KR20150010586A - 절삭 장치 - Google Patents

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KR20150010586A
KR20150010586A KR20140077926A KR20140077926A KR20150010586A KR 20150010586 A KR20150010586 A KR 20150010586A KR 20140077926 A KR20140077926 A KR 20140077926A KR 20140077926 A KR20140077926 A KR 20140077926A KR 20150010586 A KR20150010586 A KR 20150010586A
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노부히코 와키타
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가부시기가이샤 디스코
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Abstract

본 발명은 지지 플랜지에 대하여 효율적으로 절삭 블레이드를 착탈 가능한 절삭 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.
본 발명에 따르면, 절삭 장치의 절삭 수단은, 스핀들의 선단부에 장착된 지지 플랜지와, 상기 지지 플랜지에 착탈 가능하게 지지된 절삭 블레이드와, 상기 지지 플랜지에 지지된 상기 절삭 블레이드를 고정하는 고정 플랜지를 구비하고, 상기 지지 플랜지는, 상기 절삭 블레이드의 중앙에 형성된 개구부가 삽입되는 보스부와, 상기 보스부의 외주에 일체적으로 형성되며 상기 절삭 블레이드의 면을 지지하는 칼라부(collar portion)와 상기 스핀들의 선단부에 감합(嵌合)되는 원통부를 포함하고, 상기 지지 플랜지의 상기 칼라부에는 상기 고정 플랜지측으로 개구된 흡인 구멍이 형성되고, 상기 지지 플랜지의 상기 원통부에는 상기 흡인 구멍에 연통(連通)되는 연통 구멍이 형성되며, 상기 연통 구멍은 상기 스핀들 하우징에 고정된 로터리 조인트와 개폐 밸브를 통해 상기 흡인원에 선택적으로 연통되어 있다.

Description

절삭 장치{CUTTING DEVICE}
본 발명은, 반도체 웨이퍼 등의 피가공물을 절삭하는 절삭 장치에 관한 것으로, 특히, 절삭 장치에 있어서의 절삭 블레이드의 장착 기구에 관한 것이다.
IC, LSI 등의 복수의 디바이스가 분할 예정 라인에 의해 구획된 영역에 형성된 반도체 웨이퍼는, 절삭 블레이드가 장착된 절삭 장치에 의해 개개의 디바이스 칩으로 분할되고, 분할된 디바이스 칩은 휴대 전화, 퍼스널 컴퓨터 등의 각종 전기 기기에 널리 이용되고 있다.
절삭 장치는, 피가공물을 유지하는 척 테이블과, 척 테이블에 유지된 피가공물을 절삭하는 절삭 블레이드를 구비한 절삭 수단과, 척 테이블과 절삭 수단을 상대적으로 가공 이송하는 가공 이송 수단을 구비하고 있으며, 웨이퍼 등의 피가공물을 고정밀도로 개개의 디바이스 칩으로 분할할 수 있다.
절삭 수단은, 모터에 의해 회전 구동되는 스핀들과, 스핀들을 회전 가능하게 지지하는 스핀들 하우징과, 스핀들의 선단부에 장착된 지지 플랜지와, 지지 플랜지에 착탈 가능하게 장착되는 절삭 블레이드와, 지지 플랜지에 지지된 절삭 블레이드를 고정하는 고정 플랜지를 포함하고 있다.
지지 플랜지는, 절삭 블레이드의 중앙에 형성된 개구에 삽입되는 보스부와, 보스부의 외주에 보스부와 일체적으로 형성되며 절삭 블레이드의 면을 지지하는 칼라부(collar portion)와, 보스부의 선단에 형성된 수나사를 갖고 있고, 절삭 블레이드 및 고정 플랜지(누름 플랜지)를 지지 플랜지의 보스부에 삽입하고 너트를 보스부의 수나사에 나사 결합하여 체결함으로써, 절삭 블레이드를 지지 플랜지와 고정 플랜지로 협지(挾持)하여 고정하는 구조로 되어 있다(예컨대, 일본 특허 공개 평성 제11-33907호 공보 참조).
특허문헌 1: 일본 특허 공개 평성 제11-33907호 공보
절삭 작업시에 있어서의 스핀들의 회전에 의한 고정 플랜지의 헐거워짐의 발생을 방지하기 위해서, 지지 플랜지 및 너트에 형성된 나사는 일반적으로 스핀들의 회전 방향에 대하여 반대로 비틀게 되어 있다.
