JP2011224748A - 加工装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】 被加工物を位置決めしてチャックテーブル上に容易に搭載可能な加工装置を提供することである。
【解決手段】 被加工物を保持する保持面を有し作業者が被加工物を載置するチャックテーブルと、該チャックテーブルで保持された被加工物へ加工を施す加工手段とを備えた加工装置であって、該チャックテーブルの該保持面に対面して配設された光源と、該光源と該チャックテーブルとの間に配設され被加工物位置合わせ用パターンを有するフィルタとを少なくとも含むパターン投影手段を具備したことを特徴とする。
【選択図】図2
【解決手段】 被加工物を保持する保持面を有し作業者が被加工物を載置するチャックテーブルと、該チャックテーブルで保持された被加工物へ加工を施す加工手段とを備えた加工装置であって、該チャックテーブルの該保持面に対面して配設された光源と、該光源と該チャックテーブルとの間に配設され被加工物位置合わせ用パターンを有するフィルタとを少なくとも含むパターン投影手段を具備したことを特徴とする。
【選択図】図2
Description
本発明は、被加工物を保持する保持面を有し作業者が被加工物を載置するチャックテーブルと、チャックテーブルで保持された被加工物へ加工を施す加工手段とを備えた加工装置に関する。
シリコンウエーハ上にICやLSI等のデバイスが複数形成された半導体ウエーハや、電子部品や光学部品に使用される各種セラミック基板、樹脂基板、ガラス基板等の被加工物は、切削装置によって個々のチップに分割され、分割されたチップは各種電気機器に広く利用されている。
切削装置としては、例えば特開2006−13312号公報に開示されるダイシング装置が広く用いられている。ダイシング装置は、被加工物を保持するチャックテーブルと、チャックテーブルに保持された被加工物を切削する切削ブレードを含む加工手段と、チャックテーブルと加工手段とを相対的に加工送りする加工送り手段とを備えている。
特開2006−13312号公報に開示されるダイシング装置はマニュアルタイプと呼ばれるものであり、被加工物の搬送機構を備えず、作業者がチャックテーブル上に被加工物を載置する。加工が終了した被加工物は作業者がチャックテーブル上から搬出する。
このようなマニュアルタイプのダイシング装置では、作業者がダイシングテープを介して環状フレームで支持されたウエーハ等の被加工物をチャックテーブルの中心に載置する必要がある。チャックテーブルの中心に被加工物を載置する一つの方法として、被加工物を保持する環状フレームを複数の位置決めピンを用いて位置決めする方法が考えられる。
ところで、チャックテーブルと加工手段とが相対的に加工送りされる距離はチャックテーブルの中心を基準に算出される。従って、被加工物がチャックテーブルの中央に載置されない場合には、被加工物の一部が切削されないという加工不良が発生してしまう。
複数の位置決めピンを用いて環状フレームの位置合わせを行う場合は、環状フレームの中央に被加工物を載置する必要があり、被加工物が環状フレームの中央に載置されないと被加工物の中心とチャックテーブルの中心とが合致しないという問題がある。
本発明はこのような点に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、被加工物を位置決めした状態でチャックテーブル上に容易に載置可能な加工装置を提供することである。
本発明によると、被加工物を保持する保持面を有し作業者が被加工物を載置するチャックテーブルと、該チャックテーブルで保持された被加工物へ加工を施す加工手段とを備えた加工装置であって、該チャックテーブルの該保持面に対面して配設された光源と、該光源と該チャックテーブルとの間に配設され被加工物位置合わせ用パターンを有するフィルタとを少なくとも含むパターン投影手段を具備したことを特徴とする加工装置が提供される。
本発明の加工装置は、被加工物位置合わせ用パターンを有するフィルタと光源とからなるパターン投影手段を備えているので、作業者がチャックテーブル上に被加工物を載置する際には、被加工物位置合わせ用パターンをチャックテーブル上や被加工物上に投影でき、この被加工物位置合わせ用パターンに合わせて被加工物を載置することにより、チャックテーブル上に被加工物を位置決めした状態で容易に載置することができる。
以下、本発明の実施形態を図面を参照して詳細に説明する。図1を参照すると、ハウジング内に収容された加工装置2の外観斜視図が示されている。加工装置2は例えば切削装置から構成され、図示しない骨組み内に図2に示すような加工部24が配設されている。
符号4,6,8は加工装置2の骨組みに取り外し可能に装着される外装カバーであり、これらの外装カバー4,6,8及び骨組みに固定された複数のパネル10によりハウジング12が構成される。
オペレータが加工装置2を操作する操作側には、オペレーション表示モニタ14が配設されている。このオペレーション表示モニタ14はタッチパネル式であり、オペレータはモニタ14に表示された情報にタッチすることにより、加工装置2にコマンドを入力することができるとともに、加工装置2の稼働状況がこのモニタ14上に表示される。
