TW201934263A - 磨削裝置 - Google Patents

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伊藤太一
現王園二郎
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Abstract

[課題] 進行成在磨削被加工物的情況下，冷卻磨削磨石以免使其在被磨削面產生剝離等的磨削不良。
[解決手段]一種磨削裝置，具備保持組件、磨削組件及移動組件，前述保持組件具有保持被加工物的保持面，前述磨削組是以將磨削磨石環狀地配設之磨削輪的中心為軸來旋轉磨削輪，並以磨削磨石的磨削面來磨削被加工物，前述移動組件是使保持組件與磨削組件在保持面方向上相對地移動，前述磨削裝置的特徵在於：具備圓弧狀的冷卻噴嘴，前述圓弧狀的冷卻噴嘴是在以移動組件將保持組件定位在讓磨削磨石通過保持面中心的磨削位置來進行磨削時，對應於從保持組件所保持的被加工物超出之磨削加工中的磨削磨石的磨削面，且在磨削加工中以冷卻噴嘴來冷卻磨削磨石的磨削面。

Description

磨削裝置
發明領域
本發明是有關於一種磨削半導體晶圓等被加工物之磨削裝置。
發明背景
在以磨削磨石磨削保持工作台所保持的晶圓的磨削裝置(參照例如專利文獻1)中，為了進行成不使加工熱蓄熱於磨削中的磨削磨石，而對磨削磨石與晶圓的接觸處供給磨削水，以進行散熱、及磨削屑的去除。
先前技術文獻
專利文獻
專利文獻1：日本專利特許第5037255號公報
發明概要
發明欲解決之課題
然而，在磨削對象為例如具備被塑模而成的樹脂面的晶圓的情況下，會有下述問題：磨削樹脂面時的加工熱的產生較大，且該加工熱蓄熱於磨削磨石，而在被磨削面即樹脂面上產生剝離(逆剝)，而導致被磨削面變得粗糙。
據此，有下述課題：在以磨削裝置磨削被加工物的情況下，是進行成冷卻磨削磨石以免使其在被磨削面上產生剝離等的磨削不良。
用以解決課題之手段
用於解決上述課題之本發明為一種磨削裝置，前述磨削裝置具備保持組件、磨削組件及移動組件，前述保持組件具有保持被加工物的保持面，前述磨削組件是以將磨削磨石環狀地配設之磨削輪的中心為軸來旋轉該磨削輪，並以該磨削磨石的磨削面來磨削被加工物，前述移動組件是使該保持組件與該磨削組件在該保持面方向上相對地移動，前述磨削裝置的特徵在於：具備圓弧狀的冷卻噴嘴，前述圓弧狀的冷卻噴嘴是在以該移動組件將該保持組件定位在讓該磨削磨石通過該保持面中心的磨削位置來進行磨削時，對應於從該保持組件所保持的被加工物超出之磨削加工中的該磨削磨石的磨削面，且在磨削加工中以該冷卻噴嘴來冷卻該磨削面。
較理想的是，將前述冷卻噴嘴配設在前述保持組件。
較理想的是，前述冷卻噴嘴是相向於前述磨削面而將複數個水供給口圓弧狀地配設。
發明效果
本發明之磨削裝置因為具備圓弧狀的冷卻噴嘴，前述圓弧狀的冷卻噴嘴是在以移動組件將保持組件定位在讓磨削磨石通過保持面中心的磨削位置來進行磨削時，對應於從保持組件所保持的被加工物超出之磨削加工中的磨削磨石的磨削面，藉此，變得可在磨削加工中即便在磨削磨石與被加工物的接觸處以外，也有效率地以冷卻噴嘴來充分地冷卻磨削磨石的磨削面，所以可以防止在被加工物的被磨削面上產生以磨削磨石的蓄熱為原因之剝離等的磨削不良之情形。