이에 따라, 절삭 작업을 계속함에 따라 너트는 헐거워지는 일 없이 지지 플랜지의 수나사에 강고히 체결되기 때문에, 절삭 블레이드의 교환시에 너트를 푸는 데 큰 토크를 필요로 한다.
그러나, 절삭 블레이드는 마모 및 파손되었을 때에 새로운 절삭 블레이드와 교환되기 때문에, 지지 플랜지에 대한 절삭 블레이드의 착탈이 비교적 빈번히 행해져, 종래의 장착 구조에서는 너트를 떼어내는 데 큰 토크를 필요로 하기 때문에, 생산 효율을 저하시킨다고 하는 문제가 있다.
본 발명은 이러한 점을 감안하여 이루어진 것으로, 그 목적으로 하는 점은, 지지 플랜지에 대하여 효율적으로 절삭 블레이드를 착탈 가능한 절삭 장치를 제공하는 것이다.
본 발명에 따르면, 피가공물을 유지하는 척 테이블과, 상기 척 테이블에 유지된 피가공물을 절삭하는 절삭 수단과, 상기 척 테이블과 상기 절삭 수단을 상대적으로 가공 이송하는 가공 이송 수단을 구비한 절삭 장치로서, 상기 절삭 수단은, 스핀들과, 상기 스핀들을 회전 가능하게 지지하는 스핀들 하우징과, 상기 스핀들의 선단부에 장착된 지지 플랜지와, 상기 지지 플랜지에 착탈 가능하게 지지된 절삭 블레이드와, 상기 지지 플랜지에 지지된 상기 절삭 블레이드를 고정하는 고정 플랜지를 구비하고, 상기 지지 플랜지는, 상기 절삭 블레이드의 중앙에 형성된 개구부가 삽입되는 보스부와, 상기 보스부의 외주에 일체적으로 형성되며 상기 절삭 블레이드의 면을 지지하는 칼라부와, 상기 스핀들의 선단부에 감합(嵌合)되는 원통부를 포함하고, 상기 지지 플랜지의 상기 칼라부에는 상기 고정 플랜지측으로 개구된 흡인 구멍이 형성되고, 상기 지지 플랜지의 상기 원통부에는 상기 흡인 구멍에 연통(連通)되는 연통 구멍이 형성되며, 상기 연통 구멍은 상기 스핀들 하우징에 고정된 로터리 조인트와 개폐 밸브를 통해 상기 흡인원에 선택적으로 연통되어 있고, 상기 개폐 밸브를 개방하여 상기 연통 구멍을 흡인원에 연통하면, 상기 지지 플랜지와 상기 고정 플랜지 사이가 감압되어서 상기 고정 플랜지가 상기 지지 플랜지에 흡인되어 상기 절삭 블레이드가 고정되고, 상기 지지 플랜지의 상기 보스부와 상기 고정 플랜지의 부착 구멍에는, 상기 지지 플랜지와 상기 고정 플랜지 사이의 회동을 규제하는 회동 규제부가 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 절삭 장치가 제공된다.
바람직하게는, 절삭 장치는, 로터리 조인트와 흡인원 사이에 압력계가 배치되어 있고, 압력계의 값이 정해진 값을 상회했을 때에 위험 신호를 출력하는 안전 장치를 더 구비하고 있다.
본 발명에 따르면, 절삭 작업시에는 개폐 밸브를 개방하여 흡인 구멍을 흡인원에 연통시킴으로써, 고정 플랜지를 지지 플랜지에 흡인하여 절삭 블레이드를 지지 플랜지와 고정 플랜지로 협지하여 고정할 수 있고, 절삭 블레이드의 교환시에는 개폐 밸브를 폐쇄 위치로 전환하여 고정 플랜지를 지지 플랜지로부터 용이하게 떼어낼 수 있기 때문에, 절삭 블레이드를 효율적으로 교환할 수 있다.
도 1은 절삭 장치의 사시도.
도 2는 지지 플랜지를 스핀들의 선단부에 장착하는 모습을 도시하는 분해 사시도.
도 3의 (a)는 절삭 블레이드를 지지 플랜지에 장착하는 모습을 도시하는 분해 사시도이고, 도 3의 (b)는 고정 플랜지의 이면측 사시도.
도 4의 (a)는 절삭 블레이드가 스핀들의 선단부에 장착된 상태의 사시도이고, 도 4의 (b)는 그 종단면도.
