JP2013258237A - ダイシング方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】ダイシング予定ライン13が形成され外周に切り欠き部17を有する被加工物11を裏面からダイシングする方法であって、被加工物11を表面から撮像して画像を形成するステップと、撮像画像に基づいて外周の切り欠き部17からのダイシング予定ライン13の位置を検出し記憶するダイシング予定ライン位置記憶ステップと、表面側をチャックテーブルで保持して裏面を露出させる保持ステップと、被加工物11の裏面側を撮像して切り欠き部17を検出するステップと、撮像画像を切り欠き部17を基準に左右を反転させた反転画像を形成して表示手段で表示し、被加工物11の切り欠き部17と、ダイシング予定ライン位置13とに基づいて、裏面から被加工物11をダイシングする。
【選択図】図3
Description
6 表示モニタ
11 半導体ウエーハ
13 ダイシング予定ライン
15 デバイス
17 ノッチ
18 チャックテーブル
21 オリエンテーションフラット
24,38 撮像ユニット
26 切削ユニット
30 切削ブレード
25 反転画像
40 パソコン
Claims (2)
- 表面に複数のダイシング予定ラインが形成され外周に切り欠き部を有する被加工物を裏面からダイシングするダイシング方法であって、
被加工物を表面から撮像して撮像画像を形成する撮像ステップと、
該撮像画像に基づいて外周の切り欠き部からのダイシング予定ラインの位置を検出し、記憶手段で記憶するダイシング予定ライン位置記憶ステップと、
該ダイシング予定ライン位置記憶ステップを実施した後、被加工物の表面側をチャックテーブルで保持して裏面を露出させる保持ステップと、
該保持ステップを実施した後、該チャックテーブルに保持された被加工物の裏面側を撮像して該切り欠き部を検出する検出ステップと、
該検出ステップを実施した後、該撮像ステップで形成した該撮像画像を該切り欠き部を基準に左右を反転させた反転画像を形成して表示手段で表示し、該検出ステップで検出した被加工物の切り欠き部と、該ダイシング予定ライン位置記憶ステップで記憶したダイシング予定ライン位置とに基づいて、裏面から被加工物をダイシングするとともにダイシング中のダイシング予定ラインを該反転画像上に表示するダイシングステップと、
を備えたことを特徴とするダイシング方法。 - 前記ダイシング予定ライン位置記憶ステップでは、被加工物の切欠き部からの被加工物上の全てのダイシング予定ライン位置を記憶する請求項1記載のダイシング方法。
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