JPH1133907A - フランジ機構 - Google Patents
フランジ機構Info
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- JPH1133907A JPH1133907A JP19561997A JP19561997A JPH1133907A JP H1133907 A JPH1133907 A JP H1133907A JP 19561997 A JP19561997 A JP 19561997A JP 19561997 A JP19561997 A JP 19561997A JP H1133907 A JPH1133907 A JP H1133907A
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- spindle
- flange
- nut
- mount flange
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- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 2
- 230000008878 coupling Effects 0.000 description 1
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 description 1
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 description 1
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 1
Landscapes
- Constituent Portions Of Griding Lathes, Driving, Sensing And Control (AREA)
- Dicing (AREA)
- Jigs For Machine Tools (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】半導体ウェーハ等の被加工物を切削する切削装
置の切削手段に配設されて切削刃である円形ブレードを
支持するマウントフランジと、円形ブレードの回転軸と
なるスピンドルとがテーパー面において係合するフラン
ジ機構において、スピンドルの高速回転時の遠心力によ
りマウントフランジの内径が拡大した場合にも、マウン
トフランジがスピンドルのテーパー面に沿って奥側に移
動するのを抑止して、スピンドルとの噛み付きをなく
し、切削時の正確な割り出し送りによる精密切削を可能
とする。 【解決手段】マウントフランジを固定ナットによってス
ピンドルに固定すると共に、マウントフランジの外周部
に設けたネジ部に固定ナットを包み込むようにして袋ナ
ットを螺合することにより、マウントフランジがスピン
ドルの奥方向に移動するのを抑止する。
置の切削手段に配設されて切削刃である円形ブレードを
支持するマウントフランジと、円形ブレードの回転軸と
なるスピンドルとがテーパー面において係合するフラン
ジ機構において、スピンドルの高速回転時の遠心力によ
りマウントフランジの内径が拡大した場合にも、マウン
トフランジがスピンドルのテーパー面に沿って奥側に移
動するのを抑止して、スピンドルとの噛み付きをなく
し、切削時の正確な割り出し送りによる精密切削を可能
とする。 【解決手段】マウントフランジを固定ナットによってス
ピンドルに固定すると共に、マウントフランジの外周部
に設けたネジ部に固定ナットを包み込むようにして袋ナ
ットを螺合することにより、マウントフランジがスピン
ドルの奥方向に移動するのを抑止する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、ダイシング装置等
の切削装置に配設される切削用の円形ブレードを支持す
るフランジ機構に関し、詳しくは、先端に向かって外径
が小さくなるスピンドルのテーパー部に係合して円形ブ
レードを支持するマウントフランジ及び当該マウントフ
ランジをスピンドルに固定する固定ナットを袋ナットに
よって固定することにより、スピンドルの回転時の遠心
力に起因するマウントフランジの内径の拡張によってマ
ウントフランジがスピンドルの奥側に移動するのを防止
するようにしたフランジ機構に関する。
の切削装置に配設される切削用の円形ブレードを支持す
るフランジ機構に関し、詳しくは、先端に向かって外径
が小さくなるスピンドルのテーパー部に係合して円形ブ
レードを支持するマウントフランジ及び当該マウントフ
ランジをスピンドルに固定する固定ナットを袋ナットに
よって固定することにより、スピンドルの回転時の遠心
力に起因するマウントフランジの内径の拡張によってマ
ウントフランジがスピンドルの奥側に移動するのを防止
するようにしたフランジ機構に関する。
【０００２】
【従来の技術】切削装置に配設される切削手段において
