-
HINTERGRUND DER ERFINDUNG
-
Gebiet der Erfindung
-
Die vorliegende Erfindung betrifft eine Schneidvorrichtung zum Schneiden eines Werkstücks, wie zum Beispiel eines Halbleiterwafers, und spezieller einen Anbringmechanismus für eine Schneidklinge in der Schneidvorrichtung.
-
Beschreibung des Stands der Technik
-
Mehrere Bauelemente, wie zum Beispiel ICs und LSIs, sind jeweils in mehreren getrennten Bereichen ausgebildet, die durch mehrere Trennlinien an der Vorderseite eines Halbleiterwafers definiert sind. Der Halbleiterwafer, der somit die mehreren Bauelemente aufweist, wird durch Verwendung einer Schneidvorrichtung mit einer Schneidklinge in einzelne Bauelementchips geteilt. Die Bauelementchips sind zur Verwendung in verschiedenen elektrischen Geräten, wie zum Beispiel Mobiltelefonen und PCs, weit verbreitet. Die Schneidvorrichtung beinhaltet einen Einspanntisch zum Halten eines Werkstücks, ein Schneidmittel zum Schneiden des an dem Einspanntisch gehaltenen Werkstücks und ein Zuführmittel zum relativen Zuführen des Einspanntischs und des Schneidmittels, wodurch das Werkstück, wie zum Beispiel ein Wafer, mit hoher Genauigkeit in die einzelnen Bauelementchips geteilt werden kann.
-
Das Schneidmittel beinhaltet eine Spindel, die dafür eingerichtet ist, durch einen Motor drehend angetrieben zu werden, ein Spindelgehäuse zum drehbaren Halten der Spindel, einen an dem vorderen Endabschnitt der Spindel angebrachten Halteflansch, eine abnehmbar an dem Halteflansch gehaltene Schneidklinge und einen Befestigungsflansch zum Befestigen der an dem Halteflansch gehaltenen Schneidklinge. Der Halteflansch weist einen Nabenabschnitt, der dafür eingerichtet ist, durch eine Mittelöffnung der Schneidklinge eingeführt zu werden, einen Flanschabschnitt, der einstückig mit dem äußeren Umfang des Nabenabschnitts ausgebildet ist, zum Halten einer Seitenoberfläche der Schneidklinge und ein äußeres Schraubgewinde, das an dem vorderen Ende des Nabenabschnitts ausgebildet ist, auf, wobei die Schneidklinge und der Befestigungsflansch (Druckflansch) an dem Nabenabschnitt des Halteflanschs angebracht werden und eine Mutter mit dem äußeren Schraubgewinde des Nabenabschnitts des Halteflanschs in Schraubeingriff gebracht wird, bis diese festgezogen ist, wodurch die Schneidklinge fest zwischen dem Halteflansch und dem Befestigungsflansch gehalten wird (siehe zum Beispiel das offengelegte
japanische Patent Nr. 11-33907 ).
-
ZUSAMMENFASSUNG DER ERFINDUNG
-
Allgemein ist die Spiralstruktur der Schraubgewinde an dem Halteflansch und der Mutter entgegengesetzt zu der Drehrichtung der Spindel, um zu verhindern, dass sich der Befestigungsflansch wegen der Drehung der Spindel bei der Durchführung des Schneidvorgangs lockert. Dementsprechend wird, während der Schneidvorgang fortgesetzt wird, die Mutter ohne Lockerung fest an dem äußeren Schraubgewinde des Halteflanschs festgezogen. Als Folge dessen ist für den Fall, dass die Schneidklinge ersetzt wird, eine große Drehkraft erforderlich, um die Mutter zu entfernen. Jedoch muss, wenn die Schneidklinge abgenutzt oder abgeplatzt ist, diese durch eine neue ersetzt werden und wird dieses Ersetzen der Schneidklinge mit Bezug auf den Halteflansch relativ häufig durchgeführt. Bei der konventionellen Anbringstruktur für die Schneidklinge ist eine große Drehkraft erforderlich, um die Mutter zu entfernen, wie oben beschrieben wurde, so dass ein Problem dahingehend besteht, dass die Herstellungseffizienz verringert werden kann.
