KR20190129418A - 비상 탈출이 가능한 진공챔버 및 이를 포함하는 증착장치 - Google Patents

비상 탈출이 가능한 진공챔버 및 이를 포함하는 증착장치 Download PDF

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KR20190129418A
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Abstract

비상 탈출이 가능한 진공챔버 및 이를 포함하는 증착장치가 개시된다. 본 발명의 일 측면에 따르면, 내부에 증착공간이 마련되어 진공분위기에서 기판에 대한 증착이 이루어지며, 일측에 개구부가 구비되는 챔버본체와; 상기 챔버본체의 외벽에 결합되어 상기 증착공간 내부에서는 밀고 바깥에서는 당기는 여닫이 형태로 상기 개구부를 개폐하는 비상도어와; 상기 증착공간 내부 방향으로 상기 비상도어의 결합되며, 상기 비상도어를 상기 챔버본체의 벽체에서 탈착하는 비상레버와; 상기 비상도어가 폐합된 상태에서 상기 증착공간에 진공을 일으키는 진공펌프를 포함하며, 상기 증착공간 내부에 위치하는 사용자가 비상 시 상기 비상도어를 상기 증착공간 내부에서 밀어 탈출할 수 있는, 비상 탈출이 가능한 진공챔버가 제공된다.

Description

비상 탈출이 가능한 진공챔버 및 이를 포함하는 증착장치{Vacuum chamber capable of emergency escape and apparatus for deposition having the same}
본 발명은 비상 탈출이 가능한 진공챔버 및 이를 포함하는 증착장치에 관한 것이다. 보다 상세하게는, 작업자가 진공챔버의 내부에서 작업을 하다가 비상 사태가 발생할 경우 작업자가 진공챔버의 내부에서 바로 탈출할 수 있는 비상도어를 구비한 비상 탈출이 가능한 진공챔버 및 이를 포함하는 증착장치에 관한 것이다.
유기 전계 발광소자(Organic Light Emitting Diodes: OLED)는 형광성 유기화합물에 전류가 흐르면 빛을 내는 전계 발광현상을 이용하는 스스로 빛을 내는 자발광소자로서, 비발광소자에 빛을 가하기 위한 백라이트가 필요하지 않기 때문에 경량이고 박형의 평판표시장치를 제조할 수 있다.
이러한 유기 전계 발광소자를 이용한 평판표시장치는 응답속도가 빠르며, 시야각이 넓어 차세대 표시장치로서 대두 되고 있다. 특히, 제조공정이 단순하기 때문에 생산원가를 기존의 액정표시장치 보다 많이 절감할 수 있는 장점이다.
유기 전계 발광 소자는, 애노드 및 캐소드 전극을 제외한 나머지 구성층인 정공주입층, 정공수송층, 발광층, 전자수송층 및 전자주입층 등이 유기 박막으로 되어 있고, 이러한 유기 박막은 진공열증착방법으로 기판 상에 증착된다.
진공열증착방법은 진공 상태가 유지되는 진공챔버 내에서 기판을 일정 패턴이 형성된 쉐도우 마스크(shadow mask)와 얼라인(align)한 후, 증발물질이 담겨 있는 증발원에 열을 가하여 증발원에서 승화되는 증발물질을 기판 상에 증착하는 방식으로 이루어진다.
최근 기판이 대화형됨에 따라 증착공정이 이루어지는 진공챔버도 또한 대형화되어 진공챔버의 진공을 해제시킨 상태에서 작업자가 직접 진공챔버 내부로 들어가 장비 설치, 점검 등의 작업을 수행하는 경우가 많아지고 있다.
그런데, 이처럼 작업자가 진공챔버 내부에서 작업하는 횟수가 많아짐에 작업자가 진공챔버 내에 갇힐 우려가 많고, 진공챔버가 닫힌 상태에서 진공 펌핑으로 인한 안전사고가 발생할 우려가 증가하고 있다.
진공챔버는 증착과정에서 고진공압을 견뎌야 하기 때문에 대분분 두꺼운 금속벽체로 이루어져 있고 이에 따라 내부 상황을 식별하기 어려운 점이 있어 내부에서 작업하는 작업자의 안전사고가 발생할 우려가 많다.
대한민국 등록실용신안 제20-0437830호(2008년 1월 3일 공고)
본 발명은 작업자가 진공챔버의 내부에서 작업을 하다가 비상 사태가 발생할 경우 작업자가 진공챔버의 내부에서 바로 탈출할 수 있는 비상도어를 구비한 비상 탈출이 가능한 진공챔버 및 이를 포함하는 증착장치를 제공하는 것이다.
