JP2016144842A - 研削装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】研削装置は、被加工物を保持するチャックテーブルと、該被加工物を研削する研削手段と、を備える。該研削手段は、回転可能なスピンドルと、該スピンドルの先端部に固定されたホイールマウント22と、該ホイールマウントに着脱可能に装着された研削ホイール24と、を含む。該研削ホイールは、該ホイールマウントに装着される装着部から自由端部26bに向かうにつれて径が拡大する傾斜内周面26cを有する環状基台26と、該自由端部に環状に固着された複数の研削砥石28とからなる。該ホイールマウントは互いに円周方向に離間した複数のチャック爪56,58を有し、該複数のチャック爪の少なくとも1つのチャック爪56は移動手段としてのねじ70の回転によって半径方向に移動し、該環状基台の該傾斜内周面に圧接されて該研削ホイールを把持する。
【選択図】図5
Description
10 研削ユニット
18 スピンドル
22 ホイールマウント
24 研削ホイール
26 環状基台
28 研削砥石
38 チャックテーブル
48 係合凹部
54 位置決め凸部材
56 移動チャック爪
57 空間部
58 固定チャック爪
68 支持部
70 ねじ
70a 雄ねじ部
Claims (3)
- 被加工物を保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持された被加工物を研削する研削手段と、を備えた研削装置であって、
該研削手段は、回転可能なスピンドルと、該スピンドルの先端部に固定されたホイールマウントと、該ホイールマウントに着脱可能に装着された研削ホイールと、を含み、
該研削ホイールは、該ホイールマウントに装着される装着部から自由端部に向かうにつれて径が拡大する傾斜内周面を有する環状基台と、該環状基台の該自由端部に環状に固着された複数の研削砥石とから構成され、
該ホイールマウントは、該研削ホイールの該環状基台の該傾斜内周面に圧接して該研削ホイールを把持するための互いに円周方向に離間した複数のチャック爪と、該複数のチャック爪の少なくとも1つのチャック爪を半径方向に移動して該複数のチャック爪を該環状基台の該傾斜内周面に圧接させる移動手段と、を有することを特徴とする研削装置。 - 前記ホイールマウントは、該研削ホイールを装着する位置を位置決めするための円周方向に離間して配設された複数の凸部材を有しており、前記研削ホイールの前記装着部には該凸部材に係合する複数の係合凹部が形成されている請求項1記載の研削装置。
- 前記ホイールマウントには、前記研削ホイールに研削水を供給する研削水供給路が形成されている請求項1又は2記載の研削装置。
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