-
Es ist deshalb ein Ziel der vorliegenden Erfindung, eine Schneidvorrichtung bereitzustellen, die es einer Bedienperson ermöglicht, die Schneidklinge effektiv mit Bezug auf den Halteflansch zu ersetzen.
-
Gemäß einem Aspekt der vorliegenden Erfindung wird eine Schneidvorrichtung bereitgestellt, die beinhaltet: einen Einspanntisch zum Halten eines Werkstücks; ein Schneidmittel zum Schneiden des an dem Einspanntisch gehaltenen Werkstücks; und ein Zuführmittel zum relativen Zuführen des Einspanntischs und des Schneidmittels; wobei das Schneidmittel eine Spindel, ein Spindelgehäuse zum drehbaren Halten der Spindel, einen an dem vorderen Endabschnitt der Spindel angebrachten Halteflansch, eine abnehmbar an dem Halteflansch gehaltene Schneidklinge und einen Befestigungsflansch zum Befestigen der an dem Halteflansch gehaltenen Schneidklinge beinhaltet; wobei der Halteflansch einen Nabenabschnitt, der dafür eingerichtet ist, durch eine Mittelöffnung der Schneidklinge eingeführt zu werden, einen Flanschabschnitt, der einstückig mit dem äußeren Umfang des Nabenabschnitts ausgebildet ist, zum Halten einer Seitenoberfläche der Schneidklinge und einen zylindrischen Abschnitt zum Eingriff mit dem vorderen Endabschnitt der Spindel beinhaltet; wobei der Flanschabschnitt des Halteflanschs mit einer Ansaugöffnung ausgebildet ist, die sich in Richtung auf den Befestigungsflansch öffnet, und der zylindrische Abschnitt des Halteflanschs mit einer Verbindungsöffnung ausgebildet ist, die mit der Ansaugöffnung in Verbindung steht; wobei die Verbindungsöffnung durch eine an dem Spindelgehäuse befestigte Drehverbindung mit einer Vakuumquelle verbunden ist, so dass die Verbindung (Kommunikation) zwischen der Verbindungsöffnung und der Vakuumquelle durch ein An-Aus-Ventil wahlweise hergestellt werden kann, wodurch, wenn das An-Aus-Ventil geöffnet wird, um die Verbindung (Kommunikation) zwischen der Verbindungsöffnung und der Vakuumquelle herzustellen, ein verringerter Druck zwischen dem Halteflansch und dem Befestigungsflansch aufgebracht wird, um den Befestigungsflansch in Richtung auf den Halteflansch zu saugen, so dass die Schneidklinge zwischen dem Halteflansch und dem Befestigungsflansch befestigt wird; wobei ein Drehungsbeschränkungsabschnitt zum Beschränken einer relativen Drehung des Halteflanschs und des Befestigungsflanschs an dem äußeren Umfang des Nabenabschnitts des Halteflanschs und an der inneren Oberfläche einer Eingriffsöffnung des Befestigungsflanschs zum Eingriff mit dem Nabenabschnitt ausgebildet ist.
-
Vorzugsweise beinhaltet die Schneidvorrichtung ferner einen zwischen der Drehverbindung und der Vakuumquelle vorgesehenen Druckmesser zum Messen des verringerten Drucks; und eine Sicherheitseinheit zum Ausgeben eines Gefahrensignals, wenn der durch den Druckmesser gemessene verringerte Druck größer als ein vorgegebener Wert wird.
