JP7260961B2

JP7260961B2 - 研削ホイールの着脱治具

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Publication number: JP7260961B2
Application number: JP2018067878A
Authority: JP
Inventors: 董威彭; 志勇劉
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Priority date: 2018-03-30
Filing date: 2018-03-30
Publication date: 2023-04-19
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Also published as: JP2019177444A

Description

本発明は、研削ホイールをホイールマウントから着脱する際に使用する着脱治具に関する。

ウェーハの裏面を研削し所望の厚さに薄化する研削装置は、ウェーハを保持する保持面を備えたチャックテーブルと、チャックテーブル上に保持されたウェーハを研削砥石で研削する研削手段と、該研削手段をチャックテーブルの保持面に対して垂直な方向に研削送りする研削送り手段とを備えている。

研削手段は、スピンドルと、スピンドルの下端に設けられたホイールマウントと、ホイールマウントの下面に着脱可能に装着される研削ホイールとを備えている。研削ホイールは、円環状のホイール基台と該ホイール基台の下面に環状に配設される複数の研削砥石とからなっており、ホイール基台がホイールマウントの下面に締結ボルトによって取り付けられている（例えば、特許文献１参照）。

研削ホイールをホイールマウントに取り付ける際に、研削砥石を破損させたり、研削砥石でチャックテーブルを傷つけたりすることがある。このような事態が生じるのを防ぐために、研削ホイール着脱治具（例えば、特許文献２参照）を使用する。即ち、作業者が直接研削ホイールに触れないように研削ホイール着脱治具内に研削ホイールを収容した状態で、研削ホイールのホイールマウントに対する取り付けを行う。

特開２００３－１８１７６７号公報特開２０１１－１２１１２８号公報

しかし、ホイールマウントに研削ホイールを取り付けるとき、研削ホイールのネジ穴とホイールマウントの馬鹿穴とを一致させる必要があり、このとき、該研削ホイール着脱治具内で研削ホイールが回転することがあるため、ネジ穴と馬鹿穴との位置合わせ作業が上手くいかずに手間が係るという問題がある。
よって、研削ホイール着脱治具を用いて研削ホイールをホイールマウントに取り付ける（又はホイールマウントから取り外す）場合には、ホイール着脱治具内で研削ホイールが回転してしまうことが無いようにして、取り付け作業に手間取ることが無いようにするという課題がある。

上記課題を解決するための本発明は、ウェーハを保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持されたウェーハを研削する研削手段とを備え、該研削手段は、スピンドルと、該スピンドルの下端に配設されたホイールマウントと、該ホイールマウントの下面に着脱可能に装着される研削ホイールとを備え、該研削ホイールは、厚さ方向に貫通する円形の開口を有する環状のホイール基台と、該ホイール基台の下面における外周部の環状の砥石装着部に装着される複数の研削砥石と、該砥石装着部の内側で環状の該砥石装着部と同心円状に複数配設され研削砥石に研削水を供給する供給口と、該開口から該砥石装着部にかけて形成された傾斜面とからなっており、該ホイール基台が該ホイールマウントの下面に締結ボルトによって取り付けられる研削装置において、該研削ホイールを着脱するための着脱治具であって、底板と、該底板から立設され該研削ホイールの該傾斜面に対応する傾斜面を有する円錐台状の基部の上面に配設され該ホイール基台の下面の該砥石装着部より内側の領域を支持するホイール基台支持部と、該ホイール基台支持部が支持した該ホイール基台の該供給口に進入可能に該基部の傾斜面から突出して配設されるピンと、を備えた研削ホイールの着脱治具である。

前記着脱治具は、前記底板の外周縁に立設され前記ホイール基台支持部が支持する前記研削ホイールの外周を囲繞する環状側壁を備え、該底板と該環状側壁とにより前記ホイール基台の前記砥石装着部に装着された複数の前記研削砥石を収容する砥石収容部を形成すると好ましい。

前記底板にピンを前記スピンドルの軸方向に進退させる進退手段を備え、該進退手段は、該ピンを該底板から飛び出させる方向に付勢するバネと、該バネを伸縮自在に収容するバネ収容部とを備え、前記ホイール基台支持部が前記ホイール基台を支持したときに該ピンが前記供給口に進入できないときは該バネを縮めて該ピンを該底板内に収容させ、該ピンと該供給口とが位置合わせされたら該底板内に収容されていた該ピンを該バネの付勢力によって該供給口に進入させると好ましい。

