JP4293356B2 - 半導体ウエハの供給回収方法およびこれを用いた装置 - Google Patents
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すなわち、第1の本発明に係る半導体ウエハの供給回収方法は、予め表面保護テープの貼付けられた半導体ウエハを供給にするウエハ供給部と、
リングフレームを供給するリングフレーム供給部と、
ダイシングテープを介してリングフレームに当該半導体ウエハを貼付け保持するダイシングテープ貼合せ処理部と、
前記半導体ウエハから表面保護テープを剥離する表面保護テープ剥離機構とを備えたウエハマウント装置に対し、表面保護テープが貼付けられた半導体ウエハを自ら収納し、かつ、当該半導体ウエハを自ら供給搬送および回収可能なウエハ供給回収装置を近接または連結したとき、
前記ウエハマウント装置の主制御部との情報授受によってウエハ供給回収装置を作動制御し、
前記ウエハ供給回収装置に収納された半導体ウエハをウエハマウント装置の表面保護テープ剥離機構に直接に供給搬送し、
前記表面保護テープ剥離機構を利用して半導体ウエハから表面保護テープを剥離し、
剥離処理済みの前記半導体ウエハをウエハ供給回収装置に回収することを特徴とする。
表面保護テープが貼り付けられた半導体ウエハを多段に収納する収納手段が置かれる載置部と、
前記載置部に置かれた収納手段から半導体ウエハを取り出して、前記ウエハマウント装置における表面保護テープを剥離する剥離テーブルに載置する搬送手段とを備え、
前記ウエハマウント装置に当該装置が連結または近接したとき、搬送手段の駆動系は、前記ウエハマウント装置の主制御部との情報授受によって駆動制御され、
前記搬送手段はウエハマウント装置の剥離テーブルに半導体ウエハを載置するとともに、表面保護テープの剥離された半導体ウエハを剥離テーブルから搬出して本装置の収納手段に回収させるよう構成したことを特徴とする。
ウエハマウント処理装置1にウエハ供給回収装置31を連結終了すると、ウエハマウント処理装置1の図示しない操作部を操作し、ウエハWの単体を供給し、このウエハWから表面保護テープPTを剥離して回収するように機能選択する。具体的には、ウエハマウント処理装置1側では、表面保護テープ剥離機構14のみが駆動するよう制御するとともに、ウエハ供給回収装置31側の駆動制御も連動して行うようにする。これらの駆動制御は選択された機能に応じてプログラムにより実行される。換言すれば、ウエハマウント処置装置1側では、表面保護テープ剥離機構14以外の構成については、その駆動を休止させることになる。
ウエハ供給回収部32に装填されたカセットC3からパターン形成面に表面保護テープPTの面を上向きにした水平姿勢のまま、下面を吸着保持してアライメントステージ34に搬送して移載するようにロボットアーム33を駆動制御する。
アライメントステージ34に移載されウエハWのオリエンテーションフラットやノッチを検出して位置合せ処理を行う。
位置合せ処理の終了したウエハWをアライメントステージ34からウエハマウント処理装置1側の剥離テーブル36に搬送して移載するように、ウエハWの表面を吸着保持して搬送するようにウエハ搬送機構35の駆動制御を行う。
剥離テーブル36に移載されたウエハWの位置合せ処理を行うとともに、ウエハWの表面に貼り付けられた表面保護テープPTの表面に図示しない剥離バーを介して剥離テープTSを貼り付けながら表面保護テープPTを剥離テープTSと一体にして剥離するように、表面保護テープ剥離機構14の駆動を制御する。
表面保護テープPTが剥離されたウエハWを剥離テーブル36からアライメントステージ34に吸着搬送するようにウエハ搬送機構35を駆動制御する。
アライメントステージ34で位置合せ処理の終了したウエハWの下面を吸着保持し、ウエハ供給回収部32に装填されたカセットC3の所定の位置に収納するように、ロボットアーム33を駆動制御する
