JPH069867U - バランス取り用溝を備えたハブブレード - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 半導体ウェーハ等の切削用ハブブレードにお
いて、極めて容易な作業でしかも低コストに回転バラン
ス取りを行えるようにする。 【構成】 スピンドルに装着されて半導体ウェーハ等を
切削するハブブレードであって、このハブブレードには
回転バランス用重りを嵌着するための環状溝を形成す
る。回転バランス用重りとして、比較的軟質の金属線状
材を用いる。この金属線状材を所要の長さに切って環状
溝に嵌着固定する。

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】

本考案は、半導体ウェーハ等を切削するためのハブブレードに関するものであ る。

【０００２】

【従来の技術】

この種のハブブレードは、一般に図６に示すようにアルミ台金ａ上に電鋳製法 によりブレード部ｂを形成し、この後アルミ部分を化学的にエッチングし、必要 なブレードの突き出し量を得る方法が基本的な製法となっている。 このような製法による場合、アルミのエッチング量が円周方向で不均一な状態 となることが多く、このエッチング量の不均一がブレード使用時の回転バランス の不釣合いの原因になっている。

【０００３】

【考案が解決しようとする課題】

ハブブレードの回転バランスを均一に調整するには、例えば下記の三つの方法 が考えられる。 (1) バランス不釣合い量に見合う重量分をアルミハブ部から削り取る。 (2) アルミハブ部の円周上に予め複数個のバランス取り用のねじ穴を設けてお き、不釣合い量に見合う分量のねじを所定箇所にねじ込む。 (3) ハブブレードを装置に固定する際に用いるナット部の円周上に予め複数個 のバランス取り用のねじ穴を設けておき、不釣合い量に見合う分量のねじを所定 箇所にねじ込む。 しかしながら、前記いずれの方法も作業が煩雑であり、コストが高くなる等の 問題が生じてくる。

【０００４】 本考案は、このような従来の問題点を解決するためになされ、極めて容易な作 業によりしかも低コストに回転バランス取りを行えるようにした、バランス取り 用溝を備えたハブブレードを提供することを課題としたものである。

【０００５】

【課題を解決するための手段】

この課題を技術的に解決するための手段として、本考案は、スピンドルに装着 されて半導体ウェーハ等を切削するハブブレードであって、このハブブレードに は回転バランス用重りを嵌着するための環状溝が形成されていることを要旨とす るものである。 更に、回転バランス用重りが比較的軟質の金属線状材であることを要旨とする ものである。

【０００６】

【作 用】

環状溝の任意の箇所に回転バランス用重りを嵌着してバランス不釣合いを容易 に解消することができる。回転バランス用重りとしては例えば銅線、糸半田等の 比較的軟質で、環状溝の幅よりやや大きな外径を有する金属線状材を適宜の長さ に切断し、これを環状溝にきつく嵌め込めば容易に取り付けることができ、しか も外れたり移動したれするようなことはなく、切断時の高速回転時にも充分耐え ることができる。

【０００７】

【実施例】

以下、本考案の実施例を添付図面に基づいて詳説する。 図１において、１は電鋳製法により形成されたハブブレードであり、アルミ台金 ２のフランジ状外周部にブレード部３が形成されている。

【０００８】 前記アルミ台金２のハブ部２ａの上面には、回転バランスを取るための環状溝 ４が形成されており、この環状溝４の適所に回転バランス用重り５を嵌着するこ とでハブブレード１の回転バランスを取るようにしてある。

【０００９】 前記回転バランス用重り５としては、例えば銅線、糸半田等の比較的軟質で、 環状溝４の幅より僅かに大きい外径の金属線状材が用いられ、図４、図５のよう にスピンドル６の先端取付部６ａに締付ナット７を介して装着したハブブレード １の回転バランスを測定し、この回転バランスの狂い量に見合う分量だけ切り取 ると共に、前記環状溝４の回転バランスの調整位置にきつく嵌め込むことにより 容易に取り付けることができる。この際、回転バランス用重り５の重量は切り出 す長さに比例して容易に調整できるので好都合である。

【００１０】 前記ハブ部２ａも回転バランス用重り５も共に軟質系の金属であるため、回転 バランス用重り５を一旦嵌め込んだ後は容易に外れたり移動したりするようなこ とはなく、このため半導体ウェーハ（図略）の切断中の高速回転下においても安 定良く保持され、回転バランスが崩れる心配はない。

【００１１】 又、図３に仮想線で示すように回転バランスを取るための環状溝４′を開口部 から底部に向かって外側に傾斜させて形成すれば、前記回転バランス用重り５の 脱落の懸念はなくなる。

【００１２】

【考案の効果】

以上説明したように、本考案によれば、ハブブレードのハブ部に環状溝を形成 し、その環状溝の適所に回転バランス用重りを嵌着して回転バランスを取れるよ うにしたので、従来のようにハブの一部を削り取ったり、穴を開けてビス等をね じ込んだり、或は締付ナットに穴を開けてビス等をねじ込むと云った煩雑な作業 が不要となり、極めて容易な作業でしかも低コストに回転バランス取りを行える 効果を奏する。 更に、回転バランス用重りは比較的軟質の金属線状材としたので、環状溝への 取り付けは簡単であると共に、切り取り長さによってその重量の調整が容易にで きる等の優れた効果が得られる。

【図面の簡単な説明】

【図１】 本考案の一実施例を示すハブブレードの正面
図である。

【図２】 図１におけるＡ−Ａ線断面図である。

【図３】 図２のＢ部拡大図である。

【図４】 スピンドルに取り付ける状態を示す斜視図で
ある。

【図５】 その取付後の平面図である。

【図６】 従来例を示すハブブレードの斜視図である。

【符号の説明】

１…ハブブレード ２…アルミ台金 ２ａ…ハブ部
３…ブレード部 ４、４′…環状溝 ５…回転バランス用重り ６…
スピンドル ６ａ…取付部 ７…締付ナット

Claims (2)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】 スピンドルに装着されて半導体ウェーハ
   等を切削するハブブレードであって、このハブブレード
   には回転バランス用重りを嵌着するための環状溝が形成
   されている、ことを特徴とするバランス取り用溝を備え
   たハブブレード。
2. 【請求項２】 回転バランス用重りが比較的軟質の金属
   線状材である、請求項１記載のバランス取り用溝を備え
   たハブブレード。