藉由設成將冷卻噴嘴配設在保持組件之構成，可以對磨削中從保持組件所保持的被加工物超出的磨削磨石的磨削面的大致全部來供給冷卻水並進行冷卻，且可以使冷卻效率比以往更加提升。
冷卻噴嘴可藉由相向於磨削磨石的磨削面來將複數個水供給口圓弧狀地配設，而可以從水供給口對磨削中從保持組件所保持的被加工物超出之磨削磨石的磨削面的大致全部來供給冷卻水並進行冷卻，且可以使冷卻效率比以往更加提升。
用以實施發明之形態
圖1所示之磨削裝置1是藉由磨削組件7對保持於保持組件3上的被加工物W進行磨削的裝置。磨削裝置1的基座10上的前方(-Y方向側)是對保持組件3進行被加工物W的裝卸的區域，基座10上的後方(+Y方向側)是藉由磨削組件7進行保持在保持組件3上的被加工物W的磨削的區域。
保持組件3具備由圓形板狀的多孔構件等所構成且吸附被加工物W的吸附部30、支撐吸附部30的框體31、及從側邊包圍框體31的罩蓋39。吸附部30是連通於真空產生裝置等之未圖示的吸引源，並且將以吸引源進行吸引所產生的吸引力傳達到吸附部30的露出面即保持面30a，藉此保持組件3可以在保持面30a上吸引保持被加工物W。又，保持組件3是形成為能以繞Z軸方向的軸心的方式旋轉。
保持面30a是形成為圓錐面，前述圓錐面具備將保持組件3的旋轉中心作為頂點之極平緩的傾斜度。
又，在保持組件3的下方是透過聯結器(coupling)等而配設有傾斜調節機構37。傾斜調節機構37可以調節保持組件3的保持面30a之相對於水平面之傾斜(相對於磨削組件7的磨削磨石740的磨削面之傾斜)。
在連結於保持組件3及罩蓋39的蛇腹蓋39a的下方(基座10內部)配設有使保持組件3在保持面方向(Y軸方向)上移動的移動組件35。移動組件35具備有：具有Y軸方向的軸心的滾珠螺桿350、與滾珠螺桿350平行地配設的一對導軌351、連結於滾珠螺桿350且使滾珠螺桿350旋動的馬達352、及使設置於內部的螺帽螺合於滾珠螺桿350而在導軌351上滑動之未圖示的可動板，當馬達352使滾珠螺桿350旋動時，未圖示的可動板即隨之被導軌351所導引而在Y軸方向上往返移動，並且使固定於可動板上之保持組件3在Y軸方向上移動。蛇腹蓋39a可伴隨於保持組件3的移動而在Y軸方向上伸縮。
於磨削區域中豎立設置有支柱11，並且於支柱11的前表面配設有磨削進給組件5，前述磨削進給組件5是讓磨削組件7相對於保持組件3遠離或接近之朝Z軸方(鉛直方向)進行磨削進給的組件。磨削進給組件5具備有：具有鉛直方向之軸心的滾珠螺桿50、與滾珠螺桿50平行地配設的一對導軌51、連結於滾珠螺桿50的上端且使滾珠螺桿50旋動的馬達52、及內部的螺帽螺合於滾珠螺桿50且側部滑接於導軌51的升降板53，當馬達52使滾珠螺桿50旋動時，升降板53即隨之被導軌51所導引而在Z軸方向上往返移動，並將固定於升降板53的磨削組件7朝Z軸方向磨削進給。
對保持在保持組件3的被加工物W進行磨削加工的磨削組件7具備軸方向為Z軸方向的旋轉軸70、可旋轉地支撐旋轉軸70的殼體71、旋轉驅動旋轉軸70的馬達72、連接於旋轉軸70的下端的圓環狀的安裝座73、可裝卸地裝設於安裝座73的下表面的磨削輪74、及支撐殼體71且將其側面固定在磨削進給組件5的升降板53的支持器75。