14 … 表面保護テープ剥離機構
31 … ウエハ供給回収装置
W … 半導体ウエハ
F … リングフレーム
PT … 表面保護テープ
DT … ダイシングテープ
Claims (4)
- 予め表面保護テープの貼付けられた半導体ウエハを供給にするウエハ供給部と、
リングフレームを供給するリングフレーム供給部と、
ダイシングテープを介してリングフレームに当該半導体ウエハを貼付け保持するダイシングテープ貼合せ処理部と、
前記半導体ウエハから表面保護テープを剥離する表面保護テープ剥離機構とを備えたウエハマウント装置に対し、表面保護テープが貼付けられた半導体ウエハを自ら収納し、かつ、当該半導体ウエハを自ら供給搬送および回収可能なウエハ供給回収装置を近接または連結したとき、
前記ウエハマウント装置の主制御部との情報授受によってウエハ供給回収装置を作動制御し、
前記ウエハ供給回収装置に収納された半導体ウエハをウエハマウント装置の表面保護テープ剥離機構に直接に供給搬送し、
前記表面保護テープ剥離機構を利用して半導体ウエハから表面保護テープを剥離し、
剥離処理済みの前記半導体ウエハをウエハ供給回収装置に回収することを特徴とする半導体ウエハの供給回収方法。 - ダイシングテープを半導体ウエハに貼合せ、このダイシングテープの貼合わされた半導体ウエハから表面保護テープを剥離する機能を備えたウエハマウント装置に近接または連結し、ウエハマウント装置に対して半導体ウエハの搬送供給および回収を行う半導体ウエハの供給回収装置であって、
表面保護テープが貼り付けられた半導体ウエハを多段に収納する収納手段が置かれる載置部と、
前記載置部に置かれた収納手段から半導体ウエハを取り出して、前記ウエハマウント装置における表面保護テープを剥離する剥離テーブルに載置する搬送手段とを備え、
前記ウエハマウント装置に当該装置が連結または近接したとき、搬送手段の駆動系は、前記ウエハマウント装置の主制御部との情報授受によって駆動制御され、
前記搬送手段はウエハマウント装置の剥離テーブルに半導体ウエハを載置するとともに、表面保護テープの剥離された半導体ウエハを剥離テーブルから搬出して本装置の収納手段に回収させるよう構成した
ことを特徴とする半導体ウエハの供給回収装置。 - 請求項2に記載の半導体ウエハの供給回収装置において、
前記搬送手段は、半導体ウエハの上面を保持しながら位置合せするように構成したことを特徴とする半導体ウエハの供給回収装置。 - ダイシングテープを半導体ウエハに貼合せ、このダイシングテープの貼合わされた半導体ウエハから表面保護テープを剥離する機能を備えたウエハマウント装置に近接または連結し、ウエハマウント装置に対して半導体ウエハの搬送供給および回収を行う半導体ウエハの供給回収装置であって、
表面保護テープが貼り付けられた半導体ウエハを多段に収納する収納手段が置かれる載置部と、
前記半導体ウエハを載置して位置合せを行うアライメントステージと、
前記収納手段から半導体ウエハの下面を支持して取り出し、前記アライメントステージに載置する第1搬送手段と、
前記アライメントステージに載置されて位置合わせされた半導体ウエハの上面を保持してウエハマウント装置の剥離テーブルに載置する第2搬送手段とを備え、
前記第1搬送手段、第2搬送手段、およびアライメントステージの駆動系は、前記ウエハマウント装置の主制御部との情報授受によって駆動制御され、
前記両搬送手段を利用してアライメント後の半導体ウエハをウエハマウント装置の剥離テーブルに載置するとともに、表面保護テープの剥離された半導体ウエハを剥離テーブルから搬出して本装置の収納手段に回収させるよう構成した
ことを特徴とする半導体ウエハの供給回収装置。
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