본 발명의 일 측면에 따르면, 내부에 증착공간이 마련되어 진공분위기에서 기판에 대한 증착이 이루어지며, 일측에 개구부가 구비되는 챔버본체와; 상기 챔버본체의 외벽에 결합되어 상기 증착공간 내부에서는 밀고 바깥에서는 당기는 여닫이 형태로 상기 개구부를 개폐하는 비상도어와; 상기 증착공간 내부 방향으로 상기 비상도어의 결합되며, 상기 비상도어를 상기 챔버본체의 벽체에서 탈착하는 비상레버와; 상기 비상도어가 폐합된 상태에서 상기 증착공간에 진공을 일으키는 진공펌프를 포함하며, 상기 증착공간 내부에 위치하는 사용자가 비상 시 상기 비상도어를 상기 증착공간 내부에서 밀어 탈출할 수 있는, 비상 탈출이 가능한 진공챔버가 제공된다.
상기 비상도어는, 상기 개구부를 커버하도록 상기 개구부 보다 큰 크기의 도어 플레이트와; 상기 도어 플레이트가 회전되도록 상기 도어 플레이트를 상기 챔버본체의 외벽에 결합하는 경첩과; 상기 비상도어의 외측에 결합되는 손잡이를 포함할 수 있다.
상기 개구부의 외측의 상기 챔버본체의 외벽과 대향하여 상기 도어 플레이트의 단부를 따라 내측으로 함입되어 폐합되는 패킹홈이 형성될 수 있으며, 이 경우, 상기 비상도어는, 상기 패킹홈을 따라 설치되어 폐합되는 패킹을 더 포함할 수 있다.
상기 비상레버는, 상기 비상도어 내측에 결합되는 레버블록과; 일단부가 상기 레버블록에 회전가능하게 결합되는 회전레버를 포함하는 회전레버부와; 상기 회전레버의 타단부에 결합되며 회전에 따라 상기 챔버본체의 내벽을 가압하는 지압부를 포함할 수 있다.
상기 레버블록의 일측에는 회전레버 고정부가 연장되어 형성될 수 있으며, 회전레버부는, 상기 회전레버와 상기 회전레버 고정부 사이에 개재되는 한 쌍의 베어링과; 상기 한 쌍의 베어링의 외측에 각각 배치되는 한 쌍의 부쉬와; 상기 회전레버의 일단부, 상기 한 쌍의 부쉬, 상기 한 쌍의 베어링 및 상기 레버블록 고정부를 관통하는 회전축부를 포함할 수 있다.
상기 지압부는, 상기 회전레버의 타단부를 관통하는 지압축부와; 상기 지압축부의 단부에 결합되어 상기 챔버본체의 내벽을 가압하는 지압편을 포함할 수 있다.
본 발명의 다른 측면에 따르면, 상기 비상 탈출이 가능한 진공챔버와; 상기 진공챔버의 내부에 배치되며, 기판과 마스크를 서로 얼라인 하는 얼라이너와; 상기 기판에 대향하여 배치되는 증발원을 포함하는, 증착장치가 제공된다.
본 발명의 실시예에 따른 비상 탈출이 가능한 진공챔버는, 작업자가 진공챔버의 내부에서 작업을 하다가 비상 사태가 발생할 경우 작업자가 진공챔버의 내부에서 바로 탈출할 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 비상 탈출이 가능한 진공챔버를 구비한 증착장치를 도시한 도면.
도 2은 본 발명의 일 실시예에 따른 비상 탈출이 가능한 진공챔버의 비상도어의 사시도.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 비상 탈출이 가능한 진공챔버의 비상레버의 분해 사시도.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 비상 탈출이 가능한 진공챔버의 비상레버의 결합 사시도.
본 발명은 다양한 변환을 가할 수 있고 여러 가지 실시예를 가질 수 있는 바, 특정 실시예들을 도면에 예시하고 상세한 설명에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나, 이는 본 발명을 특정한 실시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변환, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 본 발명을 설명함에 있어서 관련된 공지 기술에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 흐릴 수 있다고 판단되는 경우 그 상세한 설명을 생략한다.
