JPH11167068A - アライメントユニットの調整方法 - Google Patents
アライメントユニットの調整方法Info
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- JPH11167068A JPH11167068A JP10269760A JP26976098A JPH11167068A JP H11167068 A JPH11167068 A JP H11167068A JP 10269760 A JP10269760 A JP 10269760A JP 26976098 A JP26976098 A JP 26976098A JP H11167068 A JPH11167068 A JP H11167068A
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- 238000003384 imaging method Methods 0.000 claims description 42
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 8
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 5
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000011109 contamination Methods 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 1
- 229920003002 synthetic resin Polymers 0.000 description 1
- 239000000057 synthetic resin Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Dicing (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
- Microscoopes, Condenser (AREA)
- Machine Tool Sensing Apparatuses (AREA)
- Studio Devices (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 ダイシング装置等のアライメント手段におけ
る撮像手段を傷付けずに且つ歪みが生じる事無く微調整
できるようにしたアライメントユニットの調整方法を提
供する。 【解決手段】 顕微鏡と撮像手段とを、スリ割りリング
を有する連結手段で連結してアライメントユニットを構
成する。このアライメントユニットの調整は、ウェーハ
に形成された切削ラインを撮像しモニターに写し出すス
テップと、連結手段のスリ割りリングを緩め撮像手段の
被結合部が顕微鏡に対して回転可能な状態にするステッ
プと、モニターに表示されているヘアーラインと切削ラ
インとを平行に合わせるために撮像手段を回転し調整す
るステップと、調整が完了した後撮像手段を固定するた
めにスリ割りリングを締結するステップと、から構成す
る。
る撮像手段を傷付けずに且つ歪みが生じる事無く微調整
できるようにしたアライメントユニットの調整方法を提
供する。 【解決手段】 顕微鏡と撮像手段とを、スリ割りリング
を有する連結手段で連結してアライメントユニットを構
成する。このアライメントユニットの調整は、ウェーハ
に形成された切削ラインを撮像しモニターに写し出すス
テップと、連結手段のスリ割りリングを緩め撮像手段の
被結合部が顕微鏡に対して回転可能な状態にするステッ
プと、モニターに表示されているヘアーラインと切削ラ
インとを平行に合わせるために撮像手段を回転し調整す
るステップと、調整が完了した後撮像手段を固定するた
めにスリ割りリングを締結するステップと、から構成す
る。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、ダイシング装置等
におけるアライメントユニットの調整方法に関する。
におけるアライメントユニットの調整方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】ダイシング装置等のアライメントユニッ
トには、撮像手段（ＣＣＤカメラ等）と顕微鏡とが同軸