-
Gemäß der vorliegenden Erfindung wird das An-Aus-Ventil geöffnet, um bei der Durchführung des Schneidvorgangs die Verbindung (Kommunikation) zwischen der Ansaugöffnung und der Vakuumquelle herzustellen. Als Folge dessen wird der Befestigungsflansch in Richtung auf den Halteflansch gesaugt, um dadurch die Schneidklinge fest zwischen dem Halteflansch und dem Befestigungsflansch unter Ansaugen zu halten. Falls die Schneidklinge ersetzt wird, wird das An-Aus-Ventil geschlossen, um das Halten des Befestigungsflanschs unter Ansaugen aufzuheben. Dementsprechend kann der Befestigungsflansch in einfacher Weise von dem Halteflansch entfernt werden, so dass die Schneidklinge effektiv durch eine neue ersetzt werden kann.
-
Die obigen und weitere Ziele, Merkmale und Vorteile der vorliegenden Erfindung und die Art und Weise, diese zu verwirklichen, werden offenkundiger werden und die Erfindung selbst wird am besten verstanden werden, indem die folgende Beschreibung und die angefügten Ansprüche mit Bezug auf die beigefügten Zeichnungen, die eine bevorzugte Ausführungsform der Erfindung zeigen, studiert werden.
-
KURZE BESCHREIBUNG DER ZEICHNUNGEN
-
1 ist eine perspektivische Ansicht einer Schneidvorrichtung gemäß einer bevorzugten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung;
-
2 ist eine perspektivische Einzelteildarstellung, die eine Art der Anbringung eines Halteflanschs an dem vorderen Endabschnitt einer Spindel zeigt;
-
3A ist eine perspektivische Einzelteildarstellung, die eine Art der Anbringung einer Schneidklinge an dem Halteflansch mit einem Befestigungsflansch zeigt;
-
3B ist eine perspektivische Ansicht des Befestigungsflanschs von dessen Rückseite betrachtet;
-
4A ist eine perspektivische Ansicht, die einen Zustand zeigt, in dem die Schneidklinge und der Befestigungsflansch an dem Halteflansch befestigt sind; und
-
4B ist eine Schnittdarstellung der 4A entlang der Achse der Spindel.
-
AUSFÜHRLICHE BESCHREIBUNG DER BEVORZUGTEN AUSFÜHRUNGSFORM
-
Eine bevorzugte Ausführungsform der vorliegenden Erfindung wird nachfolgend im Einzelnen mit Bezug auf die Zeichnungen beschrieben. Mit Bezug auf 1 wird eine perspektivische Ansicht einer Schneidvorrichtung 2 gezeigt, die einen Anbringmechanismus für eine Schneidklinge gemäß dieser bevorzugten Ausführungsform beinhaltet. Die Schneidvorrichtung 2 beinhaltet eine Bedienungstafel 4, um es einer Bedienperson zu ermöglichen, Anweisungen, wie zum Beispiel Bearbeitungsbedingungen, in die Vorrichtung 2 einzugeben. Die Bedienungstafel 4 ist an dem vorderen Abschnitt der Schneidvorrichtung 2 vorgesehen. Die Schneidvorrichtung 2 beinhaltet ferner eine Anzeigeneinheit 6, wie zum Beispiel ein CRT, zum Anzeigen einer Führungsansicht für die Bedienperson oder eines durch eine Abbildeeinheit, die nachfolgend hierin beschrieben wird, erhaltenen Bilds. Die Anzeigeneinheit 6 ist an dem oberen Abschnitt der Schneidvorrichtung 2 vorgesehen.
-
Ein Halbleiterwafer (der nachfolgend hierin auch einfach als Wafer bezeichnet wird) 11 ist ein durch die Schneidvorrichtung 2 zu schneidendes Werkstück. Der Wafer 11 wird vorher an einem Zerteilungsband T, das an einem ringförmigen Rahmen F gehalten ist, angebracht. Mehrere solcher Wafer 11, die jeweils durch das Zerteilungsband T an dem ringförmigen Rahmen F gehalten sind, sind in einer Waferkassette 8 gespeichert. Die Waferkassette 8 ist an einer vertikal bewegbaren Kassettenhebeeinrichtung 9 angeordnet. Eine Waferhandhabungseinheit 10 ist an der hinteren Seite der Waferkassette 8 vorgesehen, um einen gewünschten der mehreren Wafer 11 vor dem Schneiden aus der Kassette 8 herauszunehmen und außerdem den Wafer 11 nach dem Schneiden in die Kassette 8 zurückzuführen.