이하, 본 발명에 따른 비상 탈출이 가능한 진공챔버 및 이를 포함하는 증착장치의 실시예를 첨부도면을 참조하여 상세히 설명하기로 하며, 첨부 도면을 참조하여 설명함에 있어, 동일하거나 대응하는 구성 요소는 동일한 도면번호를 부여하고 이에 대한 중복되는 설명은 생략하기로 한다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 비상 탈출이 가능한 진공챔버를 구비한 증착장치를 도시한 도면이다. 그리고, 도 2은 본 발명의 일 실시예에 따른 비상 탈출이 가능한 진공챔버의 비상도어의 사시도이다. 그리고, 도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 비상 탈출이 가능한 진공챔버의 비상레버의 분해 사시도이며, 도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 비상 탈출이 가능한 진공챔버의 비상레버의 결합 사시도이다.
도 1 내지 도 4에는, 챔버본체(10), 증착공간(11), 기판(12), 마스크(14), 얼라이너(16), 증발원(18), 진공펌프(19), 개구부(20), 비상도어(22), 비상레버(24), 도어 플레이트(26), 경첩(28), 손잡이(30), 패킹홈(32), 패킹(34), 회전레버부(36), 레버블록(37), 지압부(38), 회전레버(40), 회전레버 고정부(42), 베어링(44), 부쉬(46), 회전축부(48), 너트(50, 56),지압축부(52), 지압편(54)이 도시되어 있다.
본 실시예에 따른 비상 탈출이 가능한 진공챔버를 설명하기 이전에, 비상 탈출이 가능한 진공챔버가 장착된 증착장치를 먼저 설명하기로 한다.
증착장치는, 본 실시예에 따른 비상 탈출이 가능한 진공챔버와; 상기 진공챔버의 내부에 배치되며, 기판(12)과 마스크(14)를 서로 얼라인 하는 얼라이너(16)와; 상기 기판(12)에 대향하여 배치되는 증발원(18)을 포함한다.
진공챔버의 증착공간(11) 내에서는 증발물질의 증발에 따라 기판(12)에 대한 증발입자의 증착이 이루어진다. 진공챔버의 증착공간(11)은 증발입자의 증착을 위하여 진공 분위기가 유지되며, 고진공의 증착공간(11) 내에서 가열에 따라 증발물질을 증발시켜 증발입자를 기판(12)에 표면에 증착하게 된다. 이에 따라, 증발물질이 수용되어 증발물질을 가열하는 증발원(18)이 증착공간(11) 내부에서 기판(12)에 대향하여 배치되며, 로딩된 기판(12)과 마스크(14)를 얼라인하는 얼라이너(16)가 기판(12) 상부에 배치될 수 있다.
기판(12)이 진공챔버 내부로 로딩되면 얼라이너(16)는 기판(12)과 마스크(14)를 서로 얼라인하여 합착한다. 기판(12)과 마스크(14)의 얼라인이 이루어지면 증발원(18)에서 배출되는 증발입자가 마스크(14)를 거쳐 기판(12)에 일정 패턴으로 증착된다.
최근 기판이 대형화 됨에 따라 기판(12)이 로딩되는 진공챔버 또한 대형화되어 작업자가 진공압이 해제된 상태에서 진공챔버 내로 들어가 각종 기구의 설치, 점검 및 유지관리 등을 수행할 수 있다. 그러나, 이처럼 작업자가 진공챔버 내부에서 작업하는 경우 진공챔버의 도어가 닫혀 진공챔버 내에 갇히는 등 안전사고가 발생할 수 있으므로, 작업자가 진공챔버의 내부에서 탈출이 이루어질 수 있는 대책이 필요하다. 본 발명에서는 진공챔버의 일측에 비상도어(22)를 설치하여 비상 시 작업자가 진공챔버 내부에서 바로 탈출할 수 있도록 진공챔버를 구성하였다. 비상도어(22)는 작업자의 탈출을 위한 것으로서 기판(12)의 로딩이 이루어지는 게이트 밸브와는 구분된다.
이하에서는 본 실시예에 따른 비상 탈출이 가능한 진공챔버를 자세히 설명하기로 한다.