磨削輪74具備輪基台741、及環狀地配置於輪基台741之底面的大致長方體狀的複數個磨削磨石740。磨削磨石740是例如以樹脂黏結劑或金屬黏結劑等固接鑽石磨粒等而被成形。
於旋轉軸70的軸心線上是磨削輪74的旋轉中心(磨削磨石740的旋轉中心)所在，且藉由使旋轉軸70旋轉，磨削輪74即以磨削輪74的中心為軸並以繞Z軸方向的軸心的方式旋轉。
在旋轉軸70的內部是將連通於未圖示的磨削水供給源且成為磨削水的通道之流路70a，於旋轉軸70的軸方向(Z軸方向)上貫通而設置，且流路70a會進一步通過安裝座73，在輪基台741的底面開口成可以朝向磨削磨石740噴出磨削水。
以下，針對藉由圖1所示之磨削裝置1來對保持在保持組件3的被加工物W進行磨削的情況下的磨削裝置1的動作進行說明。圖1所示之被加工物W為例如外形為圓形板狀的半導體晶圓，且被加工物W的上表面Wb成為施行磨削加工的被磨削面。該上表面Wb雖然是以例如PCB等的樹脂所塑模，但亦可為未以樹脂塑模的矽表面等。
首先，在磨削裝置1的裝卸區域內，將被加工物W載置於保持組件3的保持面30a上，並藉由將作動未圖示的吸引源所產生的吸引力傳達到保持面30a，以讓保持組件3在保持面30a上吸引保持被加工物W的下表面Wa。被加工物W的中心與保持面30a的中心是成為大致一致的狀態。
讓移動組件35將保持被加工物W的保持組件3移動到磨削組件7之下為止，以進行磨削磨石740與被加工物W的對位。如圖2所示，對位是進行成例如使磨削磨石740的旋轉中心相對於保持面30a的旋轉中心(被加工物W的旋轉中心)在-Y方向上偏離規定的距離，而使磨削磨石740的旋轉軌道740a通過保持面30a的旋轉中心。又，藉由以傾斜調節機構37將保持組件3的傾斜調整成使平緩的圓錐面即保持面30a相對於磨削磨石740的磨削面(下表面)成為平行，以讓順應於圓錐面即保持面30a而被吸引保持的被加工物W的上表面Wb，相對於磨削磨石740的磨削面成為平行(參照圖3)。
如圖2、3所示，在進行磨削磨石740與被加工物W的對位後，伴隨於藉由圖1所示的馬達72旋轉驅動旋轉軸70，而例如使磨削磨石740從+Z方向側觀看為朝逆時針方向旋轉。又，可藉由圖3所示之磨削進給組件5使磨削組件7往-Z方向持續降下，並且使磨削磨石740抵接於被加工物W的上表面Wb，來進行磨削加工。由於磨削加工中是伴隨於保持組件3從+Z方向側觀看為朝逆時針方向旋轉而讓被加工物W也進行旋轉，因此磨削磨石740可進行被加工物W的上表面Wb的整面的磨削加工。例如，磨削加工中是將磨削水流通於旋轉軸70中的流路70a(參照圖1)，來對磨削磨石740與被加工物W的接觸部位進行供給，並冷卻、洗淨接觸部位。
再者，因為被加工物W是順應於保持組件3之平緩的圓錐面即保持面30a而被吸引保持，所以磨削磨石740會在圖2所示之磨削磨石740的旋轉軌道740a中的箭頭R所示之範圍內，抵接於旋轉的被加工物W的上表面Wb而進行磨削。
磨削裝置1具備有對磨削加工中的磨削磨石740的磨削面進行冷卻的圓弧狀的冷卻噴嘴60。如上述，冷卻噴嘴60是在以移動組件35將保持組件3定位在讓磨削磨石740通過保持組件3的保持面30a中心的磨削位置來進行磨削時，對從保持組件3所保持的被加工物W朝+Y方向側超出的磨削加工中的磨削磨石740的磨削面進行冷卻。