は、従来は、例えば図５及び図６に示すように、スピン
ドル４０に切削用のブレードのホルダーとなるマウント
フランジ４１を係合させ、マウントフランジ４１に円形
ブレード４２を装着し、ハブ４３及びブレード支持ナッ
ト４４によって円形ブレード４２をマウントフランジ４
１に固定し、更に、スピンドル４０の先端に設けた固定
ナット螺合部４５に固定ナット４６を装着してマウント
フランジ４１をスピンドル４０に固定したフランジ機構
を有している。ここで、スピンドル４０とマウントフラ
ンジ４１とは、図示したようにテーパー部４７において
結合されて、スピンドル４０からのマウントフランジ４
１の取り外しを容易としている。
は、従来は、例えば図５及び図６に示すように、スピン
ドル４０に切削用のブレードのホルダーとなるマウント
フランジ４１を係合させ、マウントフランジ４１に円形
ブレード４２を装着し、ハブ４３及びブレード支持ナッ
ト４４によって円形ブレード４２をマウントフランジ４
１に固定し、更に、スピンドル４０の先端に設けた固定
ナット螺合部４５に固定ナット４６を装着してマウント
フランジ４１をスピンドル４０に固定したフランジ機構
を有している。ここで、スピンドル４０とマウントフラ
ンジ４１とは、図示したようにテーパー部４７において
結合されて、スピンドル４０からのマウントフランジ４
１の取り外しを容易としている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、スピン
ドル４０が高速回転（例えば、３００００ＲＰＭ）する
と、回転時の遠心力によってスピンドル４０のテーパー
部４７に係合するマウントフランジ４１の内径が拡張
し、これに伴いマウントフランジ４１がスピンドル４０
の奥方向に移動して、固定ナット４６が緩むだけでな
く、スピンドル４０との間で強い噛み付きが生じてマウ
ントフランジ４１をスピンドル４０から取り外しにくく
なる。
ドル４０が高速回転（例えば、３００００ＲＰＭ）する
と、回転時の遠心力によってスピンドル４０のテーパー
部４７に係合するマウントフランジ４１の内径が拡張
し、これに伴いマウントフランジ４１がスピンドル４０
の奥方向に移動して、固定ナット４６が緩むだけでな
く、スピンドル４０との間で強い噛み付きが生じてマウ
ントフランジ４１をスピンドル４０から取り外しにくく
なる。
【０００４】また、マウントフランジ４１が移動すれ
ば、それに伴いマウントフランジ４１に支持された円形
ブレード４２の位置も変化してしまうため、スピンドル
４０の軸方向の移動により円形ブレード４２を所望の切
削位置へ移動させるいわゆる割り出し送りを正確に行う
ことができなくなる。
ば、それに伴いマウントフランジ４１に支持された円形
ブレード４２の位置も変化してしまうため、スピンドル
４０の軸方向の移動により円形ブレード４２を所望の切
削位置へ移動させるいわゆる割り出し送りを正確に行う
ことができなくなる。
【０００５】このように、スピンドルとマウントフラン
ジとがテーパー結合した従来のフランジ機構において
は、スピンドルの高速回転時にマウントフランジの内径
が拡張することによってマウントフランジがスピンドル
の奥方向に移動するのを防止することに課題を有してい
る。
ジとがテーパー結合した従来のフランジ機構において
は、スピンドルの高速回転時にマウントフランジの内径
が拡張することによってマウントフランジがスピンドル
の奥方向に移動するのを防止することに課題を有してい
る。
【０００６】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
の具体的手段として本発明は、切削装置を構成するスピ
ンドルの端部において円形ブレードを保持するフランジ
機構において、スピンドルのテーパー部に係合するマウ
ントフランジと、該マウントフランジをスピンドルに固
定する固定ナットと、該固定ナットを包み込みマウント
フランジに形成されたネジ部に螺合する袋ナットとを少
なくとも含むことを要旨とするものである。
の具体的手段として本発明は、切削装置を構成するスピ
ンドルの端部において円形ブレードを保持するフランジ
機構において、スピンドルのテーパー部に係合するマウ
ントフランジと、該マウントフランジをスピンドルに固
定する固定ナットと、該固定ナットを包み込みマウント
フランジに形成されたネジ部に螺合する袋ナットとを少
なくとも含むことを要旨とするものである。
【０００７】このように構成されるフランジ機構によれ
ば、マウントフランジとスピンドルとの係合状態が固定
ナットにより固定されてマウントフランジのスピンドル
先端方向への移動が抑止される一方、マウントフランジ
のネジ部に螺合する袋ナットによってマウントフランジ
のスピンドルの奥方向への移動も抑止されるため、スピ
ンドルが高速回転してマウントフランジの内径が大きく
なったとしても、マウントフランジがスピンドルのテー
パー部に沿って奥方向に移動することがなくなる。
ば、マウントフランジとスピンドルとの係合状態が固定
ナットにより固定されてマウントフランジのスピンドル