16は加工装置2の稼働状況を示す表示ランプであり、加工装置2が正常作動時には例えば緑色で点灯し、何らかの故障が生じた場合には赤色が点滅する。18は非常停止ボタンであり、オペレータがこの非常停止ボタン18を押すと加工装置2の作動を直ちに停止することができる。
加工装置2の操作側には、観音開きに開閉可能な扉20とスライドして開閉可能な扉22が設けられている。例えば、加工装置2のチャックテーブルにウエーハを装着したり、又はスピンドルに装着された切削ブレードを交換したい等の場合には、これらの扉20,22を開閉して作業を実施する。
図2を参照すると、加工部24の一例としての切削装置の要部斜視図が示されている。26は切削装置のチャックテーブルであり、図示しない加工送り機構によりX軸方向に移動される。
チャックテーブル26は金属から形成された枠体28と、ポーラスセラミックス等から形成された吸引保持部30とを含んでいる。枠体28には後述する環状フレームを吸着するための複数の永久磁石31が配設されている。32はウォーターカバーであり、34は蛇腹である。
切削ユニット36は、スピンドルハウジング38中に回転可能に収容されたスピンドル40と、スピンドル40の先端部に装着された切削ブレード42を含んでいる。切削ブレード42はホイールカバー(ブレードカバー)44によりカバーされている。
スピンドルハウジング38はブロック45内に収容固定されており、ブロック45には撮像ユニット48を有するアライメントユニット46が取り付けられている。ブロック45はZ軸移動ブロック50に固定されている。
符号52はY軸移動ブロックであり、Y軸移動ブロック52に垂直方向には伸長する一対のガイドレール54が固定されている。Z軸移動ブロック50は、ボールねじ56とパルスモータ58とから構成されるZ軸送り機構60によりガイドレール54に沿ってZ軸方向に移動可能に搭載されている。Y軸移動ブロック52は、図示しないボールねじ及びパルスモータとからなるY軸移動機構によりY軸方向に移動可能に搭載されている。
図2にしめされたチャックテーブル26は、オペレータ(作業者)がウエーハをチャックテーブル26に着脱する原点位置にある状態を示しており、原点位置にあるチャックテーブル26に対向して加工部24の天井62にパターン投影手段64が配設されている。図3に示す半導体ウエーハWを切削ブレード42で切削する際には、この原点位置を基準にX軸方向へのチャックテーブル26の移動距離が算出される。
図3に示すように、切削装置の加工対象である半導体ウエーハWの表面においては、第1のストリートS1と第2のストリートS2とが直交して形成されており、第1のストリートS1と第2のストリートS2とによって区画された各領域にそれぞれデバイスDが形成されている。
ウエーハWは粘着テープであるダイシングテープTに貼着され、ダイシングテープTの外周部は環状フレームFに貼着されている。これにより、ウエーハWはダイシングテープTを介して環状フレームFに支持されており、作業者がマニュアルでチャックテーブル26上に環状フレームFに支持されたウエーハWを載置する。
チャックテーブル26の枠体28には複数の永久磁石31が配設されているため、環状フレームFが永久磁石31に吸着されて固定され、ダイシングテープTに貼着されたウエーハWは吸引保持部30で吸引保持される。
図4に示すように、パターン投影手段64は、光源66と、被加工物位置合わせ用パターンを有するフィルタ68と、位置合わせ用パターンをチャックテーブル26上又はチャックテーブルに吸引保持されたウエーハW等の被加工物上に結像するレンズ70とを含んでいる。
被加工物位置合わせ用パターンとしては、例えば図5(A)に示すような十字形状の目盛り線72を有するパターン、又は図5(B)に示すような被加工物の外形線74に対応するパターン等が考えられる。或いは、被加工物が図3に示すような半導体ウエーハWの場合には、ウエーハWの外形線に対応する円形パターンが好ましい。
代替実施形態として、パターン投影手段としてプロジェクタを搭載するようにしてもよい。そして、加工装置の記憶部で複数の被加工物位置合わせ用パターンを記憶しておき、被加工物の位置合わせに適したパターンを選択してプロジェクタでチャックテーブル26上に投影する。
作業者はチャックテーブル26が図2に示した原点位置にあるときに、パターン投影手段64によりチャックテーブル26上に、例えば図5(A)に示すような十字形状の目盛り線72を有するパターンを投影し、この目盛り線72を参照してウエーハWの中心をチャックテーブル26の中心に合わせて、チャックテーブル26の吸引保持部30上にウエーハWを搭載し、環状フレームFを永久磁石31で固定する。
或いは、ウエーハWの外形に対応した円形パターンをチャックテーブル26上に投影し、この円形パターンに合わせてウエーハWをチャックテーブル26の吸引保持部30上に搭載する。
このように本実施形態によれば、作業者がチャックテーブル26上に被加工物を載置する際には、被加工物位置合わせ用パターンがチャックテーブル26上又は被加工物上に投影されているため、作業者は被加工物を位置決めした状態でチャックテーブル26上に容易に載置することができる。
