JP6283559B2 - 加工装置 - Google Patents
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Description
2 装置基台
5 第一の研削手段
6 第二の研削手段
7 チャックテーブル
16 外装カバー
17 第一の開閉扉
171 開口部
172 窓枠部
173 蝶番
18 第二の開閉扉
181 開口部
182 窓枠部
183 蝶番
19 報知手段
191 第一の検出部
192 第二の検出部
193 制御部
194 報知部
20 モード設定部
52 研削砥石
62 研削砥石
W ウエーハ
Claims (1)
- 被加工物を保持するチャックテーブルと、スピンドルの先端に工具を装着し前記チャックテーブルに保持された被加工物を加工する加工手段と、各構成要素を制御する制御手段と、を備え、開閉扉を有する外装カバーに覆われた加工装置であって、
第一の加工手段と、
第二の加工手段と、
前記第一の加工手段の近傍に形成された第一の開閉扉と、
前記第二の加工手段の近傍に形成された第二の開閉扉と、
警報信号を報知する報知手段と、を備え、
前記第一の開閉扉を開放している状態で前記第二の開閉扉が開放されると、前記報知手段が前記第二の開閉扉が開放したことを報知することを特徴とする加工装置。
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