先端方向への移動が抑止される一方、マウントフランジ
のネジ部に螺合する袋ナットによってマウントフランジ
のスピンドルの奥方向への移動も抑止されるため、スピ
ンドルが高速回転してマウントフランジの内径が大きく
なったとしても、マウントフランジがスピンドルのテー
パー部に沿って奥方向に移動することがなくなる。
【０００８】また、本発明は、袋ナットの外径をマウン
トフランジのブレード支持ナット螺合部の外径と同じか
若しくは該マウントフランジのブレード支持ナット螺合
部の外径より小さく形成したことを付加的要件とするも
のである。
トフランジのブレード支持ナット螺合部の外径と同じか
若しくは該マウントフランジのブレード支持ナット螺合
部の外径より小さく形成したことを付加的要件とするも
のである。
【０００９】このように、袋ナットの外径をマウントフ
ランジのブレード支持ナット螺合部の外径と同じか若し
くはこれより小さく形成したことにより、袋ナット、固
定ナットを取り付けたまま、ブレード支持ナット及び円
形ブレードの着脱を行うことが可能となる。
ランジのブレード支持ナット螺合部の外径と同じか若し
くはこれより小さく形成したことにより、袋ナット、固
定ナットを取り付けたまま、ブレード支持ナット及び円
形ブレードの着脱を行うことが可能となる。
【００１０】
【発明の実施の形態】次に、本発明の実施の形態につい
て図面を参照して説明する。まず、本発明に係るフラン
ジ機構が適用される切削装置の一例として、図１に示す
ダイシング装置１０について説明する。
て図面を参照して説明する。まず、本発明に係るフラン
ジ機構が適用される切削装置の一例として、図１に示す
ダイシング装置１０について説明する。
【００１１】このダイシング装置１０においては、切削
対象となる被加工物、例えば半導体ウェーハ１１は、保
持テープ１２を介してフレーム１３に保持されて、チャ
ックテーブル１４に吸引保持され、チャックテーブル１
４のＸ軸方向の移動によってアライメント手段１５の直
下に位置付けられて、パターンマッチング等の処理によ
って切削すべき領域が検出される。そして、更にチャッ
クテーブル１５がＸ軸方向に移動し、検出された領域が
切削手段１６によって切削される。
対象となる被加工物、例えば半導体ウェーハ１１は、保
持テープ１２を介してフレーム１３に保持されて、チャ
ックテーブル１４に吸引保持され、チャックテーブル１
４のＸ軸方向の移動によってアライメント手段１５の直
下に位置付けられて、パターンマッチング等の処理によ
って切削すべき領域が検出される。そして、更にチャッ
クテーブル１５がＸ軸方向に移動し、検出された領域が
切削手段１６によって切削される。
【００１２】切削手段１６は、切削用の刃であるワッシ
ャーブレード等の円形ブレードがフランジ機構により支
持され、スピンドルに装着されて固定される構成となっ
ている。
ャーブレード等の円形ブレードがフランジ機構により支
持され、スピンドルに装着されて固定される構成となっ
ている。
【００１３】図２に示すフランジ機構２０においては、
スピンドル２１のテーパー部２２にマウントフランジ２
３が係合される。そして、マウントフランジ２３には、
ワッシャーブレード２４が装着され、更にこれを支持す
るハブ２５が装着される。
スピンドル２１のテーパー部２２にマウントフランジ２
３が係合される。そして、マウントフランジ２３には、
ワッシャーブレード２４が装着され、更にこれを支持す
るハブ２５が装着される。
【００１４】マウントフランジ２３においてワッシャー
ブレード２４が装着される側の外周は、先端側の外径を
小さくした二段構造となっており、外径が大きい方の外
周部には、ブレード支持ナット螺合部２６が形成され、
また、外径が小さい方の外周部には、ネジ部２７が形成
されている。
ブレード２４が装着される側の外周は、先端側の外径を
小さくした二段構造となっており、外径が大きい方の外
周部には、ブレード支持ナット螺合部２６が形成され、
また、外径が小さい方の外周部には、ネジ部２７が形成
されている。
【００１５】そして、ブレード支持ナット螺合部２６に
はブレード支持ナット２８が螺合され、また、スピンド
ル２１の先端の固定ナット螺合部２９には固定ナット３
０が螺合される。更に、固定ナット３０を包み込むよう
にして袋ナット３１がネジ部２７に螺合される。
はブレード支持ナット２８が螺合され、また、スピンド
ル２１の先端の固定ナット螺合部２９には固定ナット３
０が螺合される。更に、固定ナット３０を包み込むよう
にして袋ナット３１がネジ部２７に螺合される。
【００１６】このようにして図３に示すようなフランジ
機構２０が形成される。即ち、マウントフランジ２３に
はワッシャーブレード２４が装着されて、ハブ２５、ブ
レード支持ナット２８により固定され、更に、スピンド
ル２１の先端に設けられた固定ナット螺合部２９に螺合
した固定ナット３０によって、マウントフランジ２３が
スピンドル２１の先端方向（図３においてＡ方向）に移
動するのを抑止している。