本発明に係る着脱治具は、底板と、底板に配設されホイール基台の下面の砥石装着部より内側の領域を支持するホイール基台支持部と、ホイール基台支持部が支持したホイール基台の供給口に対向するように供給口が配設される円周と同じ直径の円周上で底板に配設されるピンと、を備えているため、着脱治具上に研削ホイールを収容した際に、ピンがホイール基台の供給口に挿入されて、着脱治具上で研削ホイールが回転しなくなる。そのため、ホイールマウントに着脱治具に収容された研削ホイールを締結ボルトで取り付けるときに、ホイールマウントの馬鹿穴と着脱治具内で回転しない研削ホイールのネジ穴との位置合わせが容易になり、取り付け作業に手間取ることが無いようになる。

着脱治具は、底板の外周縁に立設されホイール基台支持部が支持する研削ホイールの外周を囲繞する環状側壁を備え、底板と環状側壁とによりホイール基台の砥石装着部に装着された複数の研削砥石を収容する砥石収容部を形成することで、ホイールマウントに着脱治具に収容された研削ホイールを取り付ける際に、作業者が不用意に研削砥石に触れることが無くなり、研削砥石の破損等を防ぐことが可能となる。

底板にピンをスピンドルの軸方向に進退させる進退手段を備え、進退手段は、ピンを底板から飛び出させる方向に付勢するバネと、バネを伸縮自在に収容するバネ収容部とを備えるものとすることで、ホイール基台支持部がホイール基台を支持したときにピンが供給口に進入できないときはバネを縮めてピンを底板内に収容させ、ピンと供給口とが位置合わせされたら底板内に収容されていたピンをバネの付勢力によって供給口に進入させることが可能となるため、ピンが供給口に進入できないときにピンで研削ホイールの下面を傷つけてしまうといった事態が生じるのを防ぐことが可能となる。

研削装置の一例を示す斜視図である。ホイールマウント、研削ホイール、及び着脱治具の一例を示す斜視図である。ホイールマウントの下面側を示す斜視図である。研削ホイールの下面側を示す斜視図である。着脱治具の一例を示す断面図である。環状側壁を備えない着脱治具の斜視図である。着脱治具に収容された研削ホイールがホイールマウントに取り付け可能な状態になっていることを説明する断面図である。着脱治具に収容された研削ホイールをホイールマウントに取り付けている状態を説明する断面図である。ホイールマウントに装着された研削ホイールを着脱治具を使用して取り外している状態を説明する断面図である。

図１に示す研削装置１は、チャックテーブル３上に保持されたウェーハＷを研削手段７によって研削する装置であり、Ｙ軸方向に延びるベース１０と、ベース１０上の後部側（＋Ｙ方向側）に立設されたコラム１１とを備えている。
図１に示すウェーハＷは、例えば、円形板状の半導体ウェーハであり、図１において下方を向いているウェーハＷの表面Ｗａは、複数のデバイスが形成されており、図示しない保護テープが貼着されて保護されている。上方を向いているウェーハＷの裏面Ｗｂは、研削加工が施される被研削面となる。

ベース１０上に配設された外形が円形状のチャックテーブル３は、ポーラス部材等からなりウェーハＷを吸引保持する保持面３０を備えている。保持面３０は、真空発生装置等の図示しない吸引源に連通し、吸引源が吸引することで生み出された吸引力が保持面３０に伝達される。また、チャックテーブル３は、カバー３９によって周囲から囲まれつつＺ軸方向の軸心周りに回転可能であり、カバー３９の下方に配設された図示しないＹ軸方向送り手段によって、ベース１０上をＹ軸方向に往復移動可能となっている。