如圖1~3所示，在本實施形態中，冷卻噴嘴60具備有例如基部600及複數個水供給口601，並且透過後述之噴嘴升降組件63(於圖1中未圖示)而配設於保持組件3的罩蓋39上，前述基部600具有對應於磨削磨石740的超出的部分的半圓弧狀的外形，前述水供給口601是在基部600的上表面開口。基部600的曲率是配合磨削磨石740的旋轉軌道740a的直徑而設定。
如圖2所示，較理想的是，各水供給口601是形成為例如圓孔狀，且在基部600的上表面上於周方向上將複數個隔開等間隔而配設成圓弧狀，但並非限定為此之構成。亦可為例如，將各水供給口形成為寬度窄的狹縫狀，且在基部600的上表面於周方向上將複數個隔開等間隔而配設成圓弧狀。又，亦可將水供給口形成為在基部600的上表面以一條連續的方式延伸為圓弧狀之寬度窄的狹縫。
如圖3所示，各水供給口601是例如各下端朝形成於基部600的內部的流路600b合流。在基部600的內部延伸的流路600b是例如其一端朝基部600的外側面開口，且連通於對冷卻噴嘴60供給冷卻水的冷卻水源69。
圖2、3所示之噴嘴升降組件63具備有例如，豎立設置於罩蓋39的上表面且於其側面具備未圖示之導軌的導引柱630、與導引柱630平行地於Z軸方向上延伸的滾珠螺桿631、連結於滾珠螺桿631且使滾珠螺桿631旋動的馬達634、使內部的螺帽螺合於滾珠螺桿631且使側部滑動接觸於導引柱630的導軌的升降構件632、及從升降構件632朝兩側邊延伸且將一端固定在冷卻噴嘴60的基部600的內周面的支撐橋633，當馬達634使滾珠螺桿631旋動時，升降構件632即隨之被導引柱630的導軌所導引而在Z軸方向上移動，而可以將透過支撐橋633支撐於升降構件632的冷卻噴嘴60定位到規定的高度位置。
噴嘴升降組件63亦可為電動缸或氣缸等。
再者，磨削裝置1亦可不具備有噴嘴升降組件63，冷卻噴嘴60亦可形成為可藉由作業人員以手動方式來上下移動。在此情況下，亦可為例如冷卻噴嘴60是將其兩端可滑動地安裝於保持組件3的框體31的側面。亦即，例如，在框體31的側面形成有導軌，且冷卻噴嘴60的兩端可以在導軌上滑動，在作業人員以人工操作方式將冷卻噴嘴定位到規定高度位置之後，可藉由固定螺栓、夾具、插銷等來將冷卻噴嘴60固定在該高度位置上。
如圖3所示，在磨削加工中，冷卻噴嘴60是相向於從保持組件3所保持的被加工物W朝+Y方向側超出的磨削加工中的磨削磨石740的磨削面，並進一步以噴嘴升降組件63使冷卻噴嘴60在Z軸方向上移動，並以在各水供給口601與磨削磨石740之間設置有間隙(例如，寬度為2mm的間隙)的狀態，來將冷卻噴嘴60定位到規定的高度位置。較理想的是，冷卻噴嘴60的高度位置是設成例如，將被加工物W磨削到所期望的厚度為止時不會有導致下降的磨削磨石740接觸到水供給口601的情形，而且，在水供給口601與旋轉的磨削磨石740的磨削面之間的間隙產生後述之負壓的高度位置。