본 실시예에 따른 비상 탈출이 가능한 진공챔버는, 내부에 증착공간(11)이 마련되어 진공분위기에서 기판(12)에 대한 증착이 이루어지며, 일측에 개구부(20)가 구비되는 챔버본체(10)와; 상기 챔버본체(10)의 외벽에 결합되어 상기 증착공간(11) 내부에서는 밀고 바깥에서는 당기는 여닫이 형태로 상기 개구부(20)를 개폐하는 비상도어(22)와; 상기 증착공간(11) 내부 방향으로 상기 비상도어(22)의 결합되며, 상기 비상도어(22)를 상기 챔버본체(10)의 벽체에 탈착하는 비상레버(24)와; 상기 비상도어(22)가 폐합된 상태에서 상기 증착공간(11)에 진공을 일으키는 진공펌프(19)를 포함하는데, 상기 증착공간(11) 내부에 위치하는 사용자가 비상 시 상기 비상도어(22)를 상기 증착공간(11) 내부에서 밀어 탈출할 수 있다.
챔버본체(10)는, 그 내부에 증착공간(11)이 마련되어 진공분위기에서 기판(12)에 대한 증착이 이루어지며, 일측에 개구부(20)가 구비된다. 후술할 진공펌프(19)의 작동에 따라 증착공간(11) 내의 공기가 배출되면서 증착공간(11)이 고진공의 음압(陰壓) 상태로 되고, 고진공의 진공분위기에서 기판(12)에 대한 증착이 이루어진다.
한편, 챔버본체(10)의 일측에는 작업자의 출입이 가능한 개구부(20)가 형성되어 비상 시 작업자가 개구부(20)를 통해 챔버본체(10)에서 탈출하게 된다. 작업자의 출입이 가능한 개구부(20)는 기판(12)의 로딩이 이루어지는 게이트 밸브와는 구분된다.
비상도어(22)는, 챔버본체(10)의 외벽에 결합되어 증착공간(11) 내부에서는 밀고 바깥에서는 당기는 여닫이 형태로 개구부(20)를 개폐한다.
비상도어(22)가 챔버본체(10)의 외부에서 닫힌 상태로 진공펌프(19)가 작동되면 증착공간(11)이 고진공의 음압 상태로 되면서 비상도어(22)가 챔버본체(10)의 개구부(20) 주위를 압착하면서 증착공간(11)의 밀폐가 이루어진다. 더불어 진공펌프(19)의 작동 전에는 비상 시 작업자가 증착공간(11) 내부에서 여닫이 형태의 비상도어(22)를 밀면서 탈출할 수 있다.
본 실시예에 따른 비상도어(22)는, 개구부(20)를 커버하도록 개구부(20) 보다 큰 크기의 도어 플레이트(26)와; 도어 플레이트(26)가 회전되도록 도어 플레이트(26)를 챔버본체(10)의 외벽에 결합하는 경첩(28)과; 비상도어(22)의 외측에 결합되는 손잡이(30)를 포함한다.
상술한 바와 같이, 증착공간(11)의 고진공 밀폐를 위해서는 비상도어(22)가 진공챔버의 외부에서 압착되어야 하기 때문에, 비상도어(22)의 도어 플레이트(26)는 챔버본체(10)의 개구부(20) 보다 큰 사이즈로 형성되어 챔버본체(10)의 외부에서 개구부(20)를 커버하도록 한다.
경첩(28)은 도어 플레이트(26)가 여닫이 형태로 회전되도록 도어 플레이트(26)를 챔버본체(10)의 외벽에 결합한다. 도어 플레이트(26)가 경첩(28)에 의해 회전되면서 챔버본체(10)의 외부에서 개구부(20)를 폐합하거나 개방한다. 도어 플레이트(26)의 외측에는 손잡이(30)가 부착되어 챔버본체(10)의 외부에 위치하는 작업자가 손잡이(30)를 통해 비상도어(22)를 개폐할 수 있다.
비상도어(22)의 압착에 의한 증착공간(11)의 밀폐를 위하여, 개구부(20)의 외측의 챔버본체(10)의 외벽과 대향하여 도어 플레이트(26)의 단부를 따라 내측으로 함입되어 폐합되는 패킹홈(32)이 형성되고, 패킹홈(32)에는 패킹(34)이 삽입되어 결합된다. 패킹홈(32)은 도어 플레이트(26)의 단부를 따라 폐합되도록 형성되며, 이에 따라 패킹(34)이 폐합된 상태로 패킹홈(32)에 삽입되어 결합된다. 패킹(34)의 일부가 패킹홈(32)에서 돌출되어 진공펌프(19)의 작동에 따라 도어 플레이트(26)가 개구부(20)의 외측의 챔버본체(10)의 외벽에 압착되면서 고진공의 밀폐가 이루어진다. 패킹(34)은 내열(耐熱), 내유(耐油), 내약품성이 강한 불소 고무 재질로 이루어질 수 있다.