機構２０が形成される。即ち、マウントフランジ２３に
はワッシャーブレード２４が装着されて、ハブ２５、ブ
レード支持ナット２８により固定され、更に、スピンド
ル２１の先端に設けられた固定ナット螺合部２９に螺合
した固定ナット３０によって、マウントフランジ２３が
スピンドル２１の先端方向（図３においてＡ方向）に移
動するのを抑止している。
【００１７】また、袋ナット３１が固定ナット３０を包
み込むようにしてネジ部２７に螺合されることにより、
マウントフランジ２３がスピンドル２１の奥方向（図３
においてＢ方向）に移動するのを抑止している。
み込むようにしてネジ部２７に螺合されることにより、
マウントフランジ２３がスピンドル２１の奥方向（図３
においてＢ方向）に移動するのを抑止している。
【００１８】このように、袋ナット３１によってマウン
トフランジ２３がスピンドル２１の奥方向へ移動するの
を抑止できるため、スピンドル２１の高速回転によりマ
ウントフランジ２３の内径が大きくなっても、マウント
フランジ２３がスピンドル２１の奥方向に移動すること
がなくなる。
トフランジ２３がスピンドル２１の奥方向へ移動するの
を抑止できるため、スピンドル２１の高速回転によりマ
ウントフランジ２３の内径が大きくなっても、マウント
フランジ２３がスピンドル２１の奥方向に移動すること
がなくなる。
【００１９】更に、袋ナット３１は、固定ナット３０を
包み込むようにしてネジ部２７に螺合されているため、
スピンドル２１の固定ナット螺合部２９と螺合している
固定ナット３０が緩むこともない。
包み込むようにしてネジ部２７に螺合されているため、
スピンドル２１の固定ナット螺合部２９と螺合している
固定ナット３０が緩むこともない。
【００２０】また、図３のように、袋ナット３０の外径
をブレード支持ナット螺合部２６の外径と同じか若しく
はブレード支持ナット螺合部２６の外径より小さく形成
させれば、固定ナット３０、袋ナット３１を取り付けた
まま、ブレード支持ナット２８、ハブ２５及びワッシャ
ーブレード２４の着脱を行うことができる。
をブレード支持ナット螺合部２６の外径と同じか若しく
はブレード支持ナット螺合部２６の外径より小さく形成
させれば、固定ナット３０、袋ナット３１を取り付けた
まま、ブレード支持ナット２８、ハブ２５及びワッシャ
ーブレード２４の着脱を行うことができる。
【００２１】なお、ワッシャーブレード２４の代わり
に、図４に示すような刃とハブとが一体となったハブブ
レード３２を用いた場合には、図２におけるハブ２５は
不要となる。
に、図４に示すような刃とハブとが一体となったハブブ
レード３２を用いた場合には、図２におけるハブ２５は
不要となる。
【００２２】
【発明の効果】以上説明したように、本発明に係るフラ
ンジ機構では、マウントフランジとスピンドルとの係合
状態が固定ナットにより固定されてマウントフランジの
スピンドル先端方向への移動が抑止される一方、マウン
トフランジのネジ部に螺合する袋ナットによってマウン
トフランジのスピンドルの奥方向への移動も抑止される
ため、スピンドルが高速回転してマウントフランジの内
径が大きくなったとしても、マウントフランジがスピン
ドルのテーパー部に沿って奥方向に移動することがなく
なる。従って、固定ナットが緩むことがなく、また、テ
ーパー部においてマウントフランジとスピンドルとの噛
み付きが生じることもなくなる。また、マウントフラン
ジが移動しないことにより、円形ブレードの位置も安定
するため、割り出し送りを正確に行うことができ、精密
切削を確実に行うことができる。
ンジ機構では、マウントフランジとスピンドルとの係合
状態が固定ナットにより固定されてマウントフランジの
スピンドル先端方向への移動が抑止される一方、マウン
トフランジのネジ部に螺合する袋ナットによってマウン
トフランジのスピンドルの奥方向への移動も抑止される
ため、スピンドルが高速回転してマウントフランジの内
径が大きくなったとしても、マウントフランジがスピン
ドルのテーパー部に沿って奥方向に移動することがなく
なる。従って、固定ナットが緩むことがなく、また、テ
ーパー部においてマウントフランジとスピンドルとの噛
み付きが生じることもなくなる。また、マウントフラン
ジが移動しないことにより、円形ブレードの位置も安定
するため、割り出し送りを正確に行うことができ、精密
切削を確実に行うことができる。
【００２３】更に、袋ナットの外径をマウントフランジ
のブレード支持ナット螺合部の外径と同じか若しくはこ
れより小さく形成したことにより、袋ナット、固定ナッ
トを取り付けたまま、ブレード支持ナット及び円形ブレ
ードの着脱を行うことがが可能となるため、ブレード交
換等の作業を容易かつ短時間に行うことができる。
のブレード支持ナット螺合部の外径と同じか若しくはこ
れより小さく形成したことにより、袋ナット、固定ナッ
トを取り付けたまま、ブレード支持ナット及び円形ブレ
ードの着脱を行うことがが可能となるため、ブレード交
換等の作業を容易かつ短時間に行うことができる。