コラム１１の－Ｙ方向側の前面には研削手段７をチャックテーブル３に対して離間又は接近するＺ軸方向（鉛直方向）に研削送りする研削送り手段５が配設されている。研削送り手段５は、鉛直方向（Ｚ軸方向）の軸心を有するボールネジ５０と、ボールネジ５０と平行に配設された一対のガイドレール５１と、ボールネジ５０の上端に連結しボールネジ５０を回動させるモータ５２と、内部のナットがボールネジ５０に螺合し側部がガイドレール５１に摺接する昇降板５３とを備えており、モータ５２がボールネジ５０を回動させると、これに伴い昇降板５３がガイドレール５１にガイドされてＺ軸方向に往復移動し、昇降板５３に固定された研削手段７がＺ軸方向に研削送りされる。

チャックテーブル３に保持されたウェーハＷを研削加工する研削手段７は、軸方向が鉛直方向（Ｚ軸方向）であるスピンドル７０と、スピンドル７０を回転可能に支持するハウジング７１と、スピンドル７０を回転駆動するモータ７２と、スピンドル７０の下端に配設された円形板状のホイールマウント７３と、ホイールマウント７３の下面に着脱可能に装着される研削ホイール７４と、スピンドル７０を支持するハウジング７１を収容し研削送り手段５の昇降板５３に固定されたホルダ７５とを備える。

図２に示すように、スピンドル７０の内部には、図示しない研削水供給源に連通し研削水の通り道となる流路７０ａが、スピンドル７０の軸方向（Ｚ軸方向）に貫通して形成されており、流路７０ａは、さらにホイールマウント７３内に形成された流路７０ｂに連通している。流路７０ｂは、ホイールマウント７３の内部においてスピンドル７０の軸方向と直交する方向に、ホイールマウント７３の周方向に一定の間隔をおいて形成されており、各流路７０ｂの下端側は、ホイールマウント７３の下面７３ｂの外周側の領域においてそれぞれ開口している。
ホイールマウント７３の外周側の領域には、周方向に一定の間隔をおいて複数（例えば６０度間隔で６つ）ボルト挿通穴（馬鹿穴）７３０が厚み方向（Ｚ軸方向）に向かって貫通形成されている。

例えば、ホイールマウント７３の下面７３ｂの中央領域には、研削ホイール７４の開口７４２に嵌合する凸部７３１（図３参照）が所定の厚さで形成されており、凸部７３１の下面には、後述する研削ホイール７４の半円形の切欠き７４６ｃ（図２参照）と係合し研削ホイール７４が引っ掛けられるホイール引っ掛け部７３１ａが、周方向に１８０度間隔を空けて２つ配設されている。円形板状のホイール引っ掛け部７３１ａは、凸部７３１の下面と一体的に凸部７３１の外周縁より外側にその一部がはみ出るように形成されている。
なお、ホイールマウント７３の下面７３ｂは面一の平坦面であり、凸部７３１やホイール引っ掛け部７３１ａが形成されていなくてもよい。

図２に示すように、研削ホイール７４は、環状のホイール基台７４１を備えており、ホイール基台７４１は、厚さ方向に貫通する円形の開口７４２を備えている。
ホイール基台７４１の上面７４１ａの外周側の領域には、周方向に一定の間隔をおいて複数（例えば６０度間隔で６つ）の雌ネジ穴７４４が厚み方向に向かって形成されている。各雌ネジ穴７４４は、ホイールマウント７３に設けられた各ボルト挿通穴７３０にそれぞれ対応する。

研削ホイール７４の開口７４２の周囲には、径方向外側に水平に延びるツバ部７４６が形成されており、ツバ部７４６には、上記ホイールマウント７３に設けられたホイール引っ掛け部７３１ａが挿通される大きさの半円形の切欠き７４６ｃが、２つ周方向に１８０度離れて対向するように形成されている。
なお、ホイール基台７４１は、ツバ部７４６及び半円形の切欠き７４６ｃを備えない構成であってもよい。

図４に示すように、ホイール基台７４１の下面における外周部は、略平坦面の環状の砥石装着部７４１ｂとなっており、砥石装着部７４１ｂには、周方向に均等間隔で所定幅の隙間を空けて、環状に複数の研削砥石７４０が適宜の接着剤によって固定されている。各研削砥石７４０は、例えば、レジンボンドやメタルボンド等でダイヤモンド砥粒等が固着されて略直方体状に成形されたものである。