-
Ein Übergangsanordnungsbereich 12 zum vorübergehenden Anordnen des durch die Waferhandhabungseinheit 10 zu handhabenden Wafers 11 ist zwischen der Waferkassette 8 und der Waferhandhabungseinheit 10 vorgesehen. Ein Positioniermechanismus (ein Paar von Zentrierungsführungen) 14 zum Positionieren des Wafers 11 an einer festen Stelle ist in dem Übergangsanordnungsbereich 12 vorgesehen. Eine erste Überführungseinheit 16 mit einem schwenkbaren Arm zum Überführen des unter Ansaugen gehaltenen Wafers 11 ist nahe zu dem Übergangsanordnungsbereich 12 vorgesehen. Der aus der Waferkassette 8 herausgenommene und in dem Übergangsanordnungsbereich 12 positionierte Wafer 11 wird durch die erste Überführungseinheit 16 zu einem Einspanntisch 18 überführt. Der zu dem Einspanntisch 18 überführte Wafer 11 wird an dem Einspanntisch 18 unter Ansaugen gehalten.
-
Der Einspanntisch 18 ist durch einen Motor (nicht gezeigt) drehbar und durch einen Zuführmechanismus (nicht gezeigt) in der X-Richtung bewegbar. Eine Ausrichtungseinheit 22 zum Erfassen eines Zielbereichs des Wafers 11, der geschnitten werden soll, ist oberhalb des Bewegungswegs des Einspanntischs 18 in der X-Richtung vorgesehen. Der Einspanntisch 18 ist mit mehreren Klemmen 20 zum Einspannen des ringförmigen Rahmens F, der den an dem Einspanntisch 18 gehaltenen Wafer 11 hält, versehen. Die Ausrichtungseinheit 22 beinhaltet eine Abbildeeinheit 24 zum Abbilden der Vorderseite des Wafers 11. Gemäß einem durch die Abbildeeinheit 24 erhaltenen Bild kann die Ausrichtungseinheit 22 den Zielbereich des Wafers 11 erfassen, indem eine Bildverarbeitung, wie zum Beispiel ein Musterabgleich, durchgeführt wird. Das durch die Abbildeeinheit 24 erhaltene Bild wird durch die Anzeigeneinheit 6 angezeigt.
-
Eine Schneideinheit 26 zum Schneiden des an dem Einspanntisch 18 gehaltenen Wafers 11 ist in der Betrachtung der 1 an der linken Seite der Ausrichtungseinheit 22 vorgesehen. Die Schneideinheit 26 ist mit der Ausrichtungseinheit 22 integriert, so dass diese zusammen in der Y-Richtung und der Z-Richtung bewegbar sind. Die Schneideinheit 26 beinhaltet eine drehbare Spindel 28 und eine an dem vorderen Ende der Spindel 28 angebrachte Schneidklinge 30. Die Schneideinheit 26 ist in der Y-Richtung und der Z-Richtung bewegbar. Die Schneidklinge 30 ist an einer Erstreckungslinie, die sich von der Abbildeeinheit 24 in der X-Richtung erstreckt, angeordnet. Die Bewegung der Schneideinheit 26 in der Y-Richtung wird durch einen Einteilungsmechanismus (nicht gezeigt) erreicht.
-
Das Bezugszeichen 34 bezeichnet eine Schleuderreinigungseinheit zum Reinigen des Wafers 11 nach dem Schneiden. Der Wafer 11 wird nach dem Schneiden durch eine zweite Überführungseinheit 32 von dem Einspanntisch 18 zu der Schleuderreinigungseinheit 34 überführt und als nächstes in der Schleuderreinigungseinheit 34 einer Schleuderreinigung und einer Schleudertrocknung unterzogen.