冷卻水源69是將冷卻水以例如1.0L/分鐘的供給量供給到冷卻噴嘴60。該冷卻水是通過於基部600的內部延伸的流路600b，而從各水供給口601流出。於此，在冷卻噴嘴60的上方，因為是讓磨削磨石740以高速旋轉，所以水供給口601與磨削磨石740之間的間隙的空氣是以高速朝放射方向流動而去，並從該間隙釋放出。其結果，可在該間隙生成將從水供給口601流出的冷卻水吸附到磨削磨石740的磨削面的負壓，並藉由此負壓將冷卻水朝磨削磨石740的磨削面吸引並進行接觸，而將磨削面冷卻。藉由從旋轉的磨削磨石740所受到的離心力，可將附著於磨削磨石740的磨削面且已進行冷卻的冷卻水，朝徑向方向外側排出，之後流入形成於基座10上的未圖示的排水口等。
再者，冷卻水的供給量在設為如上述以負壓將冷卻水朝磨削磨石740的磨削面吸引並進行接觸之類的供給量時，可以用少量的冷卻水量來有效率地冷卻磨削面。
像這樣，一面進行由冷卻噴嘴60所進行之磨削磨石740的冷卻，一面將被加工物W的上表面Wb磨削規定量後，磨削進給組件5使磨削組件7朝上方移動，而使磨削磨石740從被加工物W的上表面Wb遠離。
本發明之磨削裝置1具備圓弧狀的冷卻噴嘴60，前述圓弧狀的冷卻噴嘴60是在以移動組件35將保持組件3定位在讓磨削磨石740通過保持組件3的保持面30a中心的磨削位置來進行磨削時，對應於從保持組件3所保持的被加工物W超出之磨削加工中的磨削磨石740的磨削面，藉此，變得可在磨削加工中之在磨削磨石740與被加工物W的接觸處以外，也有效率地以冷卻噴嘴60來充分地冷卻磨削磨石740的磨削面。亦即，由於可以用比以往更廣的範圍來讓冷卻水相對於磨削磨石740的磨削面進行接觸，又，冷卻水接觸於磨削磨石740的磨削面的時間也變長，因此可以更加提高冷卻效果。此外，例如，雖然藉由從水供給口601噴射高壓的冷卻水而力道強烈地接觸於磨削磨石740的磨削面，也有將磨削屑等的污染物埋入磨削面之情形，但在進行如上述的冷卻水的供給量的控制，並且以藉由磨削磨石740的旋轉所產生的負壓來將冷卻水朝磨削磨石740的磨削面吸引並接觸的情況下，由於不會有磨削屑等的污染物埋入磨削面的情形，而可防止堵塞。據此，可以防止於被加工物W的被磨削面上產生有以磨削磨石740的蓄熱為原因之剝離等的磨削不良的情況。
又，藉由設成將冷卻噴嘴60配設在保持組件3之構成，可以對磨削中從保持組件3所保持的被加工物W超出的磨削磨石740的磨削面的大致全部來供給冷卻水並進行冷卻，且可以使冷卻效率比以往更加提升。
冷卻噴嘴60可藉由相向於磨削磨石740的磨削面來將複數個水供給口601圓弧狀地配設在基部600，而可以從水供給口601對磨削中從保持組件3所保持的被加工物W超出之磨削磨石740的磨削面的大致全部來供給冷卻水並進行冷卻，而可以使冷卻效率比以往更加提升。
本發明之磨削裝置並非限定於上述實施形態之裝置，且在可以在發揮本發明的效果的範圍內可適當地變更。
例如，本發明之磨削裝置亦可為如圖4~圖6所示之藉由使設置在基座10上的移動組件18(轉盤18)旋轉，而將保持組件3定位在磨削組件7的正下方的構成的磨削裝置1A，而非如同上述實施形態地使保持組件3在Y軸方向上直線移動並定位到磨削組件7的正下方的磨削裝置1。
在移動組件18的上表面，於周方向上將複數個(例如3個)保持組件3隔開等間隔而配設。移動組件18是成為可繞Z軸方向的軸心旋轉，並且藉由使移動組件18旋轉，而使各保持組件3在X軸Y軸平面上公轉，而可以使各保持組件3依序移動到磨削組件7的正下方。