ホイール基台７４１の下面の環状の砥石装着部７４１ｂより内側の領域は、例えば、所定の角度で傾斜する傾斜面７４１ｃとツバ部７４６の下面７４６ｂとでなる。該傾斜面７４１ｃには、純水等の研削水が噴出する供給口７４３が環状の砥石装着部７４１ｂと同心円状に周方向に等間隔を空けて複数（例えば、６０度ずつ空けて６つ）形成されている。供給口７４３から供給される研削水は、傾斜面７４１ｃを研削砥石７４０に向かって流れることでホイール基台７４１を冷却し、さらに、研削砥石７４０及び図１に示すウェーハＷの研削されている箇所を冷却し、発生した研削屑をウェーハＷの被研削面上から除去する。

図２に示すように、例えば、ホイール基台７４１の上面７４１ａの各雌ネジ穴７４４が形成されている領域よりも内周側の領域には、ホイールマウント７３の下面７３ｂにおける各流路７０ｂの開口に対向しホイールマウント７３からの研削水が流れ込む環状溝７４５が形成されており、環状溝７４５の溝底には、先に説明した供給口７４３が開口している。なお、環状溝７４５を介さずに、ホイールマウント７３の下面７３ｂにおける各流路７０ｂの開口と研削ホイール７４の供給口７４３とが直接対向して連通するようになっていてもよい。

図２、５に示す本発明に係る研削ホイール７４の着脱治具６は、研削ホイール７４をホイールマウント７３に取り付ける際（又はホイールマウント７３から取り外す際）に使用する。
ある程度の硬度を備える合成樹脂又はＳＵＳ等の金属からなる着脱治具６は、底板６０と、底板６０に配設されホイール基台７４１の下面の砥石装着部７４１ｂより内側の領域であるツバ部７４６の下面７４６ｂを支持するホイール基台支持部６１と、ホイール基台支持部６１が支持したホイール基台７４１の供給口７４３に対向するように供給口７４３が配設される円周と同じ直径の円周上で底板６０に配設されるピン６２と、を備えている。

底板６０は、研削ホイール７４の外径よりも大径の円形状に形成されている。図５に示すように、底板６０の下面側は、例えば所定の深さで円柱状に切り欠かれており、その中央部分には、作業者が着脱治具６を使用する際に把持する把持部６００が形成されている。把持部６００は底板６０に形成されていなくてもよいが、研削ホイール７４の脱着作業時に作業者が把持部６００を把持できることで、着脱治具６を使用する際の取り回しが容易になる。

底板６０の上面には、ホイール基台支持部６１が配設される略円錐台状の基部６０１が立設しており、ホイール基台支持部６１は、例えば、基部６０１の上面から上方に向かって一体的に形成される円柱状の外形を備えている。基部６０１の上面６０１ａは、ホイール基台７４１の傾斜面７４１ｃに対向し傾斜面７４１ｃ（図４参照）の傾斜角度に合わせた角度で傾斜する環状の傾斜面になっている。

本実施形態におけるホイール基台支持部６１は、その上面（円形面６１１）がホイール基台７４１の下面の砥石装着部７４１ｂより内側の領域であるツバ部７４６の下面７４６ｂに当接した状態で、ホイール基台７４１を支持する。円形面６１１の直径は、例えば、ツバ部７４６の外径よりも僅かに小さく設定されている。
ホイール基台支持部６１は、本実施形態における例に限定されるものではない。例えば、ホイール基台支持部６１の高さ（厚さ）を調節することで、ツバ部７４６の下面７４６ｂに円形面６１１が当接すると共に、ホイール基台７４１の傾斜面７４１ｃに底板６０の基部６０１の環状の上面６０１ａが当接した状態で、着脱治具６が研削ホイール７４を支持するものとしてもよい。

図５に示すように、本実施形態における着脱治具６は、例えば、底板６０にピン６２を研削手段７のスピンドル７０の軸方向（Ｚ軸方向）に進退させる進退手段６４を備えている。進退手段６４は、ピン６２を底板６０から飛び出させる方向（＋Ｚ方向）に付勢するバネ６４０と、バネ６４０を伸縮自在に収容するバネ収容部６４１とを備える。即ち、底板６０の基部６０１の環状の上面６０１ａには、周方向に一定の間隔をおいてピン６２及びバネ６４０を収容できる深さの収容孔が複数（例えば、６０度ずつ空けて６つ）形成されており、該収容孔がバネ収容部６４１となる。

