JP5275016B2 - 研削装置 - Google Patents
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Description
11 半導体ウエーハ
16 研削ユニット
30 研削ホイール
32 環状基台
34 研削砥石
42 研削水供給孔
50 チャックテーブル
56 第1の洗浄ノズル
58 第2の洗浄ノズル
62 第1の洗浄ブラシ
64 第2の洗浄ブラシ
Claims (3)
- 被加工物を保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持された被加工物を研削する研削ホイールを回転可能に支持した研削手段とを備えた研削装置であって、
該研削ホイールは、スピンドルの先端に連結されたホイールマウントに装着されるマウント装着部を有する環状基台と、
該環状基台の自由端部にリング状に配設された複数の研削砥石とから構成され、
該環状基台の該マウント装着部から該自由端部に至る外周側面及び内周側面を洗浄する洗浄手段が配設されていることを特徴とする研削装置。 - 前記洗浄手段は、該環状基台の該外周側面に洗浄水を噴射する第1の洗浄ノズルと、該内周側面に洗浄水を噴射する第2の洗浄ノズルを含んでいる請求項1記載の研削装置。
- 前記洗浄手段は、該環状基台の該外周側面をブラシで洗浄する第1の洗浄ブラシと、該内周側面をブラシで洗浄する第2の洗浄ブラシを含んでいる請求項1記載の研削装置。
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