-
2 ist eine perspektivische Einzelteildarstellung, die eine Art der Anbringung eines Halteflanschs 46 an dem vorderen Endabschnitt der Spindel 28 zeigt. Die Spindel 28 der Schneideinheit 26 ist durch ein Luftlager drehbar an einem Spindelgehäuse 27 gehalten. Die Spindel 28 weist einen konisch zulaufenden Abschnitt 28a und einen Abschnitt 28b mit kleinem Durchmesser, der sich von dem vorderen Ende des konisch zulaufenden Abschnitts 28a erstreckt, auf. Der Abschnitt 28b mit kleinem Durchmesser ist mit einem äußeren Schraubgewinde 31 ausgebildet. Das äußere Schraubgewinde 31 weist eine Spiralstruktur auf, die entgegengesetzt zu der Drehrichtung der Spindel 28 ist. Das Spindelgehäuse 27 weist eine Endoberfläche 27a auf, von der die Spindel 28 hervorsteht. Die Endoberfläche 27a des Spindelgehäuses 27 ist mit mehreren Öffnungen 29 mit Innengewinde ausgebildet.
-
Das Bezugszeichen 36 bezeichnet eine Drehverbindung, die aus einem zylindrischen Nabenabschnitt 38 und einem Flanschabschnitt 40, der einstückig mit dem äußeren Umfang des Nabenabschnitts 38 ausgebildet ist, besteht. Der Nabenabschnitt 38 weist eine Einführöffnung 38a und eine Röhre 42, die ein Ende aufweist, das sich zu der Einführöffnung 38a öffnet, auf. Wie in 3A gezeigt ist, ist die Röhre 42 auf eine solche Weise mit einer Vakuumquelle 74 verbunden, dass die Verbindung (Kommunikation) zwischen der Röhre 42 und der Vakuumquelle 74 durch ein An-Aus-Ventil 72 wahlweise hergestellt wird. Der Flanschabschnitt 40 der Drehverbindung 36 ist mit mehreren Anbringöffnungen 41 ausgebildet. Mehrere Schrauben 44 werden durch die Anbringöffnungen 41 der Drehverbindung 36 eingeführt und mit den an der Endoberfläche 27a des Spindelgehäuses 27 ausgebildeten Öffnungen 29 mit Innengewinde in Schraubeingriff gebracht, bis diese festgezogen sind, wodurch die Drehverbindung 36 an der Endoberfläche 27a des Spindelgehäuses 27 angebracht wird.
-
Das Bezugszeichen 46 bezeichnet einen Halteflansch zum Halten der Schneidklinge 30. Der Halteflansch 46 besteht aus einem Nabenabschnitt 48 mit einer Eingriffsöffnung 49, einem Flanschabschnitt 50, der einstückig mit dem äußeren Umfang des Nabenabschnitts 48 ausgebildet ist, und einem zylindrischen Abschnitt 53, der dafür eingerichtet ist, mit dem vorderen Endabschnitt der Spindel 28 in Eingriff zu kommen. Der äußere Umfang des Nabenabschnitts 48 ist mit mehreren Vorsprüngen 52 ausgebildet, die in der Umfangsrichtung des Nabenabschnitts 48 gleichmäßig voneinander beabstandet sind. Der Flanschabschnitt 50 weist eine Halteoberfläche 50a und eine ringförmige Nut 58 auf. Die Halteoberfläche 50a ist dafür eingerichtet, an einer Seitenoberfläche der Schneidklinge 30, durch die der Nabenabschnitt 48 eingeführt wird, anzuliegen, wodurch die Schneidklinge 30 gehalten wird. Mehrere Ansaugöffnungen 60 öffnen sich zu dem Boden der ringförmigen Nut 58. Die mehreren Ansaugöffnungen 60 sind in der Umfangsrichtung der ringförmigen Nut 58 gleichmäßig voneinander beabstandet.
