TWI789518B - 加工裝置 - Google Patents

Abstract

[課題]在加工裝置中，在不使生產性下降的情況下，對貼附在被加工物上的紫外線硬化型膠帶進行適當的紫外線照射。 [解決手段]一種加工裝置，具備有加工組件及紫外線照射單元，前述紫外線照射單元是對貼附在以加工組件所加工之被加工物上的紫外線硬化型膠帶照射紫外線，且紫外線照射單元具有：紫外線光源，對紫外線硬化型膠帶照射紫外線；及照度測定器，測定紫外線光源的照度，加工裝置具備：輸入組件，輸入加工資訊；及控制器，至少對加工組件及紫外線照射單元進行控制，控制器是依據以輸入組件所輸入之為了使紫外線硬化型膠帶的糊硬化所必要的光量、以及以照度測定器所測定出的紫外線光源的照度，來控制紫外線光源的亮燈時間。

Description

加工裝置

發明領域 本發明是有關一種對半導體晶圓等的被加工物進行加工的加工裝置，特別是具備紫外線照射單元的加工裝置，前述紫外線照射單元是對貼附在被加工物上的紫外線硬化型膠帶照射紫外線。

發明背景 在進行雷射加工、切割加工或者磨削加工等時，為了保護並固定被加工物，而廣泛地使用藉由紫外線的照射來使糊硬化的紫外線硬化型膠帶。並且，在被加工物的加工後，於對貼附在被加工物上的紫外線硬化型膠帶照射紫外線來使糊硬化並使黏著力下降後，從膠帶拾取被加工物。

有在各種加工裝置上具備有紫外線照射單元的構成(例如記載於專利文獻1的切割裝置)，並進行成因應於所使用的紫外線硬化型膠帶的類型，作業人員在加工開始前預先將紫外線的照射時間輸入裝置，以對貼附在加工後的被加工物的膠帶照射一定時間的紫外線。 先前技術文獻 專利文獻

專利文獻1：日本專利特開2014-022574號公報

發明概要 發明欲解決之課題 但是，隨著紫外線照射單元的紫外線光源的劣化，照度會降低。在光源的照度已降低的狀態下對紫外線硬化型膠帶照射預先設定之一定時間的紫外線的情況下，恐怕會產生下述問題：未充份地使膠帶的糊硬化而無法在之後進行被加工物的拾取等。另一方面，若過度地將紫外線的照射時間設定得較長時，會有所謂的生產性變差的問題。

據此，有下述課題：在對被加工物進行加工的加工裝置中，在不使生產性下降的情況下，對貼附在被加工物上的紫外線硬化型膠帶進行適當的紫外線照射。 用以解決課題之手段

用於解決上述課題之本發明是一種加工裝置，具備有：加工組件，對被加工物進行加工；及紫外線照射單元，對貼附在以該加工組件所加工之被加工物上的紫外線硬化型膠帶照射紫外線，且該紫外線照射單元具有：紫外線光源，對該紫外線硬化型膠帶照射紫外線；及照度測定器，測定該紫外線光源的照度，該加工裝置具備：輸入組件，輸入加工資訊；及控制器，至少對該加工組件及該紫外線照射單元進行控制，該控制器是依據以該輸入組件所輸入之為了使該紫外線硬化型膠帶的糊硬化所必要的光量、以及以該照度測定器所測定出的該紫外線光源的照度，來控制該紫外線光源的亮燈時間。

較理想的是，前述控制器具有加工時間計算部，前述加工時間計算部是計算以前述加工組件對被加工物進行加工所需要的加工時間，更具備警告發送組件，當比較以該加工時間計算部所計算出的加工時間與前述亮燈時間而在該亮燈時間成為比該加工時間更長時，前述警告發送組件發送警告。 發明效果

本發明之加工裝置因為具備紫外線照射單元，且紫外線照射單元具有對紫外線硬化型膠帶照射紫外線的紫外線光源、及測定紫外線光源的照度的照度測定器，加工裝置具備輸入加工資訊的輸入組件、以及至少對加工組件及紫外線照射單元進行控制的控制器，控制器是依據以輸入組件所輸入之為了使紫外線硬化型膠帶的糊硬化所必要的光量、以及以照度測定器所測定出的紫外線光源的照度，來控制紫外線光源的亮燈時間，所以即使因劣化而使紫外線光源的照度降低，仍然可以對紫外線硬化型膠帶照射相當於使糊硬化所必要的時間。據此，變得可在不使生產性下降的情況下，不被紫外線光源的劣化所左右，而進行對紫外線硬化型膠帶之適當的紫外線照射。

又，控制器具有加工時間計算部，前述加工時間計算部是計算以加工組件對被加工物進行加工所需要的加工時間，藉由更具備警告發送組件，當比較以加工時間計算部所計算出的加工時間與亮燈時間而在亮燈時間成為比加工時間更長時，前述警告發送組件發送警告，可以將因繼續使用超過必要的已劣化之紫外線光源而導致生產性過度降低的情況，由警告的發送來通知作業人員。因此，藉由作業人員將已劣化之紫外線光源更換成新的紫外線光源，而可以達到防止導致加工裝置的生產性降低之情形。