バネ収容部６４１内において、ピン６２の下方に配設されたバネ６４０は、縮むことで上端側に固定されたピン６２を上側に押し戻そうとする付勢力を蓄える圧縮コイルバネである。各バネ６４０の上端側に固定されたピン６２は、研削ホイール７４の供給口７４３に係合する大きさを備えている。

本実施形態における着脱治具６は、底板６０の上面の外周縁に立設されホイール基台支持部６１が支持する研削ホイール７４の外周を囲繞する環状側壁６５を備えている。環状側壁６５は、高さが研削ホイール７４の高さに対応した値に設定されている。該環状側壁６５によって、作業者が着脱治具６に収容された研削ホイール７４の研削砥石７４０に不用意に触れて破損させてしまうといったミスの発生を防ぐことができる。
そして、底板６０と環状側壁６５とによりホイール基台７４１の砥石装着部７４１ｂに装着された複数の研削砥石７４０を収容する砥石収容部６５０が形成される。なお、砥石収容部６５０は、ホイール基台支持部６１がツバ部７４６の下面７４６ｂを支持した状態で、砥石装着部７４１ｂに装着された複数の研削砥石７４０の下面と外側面とが底板６０と環状側壁６５とに当接しないようにその寸法が設定されている。
なお、着脱治具６は、図６に示すように環状側壁６５を備えない構成としてもよい。

以下に、上記のように説明してきた本発明に係る着脱治具６を用いて研削ホイール７４をホイールマウント７３に装着する場合について説明する。
まず、図２に示すように、図示しない作業者の手により、研削ホイール７４が着脱治具６上に搬送され、研削ホイール７４の下面が着脱治具６の上面に対向し、かつ、研削ホイール７４の回転中心と着脱治具６の中心とが略合致し、また、研削ホイール７４の各供給口７４３が着脱治具６の各ピン６２に対向するように、研削ホイール７４が着脱治具６の上方に位置付けられる。

研削ホイール７４を下降させていき、砥石収容部６５０に研削砥石７４０を収容するとともに、着脱治具６の６本のピン６２が研削ホイール７４の６つの供給口７４３にそれぞれ進入していくことで、図７に示すように、着脱治具６に対する研削ホイール７４の相対的な回転が規制される状態になる。そして、ホイール基台支持部６１の円形面６１１を研削ホイール７４のツバ部７４６の下面７４６ｂに当接させることで、ホイール基台支持部６１がホイール基台７４１を支持した状態になる。

一方、ピン６２と供給口７４３との周方向における位置がずれており、ピン６２が供給口７４３に進入できない場合には、研削ホイール７４の傾斜面７４１ｃがピン６２を下方に押していき、バネ６４０が収縮しつつピン６２が底板６０内のバネ収容部６４１に収容されていく。また、バネ６４０にはピン６２を底板６０から＋Ｚ方向に飛び出させる付勢力が蓄えられる。そして、ホイール基台支持部６１の円形面６１１を研削ホイール７４のツバ部７４６の下面７４６ｂに当接させる。
作業者がこの状態で、研削ホイール７４を着脱治具６上で回転させてピン６２と供給口７４３との周方向における位置が合わされることで、底板６０内に収容されていたピン６２がバネ６４０の付勢力によって供給口７４３に進入し、着脱治具６に対する研削ホイール７４の相対的な回転が規制される状態になる。