に連結して組み込まれるが、その連結手段としては、従
来図４(イ) 、(ロ) に示すように顕微鏡１の上部の取付孔
１ａに、円筒形の連結手段２を嵌めてフランジ部２ａを
ビス３で固定し、この連結手段２に撮像手段４の被結合
部４ａを挿入し、前記フランジ部２ａの側部に放射方向
（求心方向）に取り付けられた複数本の締め付けねじ５
で撮像手段４の被結合部４ａを締め付け固定している。
トには、撮像手段（ＣＣＤカメラ等）と顕微鏡とが同軸
に連結して組み込まれるが、その連結手段としては、従
来図４(イ) 、(ロ) に示すように顕微鏡１の上部の取付孔
１ａに、円筒形の連結手段２を嵌めてフランジ部２ａを
ビス３で固定し、この連結手段２に撮像手段４の被結合
部４ａを挿入し、前記フランジ部２ａの側部に放射方向
（求心方向）に取り付けられた複数本の締め付けねじ５
で撮像手段４の被結合部４ａを締め付け固定している。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】ダイシング装置等に前
記顕微鏡１及び撮像手段４を組み込む際、撮像手段４で
撮像されモニター上に写し出される画像がずれないよう
にしなければならない。即ち、図５(イ) 、(ロ) に示すよ
うに回転ブレード６によって形成されたダミーウェーハ
７上の溝７ａを顕微鏡１で捉え、撮像手段４で撮像しモ
ニター８に写し出した際、モニター８に表示されている
ヘアーラインＣと切削溝７ａの切削ラインＬとが少なく
とも平行になるようにしなければならない。そのため装
置側に固定されている顕微鏡１に対し撮像手段４を軸心
回りに回転（θ方向）させ、ヘアーラインＣと切削ライ
ンＬとが平行になるように微調整する。この微調整作業
に際し、前記締め付けねじ５を緩め、撮像手段４をθ方
向に所定角度回転させ、調整後は再び締め付けねじ５を
締め付けて撮像手段４を固定する。しかし、締め付けね
じ５の先端部が撮像手段４の被結合部４ａに強く接触し
て傷が付いたり、或はねじの回転に起因し撮像手段４に
歪みが生じ、微調整作業に不具合があった。本発明は、
このような従来の不具合を除去するためになされ、撮像
手段を傷付けずに且つ歪みが生じる事無く微調整できる
ようにしたアライメントユニットの調整方法を提供する
ことを課題とする。
記顕微鏡１及び撮像手段４を組み込む際、撮像手段４で
撮像されモニター上に写し出される画像がずれないよう
にしなければならない。即ち、図５(イ) 、(ロ) に示すよ
うに回転ブレード６によって形成されたダミーウェーハ
７上の溝７ａを顕微鏡１で捉え、撮像手段４で撮像しモ
ニター８に写し出した際、モニター８に表示されている
ヘアーラインＣと切削溝７ａの切削ラインＬとが少なく
とも平行になるようにしなければならない。そのため装
置側に固定されている顕微鏡１に対し撮像手段４を軸心
回りに回転（θ方向）させ、ヘアーラインＣと切削ライ
ンＬとが平行になるように微調整する。この微調整作業
に際し、前記締め付けねじ５を緩め、撮像手段４をθ方
向に所定角度回転させ、調整後は再び締め付けねじ５を
締め付けて撮像手段４を固定する。しかし、締め付けね
じ５の先端部が撮像手段４の被結合部４ａに強く接触し
て傷が付いたり、或はねじの回転に起因し撮像手段４に
歪みが生じ、微調整作業に不具合があった。本発明は、
このような従来の不具合を除去するためになされ、撮像
手段を傷付けずに且つ歪みが生じる事無く微調整できる
ようにしたアライメントユニットの調整方法を提供する
ことを課題とする。
【０００４】
【課題を解決するための手段】この課題を技術的に解決
するための手段として、本発明は、顕微鏡と、撮像手段
と、前記顕微鏡に固定する固定部と前記撮像手段の被結
合部を締め付け固定するスリ割りリングとから構成され
る連結手段と、からアライメントユニットを構成し、前
記顕微鏡と撮像手段との調整を行うアライメントユニッ
トの調整方法であって、ウェーハに形成された切削ライ
ンを前記アライメントユニットによって撮像しモニター
に写し出すステップと、前記連結手段のスリ割りリング
を緩め前記撮像手段の被結合部が前記顕微鏡に対して回
転可能な状態にするステップと、前記モニターに表示さ
れているヘアーラインとこのモニターに写し出された切
削ラインとを平行に合わせるために前記顕微鏡に対して
前記撮像手段を回転し調整するステップと、前記モニタ
ーに写し出された切削ラインとヘアーラインとが平行と
なり調整が完了した後前記顕微鏡に対して前記撮像手段