用以實施發明之形態 本發明之圖1所示的加工裝置1是例如藉由第1加工組件61及第2加工組件62對保持在工作夾台30的被加工物W施行切割加工的切割裝置。 再者，本發明之加工裝置並不限定於如上述之對被加工物W進行雙重切割(二軸同時切割)的切割裝置，亦可為藉由雷射照射來對被加工物W施行所期望的加工的雷射加工裝置、以旋轉的磨削磨石將被加工物W磨削並薄化的磨削裝置、以研磨墊對被加工物W進行研磨的研磨裝置、將紫外線硬化型膠帶T貼附到被加工物W的膠帶貼合機、或將貼附在被加工物W上的紫外線硬化型膠帶T擴張來對被加工物W施加外力並進行分割的擴張裝置。

被加工物W是例如母材為由矽所構成之圓形的半導體晶圓，並且在被加工物W的正面Wa上藉由分割預定線S所區劃出的格子狀的區域形成有元件D。被加工物W是形成為在加工裝置1中適用於施行加工時，且於背面Wb貼附有紫外線硬化型膠帶T的狀態。

紫外線硬化型膠帶T是例如比被加工物W更大徑之圓形的膠帶，並且由在圖1中放大而顯示之例如聚烯烴系樹脂等所構成的基材Td、及具黏著力的糊Tc所構成。基材Td的露出面是成為紫外線硬化型膠帶T的背面Tb，且糊Tc的露出面是成為紫外線硬化型膠帶T的貼附面Ta。並且，於糊Tc方面，所採用的是例如當照射紫外線時即硬化並使黏著力降低之由丙烯酸系基底樹脂等所形成的UV硬化糊。 再者，基材Td及糊Tc的種類等並非限定於上述例子的種類。

然後，將被加工物W的背面Wb貼附在紫外線硬化型膠帶T的貼附面Ta，並將紫外線硬化型膠帶T的外周部貼附到環狀框架F。藉此，可在被加工物W的正面Wa為朝上側露出的狀態下，將被加工物W透過紫外線硬化型膠帶T支撐在環狀框架F上，而變得可進行操作處理。 再者，被加工物W亦可不藉由環狀框架F來支撐，又，被加工物W亦可為在正面Wa形成元件D前的晶圓，亦可是矽以外而以砷化鎵、藍寶石、氮化鎵或者碳化矽等所構成。

如圖1所示，在加工裝置1的基台10上配設有以虛線表示的裝置罩殼15，並在裝置罩殼15內界定有加工室。 於加工裝置1之基台10的+Y方向側的一個角落設置有片匣載置台12，在片匣載置台12上載置有片匣11，前述片匣11收容有複數片以環狀框架F所支撐的被加工物W。

於圖2詳細地顯示的片匣11具有底板11a、頂板11b、後壁11c、二片圖未示的側壁、及前方側(-Y方向側)的開口11d，而形成為可以將被加工物W從開口11d搬出搬入的構成。在片匣11的內部，是將複數個架部11e在上下方向上隔著規定的間隔而形成，並形成為可在架部11e中以水平狀態一片一片地收容以環狀框架F所支撐的被加工物W。

圖1所示的工作夾台30是被罩殼31從周圍所包圍，並且藉由配設在罩殼31的下方之圖未示的旋轉組件，以繞著Z軸方向的軸心且可旋轉的方式受到支撐。於罩殼31連結有在X軸方向上伸縮之蛇腹罩殼311，並且在罩殼31及蛇腹罩殼311的下方配設有使工作夾台30朝切割進給方向(X軸方向)往返移動之圖未示的切割進給組件。切割進給組件是以藉由馬達使滾珠螺桿旋動的方式來將工作夾台30切割進給的機構。

工作夾台30是例如其外形為圓形板狀，並且在連通於圖未示之吸引源的保持面30a上吸引保持被加工物W。又，在工作夾台30的周圍是將例如4個夾持固定環狀框架F的固定夾具32在圓周方向上空出等間隔而均等地配設。

如圖1所示，在工作夾台30的移動路徑上方，且在配設於片匣載置台12上之片匣11的附近配設有由一對導引軌道所構成的對中導件36，前述一對導引軌道是將藉由後述的推拉件46從片匣11拉出的被加工物W對位於一定的位置。截面形成為L字形狀且於Y軸方向上延伸的各導引軌道可在X軸方向上相互地遠離或接近，並且配置成讓階狀的導引面(內側面)相向。在將被加工物W搬入工作夾台30時，是藉由推拉件46從片匣11拉出被加工物W並載置於對中導件36。又，已加工且已洗淨的被加工物W是藉由圖1所示之手部410載置於對中導件36之後，再藉由推拉件46推入片匣11。 對中導件36的一對導引軌道是在被加工物W的載置時相互地接近來支撐環狀框架F的外周緣部，並且進行被加工物W相對於工作夾台30的定位(對準中心，centering)，且在被加工物W的非載置時是相互遠離成在工作夾台30的保持面30a上空出空間。

在基台10上，是將第1門型支柱13以於工作夾台30的移動路徑上跨越的方式豎立設置。 加工裝置1具備有將被加工物W搬入工作夾台30的第1搬送組件41，第1搬送組件41是配設在第1門型支柱13的前表面上部。 第1搬送組件41具備：手部410，形成為例如平面視角下十字形狀且對支撐被加工物W的環狀框架F進行吸引保持；下控制臂411，藉由電動缸筒或者汽缸等使手部410在Z軸方向上升降；及手部移動組件412，使手部410在Y軸方向上移動。

