JP2014036028A - ダイ部品供給装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】
ウエハ45よりピックアップするダイ部品Pの配置位置の情報をマップ化したテンプレートマップTMをウエハの種類毎に記憶するテンプレートマップ記憶手段52と、テンプレートマップの情報に基づいて、吸着ノズル29によって吸着する吸着位置を決定する吸着位置決定手段(ステップ104)と、吸着位置におけるダイ部品を撮像装置25によって撮像し、画像処理によりダイ部品が良品か不良品かを判別する判別手段(ステップ108、110)と、この判別結果に基づいて、良品のダイ部品を吸着ノズルによって吸着させる吸着実行手段(ステップ114)とを備えた。
【選択図】図5
Description
Claims (4)
- 多数のダイ部品をダイシングした状態で規則的に配列したウエハ上の前記ダイ部品を吸着する吸着ノズルと、該吸着ノズルによって吸着する前記ダイ部品を撮像する撮像装置を備えたダイ部品供給装置にして、
前記ウエハよりピックアップする前記ダイ部品の配置位置の情報をマップ化したテンプレートマップを前記ウエハの種類毎に記憶するテンプレートマップ記憶手段と、
前記テンプレートマップの情報に基づいて、前記吸着ノズルによって吸着する吸着位置を決定する吸着位置決定手段と、
前記吸着位置における前記ダイ部品を前記撮像装置によって撮像し、画像処理により前記ダイ部品が良品か不良品かを判別する判別手段と、
該判別手段による判別結果に基づいて、良品の前記ダイ部品を前記吸着ノズルによって吸着させる吸着実行手段と、
を備えたことを特徴とするダイ部品供給装置。 - 請求項1において、前記ダイ部品に良品か不良品かを識別するマークが付与され、前記画像処理により前記マークの有無を認識して前記ダイ部品が良品か不良品かを判別するようにしたダイ部品供給装置。
- 請求項1または請求項2において、前記テンプレートマップには、前記ウエハ種毎のIDと、前記ウエハよりピックアップすべき最初のダイ部品の位置情報が登録されているダイ部品供給装置。
- 請求項1ないし請求項3のいずれか1項において、前記テンプレートマップ記憶手段には、前記ウエハ種毎のテンプレートマップとは別に、使いかけのウエハにおける吸着済みの前記ダイ部品の位置情報を登録したウエハ個別のテンプレートマップが記憶されているダイ部品供給装置。
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