비상레버(24)는, 증착공간(11) 내부 방향으로 비상도어(22)의 결합되며, 비상도어(22)를 챔버본체(10)의 벽체에서 탈착한다. 비상레버(24)는 비상도어(22)가 폐합되는 경우 비상도어(22)를 챔버본체(10)에 결착하고, 비상도어(22)를 개방하는 경우 비상도어(22)를 챔버본체(10)에서 분리되도록 한다. 비상레버(24)는 증착공간(11) 내부 방향에서 비상도어(22)에 결합되어 비상 시 작업자의 작동에 따라 비상도어(22)가 챔버본체(10)에서 개방하면서 탈출할 수 있도록 한다.
본 실시예에 따른 비상레버(24)는, 비상도어(22) 내측에 결합되는 레버블록(37)과; 일단부가 상기 레버블록(37)에 회전가능하게 결합되는 회전레버(40)를 포함하는 회전레버부(36)와; 회전레버(40)의 타단부에 결합되며 회전에 따라 챔버본체(10)의 내벽을 가압하는 지압부(38)를 포함한다.
레버블록(37)은 비상레버(24)를 지지하기 위한 구조로서, 비상도어(22)의 내측에 결합된다. 레버블록(37)의 일측에는 회전레버부(36)가 회전가능하게 결합되는 회전레버 고정부(42)가 연장되어 형성된다.
회전레버부(36)는, 일단부가 레버블록(37)에 회전가능하게 결합되는 회전레버(40)를 포함한다. 도 2를 참고하면, 비상도어(22)가 챔버본체(10)에 닫힌 상태에서 회전레버(40)의 반시계방향으로 회전하면 회전레버(40)의 지압부(38)가 챔버본체(10)의 내벽 방향으로 이동하여 가압하면서 비상도어(22)가 챔버본체(10)에 결합되고, 다시 회전레버(40)가 시계 방향으로 회전이 이루어지면 지압부(38)가 챔버본체(10)의 내벽에서 이탈되면서 비상도어(22)가 열릴 수 있는 상태가 된다.
회전레버(40)의 타단부에는 회전에 따라 챔버본체(10)의 내벽을 가압하는 지압부(38)가 결합되어 있어 회전레버(40)의 정역회전에 따라 지압부(38)가 챔버본체(10)의 내벽을 가압하거나 이탈된다.
회전레버(40)의 원활한 회전을 위하여, 회전레버부(36)는, 회전레버(40)와 회전레버 고정부(42) 사이에 개재되는 한 쌍의 베어링(44)과; 한 쌍의 베어링(44)의 외측에 각각 배치되는 한 쌍의 부쉬(46)와; 회전레버(40)의 일단부, 한 쌍의 부쉬(46), 한 쌍의 베어링(44) 및 레버블록(37)을 관통하는 회전축부(48)를 포함할 수 있다.
도 3을 참조하면, 회전축부(48)는 회전레버(40)의 회전축을 구성하는 것으로서, 회전레버(40)의 일단부와 회전레버 고정부(42)를 관통하여 너트(50)에 의해 결합된다. 회전레버(40)와 회전레버 고정부(42) 사이에 위치하는 회전축부(48)는 한 쌍의 베어링(44)을 관통하여 배치되고, 한 쌍의 베어링(44)의 외측 각각에는 회전축부(48)가 삽입되는 한 쌍의 부쉬(46)가 배치된다. 회전축부(48)가 삽입된 베어링(44)에 의해 회전축부(48)를 중심으로 회전레버(40)가 원활히 회전하게 된다.
한편, 회전레버(40)의 타단부에 결합되는 지압부(38)는, 회전레버(40)의 타단부를 관통하는 지압축부(52)와; 지압축부(52)의 단부에 결합되어 챔버본체(10)의 내벽을 가압하는 지압편(54)을 포함한다. 지압축부(52)는 회전레버(40) 타단부를 관통하여 너트(56)에 의해 결합되고, 회전레버(40) 타단부를 관통한 지압축부(52)의 단부에는 챔버본체(10)의 내벽을 가압하는 지압편(54)이 결합된다.
챔버본체(10) 내부에 위치하는 작업자는 비상 시 회전레버(40)를 회전시켜 회전레버(40)의 지압부(38)가 챔버본체(10)의 내벽에서 이탈시킨 상태에서 비상도어(22)를 밀어 밖으로 탈출하게 된다.