手部410是在其上表面安裝有下控制臂411的下端側。手部410是在其下表面具有吸附環狀框架F之圖未示的複數個吸附盤，各吸附盤是連通至產生吸附力之圖未示的吸引源。

手部移動組件412具備有：滾珠螺桿412a，具有例如Y軸方向的軸心；圖未示之馬達，連結於滾珠螺桿412a的一端；及可動區塊412b，在內部具備有螺合於滾珠螺桿412a的螺帽且支撐下控制臂411。當圖未示的馬達使滾珠螺桿412a旋動時，伴隨於此，會使可動區塊412b在Y軸方向上移動，而使安裝在下控制臂411之下端側的手部410在Y軸方向上移動。

可在例如手部410的+Y方向側的前端部分設置推拉件46，前述推拉件46是以從上下方向來把持環狀框架F的狀態，將加工前的被加工物W從片匣11拉出。推拉件46是藉由手部移動組件412及下控制臂411，而變得可與手部410一起在Y軸方向及Z軸方向上移動。

如圖1所示，加工裝置1具備有第2搬送組件42，前述第2搬送組件42是將切割加工後的被加工物W從工作夾台30搬出，並且將該被加工物W搬入後述的洗淨組件37。第2搬送組件42是配設在第1門型支柱13的前表面且在第1搬送組件41的上方，並且具備：手部420，形成為例如平面視角下十字形狀且吸引保持支撐被加工物W的環狀框架F；上控制臂421，藉由電動缸筒或者汽缸等使手部420在Z軸方向上升降；及手部移動組件422，使手部420在Y軸方向上移動。

手部420是在其上表面安裝有上控制臂421的下端側。手部420是在其下表面具有吸附環狀框架F之圖未示的複數個吸附盤。各吸附盤是連通於產生吸附力之圖未示的吸引源。

手部移動組件422具備有：滾珠螺桿422a，具有例如Y軸方向的軸心；圖未示之馬達，連結於滾珠螺桿422a的一端；及可動區塊422b，在內部具備有螺合於滾珠螺桿422a的螺帽且支撐上控制臂421。當圖未示的馬達使滾珠螺桿422a旋動時，伴隨於此，會使可動區塊422b在Y軸方向上移動，而使安裝在上控制臂421之下端側的手部420在Y軸方向上移動。

例如，可動區塊422b是相較於第1搬送組件41的可動區塊412b，而將X軸方向上的尺寸形成得較長，且於像這樣形成得較長的可動區塊422b之+X方向側的下表面安裝有上控制臂421。因此，第1搬送組件41的下控制臂411可在X軸方向上從連接於上控制臂421之下端側的手部420的動線上錯開。藉此，在將被加工物W從工作夾台30搬出時，第2搬送組件42可以在不碰撞到第1搬送組件41的情況下，於Y軸方向上搬送被加工物W。

在基台10上的對中導件36的附近配設有洗淨組件37。洗淨組件37是例如單片式的旋轉洗淨裝置，並以旋轉工作台370吸引保持藉由第2搬送組件42從工作夾台30所搬送來之切割加工完畢的被加工物W，且從洗淨噴嘴371對被加工物W噴射洗淨液來進行洗淨。

在基台10上，於第1門型支柱13的後方以於工作夾台30的移動路徑上跨越的方式豎立設置有第2門型支柱14。在第2門型支柱14的前表面配設有例如圖未示的分度進給組件，且前述分度進給組件是使第1加工組件61及第2加工組件62各自在Y軸方向上往返移動。分度進給組件是以藉由馬達使滾珠螺桿旋動的方式來將第1加工組件61及第2加工組件62分度進給的滾珠螺桿機構。

第1加工組件61是藉由配設在第2門型支柱14的第1切入進給組件16而形成為可在Z軸方向(鉛直方向)上往返移動。也就是，馬達161使在Z軸方向上延伸之圖未示的滾珠螺桿旋動，藉此，使得支撐第1加工組件61且內部的螺帽螺合於滾珠螺桿的支撐構件162在Z軸方向上移動，伴隨於此，可將第1加工組件61朝Z軸方向切入進給。

第2加工組件62是藉由配設在第2門型支柱14的第2切入進給組件17而形成為可在Z軸方向上往返移動。也就是，馬達171使在Z軸方向上延伸之圖未示的滾珠螺桿旋動，藉此，使得支撐第2加工組件62且內部的螺帽螺合於滾珠螺桿的支撐構件172在Z軸方向上移動，伴隨於此，可將第2加工組件62朝Z軸方向切入進給。

第1加工組件61具備有：主軸610，軸方向為Y軸方向；殼體611，固定在支撐構件162的下端側且可旋轉地支撐主軸610；圖未示之馬達，使主軸610旋轉；及切割刀片613，裝設在主軸610的前端，其中伴隨於馬達將主軸610旋轉驅動而使切割刀片613旋轉。

