JP2010149200A - 研削ホイール - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 回転駆動されるスピンドルと、該スピンドルの先端に連結されたホイールマウントとを有する研削装置の該ホイールマウントに着脱自在に装着される研削ホイールであって、内周側面、外周側面及び該ホイールマウントに装着されるマウント装着部を有する環状基台と、該環状基台の自由端部にリング状に配設された複数の研削砥石とを具備し、該環状基台の該マウント装着部にのみ回転バランスを調整するための窪みが形成されていることを特徴とする。
【選択図】図7
Description
11 半導体ウエーハ
16 研削ユニット
30,30A 研削ホイール
32,32A 環状基台
34 研削砥石
35 窪み
42 研削水供給孔
50 チャックテーブル
Claims (1)
- 回転駆動されるスピンドルと、該スピンドルの先端に連結されたホイールマウントとを有する研削装置の該ホイールマウントに着脱自在に装着される研削ホイールであって、
内周側面、外周側面及び該ホイールマウントに装着されるマウント装着部を有する環状基台と、
該環状基台の自由端部にリング状に配設された複数の研削砥石とを具備し、
該環状基台の該マウント装着部にのみ回転バランスを調整するための窪みが形成されていることを特徴とする研削ホイール。
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