このように、底板６０にピン６２をＺ軸方向に進退させる進退手段６４を備え、進退手段６４は、ピン６２を底板６０から飛び出させる方向に付勢するバネ６４０と、バネ６４０を伸縮自在に収容するバネ収容部６４１とを備えるものとすることで、ホイール基台支持部６１がホイール基台７４１を支持したときにピン６２が供給口７４３に進入できないときはバネ６４０を縮めてピン６２を底板６０内に収容させ、ピン６２と供給口７４３とが位置合わせされたら底板６０内に収容されていたピン６２をバネ６４０の付勢力によって供給口７４３に進入させることが可能となるため、ピン６２が供給口７４３に進入できないときにピン６２で研削ホイール７４の下面（傾斜面７４１ｃ）を傷つけてしまうといった事態が生じるのを防ぐことができる。
なお、研削ホイール７４の中心と着脱治具６の中心とを一致させる中心合わせは、着脱治具６のホイール基台支持部６１の外側面と研削ホイール７４のホイール基台７４１の内側面（傾斜面７４１ｃとツバ部７４６の下面７４６ｂとの間に位置し下面７４６ｂと垂直に交差する環状の内周面）とが接触することで行われる。また、中心合わせが行われたとき、供給口７４３にピン６２が進入していなくてもよい。つまり、着脱治具６に研削ホイール７４が載置された中心合わせが行われたとき、ピン６２は着脱治具６内に収容された状態で、後に研削ホイール７４をホイールマウント７３に装着する時に、着脱治具６内で研削ホイール７４が回転させられ、供給口７４３とピン６２とが一致したら、バネ６４０の付勢力によって底板６０内に収容されていたピン６２が上方に突き出て供給口７４３に進入し、着脱治具６に対する研削ホイール７４の相対的な回転が規制される状態になる。なお、着脱治具６は、ピン６２を１本のみ備える構成であってもよい。

上記のように、ホイール基台支持部６１の円形面６１１を研削ホイール７４のツバ部７４６の下面７４６ｂに当接させ、かつ、ピン６２が供給口７４３に進入した状態で、着脱治具６は研削ホイール７４をホイールマウント７３に装着可能な状態に収容している。

作業者が、図７に示すように、着脱治具６に研削ホイール７４を収容した状態でホイールマウント７３の下方に位置付ける。即ち、研削ホイール７４の上面７４１ａがホイールマウント７３の下面７３ｂに対向し、かつ、研削ホイール７４の回転中心とホイールマウント７３の回転中心とが略合致し、また、研削ホイール７４のツバ部７４６の２つの切欠き７４６ｃがホイールマウント７３の各ホイール引っ掛け部７３１ａに対向するように、研削ホイール７４がホイールマウント７３の下方に位置付けられる。

次いで、図８に示すように、着脱治具６を介して研削ホイール７４を持ち上げて、研削ホイール７４の開口７４２をホイールマウント７３の凸部７３１に挿嵌し、かつ、ツバ部７４６の２つの切欠き７４６ｃをホイール引っ掛け部７３１ａに嵌挿した後、着脱治具６と共に研削ホイール７４を回転させる。この結果、ツバ部７４６の下面７４６ｂ側にはみ出たホイール引っ掛け部７３１ａによって、ツバ部７４６の下面７４６ｂが支えられる。従って、研削ホイール７４は、例えば着脱治具６を外してもホイール引っ掛け部７３１ａによって支持された状態となる。
なお、ホイール引っ掛け部７３１ａによって、ホイール引っ掛け部７３１ａの厚み分程度着脱治具６の円形面６１１が下方に押される。そのため、円形面６１１がツバ部７４６の下面７４６ｂより離れるが、着脱治具６の６本のピン６２が研削ホイール７４の６つの供給口７４３にそれぞれ進入した状態は維持され、着脱治具６に対する研削ホイール７４の相対的な回転が規制された状態も維持される。

さらに、作業者が、着脱治具６と共に研削ホイール７４を回転させて、ホイールマウント７３に形成された複数のボルト挿通穴７３０とホイール基台７４１に設けられた複数の雌ネジ穴７４４とを重なるように位置合わせする。ここで、着脱治具６に収容された研削ホイール７４は、着脱治具６内においてはピン６２によって回転しないため、上記位置合わせは容易となる。
そして、図８に示すように、ホイールマウント７３に形成された複数のボルト挿通穴７３０から締結ボルト７９を挿入しホイール基台７４１に設けられた複数の雌ネジ穴７４４に螺合することにより、ホイールマウント７３の下面７３ｂに研削ホイール７４を取り付けることができる。また、ホイールマウント７３の下面７３ｂに開口する流路７０ｂとホイール基台７４１の上面７４１ａに形成された環状溝７４５とが連通した状態になる。