を固定するために前記スリ割りリングを締結するステッ
プと、から構成されるアライメントユニットの調整方法
を要旨とするものである。
するための手段として、本発明は、顕微鏡と、撮像手段
と、前記顕微鏡に固定する固定部と前記撮像手段の被結
合部を締め付け固定するスリ割りリングとから構成され
る連結手段と、からアライメントユニットを構成し、前
記顕微鏡と撮像手段との調整を行うアライメントユニッ
トの調整方法であって、ウェーハに形成された切削ライ
ンを前記アライメントユニットによって撮像しモニター
に写し出すステップと、前記連結手段のスリ割りリング
を緩め前記撮像手段の被結合部が前記顕微鏡に対して回
転可能な状態にするステップと、前記モニターに表示さ
れているヘアーラインとこのモニターに写し出された切
削ラインとを平行に合わせるために前記顕微鏡に対して
前記撮像手段を回転し調整するステップと、前記モニタ
ーに写し出された切削ラインとヘアーラインとが平行と
なり調整が完了した後前記顕微鏡に対して前記撮像手段
を固定するために前記スリ割りリングを締結するステッ
プと、から構成されるアライメントユニットの調整方法
を要旨とするものである。
【０００５】
【作用】顕微鏡と撮像手段との連結手段がスリ割りリン
グを有しており、このスリ割りリングで撮像手段の被結
合部を全体的に締め付けて固定し、締め付けねじが被結
合部に接触しないので傷を付けることがなく、又撮像手
段に歪みが生じることもない。
グを有しており、このスリ割りリングで撮像手段の被結
合部を全体的に締め付けて固定し、締め付けねじが被結
合部に接触しないので傷を付けることがなく、又撮像手
段に歪みが生じることもない。
【０００６】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を添付
図面に基づいて詳説する。従来と同じ部材は同一の符号
を付す。顕微鏡１と、撮像手段４と、これらを連結する
連結手段９とからアライメントユニットが構成され、連
結手段９はアルミニウム、合成樹脂等で一体形成され、
図１に示すように円筒部９ａと、この円筒部９ａをほぼ
上下に二分する固定部９ｂを有し、上半部の円筒部はス
リット９ｃで欠円状に形成されている。そのスリット９
ｃの両側には切り込み９ｄが前記固定部９ｂの上面に沿
って対称的に設けられ、且つスリット９ｃの両側には肉
厚の締付片９ｅが対設されると共に締め付けねじ１０が
螺挿され、この締め付けねじ１０を締め付けると上半部
の円筒部が窄まるようにしてある。つまり、上半部の円
筒部はスリ割りリング部９ｆに形成され、円筒部９ａに
挿入した棒状物等をクランプできるようにしてある。更
に、前記固定部９ｂには取付孔９ｇが円周方向に沿って
複数個設けられている。
図面に基づいて詳説する。従来と同じ部材は同一の符号
を付す。顕微鏡１と、撮像手段４と、これらを連結する
連結手段９とからアライメントユニットが構成され、連
結手段９はアルミニウム、合成樹脂等で一体形成され、
図１に示すように円筒部９ａと、この円筒部９ａをほぼ
上下に二分する固定部９ｂを有し、上半部の円筒部はス
リット９ｃで欠円状に形成されている。そのスリット９
ｃの両側には切り込み９ｄが前記固定部９ｂの上面に沿
って対称的に設けられ、且つスリット９ｃの両側には肉
厚の締付片９ｅが対設されると共に締め付けねじ１０が
螺挿され、この締め付けねじ１０を締め付けると上半部
の円筒部が窄まるようにしてある。つまり、上半部の円
筒部はスリ割りリング部９ｆに形成され、円筒部９ａに
挿入した棒状物等をクランプできるようにしてある。更
に、前記固定部９ｂには取付孔９ｇが円周方向に沿って
複数個設けられている。
【０００７】この連結手段９は、前記顕微鏡１の取付孔
１ａに挿入し、固定部９ｂをビス１１で結合する。次い
で、図２に示すように撮像手段４の被結合部４ａを連結
手段９の円筒部９ａに挿入し、前記締め付けねじ１０を
締め付ければスリ割りリング部９ｆによって、被結合部
４ａを締め付けて同軸に結合することができる。
１ａに挿入し、固定部９ｂをビス１１で結合する。次い
で、図２に示すように撮像手段４の被結合部４ａを連結
手段９の円筒部９ａに挿入し、前記締め付けねじ１０を
締め付ければスリ割りリング部９ｆによって、被結合部
４ａを締め付けて同軸に結合することができる。
【０００８】この時、締め付けねじ１０の先端部が撮像
手段４の被結合部４ａに全く接触しないので傷を付ける