第2加工組件62是配設成與第1加工組件61在Y軸方向上相向。因為上述第1加工組件61與第2加工組件62是同樣地構成，所以省略關於第2加工組件62的說明。

如圖1所示，在第1加工組件61的附近配設有校準組件66，前述校準組件66是對保持在工作夾台30上的被加工物W之用來切割的分割預定線S進行檢測。校準組件66可以依據藉由相機660所取得的拍攝圖像來進行圖樣匹配等的圖像處理，並檢測分割預定線S的座標位置。校準組件66及第1加工組件61是形成為一體而構成，且兩者是連動來往Y軸方向及Z軸方向移動。

加工裝置1具備有輸入組件21，前述輸入組件21是輸入加工資訊(切割進給速度或切入深度等的加工條件、被加工物W的厚度或吋(inch)等的工件資訊、紫外線硬化型膠帶T的種類或厚度等的資訊)。輸入組件21具備有例如配設在裝置罩殼15之+Y方向側的側面之觸控面板式的顯示器。在輸入組件21的顯示器上可顯現輸入畫面及顯示畫面，並且可藉由顯示畫面顯示加工條件等的各種資訊，作業人員可以從輸入畫面輸入加工條件等的各種資訊。像這樣，輸入組件21是用於將資訊輸入加工裝置1的組件，並且也作為用於顯示所輸入的資訊或加工條件等的顯示組件而發揮功能。此外，輸入組件21是以在顯示器上顯示規定的警告的方式，來作為對作業人員顯示並發送警告的第1警告發送組件而發揮功能。

在裝置罩殼15的上表面突設有發出可見光來告知加工裝置1的運轉狀況的LED顯示燈25。LED顯示燈25是作為第2警告發送組件而發揮功能，可為例如在加工裝置1為正常地運轉的狀態下是以綠色亮燈，在加工裝置1已發生任何不良狀況的情況下以紅色閃爍來發送警告。 在例如裝置罩殼15的+Y方向側的側面可配設有揚聲器23來作為第3警告發送組件，前述揚聲器23是在加工裝置1已發生任何不良狀況的情況下發出警報。

加工裝置1具備有紫外線照射單元8，前述紫外線照射單元8是對貼附在以第1加工組件61及第2加工組件62所加工之被加工物W上的紫外線硬化型膠帶T照射紫外線。紫外線照射單元8是配設在例如片匣載置台12的下方。並且，紫外線照射單元8及片匣載置台12是形成為藉由配設在其下方的升降組件18而可在Z軸方向上往返移動，且形成為可調整高度位置。

於圖2詳細地顯示的升降組件18具備有：滾珠螺桿180，沿著基台10的側壁100在Z軸方向上延伸；導引軌道181，與滾珠螺桿180平行地配設；馬達182，連結於滾珠螺桿180的下端側並使滾珠螺桿180旋動；及支撐台183，載置固定紫外線照射單元8。 支撐台183的一端部183a是其內部的螺帽螺合於滾珠螺桿180，並且側部可滑動地嵌合於導引軌道181，當馬達182使滾珠螺桿180旋動時，伴隨於此，支撐台183即被導引軌道181所導引而在Z軸方向上往返移動。

紫外線照射單元8具備有使片匣載置台12構成頂板的殼體81。殼體81具有上述頂板、後壁81a、二片圖未示的側壁、底板81b、及相向於推拉件46之前方側(-Y方向側)的開口81d，而成為可以從開口81d將被加工物W搬出搬入的構成。殼體81內部是藉由例如由透明的玻璃板等所構成的被加工物支撐構件82及分隔板85而被分隔成三個房間。也就是，殼體81內部是在上側形成有供被加工物W收容的第一室811，在第一室811的下側形成有設置紫外線光源83的第二室812，在第二室812的下側形成有臭氧處理室813。

在第二室812內是將複數個紫外線光源83成行配設，此紫外線光源83是朝向+Z方向照射例如波長為300~400nm之紫外線的LED燈。並且，以對載置於被加工物支撐構件82上之被加工物W所貼附的紫外線硬化型膠帶T，從下方穿透被加工物支撐構件82來照射該紫外線的方式，使得紫外線硬化型膠帶T的糊Tc硬化而使黏著性變弱。

在第一室811的頂板(片匣載置台12的下表面)配設有照度測定器84，前述照度測定器84是對紫外線光源83的照度，也就是藉由紫外線光源83如上述地照明紫外線硬化型膠帶T之明亮的程度進行測定。照度測定器84是利用光電效果等，來測定紫外線光源83對規定面積照射多大的強度的紫外線，並將測定資料轉換成電氣訊號來進行計算處理，且傳送至後述的控制器9。

依照從紫外線光源83對紫外線硬化型膠帶T所照射之紫外線的波長及紫外線硬化型膠帶T的種類，有時會在第一室811產生臭氧，臭氧處理室813是為了在不使臭氧洩漏到紫外線照射單元8外部的情形下適當地進行排氣處理而形成。臭氧處理室813是透過形成在殼體81的通路815而與上述第一室811連通。又，在臭氧處理室813中配設有與上述通路815的開口相向且由鐵粉等所構成的臭氧處理過濾器86，並且配設有產生吸引力的排氣風扇87。再者，紫外線照射單元8亦可不具備臭氧處理室813。