이하, 본 발명의 실시형태를 도면을 참조하여 상세히 설명한다. 도 1을 참조하면, 본 발명의 실시형태에 따른 절삭 블레이드의 장착 기구를 구비한 절삭 장치(2)의 사시도가 도시되어 있다.
절삭 장치(2)의 전면(前面)측에는, 오퍼레이터가 가공 조건 등의 장치에 대한 지시를 입력하기 위한 조작 패널(4)이 설치되어 있다. 장치 상부에는, 오퍼레이터에 대한 안내 화면이나 후술하는 촬상 유닛에 의해 촬상된 화상이 표시되는 CRT 등의 표시 모니터(6)가 설치되어 있다.
절삭 장치(2)의 절삭 대상인 반도체 웨이퍼(이하, 간단히 웨이퍼라고 약칭하는 경우가 있음)(11)는 환형 프레임(F)에 장착된 다이싱 테이프(T)에 접착된 후, 웨이퍼 카세트(8) 안에 복수 매 수용된다. 웨이퍼 카세트(8)는 상하 이동 가능한 카세트 엘리베이터(9) 상에 배치된다.
웨이퍼 카세트(8)의 후방에는, 웨이퍼 카세트(8)로부터 절삭 전의 웨이퍼(11)를 반출하고, 절삭 후의 웨이퍼를 웨이퍼 카세트(8)에 반입하는 반입 반출 유닛(10)이 배치되어 있다.
웨이퍼 카세트(8)와 반입 반출 유닛(10) 사이에는, 반입 반출 대상인 웨이퍼(11)가 일시적으로 배치되는 영역인 가거치(temporary placing) 영역(12)이 마련되어 있고, 가거치 영역(12)에는, 웨이퍼(11)를 일정한 위치에 위치맞춤시키는 위치맞춤 기구(14)가 배치되어 있다.
가거치 영역(12)의 근방에는, 웨이퍼(11)를 흡착하여 반송하는 선회 아암을 갖는 반송 유닛(16)이 배치되어 있고, 가거치 영역(12)에 반출되어 위치맞춤된 웨이퍼(11)는, 반송 유닛(16)에 의해 흡착되어 척 테이블(18) 상에 반송되며, 이 척 테이블(18)에 흡인 유지된다.
척 테이블(18)은, 회전 가능하며 도시하지 않은 가공 이송 기구에 의해 X축 방향으로 왕복 이동 가능하게 구성되어 있고, 척 테이블(18)의 X축 방향의 이동 경로의 상방에는, 웨이퍼(11)의 절삭해야 할 영역을 검출하는 얼라이먼트 유닛(22)이 배치되어 있다. 도면 부호 20은 환형 프레임(F)을 클램프하는 클램프이다.
얼라이먼트 유닛(22)은, 웨이퍼(11)의 표면을 촬상하는 촬상 유닛(24)을 구비하고 있고, 촬상에 의해 취득한 화상에 기초하여, 패턴 매칭 등의 처리에 의해 절삭해야 할 영역을 검출할 수 있다. 촬상 유닛(24)에 의해 취득된 화상은, 표시 모니터(6)에 표시된다.
얼라이먼트 유닛(22)의 좌측에는, 척 테이블(18)에 유지된 웨이퍼(11)에 대하여 절삭 가공을 실시하는 절삭 유닛(26)이 배치되어 있다. 절삭 유닛(26)은 얼라이먼트 유닛(22)과 일체적으로 구성되어 있고, 양자가 연동하여 Y축 방향 및 Z축 방향으로 이동한다.
절삭 유닛(26)은, 회전 가능한 스핀들(28)의 선단에 절삭 블레이드(30)가 장착되어 구성되며, Y축 방향 및 Z축 방향으로 이동 가능하게 되어 있다. 절삭 블레이드(30)는 촬상 유닛(24)의 X축 방향의 연장선 상에 위치하고 있다. 절삭 유닛(26)의 Y축 방향의 이동은 도시하지 않은 인덱싱 이송 기구에 의해 달성된다.
도면 부호 34는 절삭 가공이 종료된 웨이퍼(11)를 세정하는 스피너 세정 유닛이며, 절삭 가공이 종료된 웨이퍼(11)는 반송 유닛(32)에 의해 스피너 세정 유닛(34)까지 반송되고, 스피너 세정 유닛(34)으로 스핀 세정 및 스핀 건조된다.