その後、着脱治具６を下方に下げることで、供給口７４３からピン６２が抜けて研削ホイール７４から着脱治具６が離脱して、研削手段７が図１に示すウェーハＷを研削可能な状態になる。

上記のように、本発明に係る着脱治具６は、底板６０と、底板６０に配設されホイール基台７４１の下面の砥石装着部７４１ｂより内側の領域（ツバ部７４６の下面７４６ｂ）を支持するホイール基台支持部６１と、ホイール基台支持部６１が支持したホイール基台７４１の供給口７４３に対向するように供給口７４３が配設される円周と同じ直径の円周上で底板６０に配設されるピン６２と、を備えているため、着脱治具６内に研削ホイール７４を収容した際に、ピン６２がホイール基台７４１の供給口７４３に進入して、着脱治具６内で研削ホイール７４が回転しなくなる。そのため、ホイールマウント７３に着脱治具６に収容された研削ホイール７４を締結ボルト７９で取り付けるときに、着脱治具６内で回転しない研削ホイール７４の雌ネジ穴７４４とホイールマウント７３のボルト挿通穴７３０との位置合わせが容易になり、取り付け作業に手間取ることが無いようになる。

着脱治具６は、底板６０の外周縁に立設されホイール基台支持部６１が支持する研削ホイール７４の外周を囲繞する環状側壁６５を備え、底板６０と環状側壁６５とによりホイール基台７４１の砥石装着部７４１ｂに装着された複数の研削砥石７４０を収容する砥石収容部６５０を形成することで、ホイールマウント７３に着脱治具６に収容された研削ホイール７４を取り付ける際に、作業者が不用意に研削砥石７４０に触れることが無くなり、研削砥石７４０の破損等を防ぐことが可能となる。

以下に、図１に示すウェーハＷを研削装置１で研削する場合について説明する。
まず、ウェーハＷがチャックテーブル３の保持面３０に載置され吸引保持される。次いで、ウェーハＷを保持したチャックテーブル３が研削手段７の下まで移動して、研削砥石７４０の回転軌道がウェーハＷの回転中心を通るようにウェーハＷと研削手段７との位置合わせがなされる。
図１に示すモータ７２によりスピンドル７０が回転駆動されるのに伴って、研削ホイール７４が回転する。また、研削手段７が研削送り手段５により－Ｚ方向へと送られ、回転する研削砥石７４０がウェーハＷの裏面Ｗｂに当接することで研削加工が行われる。また、チャックテーブル３がＺ軸方向の軸心周りに回転することで保持面３０上に保持されたウェーハＷも回転するので、ウェーハＷの裏面Ｗｂの全面が研削される。

研削加工中は、研削水をスピンドル７０中の流路７０ａ、ホイールマウント７３の流路７０ｂ、研削ホイール７４の環状溝７４５、及び供給口７４３を通して研削砥石７４０とウェーハＷとの接触部位に対して供給して、研削砥石７４０とウェーハＷの裏面Ｗｂとの接触部位を冷却・洗浄する。

ウェーハＷの裏面Ｗｂが所定量研削された後、研削手段７が研削送り手段５により＋Ｚ方向へと引き上げられて、研削砥石７４０がウェーハＷから離間する。
上記のような研削加工を複数枚のウェーハＷに対して行っていくことで、研削砥石７４０が磨耗するため、ホイールマウント７３から研削ホイール７４を取り外し、新たな研削ホイール７４を取り付ける作業を行う。

ホイールマウント７３から研削ホイール７４を取り外す場合には、まず、図９に示すように、作業者が締結ボルト７９を研削ホイール７４及びホイールマウント７３から取り外す。研削ホイール７４はホイール引っ掛け部７３１ａ（図８参照）によって支持された状態となっているため、ホイールマウント７３から落下することはない。