如先前所說明地，可以用升降支撐台183的方式，來調整配設在支撐台183上之紫外線照射單元8的高度位置。也就是，在臭氧產生的情況下的紫外線照射時，是例如紫外線照射單元8會下降至可藉由配設在基台10內的閉塞板104將形成於殼體81的第一室811的開口81d閉塞的高度位置。又，在被加工物W的搬入時，紫外線照射單元8是上升至第一室811的開口81d與推拉件46相向的高度位置。

加工裝置1具備有至少對第1加工組件61及第2加工組件62與紫外線照射單元8進行控制的控制器9。控制器9具備有CPU及儲存部90，儲存部90是由ROM及RAM等所構成，前述ROM是保存控制程式或預先設定的加工資訊等，前述RAM是保存運算結果等。 控制器9與例如第1切入進給組件16、第1加工組件61及紫外線照射單元8等電連接，且可在控制器9之下，控制由第1切入進給組件16所進給之第1加工組件61的切入進給位置、以及第1加工組件61中的切割刀片613的旋轉速度等。又，控制器9是依據以輸入組件21所輸入之為了使紫外線硬化型膠帶T的糊Tc硬化所必要的光量(累積光量)、及以照度測定器84所測定出的紫外線光源83的照度，來控制紫外線光源83的亮燈時間。

例如控制器9具備有加工時間計算部92，前述加工時間計算部92是計算在以第1加工組件61及第2加工組件62對被加工物W進行加工上所需要的加工時間。

以下，針對藉由圖1所示之加工裝置1來切割被加工物W的情況進行說明。 在開始被加工物W的切割加工時，首先，可藉由作業人員從輸入組件21輸入用於進行被加工物W的切割加工的加工資訊，並且讓控制器9的儲存部90儲存所輸入的加工資訊。然後，控制器9將加工裝置1設定(settting)成以已輸入的加工資訊來控制各裝置構成要件的狀態。作為所輸入的加工資訊，可為保持被加工物W的工作夾台30的切割進給速度、圖未示之分度進給組件的第1加工組件61的分度進給量、由第1切入進給組件16所進給之第1加工組件61的切入進給高度位置、第1加工組件61的主軸610的旋轉數、被加工物W的直徑或厚度等的工件資訊、紫外線硬化型膠帶T的類型資訊、以及對應於紫外線硬化型膠帶T的類型資訊的累積光量E等。

再者，亦可進行成：不由作業人員從輸入組件21輸入累積光量E，而是控制器9的儲存部90儲存有表示紫外線硬化型膠帶T的類型與對應於該各類型之適當的累積光量的資料表，並以作業人員輸入紫外線硬化型膠帶T的類型資訊的方式，使控制器9自動地從該資料表讀出適當的累積光量E。

亦可設為例如下述構成：在將表示紫外線硬化型膠帶T的類型或累積光量之圖未示的條碼形成在環狀框架F的情況下，將讀取條碼的讀取感測器配設在片匣11的開口11d的上方等，以在藉由推拉件46從片匣11搬出切割加工前的被加工物W時，讓該讀取感測器讀取累積光量E，並將讀取資料傳送至控制器9，使控制器9掌握適當的累積光量E。

將收容有複數片被加工物W的片匣11載置於圖1所示之片匣載置台12，之後，藉由升降組件18進行片匣11的高度調整。 接著，第1搬送組件41的手部移動組件412使推拉件46朝+Y方向移動並進入片匣11內部。進一步地，藉由推拉件46把持環狀框架F，而藉由推拉件46從片匣11拉出1片被加工物W，並將環狀框架F載置於對中導件36上。然後，對中導件36的一對導引軌道一面於X軸方向上相互接近來支撐環狀框架F的外周緣部，一面進行被加工物W的對準中心。

手部移動組件412使手部410於Y軸方向上移動，將配設於手部410的下表面之圖未示的吸引盤定位於對中導件36上的環狀框架F的上方。進一步地，藉由下控制臂411使手部410下降，讓吸附盤接觸於環狀框架F並進行吸附，以使手部410拾取被加工物W。

當拾取被加工物W時，對中導件36的一對導引軌道會朝相互遠離的方向移動，而在一對導引軌道之間產生被加工物W的通過的間隙。然後，下控制臂411使手部410下降，將被加工物W載置於工作夾台30的保持面30a上。於固定夾具32夾持固定環狀框架F，又，工作夾台30將被加工物W吸引保持在保持面30a上之後，解除由手部410所進行的環狀框架F的吸附。

接著，將吸引保持被加工物W的工作夾台30藉由圖未示的切割進給組件朝-X方向進給，並且藉由相機660形成拍進有被加工物W的正面Wa的攝像圖像。然後，讓校準組件66執行圖樣匹配等的圖像處理，而檢測用來使第1加工組件61的切割刀片613切入的分割預定線S及用來使第2加工組件62的切割刀片613切入的分割預定線S的座標位置。伴隨於檢測各分割預定線S的座標位置，來將第1加工組件61及第2加工組件62藉由圖未示的分度進給組件朝Y軸方向移動，以進行用來切割之各分割預定線S與各切割刀片613的Y軸方向中的對位。

又，第1切入進給組件16(第2切入進給組件17)使第1加工組件61(第2加工組件62)繼續朝-Z方向下降，以例如將第1加工組件61(第2加工組件62)定位到切割刀片613切過被加工物W的背面Wb並到達紫外線硬化型膠帶T之規定的高度位置。