【図１】本発明に係るフランジ機構が適用される切削装
置の一例を示す斜視図である。
置の一例を示す斜視図である。
【図２】同フランジ機構の実施の形態の一例を示す分解
斜視図である。
斜視図である。
【図３】同フランジ機構の結合状態を示す略示的断面図
である。
である。
【図４】同フランジ機構により支持されるハブブレード
を示す斜視図である。
を示す斜視図である。
【図５】従来のフランジ機構を示す分解斜視図である。
【図６】同フランジ機構の結合状態を示す略示的断面図
である。
である。
１０：ダイシング装置 １１：半導体ウェーハ １２：
保持テープ １３：フレーム １４：チャックテーブル １５：アラ
イメント手段 １６：切削手段 ２０：フランジ機構 ２１：スピンドル ２２：テーパ
ー部 ２３：マウントフランジ ２４：ワッシャーブレード
２５：ハブ ２６：ブレード支持ナット螺合部 ２７：ネジ部 ２
８：ブレード支持ナット ２９：固定ナット螺合部 ３０：固定ナット ３１：袋
ナット ３２：ハブブレード ４０：スピンドル ４１：マウントフランジ ４２：円
形ブレード ４３：ハブ ４４：ブレード支持ナット ４５：固定ナット螺合部
４６：固定ナット ４７：テーパー部
保持テープ １３：フレーム １４：チャックテーブル １５：アラ
イメント手段 １６：切削手段 ２０：フランジ機構 ２１：スピンドル ２２：テーパ
ー部 ２３：マウントフランジ ２４：ワッシャーブレード
２５：ハブ ２６：ブレード支持ナット螺合部 ２７：ネジ部 ２
８：ブレード支持ナット ２９：固定ナット螺合部 ３０：固定ナット ３１：袋
ナット ３２：ハブブレード ４０：スピンドル ４１：マウントフランジ ４２：円
形ブレード ４３：ハブ ４４：ブレード支持ナット ４５：固定ナット螺合部
４６：固定ナット ４７：テーパー部
Claims (2)
- 【請求項１】切削装置を構成するスピンドルの端部にお
いて円形ブレードを保持するフランジ機構において、前
記スピンドルのテーパー部に係合するマウントフランジ
と、該マウントフランジを前記スピンドルに固定する固
定ナットと、該固定ナットを包み込み前記マウントフラ
ンジに形成されたネジ部に螺合する袋ナットとを少なく
とも含むフランジ機構。 - 【請求項２】袋ナットの外径は、マウントフランジに形
成されたブレード支持ナット螺合部の外径と等しいかま
たは該マウントフランジのブレード支持ナット螺合部の
外径より小さく形成した請求項１に記載のフランジ機
構。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19561997A JP3854687B2 (ja) | 1997-07-22 | 1997-07-22 | フランジ機構 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19561997A JP3854687B2 (ja) | 1997-07-22 | 1997-07-22 | フランジ機構 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1133907A true JPH1133907A (ja) | 1999-02-09 |
| JP3854687B2 JP3854687B2 (ja) | 2006-12-06 |
Family
ID=16344190
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP19561997A Expired - Lifetime JP3854687B2 (ja) | 1997-07-22 | 1997-07-22 | フランジ機構 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3854687B2 (ja) |
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| JP2011098401A (ja) * | 2009-11-04 | 2011-05-19 | Disco Abrasive Syst Ltd | ブレード装着補助工具 |
| JP2014091186A (ja) * | 2012-11-01 | 2014-05-19 | Disco Abrasive Syst Ltd | フランジ機構 |
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| KR20190070856A (ko) | 2017-12-13 | 2019-06-21 | 가부시기가이샤 디스코 | 절삭 장치 |
-
1997
- 1997-07-22 JP JP19561997A patent/JP3854687B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (14)
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