複数の位置決めピンを用いて環状フレームの位置合わせを行う場合は、環状フレームの中央に被加工物が載置されていないと、被加工物の中心とチャックテーブル26の中心とが合致しないが、本発明によると、環状フレームFの中央に被加工物が載置されていなくても、被加工物の中心とチャックテーブル26の中心とを合わせて被加工物をチャックテーブル26上に容易に載置することができる。
例えば、6インチウエーハから4インチウエーハを切り出すサークルカット加工等の被加工物のダウンサイジング化や、ストリートがない被加工物の加工(例えば、100mm角ガラスを5mm角チップへと個片化する)の場合には、本発明のパターン投影手段を用いた位置合わせのみで被加工物に加工を行うことができ、アライメントを実施する必要がない。
上述した実施形態では、加工装置として切削装置に本発明を適用した例について説明したが、本発明はこれに限定されるものではなく、レーザ加工装置、ウォータージェット加工装置等の他の加工装置にも同様に適用することができる。
2 加工装置
12 ハウジング
24 加工部
26 チャックテーブル
28 枠体
30 吸引保持部
31 永久磁石
36 切削ユニット
42 切削ブレード
64 パターン投影手段
66 光源
68 フィルタ
70 レンズ
72 目盛り線
74 被加工物外形線
12 ハウジング
24 加工部
26 チャックテーブル
28 枠体
30 吸引保持部
31 永久磁石
36 切削ユニット
42 切削ブレード
64 パターン投影手段
66 光源
68 フィルタ
70 レンズ
72 目盛り線
74 被加工物外形線
Claims (1)
- 被加工物を保持する保持面を有し作業者が被加工物を載置するチャックテーブルと、該チャックテーブルで保持された被加工物へ加工を施す加工手段とを備えた加工装置であって、
該チャックテーブルの該保持面に対面して配設された光源と、該光源と該チャックテーブルとの間に配設され被加工物位置合わせ用パターンを有するフィルタとを少なくとも含むパターン投影手段を具備したことを特徴とする加工装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2010098611A JP2011224748A (ja) | 2010-04-22 | 2010-04-22 | 加工装置 |
Applications Claiming Priority (1)
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JP2010098611A JP2011224748A (ja) | 2010-04-22 | 2010-04-22 | 加工装置 |
Publications (1)
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Family
ID=45040750
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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JP2010098611A Pending JP2011224748A (ja) | 2010-04-22 | 2010-04-22 | 加工装置 |
Country Status (1)
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JP (1) | JP2011224748A (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN106903810A (zh) * | 2015-10-21 | 2017-06-30 | 株式会社迪思科 | 切削装置 |
CN108356794A (zh) * | 2017-01-27 | 2018-08-03 | 精工爱普生株式会社 | 控制装置及机器人系统 |
CN112676986A (zh) * | 2020-12-30 | 2021-04-20 | 张风才 | 一种具有可转动头部的模具研磨机 |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS59115593A (ja) * | 1982-12-22 | 1984-07-04 | 富士電機株式会社 | 光指示式実装機 |
JPS61158999U (ja) * | 1985-03-26 | 1986-10-02 | ||
JP2006013312A (ja) * | 2004-06-29 | 2006-01-12 | Disco Abrasive Syst Ltd | 切削装置 |
-
2010
- 2010-04-22 JP JP2010098611A patent/JP2011224748A/ja active Pending
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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CN106903810B (zh) * | 2015-10-21 | 2020-02-21 | 株式会社迪思科 | 切削装置 |
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