이상에서 본 발명의 실시예들에 대하여 설명하였으나, 본 발명의 사상은 본 명세서에 제시되는 실시 예에 제한되지 아니하며, 본 발명의 사상을 이해하는 당업자는 동일한 사상의 범위 내에서, 구성요소의 부가, 변경, 삭제, 추가 등에 의해서 다른 실시 예를 용이하게 제안할 수 있을 것이나, 이 또한 본 발명의 사상범위 내에 든다고 할 것이다.
10: 챔버본체 11: 증착공간
12: 기판 14: 마스크
16: 얼라이너 18: 증발원
19: 진공펌프 20: 개구부
22: 비상도어 24: 비상레버
26: 도어 플레이트 28: 경첩
30: 손잡이 32: 패킹홈
34: 패킹 36: 회전레버부
37: 레버블록 38: 지압부
40: 회전레버 42: 회전레버 고정부
44: 베어링 46: 부쉬
48: 회전축부 50, 56: 너트
52: 지압축부 54: 지압편

Claims (7)

  1. 내부에 증착공간이 마련되어 진공분위기에서 기판에 대한 증착이 이루어지며, 일측에 개구부가 구비되는 챔버본체와;
    상기 챔버본체의 외벽에 결합되어 상기 증착공간 내부에서는 밀고 바깥에서는 당기는 여닫이 형태로 상기 개구부를 개폐하는 비상도어와;
    상기 증착공간 내부 방향으로 상기 비상도어의 결합되며, 상기 비상도어를 상기 챔버본체의 벽체에서 탈착하는 비상레버와;
    상기 비상도어가 폐합된 상태에서 상기 증착공간에 진공을 일으키는 진공펌프를 포함하되,
    상기 증착공간 내부에 위치하는 사용자가 비상 시 상기 비상도어를 상기 증착공간 내부에서 밀어 탈출하는 것을 특징으로 하는, 비상 탈출이 가능한 진공챔버.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 비상도어는,
    상기 개구부를 커버하도록 상기 개구부 보다 큰 크기의 도어 플레이트와;
    상기 도어 플레이트가 회전되도록 상기 도어 플레이트를 상기 챔버본체의 외벽에 결합하는 경첩과;
    상기 비상도어의 외측에 결합되는 손잡이를 포함하는 것을 특징으로 하는, 비상 안전 진공챔버.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 개구부의 외측의 상기 챔버본체의 외벽과 대향하여 상기 도어 플레이트의 단부를 따라 내측으로 함입되어 폐합되는 패킹홈이 형성되며,
    상기 비상도어는,
    상기 패킹홈을 따라 설치되어 폐합되는 패킹을 더 포함하는 것을 특징으로 하는, 비상 탈출이 가능한 진공챔버.
  4. 제1항에 있어서,
    상기 비상레버는,
    상기 비상도어 내측에 결합되는 레버블록과;
    일단부가 상기 레버블록에 회전가능하게 결합되는 회전레버를 포함하는 회전레버부와;
    상기 회전레버의 타단부에 결합되며 회전에 따라 상기 챔버본체의 내벽을 가압하는 지압부를 포함하는 것을 특징으로 하는, 비상 탈출이 가능한 진공챔버.
  5. 제4항에 있어서,
    상기 레버블록의 일측에는 회전레버 고정부가 연장되어 형성되며,
    회전레버부는,
    상기 회전레버와 상기 회전레버 고정부 사이에 개재되는 한 쌍의 베어링과;
    상기 한 쌍의 베어링의 외측에 각각 배치되는 한 쌍의 부쉬와;
    상기 회전레버의 일단부, 상기 한 쌍의 부쉬, 상기 한 쌍의 베어링 및 상기 레버블록 고정부를 관통하는 회전축부를 포함하는 것을 특징으로 하는, 비상 탈출이 가능한 진공챔버.
  6. 제4항에 있어서,
    상기 지압부는,
    상기 회전레버의 타단부를 관통하는 지압축부와;
    상기 지압축부의 단부에 결합되어 상기 챔버본체의 내벽을 가압하는 지압편을 포함하는 것을 특징으로 하는, 비상 탈출이 가능한 진공챔버.
  7. 상기 제1항 내지 제6항 중 어느 한 항에 따른 비상 탈출이 가능한 진공챔버와;
    상기 진공챔버의 내부에 배치되며, 기판과 마스크를 서로 얼라인 하는 얼라이너와;
    상기 기판에 대향하여 배치되는 증발원을 포함하는, 증착장치.
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