然後，藉由將保持被加工物W的工作夾台30以規定的切割進給速度進一步朝-X方向送出，以使各切割刀片613一邊高速旋轉一邊切入被加工物W，來切割各分割預定線S。又，對各切割刀片613與被加工物W的接觸部分，供給切割水來將接觸部分冷卻、洗淨。

當被加工物W朝-X方向行進至各切割刀片613將各分割預定線S切割結束之X軸方向的規定位置時，即暫時停止被加工物W的切割進給，且第1切入進給組件16使第1加工組件61的切割刀片613遠離被加工物W，第2切入進給組件17使第2加工組件62的切割刀片613遠離被加工物W，接著，圖未示的切割進給組件將工作夾台30朝+X方向送出而返回到原來的位置。然後，藉由將第1加工組件61及第2加工組件62於Y軸方向上按每個相鄰的分割預定線S的間隔來分度進給，並且依序進行同樣的切割，以對相同方向的所有的分割預定線S進行切割。

此外，當使工作夾台30旋轉90度後進行同樣的切割時，即可對全部的分割預定線S全部縱橫地進行全切，而將被加工物W分割成具備元件D的一個個的晶片。

例如，在正在進行如上述之被加工物W的切割加工的當中之在至少將切割加工後的被加工物W搬入紫外線照射單元8前的任一階段中，可藉由圖2所示之照度測定器84來進行紫外線光源83的照度測定。 在照度測定器84已作動的狀態下，從紫外線光源83將例如波長為300~400nm的紫外線朝向+Z方向照射，並且穿透被加工物支撐構件82而被照度測定器84所接收。然後，照度測定器84是將照度的測定資料(例如設為照度I1)傳送至控制器9。

為了使紫外線硬化型膠帶T的糊Tc適當地硬化所必要的光量E(累積光量)，會依紫外線硬化型膠帶T的糊Tc的種類而異，如先前所說明地，可藉由作業人員從輸入組件21輸入加工裝置1並儲存於儲存部90來作為預先掌握之已知的值。據此，讓測定資料從照度測定器84送來之控制器9的CPU會執行下述之式1，以計算紫外線光源83的亮燈時間t1(也就是紫外線對紫外線硬化型膠帶T的照射時間t1)。 E(mJ/cm² )/I1(mW/cm² )＝t1(秒)‥‥(式1)

另一方面，藉由圖未示的切割進給組件，將圖1所示之工作夾台30朝+X方向進給，並定位在第2搬送組件42的移動路徑下。 接著，第2搬送組件42以吸附保持環狀框架F的狀態將已分割成晶片的被加工物W從工作夾台30搬出，並將被加工物W搬送到洗淨組件37。然後，在洗淨組件37將被加工物W的洗淨進行規定時間。 在被加工物W的洗淨結束後，第1搬送組件41以吸附保持環狀框架F的狀態將被加工物W從洗淨組件37搬出，並將被加工物W載置於對中導件36上。

圖2所示之升降組件18的馬達182使滾珠螺桿180旋動，伴隨於此，支撐台183被導引軌道181所導引而上升相當於規定距離，載置固定於支撐台183的紫外線照射單元8也會上昇，並使得已開啓之狀態的殼體81的第一室811的開口81d與推拉件46相向。 使推拉件46把持環狀框架F，並藉由推拉件46將被加工物W通過開口81d來插入第一室811，且載置於被加工物支撐構件82上。

推拉件46從第一室811內退避之後，進行紫外線對貼附在被加工物W上的紫外線硬化型膠帶T的照射。再者，在第一室811會產生臭氧的情況下，可在藉由升降組件18使紫外線照射單元8下降至第一室811的開口81d被閉塞板104所閉塞的高度位置之後，再進行紫外線的照射。 使紫外線光源83亮燈，並從紫外線光源83朝向+Z方向照射例如波長為300~400nm的紫外線。所照射的紫外線是穿透被加工物支撐構件82來全面地對紫外線硬化型膠帶T的糊Tc照射，而將糊Tc硬化並使其黏著力降低。

在藉由控制器9所進行的控制之下，對紫外線硬化型膠帶T將紫外線照射相當於先前所計算出的照射時間t1。也就是，紫外線光源83亮燈相當於照射時間t1之後，將紫外線光源83熄燈，而將藉由紫外線光源83所進行之紫外線對紫外線硬化型膠帶T的照射停止。再者，紫外線光源83的亮燈時間亦可是正好所計算出的照射時間t1，在所計算出的照射時間t1出現有尾數的情況下，亦可是將該尾數取成整數的時間。又，亦可是紫外線光源83亮燈相當於對所計算出的照射間t1加上餘裕範圍(例如數秒)的時間。

本發明之加工裝置1因為具備紫外線照射單元8，且紫外線照射單元8具有對紫外線硬化型膠帶T照射紫外線的紫外線光源83、及測定紫外線光源83的照度的照度測定器84，加工裝置1具備輸入加工資訊的輸入組件21、及至少對第1加工組件61以及第2加工組件62與紫外線照射單元8進行控制的控制器9，控制器9是依據以輸入組件21所輸入之為了使紫外線硬化型膠帶T的糊硬化所必要的光量E(累積光量E)、及以照度測定器84所測定出的紫外線光源83的照度I1，來控制紫外線光源83的亮燈時間，所以即使因劣化而使紫外線光源83的照度降低，仍然可以對紫外線硬化型膠帶T照射相當於使糊Tc硬化所必要之所計算出的時間t1。據此，變得可在不使生產性下降的情況下，不被紫外線光源83的劣化所左右，而進行對紫外線硬化型膠帶T之適當的紫外線照射。