在磨削裝置1A中，冷卻噴嘴60是藉由圖4所示之噴嘴升降組件63A而變得可上下移動。噴嘴升降組件63A具備有豎立設置於基座10上且於其側面具備導軌630a的導引柱630、與導引柱630平行地於Z軸方向上延伸的滾珠螺桿631、連結於滾珠螺桿631且使滾珠螺桿631旋動的馬達634、使螺帽632a螺合於滾珠螺桿631且使側部滑動接觸於導軌630a的升降構件632、及與升降構件632一體地形成且連結於冷卻噴嘴60的支臂635，當馬達634使滾珠螺桿631旋動時，升降構件632即隨之被導軌630a所導引而在Z軸方向上移動，而可以將以支臂635所支撐的冷卻噴嘴60定位到規定的高度位置。
在藉由圖4所示之磨削裝置1A對保持在保持組件3的被加工物W進行磨削的情況下，是藉由使移動組件18例如從+Z方向觀看為朝逆時針方向自轉，來使已吸引保持被加工物W的狀態的保持組件3公轉，並將保持組件3定位成讓磨削組件7的磨削磨石740通過被加工物W的旋轉中心。又，藉由傾斜調節機構37調整保持組件3的傾斜，藉此使順應於圓錐面即保持面30a而被吸引保持的被加工物W的上表面Wb，相對於磨削磨石740的磨削面成為平行。
在藉由上述移動組件18所進行的保持組件3的定位時，是例如藉由噴嘴升降組件63A預先將冷卻噴嘴60定位到比保持組件3更上側，且形成為不使保持組件3碰撞到冷卻噴嘴60。然後，當將保持組件3定位到磨削組件7的下方的位置時，是噴嘴升降組件63A使冷卻噴嘴60下降，而將冷卻噴嘴60定位到規定的高度位置，以在各水供給口601與磨削磨石740之間設置間隙(例如，寬度2mm的間隙)。
磨削進給組件5使磨削組件7下降，讓磨削磨石740從+Z方向側觀看為朝逆時針方向旋轉並且抵接於被加工物W的上表面Wb，藉此進行磨削加工。由於磨削加工中是伴隨於保持組件3從+Z方向側觀看為朝逆時針方向在移動組件18上旋轉，而讓被加工物W也旋轉，所以磨削磨石740可進行被加工物W的上表面Wb的整面的磨削加工。此外，冷卻水源69將冷卻水以例如1.0L/分鐘的供給量供給到冷卻噴嘴60，且藉由負壓將從水供給口601流出的冷卻水朝磨削磨石740的磨削面吸引並進行接觸，來將磨削面冷卻。
一面進行由冷卻噴嘴60所進行之磨削磨石740的冷卻，一面將被加工物W的上表面Wb磨削規定量後，磨削進給組件5使旋轉的磨削組件7朝上方移動，而使磨削磨石740從被加工物W的上表面Wb遠離。在此同時，藉由噴嘴升降組件63A來將冷卻噴嘴60上升並定位到比保持組件3更上側。
藉由使移動組件18例如從+Z方向觀看為朝逆時針方向自轉，以使已吸引保持磨削加工前的新的被加工物W的狀態的其他的保持組件3公轉，並且將保持組件3定位成讓磨削組件7的磨削磨石740通過被加工物W的旋轉中心。因為將冷卻噴嘴60定位到比保持組件3更上方，所以不會有冷卻噴嘴60碰撞到保持組件3的情形。
再者，亦可在藉由移動組件18將保持新的被加工物W的保持組件3定位到磨削組件7的下方的當中，在正在旋轉的狀態的磨削組件7及冷卻噴嘴60已上升的高度位置上，使冷卻水從冷卻水源69供給到冷卻噴嘴60，並且藉由負壓將從水供給口601所流出的冷卻水朝磨削磨石740的磨削面吸引並進行接觸，來冷卻磨削面。
