工送り手段と、該加工手段をX軸方向に直交するY軸方向に相対的に割り出し送りする割り出し送り手段とを備えた加工装置における分割予定ラインの検出方法であって、
該チャックテーブルに保持されたウエーハのY軸方向における隣り合った分割予定ラインに沿って存在するキーパターンを間違って検出することがない第1の距離離れた二つの領域を撮像カメラで撮像してそれぞれキーパターンを検出し、検出した二個のキーパターンを結ぶ直線がY軸方向と平行となるように該チャックテーブルを回転して補正する第1の位置合わせ工程と、
該第1の位置合わせ工程を実施した後、該チャックテーブルに保持されたウエーハのY軸方向における該第1の距離より大きい第2の距離離れた二つの領域を撮像カメラで撮像してそれぞれキーパターンを検出し、検出した二個のキーパターンを結ぶ直線がY軸方向と平行となるように該チャックテーブルを回転して補正する第2の位置合わせ工程と、
を具備したことを特徴とする分割予定ラインの検出方法。
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JP4697843B2 (ja) * | 2003-12-03 | 2011-06-08 | 株式会社ディスコ | アライメント装置及び加工装置 |
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- 2010-07-16 JP JP2010161191A patent/JP5686542B2/ja active Active
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