도 2를 참조하면, 지지 플랜지(46)를 스핀들(28)의 선단부에 장착하는 모습을 도시하는 분해 사시도가 나타나 있다. 절삭 유닛(26)의 스핀들(28)은, 에어 베어링에 의해 스핀들 하우징(27)에 회전 가능하게 지지되어 있다.
스핀들(28)은 테이퍼부(28a) 및 선단 소직경부(28b)를 갖고 있고, 선단 소직경부(28b)에는 수나사(31)가 형성되어 있다. 이 수나사(31)는 스핀들(28)의 회전 방향에 대하여 반대로 비틀게 되어 있다.
스핀들 하우징(27)의 단부(27a)에는 복수의 나사 구멍(29)이 형성되어 있다. 도면 부호 36은 로터리 조인트이며, 원통형 보스부(38)와, 원통형 보스부(38)의 외주에 일체적으로 형성된 칼라부(40)로 구성된다.
원통형 보스부(38)는 감합 구멍(38a)과 선단이 감합 구멍(38a)으로 개구된 파이프(42)를 갖고 있고, 파이프(42)는 도 3에 도시하는 바와 같이, 개폐 밸브(72)를 통해 흡인원(74)에 선택적으로 접속된다.
로터리 조인트(36)의 칼라부(40)는 복수의 부착 구멍(41)이 형성되어 있고, 이들 부착 구멍(41) 안에 나사(44)를 삽입해서 스핀들 하우징(27)의 단부(27a)에 형성된 나사 구멍(29)에 나사 결합하여 체결함으로써, 로터리 조인트(36)는 스핀들 하우징(27)의 단부(27a)에 부착된다.
도면 부호 46은 절삭 블레이드(30)를 지지하는 지지 플랜지이며, 장착원(49)을 갖는 보스부(48)와, 보스부(48)의 외주에 보스부(48)와 일체적으로 형성된 칼라부(50)와, 스핀들(28)의 선단부에 감합되는 원통부(53)로 구성된다.
보스부(48)의 외주에는 원주 방향으로 정해진 간격으로 이격된 복수의 볼록부(52)가 형성되어 있다. 칼라부(50)는, 보스부(48)에 삽입된 절삭 블레이드(30)에 접촉하여 절삭 블레이드(30)의 면을 지지하는 지지면(50a)과, 환형 홈(58)을 갖고 있고, 환형 홈(58)에는 원주 방향으로 정해진 간격 이격된 복수의 흡인 구멍(60)이 개구되어 있다.
한편, 지지 플랜지(46)의 원통부(53)에는 환형 홈(54)이 형성되어 있고, 환형 홈(54)에는 둘레 방향으로 정해진 간격으로 이격된 복수의 연통 구멍(56)이 형성되어 있다. 도 4의 (b)를 참조하면 명백하듯이, 흡인 구멍(60)과 연통 구멍(56)은 칼라부(50) 및 원통부(53)에 걸쳐 형성된 연통로(57)에 의해 접속되어 있다.
도 3의 (a)에 도시하는 바와 같이, 파이프(42)와 흡인원(74)을 접속하는 흡인로(71)에는 압력계(76)가 배치되어 있고, 압력계(76)는 컨트롤러(78)에 접속되어 있다. 개폐 밸브(72)를 개방 상태로 전환하면, 파이프(42)와 개폐 밸브(72) 사이의 연통로(71)에는 흡인원(74)에 의한 부압이 발생하지만, 이 부압을 압력계(76)로 측정하고, 압력계(76)의 값이 정해진 값(예컨대 0.02 ㎫)을 상회했을 때에 컨트롤러(78)에 편입된 소프트웨어로 위험이라고 판단하고, 위험 신호를 출력하여 절삭 작업을 즉시 정지하도록 제어한다. 여기서, 대기압은 0.1 ㎫이기 때문에, 전술한 정해진 값 0.02 ㎫는 부압이다.
지지 플랜지(46)를 스핀들(28)의 테이퍼부(28a) 및 선단 소직경부(28b)에 감합한 후, 너트(62)를 수나사(31)에 나사 결합하여 체결함으로써, 지지 플랜지(46)는, 도 3의 (a)에 도시하는 바와 같이, 스핀들(28)의 선단부에 고정된다.
지지 플랜지(46)를 스핀들(28)의 선단부에 고정한 후, 개구(30a)를 갖는 절삭 블레이드(30)를 지지 플랜지(46)의 보스부(48)에 삽입하고, 또한 고정 플랜지(64)를 지지 플랜지(46)의 보스부(48)에 삽입한다.