-
Der zylindrische Abschnitt 53 des Halteflanschs 46 ist mit einer ringförmigen Nut 54 ausgebildet. Mehrere Verbindungsöffnungen 56 öffnen sich zu dem Boden der ringförmigen Nut 54. Die mehreren Verbindungsöffnungen 56 sind in der Umfangsrichtung der ringförmigen Nut 54 gleichmäßig voneinander beabstandet. Wie aus der 4B ersichtlich ist, sind die Ansaugöffnungen 60 und die Verbindungsöffnungen 56 durch mehrere in dem Nabenabschnitt 50 und dem zylindrischen Abschnitt 53 ausgebildete Verbindungsdurchlässe 57 miteinander verbunden.
-
Wie in 3A gezeigt ist, ist ein Druckmesser 76 in einem Ansaugdurchlass 71, der die Röhre 42 und die Vakuumquelle 74 verbindet, vorgesehen. Der Druckmesser 76 ist mit einer Steuereinrichtung (Sicherheitseinheit) 78 verbunden. Wenn das An-Aus-Ventil 72 geöffnet wird, wird durch die Vakuumquelle 74 in einem Abschnitt des Ansaugdurchlasses 71 zwischen der Röhre 42 und dem An-Aus-Ventil 72 ein Vakuum erzeugt. Dieses Vakuum wird durch den Druckmesser 76 gemessen. Wenn der durch den Druckmesser 76 gemessene Druck einen vorgegebenen Wert (zum Beispiel 0,02 MPa) übersteigt, bestimmt die Steuereinrichtung 78, die eine geeignete Software aufweist, dass eine Gefahr besteht, und gibt dann ein Gefahrensignal aus, um den Schneidvorgang umgehend anzuhalten. Da der Atmosphärendruck 0,1 MPa beträgt, ist der vorgegebene Wert von 0,02 MPa ein Vakuum.
-
Nachdem der Halteflansch 46 mit dem konisch zulaufenden Abschnitt 28a und dem Abschnitt 28b mit kleinem Durchmesser der Spindel 28 in Eingriff gebracht wurde, wird eine Mutter 62 mit dem äußeren Schraubgewinde 31 der Spindel 28 in Schraubeingriff gebracht, bis sie festgezogen ist, wodurch der Halteflansch 46 an dem vorderen Endabschnitt der Spindel 28 befestigt wird, wie in 3A gezeigt ist. Nachdem der Halteflansch 46 an dem vorderen Endabschnitt der Spindel 28 befestigt wurde, wird der Nabenabschnitt 48 des Halteflanschs 46 durch eine Mittelöffnung 30a der Schneidklinge 30 eingeführt. Danach wird ein Befestigungsflansch (Druckflansch) 64 mit einer Eingriffsöffnung 65 an dem Nabenabschnitt 48 des Halteflanschs 46 angebracht. Das heißt, der Nabenabschnitt 48 des Halteflanschs 46 wird in dem Zustand, in dem die Schneidklinge 30 zwischen dem Halteflansch 46 und dem Befestigungsflansch 64 eingefügt ist, dicht durch die Eingriffsöffnung 65 des Befestigungsflanschs 64 eingeführt. Die Schneidklinge 30 ist eine Scheibenklinge, wie zum Beispiel eine Harzklinge, die durch Binden von Diamantschleifkörnern mit einer Harzbindung erhalten wird, eine Keramikbindungsklinge, die durch Binden von Diamantschleifkörnern mit einer Keramikbindung erhalten wird, und eine galvanogeformte Klinge, die durch Binden von Diamantschleifkörnern mit einer Vernickelung erhalten wird.