ことがなく、又撮像手段４に歪みが生じることもない。
しかも、スリ割りリング部９ｆで撮像手段４の被結合部
４ａを全体的に締め付けて固定することから、安定性の
高い結合状態が得られる。
手段４の被結合部４ａに全く接触しないので傷を付ける
ことがなく、又撮像手段４に歪みが生じることもない。
しかも、スリ割りリング部９ｆで撮像手段４の被結合部
４ａを全体的に締め付けて固定することから、安定性の
高い結合状態が得られる。
【０００９】このように連結された顕微鏡１と撮像手段
４は、図３に示すようにダイシング装置１２等のアライ
メント手段１３に組み込んで使用される。顕微鏡１と撮
像手段４とを結合し固定する際、モニター８を見ながら
前記のようにヘヤーラインＣと切削ラインＬとを平行に
合わせるために顕微鏡１に対する撮像手段４の微調整が
行われる。
４は、図３に示すようにダイシング装置１２等のアライ
メント手段１３に組み込んで使用される。顕微鏡１と撮
像手段４とを結合し固定する際、モニター８を見ながら
前記のようにヘヤーラインＣと切削ラインＬとを平行に
合わせるために顕微鏡１に対する撮像手段４の微調整が
行われる。
【００１０】この微調整に際し、先ずウェーハに形成さ
れた切削ラインＬをアライメントユニットによって撮像
しモニター８に写し出すステップが遂行される。モニタ
ー８に写し出された切削ラインＬがモニター８に形成さ
れたヘヤーラインＣと平行でない場合は、前記連結手段
９のスリ割りリング部９ｆを緩め、撮像手段４の被結合
部４ａが顕微鏡１に対して回転可能な状態にするステッ
プを遂行する。
れた切削ラインＬをアライメントユニットによって撮像
しモニター８に写し出すステップが遂行される。モニタ
ー８に写し出された切削ラインＬがモニター８に形成さ
れたヘヤーラインＣと平行でない場合は、前記連結手段
９のスリ割りリング部９ｆを緩め、撮像手段４の被結合
部４ａが顕微鏡１に対して回転可能な状態にするステッ
プを遂行する。
【００１１】次いで、モニター８に表示されているヘア
ーラインＣとこのモニター８に写し出された切削ライン
Ｌとを平行に合わせるために、顕微鏡１に対して撮像手
段４を回転し調整するステップを遂行する。この調整時
に前記締め付けねじ１０を少し緩めればスリ割りリング
部９ｆのクランプが解除され、撮像手段４をθ方向に回
転させることができるので調整作業が非常にし易くな
る。従来は、複数本の締め付けねじ５を全部緩めない
と、撮像手段４をθ方向に回転させることができないの
で調整作業は面倒であった。
ーラインＣとこのモニター８に写し出された切削ライン
Ｌとを平行に合わせるために、顕微鏡１に対して撮像手
段４を回転し調整するステップを遂行する。この調整時
に前記締め付けねじ１０を少し緩めればスリ割りリング
部９ｆのクランプが解除され、撮像手段４をθ方向に回
転させることができるので調整作業が非常にし易くな
る。従来は、複数本の締め付けねじ５を全部緩めない
と、撮像手段４をθ方向に回転させることができないの
で調整作業は面倒であった。
【００１２】調整が完了した後、顕微鏡１に対して撮像
手段４を固定するために前記スリ割りリング部９ｆを締
結するステップを遂行する。この場合も、前記締め付け
ねじ１０のみで操作できるので従来よりも著しく簡単で
ある。
手段４を固定するために前記スリ割りリング部９ｆを締
結するステップを遂行する。この場合も、前記締め付け
ねじ１０のみで操作できるので従来よりも著しく簡単で
ある。
【００１３】前記ダイシング装置１２においては、スラ
イド可能な搬出入手段１４によってカセット１５からウ
ェーハが待機領域１６に１枚ずつ搬出され、旋回アーム
を備えた搬送手段１７によってチャックテーブル１８に
搬送される。その後、前記アライメント手段１３の下部
まで移動してアライメントが遂行される。このアライメ
ントは従来通りに前記撮像手段４で撮像することにより
遂行され、モニター８にその状況が写し出される。
イド可能な搬出入手段１４によってカセット１５からウ
ェーハが待機領域１６に１枚ずつ搬出され、旋回アーム
を備えた搬送手段１７によってチャックテーブル１８に
搬送される。その後、前記アライメント手段１３の下部
まで移動してアライメントが遂行される。このアライメ
ントは従来通りに前記撮像手段４で撮像することにより
遂行され、モニター８にその状況が写し出される。
【００１４】アライメントの終了後、チャックテーブル