停止移動組件18的旋轉，並將保持新的被加工物W的保持組件3定位到規定位置，而成為可進行由磨削組件7所進行的磨削的狀態。然後，例如，在磨削進給組件5使磨削組件7下降之前，讓噴嘴升降組件63A使冷卻噴嘴60下降，而將冷卻噴嘴60定位到規定的高度位置，以在各水供給口601與磨削磨石740之間設置間隙(例如，寬度2mm的間隙)。之後，與先前同樣地磨削新的被加工物W。
1、1A‧‧‧磨削裝置
3‧‧‧保持組件
5‧‧‧磨削進給組件
7‧‧‧磨削組件
10‧‧‧基座
11‧‧‧支柱
18‧‧‧移動組件(轉盤)
35‧‧‧移動組件
30‧‧‧吸附部
30a‧‧‧保持面
31‧‧‧框體
37‧‧‧傾斜調節機構
39‧‧‧罩蓋
39a‧‧‧蛇腹蓋
50、350、631‧‧‧滾珠螺桿
51、351‧‧‧導軌
52、72、352、634‧‧‧馬達
53‧‧‧升降板
60‧‧‧冷卻噴嘴
63、63A‧‧‧噴嘴升降組件
69‧‧‧冷卻水源
70‧‧‧旋轉軸
70a、600b‧‧‧流路
71‧‧‧殼體
73‧‧‧安裝座
74‧‧‧磨削輪
75‧‧‧支持器
600‧‧‧基部
601‧‧‧水供給口
630‧‧‧導引柱
630a‧‧‧導軌
632‧‧‧升降構件
632a‧‧‧螺帽
633‧‧‧支撐橋
635‧‧‧支臂
740‧‧‧磨削磨石
740a‧‧‧旋轉軌道
741‧‧‧輪基台
R‧‧‧箭頭
W‧‧‧被加工物
Wa‧‧‧下表面
Wb‧‧‧上表面
±X、±Y、±Z、X、Z‧‧‧方向
圖1是顯示磨削裝置之一例的立體圖。
圖2是顯示保持組件及圓弧狀的冷卻噴嘴的一例的平面圖。
圖3是顯示從圓弧狀的冷卻噴嘴向磨削加工中的磨削磨石的磨削面供給冷卻水的狀態的側面圖。
圖4是顯示在具備轉盤作為移動組件的磨削裝置中，從圓弧狀的冷卻噴嘴向磨削加工中的磨削磨石的磨削面供給冷卻水的狀態的側面圖。
圖5是顯示移動組件使保持新的被加工物的保持組件公轉並且定位到磨削組件的下方的狀態的側面圖。
圖6是顯示移動組件讓保持新的被加工物的保持組件定位到磨削組件的下方的規定位置，並進一步將冷卻噴嘴下降並定位到規定的高度位置的狀態的側面圖。

Claims (3)

  1. 一種磨削裝置，具備保持組件、磨削組件及移動組件，前述保持組件具有保持被加工物的保持面，前述磨削組件是以將磨削磨石環狀地配設之磨削輪的中心為軸來旋轉該磨削輪，並以該磨削磨石的磨削面來磨削被加工物，前述移動組件是使該保持組件與該磨削組件在該保持面方向上相對地移動，前述磨削裝置的特徵在於： 具備圓弧狀的冷卻噴嘴，前述圓弧狀的冷卻噴嘴是在以該移動組件將該保持組件定位在讓該磨削磨石通過該保持面中心的磨削位置來進行磨削時，對應於從該保持組件所保持的被加工物超出之磨削加工中的該磨削磨石的磨削面， 且在磨削加工中以該冷卻噴嘴來冷卻該磨削面。
  2. 如請求項1之磨削裝置，其是將前述冷卻噴嘴配設於前述保持組件。
  3. 如請求項1或2之磨削裝置，其中前述冷卻噴嘴是與前述磨削面相向，且將複數個水供給口配設成圓弧狀。
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