-
Mehrere Aussparungen 70 sind an dem inneren Umfang der Eingriffsöffnung 65 des Befestigungsflanschs 64 so ausgebildet, dass sie in der Umfangsrichtung des Befestigungsflanschs 64 gleichmäßig voneinander beabstandet sind. Die mehreren Aussparungen 70 des Befestigungsflanschs 64 entsprechen jeweils den mehreren Vorsprüngen 52, die an dem Nabenabschnitt 48 des Halteflanschs 46 ausgebildet sind. Beim Anbringen des Befestigungsflanschs 64 an dem Nabenabschnitt 48 des Halteflanschs 46 wird der Befestigungsflansch 64 in der Umfangsrichtung so angeordnet, dass die Aussparungen 70 jeweils mit den Vorsprüngen 52 in Eingriff kommen. Danach wird der Nabenabschnitt 48 des Halteflanschs 46 durch die Eingriffsöffnung 65 des Befestigungsflanschs 64 eingeführt. Dementsprechend wirken die Vorsprünge 52 des Halteflanschs 46 und die Aussparungen 70 des Befestigungsflanschs 64 zusammen, um einen Drehbeschränkungsabschnitt zum Beschränken der relativen Drehung des Halteflanschs 46 und des Befestigungsflanschs 64 auszubilden. 3B ist eine perspektivische Ansicht, welche die Rückseite des Befestigungsflanschs 64 zeigt. Wie in 3B gezeigt ist, weist der Befestigungsflansch 64 eine ringförmige Halteoberfläche 66 zum Halten des inneren Umfangs der Schneidklinge 30, durch die der Nabenabschnitt 48 des Halteflanschs 46 eingeführt wird, und eine Druckoberfläche 68 zum Drücken der anderen Seitenoberfläche der Schneidklinge 30 auf.
-
4A ist eine perspektivische Ansicht, die einen Zustand zeigt, in dem die Schneidklinge 30 und der Befestigungsflansch 64 an dem Nabenabschnitt 48 des Halteflanschs 46 angebracht sind, und 4B ist eine Schnittdarstellung der 4A entlang der Achse der Spindel 28. Wenn das in 3A gezeigte An-Aus-Ventil 72 geöffnet wird, um die Verbindung zwischen der Röhre 42 und der Vakuumquelle 74 herzustellen, wird ein Vakuum durch die ringförmige Nut 54, die Verbindungsöffnungen 56, die Verbindungsdurchlässe 57 und die Ansaugöffnungen 60 des zylindrischen Abschnitts 53 des Halteflanschs 46 auf die ringförmige Nut 58 des Halteflanschs 46 aufgebracht, so dass der Befestigungsflansch 64 in Richtung auf den Halteflansch 46 gesaugt wird. Dementsprechend wird die Schneidklinge 30 fest zwischen der Halteoberfläche 50a des Flanschabschnitts 50 des Halteflanschs 46 und der Druckoberfläche 68 des Befestigungsflanschs 64 gehalten.
-
Wenn der durch den Druckmesser 76 gemessene Druck in dem Ansaugdurchlass 71 kleiner als oder gleich groß wie der oben genannte vorgegebene Wert ist, ist das auf die ringförmige Nut 58 des Flanschabschnitts 50 aufgebrachte Vakuum ausreichend groß, so dass die Schneidklinge 30 durch eine ausreichend große Ansaugkraft fest zwischen der Halteoberfläche 50a des Flanschabschnitts 50 und der Druckoberfläche 58 des Befestigungsflanschs 64 gehalten wird. Dementsprechend treten beim Schneiden eines Werkstücks mit der Schneidklinge 30 keine Probleme auf. Wenn der Druck in dem Ansaugdurchlass 71 jedoch größer als der oben genannte vorgegebene Wert wird, wird das auf die ringförmige Nut 58 des Flanschabschnitts 50 aufgebrachte Vakuum unzureichend, so dass die Befestigung der Schneidklinge 30 bei Fortsetzung des Schneidvorgangs unzureichend wird. Dementsprechend gibt die Steuereinrichtung 78 ein Gefahrensignal aus, falls der Druckmesser 76 einen Druck erfasst, der größer als der vorgegebene Wert ist, um den Schneidvorgang für das Werkstück umgehend anzuhalten.