接著，為了將已結束紫外線對紫外線硬化型膠帶T的照射之被加工物W從紫外線照射單元8搬出，圖1所示之手部移動組件412使推拉件46朝+Y方向移動而使其進入殼體81的第一室811內部。進一步地，藉由推拉件46把持環狀框架F，而藉由推拉件46將已使紫外線硬化型膠帶T之黏著力降低的被加工物W從第一室811拉出。

藉由升降組件18使片匣11下降，以進行推拉件46與片匣11之一個架部11e的高度對位。推拉件46朝+Y方向移動，並進入片匣11內部。藉由推拉件46解除環狀框架F的把持，並將已使紫外線硬化型膠帶T之黏著力降低的被加工物W載置於規定的架部11e。也就是，將切割加工後的被加工物W收容至片匣11的規定位置。進一步地，藉由推拉件46從片匣11拉出1片接著要施行切割加工的被加工物W，並對該新的被加工物W以先前所說明之順序來施行切割作業。

在重複上述之切割作業並對複數片被加工物W連續地進行切割之中，紫外線光源83會因為亮燈而發熱，並使燈絲劣化而照度降低。即使照度降低，因為控制器9依據累積光量E及以照度測定器84所測定出的紫外線光源83的照度(例如每加工一片被加工物W所測定出的各照度I2、I3等)，來對紫外線光源83的亮燈時間進行控制，所以紫外線光源83會亮燈相當於使紫外線硬化型膠帶T硬化所必要的時間(每次所計算出的各紫外線照射時間t2、t3等)，以將貼附在切割加工後之被加工物W的紫外線硬化型膠帶T每次適當地硬化。 但是，若藉由控制器9所計算出的紫外線光源83的亮燈時間變得太長時，會有變得要將施行切割加工且接著應當讓使紫外線硬化型膠帶T硬化的被加工物W，於例如切割加工後(洗淨後)載置於對中導件36來等待(對在前面的貼附於被加工物上的紫外線硬化型膠帶T的紫外線照射的結束等待)往紫外線照射單元8的搬入之情況。在這種情況下，會變得無法進行連續的被加工物W的加工，而使生產性低落。

於是，因為本實施形態中的加工裝置1具備加工時間計算部92，所以可讓加工時間計算部92在重複實施上述之切割作業之中，計算以第1加工組件61及第2加工組件62加工例如第複數片(例如加工片數第10片)的一片被加工物W所需要的加工時間。也就是，加工時間計算部92會例如將藉由推拉件46從片匣11拉出1片第10片的被加工物W的時刻作為加工開始時刻，並記錄在儲存部90。再者，加工開始時刻並非限定於上述例子的時刻。 進一步地，如前述地對第10片的被加工物W實施切割加工，且加工時間計算部92將已施行切割加工的該被加工物W在洗淨組件37洗淨結束的時刻作為加工結束時刻，並記錄在儲存部90。再者，加工結束時刻並非限定於上述例子的時刻。

並且，加工時間計算部92是將從加工開始時刻至加工結束時刻為止之間已經過多少時間計算作為對一片被加工物W進行加工所需要的加工時間tw。 另一方面，在正在進行第10片被加工物W的切割加工之中，可藉由照度測定器84進行紫外線光源83的照度測定。並且，照度測定器84是將測定資料(例如設為照度I10)傳送至控制器9。並且，控制器9是從先前所說明的式1計算紫外線光源83的亮燈時間t10。

控制器9是比較加工時間計算部92所計算出的加工時間tw與紫外線光源83的亮燈時間t10。在亮燈時間t10成為比加工時間tw更長的情況時，接下來應施行切割加工的第11片被加工物W因為有可能變成要在切割加工後等待往紫外線照射單元8的搬入，所以會導致生產性低落。為了防止這種情形，控制器9是依據該比較結果傳送判斷至也作為第1警告發送組件而發揮功能的輸入組件21，且讓應當更換紫外線光源83的警告顯示在輸入組件21的顯示器上。又，控制器9是將該判斷傳送至也作為第2警告發送組件而發揮功能的LED顯示燈25，且藉由例如使LED顯示燈25以規定的閃爍間隔並以紅色亮燈的方式來將應當交換紫外線光源83的警告向作業人員傳達。或者，控制器9是將該判斷傳送至也作為第3警告發送組件而發揮功能的揚聲器23，並且從揚聲器23發出應當更換紫外線光源83的警告。

如上述，控制器9具有加工時間計算部92，前述加工時間計算部92是計算以第1加工組件61及第2加工組件62對被加工物W進行加工所需要的加工時間，並且可比較以加工時間計算部92所計算出的加工時間tw、及紫外線光源83的亮燈時間t10，並在亮燈時間t10成為比加工時間tw更長時，藉由更具備發送警告之第1~第3警告發送組件，可以將因繼續使用超過必要的已劣化之紫外線光源83而導致生產性過度降低的情況，由警告的發送來通知作業人員。因此，可藉由作業人員將已劣化之紫外線光源83更換成新的紫外線光源，而可以達到防止導致加工裝置1的生產性降低之情形。