１８は更に移動して回転ブレードを備えた切削手段１９
によりダイシングが遂行される。ダイシング後に、チャ
ックテーブル１８は最初の位置に戻り、ウェーハはスラ
イド式の搬送手段２０によって洗浄領域２１に搬送さ
れ、洗浄された後に前記搬送手段１７によって待機領域
１６に戻され、搬出入手段１４により前記カセット１５
内に再び収納される。この一連の作業がタイミングを取
りながら連続的に行われる。
１８は更に移動して回転ブレードを備えた切削手段１９
によりダイシングが遂行される。ダイシング後に、チャ
ックテーブル１８は最初の位置に戻り、ウェーハはスラ
イド式の搬送手段２０によって洗浄領域２１に搬送さ
れ、洗浄された後に前記搬送手段１７によって待機領域
１６に戻され、搬出入手段１４により前記カセット１５
内に再び収納される。この一連の作業がタイミングを取
りながら連続的に行われる。
【００１５】尚、２２は搬送手段１７の旋回アーム先端
部の上面に取り付けられた透明円盤カバーで、待機領域
１６でのウェーハの汚染を防止するものであり、２３は
搬送手段２０のアーム先端下部の吸着機構の上に取り付
けられた透明円盤カバーで、洗浄時に洗浄領域２１の開
口部を施蓋し洗浄液の飛散を防止するためのものであ
る。
部の上面に取り付けられた透明円盤カバーで、待機領域
１６でのウェーハの汚染を防止するものであり、２３は
搬送手段２０のアーム先端下部の吸着機構の上に取り付
けられた透明円盤カバーで、洗浄時に洗浄領域２１の開
口部を施蓋し洗浄液の飛散を防止するためのものであ
る。
【００１６】
【発明の効果】以上説明したように、本発明方法によれ
ば、ダイシング装置等のアライメント手段に組み込むア
ライメントユニットの顕微鏡と撮像手段とを、スリ割り
リングを有する連結手段で連結し微調整作業を遂行する
ように構成したので、安定性の高い結合状態が得られ、
撮像手段の被結合部を傷付けたり撮像手段に歪みを生じ
たりすることはなく、スリ割りリングを開閉するねじ１
本を操作するだけで撮像手段のθ方向の微調整を簡単且
つ確実にできる等の優れた効果を奏する。
ば、ダイシング装置等のアライメント手段に組み込むア
ライメントユニットの顕微鏡と撮像手段とを、スリ割り
リングを有する連結手段で連結し微調整作業を遂行する
ように構成したので、安定性の高い結合状態が得られ、
撮像手段の被結合部を傷付けたり撮像手段に歪みを生じ
たりすることはなく、スリ割りリングを開閉するねじ１
本を操作するだけで撮像手段のθ方向の微調整を簡単且
つ確実にできる等の優れた効果を奏する。
【図１】本発明の実施形態における連結手段の取付要領
を示す斜視図。
を示す斜視図。
【図２】顕微鏡と撮像手段との連結状態を示す正面図。
【図３】アライメントユニットを組み込んだダイシング
装置の斜視図。
装置の斜視図。
【図４】従来例を示すもので、(イ) は顕微鏡と撮像手段
との連結要領を示す斜視図、(ロ) はその連結状態を示す
正面図。
との連結要領を示す斜視図、(ロ) はその連結状態を示す
正面図。
【図５】(イ) はダミーウェーハを回転ブレードで溝付け
する様子を示す斜視図、(ロ) は撮像手段で撮像した切削
ラインをモニターに写し出し、モニターのヘアーライン
と見比べて撮像手段をθ方向に微調整する様子を示す説
明図。
する様子を示す斜視図、(ロ) は撮像手段で撮像した切削
ラインをモニターに写し出し、モニターのヘアーライン
と見比べて撮像手段をθ方向に微調整する様子を示す説
明図。
１…顕微鏡 ２…連結手段 ３…ビス ４…撮像手段 ５…締め付けねじ ６…回転ブレード ７…ダミーウェーハ ８…モニター ９…連結手段 １０…締め付けねじ １１…ビス １２…ダイシング装置 １３…アライメント手段 １４…搬出入手段 １５…カセット １６…待機領域 １７…搬送手段 １８…チャックテーブル １９…切削手段 ２０…搬送手段 ２１…洗浄領域 ２２、２３…透明円盤カバー
Claims (1)
- 【請求項１】顕微鏡と、撮像手段と、前記顕微鏡に固定
する固定部と前記撮像手段の被結合部を締め付け固定す
るスリ割りリングとから構成される連結手段と、からア
ライメントユニットを構成し、前記顕微鏡と撮像手段と
の調整を行うアライメントユニットの調整方法であっ
て、 ウェーハに形成された切削ラインを前記アライメントユ
ニットによって撮像しモニターに写し出すステップと、 前記連結手段のスリ割りリングを緩め前記撮像手段の被
結合部が前記顕微鏡に対して回転可能な状態にするステ