次いで、作業者が着脱治具６を研削ホイール７４の下方に位置付ける。そして、着脱治具６を持ち上げて、着脱治具６の６本のピン６２を研削ホイール７４の６つの供給口７４３にそれぞれ進入させる。この状態で、着脱治具６を介して研削ホイール７４を回転させて、ホイールマウント７３に設けられたホイール引っ掛け部７３１ａと研削ホイール７４のツバ部７４６の２つの切欠き７４６ｃとが重なるようにする。その結果、ツバ部７４６の２つの切欠き７４６ｃからホイール引っ掛け部７３１ａがはずれるとともに、ホイール基台支持部６１の円形面６１１が研削ホイール７４のツバ部７４６の下面７４６ｂに当接して、着脱治具６が研削ホイール７４を収容した状態になる。
そして、着脱治具６を下降させて、研削ホイール７４をホイールマウント７３の下面７３ｂから離間させる。このように、作業者が研削ホイール７４に直に触れることがないため、研削ホイール７４の破損等が防がれる。

その後、着脱治具６を用いた新しい研削ホイール７４のホイールマウント７３に対する装着が、先に説明したのと同様に行われる。

なお、本発明に係る着脱治具６は上記実施形態に限定されるものではなく、また、添付図面に図示されている研削手段７又は着脱治具６の各構成の形状及び大きさ等についても、これに限定されず、本発明の効果を発揮できる範囲内で適宜変更可能である。

Ｗ：ウェーハ
１：研削装置１０：ベース１１：コラム
３：チャックテーブル３０：保持面３９：カバー５：研削送り手段
７：研削手段７０：スピンドル７０ａ：流路７１：ハウジング７２：モータ
７３：ホイールマウント７０ｂ：流路７３０：ボルト挿通穴７３１：凸部７３１ａ：ホイール引っ掛け部
７４：研削ホイール７４０：研削砥石
７４１：ホイール基台７４１ｂ：砥石装着部７４１ｃ：傾斜面７４２：開口７４４：雌ネジ穴７４６：ツバ部７４６ｂ：ツバ部の下面７４６ｃ：切欠き
７５：ホルダ７９：締結ボルト
６：着脱治具６０：底板６００：把持部６０１：基部
６１：ホイール基台支持部６１１：円形面
６２：ピン
６４：進退手段６４０：バネ６４１：バネ収容部
６５：環状側壁６５０：砥石収容部

Claims

ウェーハを保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持されたウェーハを研削する研削手段とを備え、該研削手段は、スピンドルと、該スピンドルの下端に配設されたホイールマウントと、該ホイールマウントの下面に着脱可能に装着される研削ホイールとを備え、該研削ホイールは、厚さ方向に貫通する円形の開口を有する環状のホイール基台と、該ホイール基台の下面における外周部の環状の砥石装着部に装着される複数の研削砥石と、該砥石装着部の内側で環状の該砥石装着部と同心円状に複数配設され研削砥石に研削水を供給する供給口と、該開口から該砥石装着部にかけて形成された傾斜面とからなっており、該ホイール基台が該ホイールマウントの下面に締結ボルトによって取り付けられる研削装置において、該研削ホイールを着脱するための着脱治具であって、
底板と、該底板から立設され該研削ホイールの該傾斜面に対応する傾斜面を有する円錐台状の基部の上面に配設され該ホイール基台の該砥石装着部より内側の領域を支持するホ
イール基台支持部と、該ホイール基台支持部が支持した該ホイール基台の該供給口に進入可能に該基部の傾斜面から突出して配設されるピンと、を備えた研削ホイールの着脱治具。
前記底板の外周縁に立設され前記ホイール基台支持部が支持する前記研削ホイールの外周を囲繞する環状側壁を備え、
該底板と該環状側壁とにより前記ホイール基台の前記砥石装着部に装着された複数の前記研削砥石を収容する砥石収容部を形成する請求項１記載の研削ホイールの着脱治具。
前記底板に前記ピンを前記スピンドルの軸方向に進退させる進退手段を備え、
該進退手段は、該ピンを該底板から飛び出させる方向に付勢するバネと、該バネを伸縮自在に収容するバネ収容部とを備え、前記ホイール基台支持部が前記ホイール基台を支持したときに該ピンが前記供給口に進入できないときは該バネを縮めて該ピンを該底板内に収容させ、該ピンと該供給口とが位置合わせされたら該底板内に収容されていた該ピンを該バネの付勢力によって該供給口に進入させる請求項１又は２記載の研削ホイールの着脱治具。