1‧‧‧加工裝置 10‧‧‧基台 100‧‧‧側壁 104‧‧‧閉塞板 11‧‧‧片匣 11a、81b‧‧‧底板 11b‧‧‧頂板 11c、81a‧‧‧後壁 11d‧‧‧片匣的開口 11e‧‧‧架部 12‧‧‧片匣載置台 13‧‧‧第1門型支柱 14‧‧‧第2門型支柱 15‧‧‧裝置罩殼 16‧‧‧第1切入進給組件 161、171、182‧‧‧馬達 162、172‧‧‧支撐構件 17‧‧‧第2切入進給組件 18‧‧‧升降組件 180、412a、422a ‧‧‧滾珠螺桿 181‧‧‧導引軌道 183‧‧‧支撐台 183a‧‧‧端部 8‧‧‧紫外線照射單元 81、611‧‧‧殼體 81d‧‧‧開口 811‧‧‧第一室 812‧‧‧第二室 813‧‧‧臭氧處理室 815‧‧‧通路 82‧‧‧被加工物支撐構件 83‧‧‧紫外線光源 84‧‧‧照度測定器 85‧‧‧分隔板 86‧‧‧臭氧處理過濾器 87‧‧‧排氣風扇 9‧‧‧控制器 90‧‧‧儲存部 92‧‧‧加工時間計算部 21‧‧‧輸入組件 23‧‧‧揚聲器 25‧‧‧LED顯示燈 30‧‧‧工作夾台 30a‧‧‧保持面 31‧‧‧罩殼 311‧‧‧蛇腹罩殼 32‧‧‧固定夾具 36‧‧‧對中導件 37‧‧‧洗淨組件 370‧‧‧旋轉工作台 371‧‧‧洗淨噴嘴 41‧‧‧第1搬送組件 410、420‧‧‧手部 411‧‧‧下控制臂 412、422‧‧‧手部移動組件 412b、422b‧‧‧可動區塊 42‧‧‧第2搬送組件 421‧‧‧上控制臂 46‧‧‧推拉件 61‧‧‧第1加工組件 610‧‧‧主軸 613‧‧‧切割刀片 62‧‧‧第2加工組件 66‧‧‧校準組件 660‧‧‧相機 D‧‧‧元件 F‧‧‧環狀框架 S‧‧‧分割預定線 T‧‧‧紫外線硬化型膠帶 Ta‧‧‧貼附面 Tb‧‧‧紫外線硬化型膠帶的背面 Tc‧‧‧糊 Td‧‧‧基材 W‧‧‧被加工物 Wa‧‧‧被加工物的正面 Wb‧‧‧被加工物的背面

圖1是顯示加工裝置之一例的立體圖。 圖2是顯示紫外線照射單元之一例的截面圖。

8‧‧‧紫外線照射單元

9‧‧‧控制器

10‧‧‧基台

11‧‧‧片匣

11a、81b‧‧‧底板

11b‧‧‧頂板

11c、81a‧‧‧後壁

11d‧‧‧片匣的開口

11e‧‧‧架部

12‧‧‧片匣載置台

18‧‧‧升降組件

46‧‧‧推拉件

81‧‧‧殼體

81d‧‧‧開口

811‧‧‧第一室

812‧‧‧第二室

813‧‧‧臭氧處理室

815‧‧‧通路

82‧‧‧被加工物支撐構件

83‧‧‧紫外線光源

84‧‧‧照度測定器

85‧‧‧分隔板

86‧‧‧臭氧處理過濾器

87‧‧‧排氣風扇

90‧‧‧儲存部

92‧‧‧加工時間計算部

100‧‧‧側壁

104‧‧‧閉塞板

180‧‧‧滾珠螺桿

181‧‧‧導引軌道

182‧‧‧馬達

183‧‧‧支撐台

183a‧‧‧端部

Claims (2)

1. 一種加工裝置，具備有：加工組件，對被加工物進行加工；及紫外線照射單元，對貼附在以該加工組件所加工之被加工物上的紫外線硬化型膠帶照射紫外線，該紫外線照射單元具有：紫外線光源，對該紫外線硬化型膠帶照射紫外線；及照度測定器，測定該紫外線光源的照度；該加工裝置具備：輸入組件，輸入加工資訊；及控制器，至少對該加工組件及該紫外線照射單元進行控制，該控制器是依據以該輸入組件所輸入之為了使該紫外線硬化型膠帶的糊硬化所必要的光量、以及以該照度測定器所測定出的該紫外線光源的照度，來控制該紫外線光源的亮燈時間，並且具有加工時間計算部，前述加工時間計算部是計算以該加工組件對被加工物進行加工所需要的加工時間，且前述控制器更具備警告發送組件，前述警告發送組件比較以該加工時間計算部所計算出的加工時間與前述亮燈時間，而在該亮燈時間成為比該加工時間更長時發送警告。
2. 如請求項1之加工裝置，其具備：片匣載置台，載置片匣，且前述片匣收容被加工物；及推拉件，對該片匣及該紫外線照射單元搬出搬入被加工物。

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