여기서, 절삭 블레이드(30)는 다이아몬드 지립을 레진 본드로 굳힌 레지노이드(resinoid) 지석 또는 다이아몬드 지립을 비트리파이드 본드(vitrified bond)로 굳힌 비트리파이드 본드 지석 또는 다이아몬드 지석을 니켈 도금으로 고정한 전기 주조 지석 등으로 이루어지는 와셔 블레이드이다.
고정 플랜지(누름 플랜지)(64)의 감합 구멍(65)에는, 지지 플랜지(46)의 보스부(48)에 형성된 볼록부(52)에 대응하는 오목부(70)가 원주 방향으로 이격되어 복수 개 형성되어 있고, 고정 플랜지(64)를 지지 플랜지(46)의 보스부(48)에 삽입할 때에는, 볼록부(52)가 오목부(70)에 삽입되도록 위치시켜, 고정 플랜지(64)를 지지 플랜지(46)의 보스부(48)에 삽입한다.
지지 플랜지(46)의 볼록부(52)와 고정 플랜지(64)의 오목부(70)로, 지지 플랜지(46)와 고정 플랜지(64)와의 회동을 규제하는 회동 규제부를 구성한다. 도 3의 (b)는 고정 플랜지(64)의 이면측 사시도를 도시하고 있고, 지지 플랜지(46)의 보스부(48)에 삽입된 절삭 블레이드(38)를 지지하는 환형 지지면(66)과, 절삭 블레이드(30)를 누르는 누름면(68)을 갖고 있다.
도 4의 (a)를 참조하면, 절삭 블레이드(30) 및 고정 플랜지(64)가 지지 플랜지(46)의 보스부(48)에 삽입된 상태의 사시도가 도시되어 있고, 도 4의 (b)는 그 종단면도를 도시하고 있다.
도 3의 (a)에 도시한 개폐 밸브(72)를 개방 위치로 전환하여, 파이프(42)를 흡인원(74)에 접속하면, 지지 플랜지(46)의 원통부(53)에 형성된 환형 홈(54), 연통 구멍(56), 연통로(57) 및 흡인 구멍(60)을 통해 지지 플랜지(46)의 환형 홈(58) 안에 부압이 작용하여, 고정 플랜지(64)가 지지 플랜지(46)를 향해 흡인된다. 이에 따라, 절삭 블레이드(30)는 칼라부(50)의 지지면(50a)과 고정 플랜지(64)의 누름면(68)으로 협지되어 고정된다.
압력계(76)로 계측한 흡인로(71) 안의 압력이 전술한 정해진 값 미만이면, 칼라부(50)의 환형 홈(58)에 작용하는 부압은 충분히 크기 때문에, 절삭 블레이드(30)는 칼라부(50)의 지지면(50a)과 고정 플랜지(64)의 누름면(68)에 의해 충분히 큰 힘으로 협지되어, 절삭 블레이드(30)에 의한 피가공물의 절삭 작업에 지장을 초래하는 일은 없다.
그러나, 흡인로(71) 안의 압력이 전술한 정해진 값을 상회했을 때에는, 칼라부(50)의 환형 홈(58)에 작용하는 부압이 충분히 크지 않기 때문에, 절삭 블레이드(30)의 고정이 절삭 작업을 속행하기에는 불충분해진다. 따라서, 이 정해진 값 이상의 압력을 압력계(76)가 검출했을 때에는, 컨트롤러(78)가 위험 신호를 출력하여, 피가공물의 절삭 작업을 즉시 정지하도록 제어한다.
절삭 블레이드(30)가 마모되거나 절삭 블레이드(30)에 파손이 발생하여 새로운 절삭 블레이드와 교환할 필요가 발생했을 때에는, 개폐 밸브(72)를 폐쇄 위치로 전환하여 칼라부(50)의 환형 홈(58)에 작용하는 부압을 차단한다. 이에 따라, 고정 플랜지(64)의 부압에 의한 구속이 해제되기 때문에, 고정 플랜지(64) 및 절삭 블레이드(30)를 지지 플랜지(46)의 보스부(48)로부터 용이하게 떼어낼 수 있다.
