JP2011159823A - 切削装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】ワークユニット7をカセット9から搬入出領域11Aに引き出したり搬入出領域11Aからカセット9に収容したりする引き出し部140を、ワークユニット7を第1の保持部130で保持してチャックテーブル20に移す第1の搬送機構100の第1のアーム部120に一体に設け、また、洗浄領域11Cの釜部31の開口311を覆うカバー部240を、ワークユニット7を第2の保持部230で保持して洗浄手段30に対し受け渡す第2の搬送機構200の第2のアーム部220に一体に設けて、可動部および部品点数を少なくする。
【選択図】図6
Description
(1)ウェーハ
はじめに、図1に示す一実施形態でのワークである円板状の半導体ウェーハ(以下、ウェーハ)1を説明する。ウェーハ1は、厚さが例えば100〜700μm程度のシリコンウェーハ等であり、表面には格子状の分割予定ライン2によって多数の矩形状のデバイス3が形成されている。これらデバイス3には、図示せぬICやLSI等の電子回路が形成されている。ウェーハ1の周面の所定箇所には、半導体の結晶方位を示すオリエンテーション・フラットと呼ばれる直線状の切欠き4が形成されている。ウェーハ1は、図2に示す切削装置10によって全ての分割予定ライン2が切削加工されて各デバイス(半導体チップ)3にダイシングされる。
(2−1)切削装置の構成
続いて、切削装置10の構成を説明する。
図2は、基台11とキャビネット12とを備えた切削装置10を示しており、図3はキャビネット12を外した状態の切削装置19を示している。また、図4は切削装置10の平面を概略的に示している。
次に、ワークユニット7に切削加工を施してウェーハ1をダイシングする切削装置10の動作例を説明する。
上記切削装置10の搬送系によれば、カセット9からワークユニット7を引き出す引き出し部140が第1の搬送機構100の第1のアーム部120に一体に設けられているため、カセット9からワークユニット7を引き出したりワークユニット7をカセット9に収容したりする機能を有する専用の可動部を設ける必要がない。また、洗浄手段30の釜部31の開口311を覆うカバー部240が第2の搬送機構200の第2のアーム部220に一体に設けられているため、釜部31の開口311を開閉する可動カバーといったものを別途設ける必要がない。これらの結果、可動部が従来より少なくなって構成が簡素になるとともに、ワークユニット7を効率的に搬送することができる。
9…カセット
10…切削装置
20…チャックテーブル(保持手段)
11A…搬入出領域
11B…カセット載置領域
11C…洗浄領域
11D…加工領域
30…洗浄手段
31…釜部
32…洗浄テーブル
33…洗浄ノズル
41…第1の切削手段
42…第2の切削手段
44…切削ブレード
100…第1の搬送機構
110…第1の左右移動機構
120…第1のアーム部(第1の連結部)
130…第1の保持部
140…引き出し部
200…第2の搬送機構
210…第2の左右移動機構
220…第2のアーム部(第2の連結部)
230…第2の保持部
240…カバー部
311…開口
431…回転軸
Claims (1)
- ワークを保持する保持手段に対してワークが搬入出される搬入出領域と、
該搬入出領域の一方側に位置し、複数のワークを収容するカセットが載置されるカセット載置領域と、
前記搬入出領域の他方側に位置し、ワークを保持する洗浄テーブルおよび該洗浄テーブルに洗浄水を供給する洗浄ノズルを収容する釜部を有する洗浄手段とが配設された洗浄領域と、
前記カセット載置領域と前記搬入出領域とが並ぶ方向を左右方向とし、かつ、該左右方向に直交する方向を前後方向とした場合の、該搬入出領域に対する該前後方向の後方側に位置し、該左右方向に延びる回転軸および該回転軸の先端に装着された切削ブレードを有し、該切削ブレードが互いに対向する状態に配置された2つの切削手段で前記保持手段に保持されたワークを切削加工する加工領域と、
を備えた切削装置であって、
ワークを前記カセットから前記搬入出領域に引き出す引き出し部と、該搬入出領域に引き出されたワークを上側から保持する第1の保持部と、該引き出し部および該第1の保持部を一体的に前記左右方向に移動させる第1の左右移動機構と、該第1の左右移動機構に該第1の保持部を上下方向に移動可能に連結する第1の連結部とを有する第1の搬送機構と、
切削加工されたワークを上側から保持する第2の保持部と、前記釜部の開口を覆うカバー部と、該第2の保持部および該カバー部を一体的に前記左右方向に移動させる第2の左右移動機構と、該第2の左右移動機構に該カバー部を上下方向に移動可能に連結する第2の連結部とを有する第2の搬送機構とを備え、
該第2の連結部は、前記カバー部が前記釜部の前記開口を覆う位置に位置付けられた状態で、前記第1の搬送機構の前記第1の保持部が該カバー部の上側に位置付けられた際に該第1の保持部に接触しない位置に配設されている
ことを特徴とする切削装置。
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