-
Falls die Schneidklinge 30 abgenutzt oder abgeplatzt ist und durch eine neue Schneidklinge ersetzt werden muss, wird das An-Aus-Ventil 72 geschlossen, um das auf die ringförmige Nut 58 des Flanschabschnitts 50 aufgebrachte Vakuum zu unterbrechen. Dementsprechend wird das Halten des Befestigungsflanschs 64 unter Ansaugen durch das Vakuum aufgehoben, so dass der Befestigungsflansch 64 und die Schneidklinge 30 in einfacher Weise von dem Nabenabschnitt 48 des Halteflanschs 46 entfernt werden können.
-
Gemäß einem Merkmal des Anbringmechanismus für die Schneidklinge bei dieser bevorzugten Ausführungsform wird die Drehverbindung 36 verwendet, um ein Vakuum einzuführen. Das heißt, durch Befestigung der Drehverbindung 36 an der Endoberfläche 27a des Spindelgehäuses 27 kann ein Vakuum in die ringförmige Nut 58 des Flanschabschnitts 50 des Halteflanschs 46 eingeführt werden. Dementsprechend ist es nicht erforderlich, die Struktur der Spindel und des Spindelgehäuses bei einer konventionellen Schneidvorrichtung in hohem Maße zu verändern, sondern ist es nur erforderlich, die Endoberfläche des Spindelgehäuses bei der konventionellen Schneidvorrichtung leicht abzuändern, wodurch die Befestigung des Befestigungsflanschs durch die Verwendung einer Mutter bei der konventionellen Schneidvorrichtung in einfacher Weise auf die Befestigung des Befestigungsflanschs 64 durch ein Vakuum abgeändert werden kann.
-
Bei der oben beschriebenen bevorzugten Ausführungsform wird ein Vakuum durch die Drehverbindung 36 in die an dem Flanschabschnitt 50 des Halteflanschs 46 ausgebildete ringförmige Nut 58 eingeführt, wodurch die Schneidklinge 30 fest zwischen der Halteoberfläche 50a des Flanschabschnitts 50 des Halteflanschs 46 und der Druckoberfläche 68 des Befestigungsflanschs 64 gehalten wird. Ferner stehen die an dem Nabenabschnitt 48 des Halteflanschs 46 ausgebildeten Vorsprünge 52 mit den an der inneren Oberfläche der Eingriffsöffnung 65 des Befestigungsflanschs 64 ausgebildeten Aussparungen 70 in Eingriff, wodurch der Drehungsbeschränkungsabschnitt ausgebildet wird. Dementsprechend kann die Schneidklinge 30 zuverlässig zwischen dem Halteflansch 46 und dem Befestigungsflansch 64 befestigt werden, ohne eine Mutter zu verwenden. Falls die Schneidklinge 30 ersetzt wird, kann der Befestigungsflansch 64 in einfacher Weise von dem Halteflansch 46 entfernt werden, indem das An-Aus-Ventil 72 geschlossen wird, so dass die Schneidklinge 30 effektiv durch eine neue ersetzt werden kann.
-
Die vorliegende Erfindung ist nicht auf die Einzelheiten der oben beschriebenen bevorzugten Ausführungsform beschränkt. Der Umfang der Erfindung wird durch die angefügten Ansprüche definiert und alle Änderungen und Abwandlungen, die innerhalb der Äquivalenz des Umfangs der Ansprüche liegen, werden deshalb durch die Erfindung umfasst.
-
ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNG
-
Diese Liste der vom Anmelder aufgeführten Dokumente wurde automatisiert erzeugt und ist ausschließlich zur besseren Information des Lesers aufgenommen. Die Liste ist nicht Bestandteil der deutschen Patent- bzw. Gebrauchsmusteranmeldung. Das DPMA übernimmt keinerlei Haftung für etwaige Fehler oder Auslassungen.
-
Zitierte Patentliteratur
-