전술한 본 실시형태의 절삭 블레이드의 장착 기구에서는, 부압을 도입하는 데 로터리 조인트(36)를 사용하는 것을 하나의 특징으로 한다. 로터리 조인트(36)를 스핀들 하우징(27)의 단부면(27a)에 고정함으로써, 지지 플랜지(46)의 칼라부(50)의 환형 홈(58) 안에 부압을 도입 가능하기 때문에, 종래의 절삭 장치에 있어서의 스핀들(28) 및 스핀들 하우징(27)의 구조를 크게 개조하지 않고서, 스핀들 하우징(27)의 단부면(27a)에 다소 손대는 것만으로, 종래 장치에서 채용되고 있던 너트를 사용한 고정 플랜지(64)의 고정을 대신하여, 부압에 의한 고정 플랜지(64)의 고정으로 용이하게 변경할 수 있다.
전술한 실시형태에서는, 로터리 조인트(36)를 통해 고정 플랜지(46)의 칼라부(50)에 형성된 환형 홈(58) 안에 부압을 도입하고, 부압에 의해 절삭 블레이드(30)를 지지 플랜지(46)의 칼라부(50)의 지지면(50a)과 고정 플랜지(64)의 누름면(68)으로 협지하며, 또한 보스부(48)에 형성된 볼록부(52)를 고정 플랜지(64)의 감합 구멍(65)에 형성된 오목부(70) 안에 감합하여 회동 규제부를 구성했기 때문에, 너트를 사용하지 않고서 절삭 블레이드(30)를 지지 플랜지(46)와 고정 플랜지(64)로 협지하여 확실하게 고정할 수 있다.
절삭 블레이드(30)를 교환할 때에는, 개폐 밸브(72)의 폐쇄 위치로의 전환에 의해 고정 플랜지(64)를 지지 플랜지(46)로부터 떼어내어, 절삭 블레이드(30)를 효율적으로 교환할 수 있다.
2: 절삭 장치 26: 절삭 유닛
27: 스핀들 하우징 28: 스핀들
30: 절삭 블레이드 36: 로터리 조인트
46: 지지 플랜지 48: 보스부
50: 칼라부 52: 볼록부
53: 원통부 54, 58: 환형 홈
56: 연통 구멍 57: 연통로
60: 흡인 구멍 64: 고정 플랜지(누름 플랜지)
70: 오목부

Claims (2)

  1. 피가공물을 유지하는 척 테이블과, 상기 척 테이블에 유지된 피가공물을 절삭하는 절삭 수단과, 상기 척 테이블과 상기 절삭 수단을 상대적으로 가공 이송하는 가공 이송 수단을 구비한 절삭 장치로서,
    상기 절삭 수단은, 스핀들과, 상기 스핀들을 회전 가능하게 지지하는 스핀들 하우징과, 상기 스핀들의 선단부에 장착된 지지 플랜지와, 상기 지지 플랜지에 착탈 가능하게 지지된 절삭 블레이드와, 상기 지지 플랜지에 지지된 상기 절삭 블레이드를 고정하는 고정 플랜지를 구비하고,
    상기 지지 플랜지는, 상기 절삭 블레이드의 중앙에 형성된 개구부가 삽입되는 보스부와, 상기 보스부의 외주에 일체적으로 형성되며 상기 절삭 블레이드의 면을 지지하는 칼라부(collar portion)와, 상기 스핀들의 선단부에 감합(嵌合)되는 원통부를 포함하고,
    상기 지지 플랜지의 상기 칼라부에는 상기 고정 플랜지측으로 개구된 흡인 구멍이 형성되고, 상기 지지 플랜지의 상기 원통부에는 상기 흡인 구멍에 연통(連通)되는 연통 구멍이 형성되며, 상기 연통 구멍은 상기 스핀들 하우징에 고정된 로터리 조인트와 개폐 밸브를 통해 흡인원에 선택적으로 연통되어 있고,
    상기 개폐 밸브를 개방하여 상기 연통 구멍을 상기 흡인원에 연통하면, 상기 지지 플랜지와 상기 고정 플랜지 사이가 감압되어서 상기 고정 플랜지가 상기 지지 플랜지에 흡인되어 상기 절삭 블레이드가 고정되고,
    상기 지지 플랜지의 상기 보스부와 상기 고정 플랜지의 부착 구멍에는, 상기 지지 플랜지와 상기 고정 플랜지 사이의 회동을 규제하는 회동 규제부가 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 절삭 장치.
  2. 제1항에 있어서, 상기 로터리 조인트와 상기 흡인원 사이에는 압력계가 배치되어 있고, 상기 압력계의 값이 정해진 값을 상회했을 때에 위험 신호를 출력하는 안전 장치를 더 구비한 절삭 장치.
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