ップと、 前記モニターに表示されているヘアーラインとこのモニ
ターに写し出された切削ラインとを平行に合わせるため
に前記顕微鏡に対して前記撮像手段を回転し調整するス
テップと、 前記モニターに写し出された切削ラインとヘアーライン
とが平行となり調整が完了した後前記顕微鏡に対して前
記撮像手段を固定するために前記スリ割りリングを締結
するステップと、から構成されるアライメントユニット
の調整方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26976098A JP3159184B2 (ja) | 1993-05-18 | 1998-09-24 | ダイシング装置におけるアライメントユニットの調整方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26976098A JP3159184B2 (ja) | 1993-05-18 | 1998-09-24 | ダイシング装置におけるアライメントユニットの調整方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11167068A true JPH11167068A (ja) | 1999-06-22 |
| JP3159184B2 JP3159184B2 (ja) | 2001-04-23 |
Family
ID=17476778
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP26976098A Expired - Lifetime JP3159184B2 (ja) | 1993-05-18 | 1998-09-24 | ダイシング装置におけるアライメントユニットの調整方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3159184B2 (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008153674A (ja) * | 2007-12-25 | 2008-07-03 | Seiko Epson Corp | インクジェット式記録ヘッド及び圧電体素子 |
| JP2011159823A (ja) * | 2010-02-01 | 2011-08-18 | Disco Abrasive Syst Ltd | 切削装置 |
| JP2013080812A (ja) * | 2011-10-04 | 2013-05-02 | Ulvac Japan Ltd | 基板処理装置 |
| JP2018046110A (ja) * | 2016-09-13 | 2018-03-22 | 株式会社ディスコ | 調整方法及び装置 |
| JP2020161758A (ja) * | 2019-03-28 | 2020-10-01 | 株式会社ディスコ | センターライン調整方法 |
-
1998
- 1998-09-24 JP JP26976098A patent/JP3159184B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008153674A (ja) * | 2007-12-25 | 2008-07-03 | Seiko Epson Corp | インクジェット式記録ヘッド及び圧電体素子 |
| JP2011159823A (ja) * | 2010-02-01 | 2011-08-18 | Disco Abrasive Syst Ltd | 切削装置 |
| JP2013080812A (ja) * | 2011-10-04 | 2013-05-02 | Ulvac Japan Ltd | 基板処理装置 |
| JP2018046110A (ja) * | 2016-09-13 | 2018-03-22 | 株式会社ディスコ | 調整方法及び装置 |
| JP2020161758A (ja) * | 2019-03-28 | 2020-10-01 | 株式会社ディスコ | センターライン調整方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3159184B2 (ja) | 2001-04-23 |
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