JP7364430B2 - ドレッサボードの上面高さ測定方法 - Google Patents
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Description
ドレスは、特許文献1に開示のように、保持面に板状のドレッサボードを保持して、ドレッサボードに配置されるドレス砥石に研削砥石の研削面を接触させて行われる。保持面にドレッサボードを保持する際に研削加工を中断してしまうため、ドレス時間は短いほうがよい。
ドレス時間を短くするために、ドレッサボードのドレス砥石の上面の高さを測定し、ドレス砥石の上面に研削砥石の研削面が接触する高さに研削砥石を素早く位置づけることが必要となる。
従って、ドレッサボードのドレス砥石の上面の高さを測定してドレス時間を短くするという解決すべき課題がある。
上記の該研削装置は、該ドレッサボードを保持する保持部を有し該保持部に保持された該ドレッサボードを該保持面に搬入する搬入手段と、該ドレッサボードを仮置きする仮置きテーブルとを備え、該保持工程の前に該仮置きテーブルに該ドレッサボードを仮置きさせる仮置き工程を備えるものであり、上面高さ測定方法に備える該保持工程は、該仮置きテーブルに仮置きされた該ドレッサボードを該搬入手段で該保持面の中心と該ドレス砥石の中心とをずらして該保持面に該ドレッサボードを保持させることが望ましい。
該保持工程において、該水供給ノズルから該保持面に水を供給し、該保持面のうち該基板に接触しておらず露出している部分に水シールを形成することが望ましい。
図1に示す研削装置1は、研削砥石340を用いて被加工物Wを研削する研削装置である。以下、研削装置1について説明する。
上記の水平移動手段80及び回転手段81を用いて、保持手段2を水平移動及び回転移動することによって、保持手段2を研削位置に位置づけることが可能となっている。
研削ホイール34は、ホイール基台341と、ホイール基台341の下面に環状に配列された略直方体形状の複数の研削砥石340とを備えており、研削砥石340の下面は被加工物Wを研削する研削面340aとなっている。
保持面ハイトゲージ101は第1接触子101aを備えている。保持面ハイトゲージ101の第1接触子101aを枠体21の上面21aの上に接触させることにより、枠体21の上面21aに面一な吸引部20の保持面20aの高さを測定することができる。
上面ハイトゲージ102は第2接触子102aを備えている。例えば保持面20aに被加工物Wが保持されている状態で、上面ハイトゲージ102の第2接触子102aを被加工物Wの上面Waに接触させることにより、被加工物Wの上面Waの高さを測定することができる。
カセット載置部12には、カセット70が載置されている。カセット70には、研削加工前の被加工物Wが収容されている。また、カセット70には、研削加工後の被加工物W等を収容することができる。
例えば、スピンナテーブル730に研削加工後の被加工物Wが載置されている状態で、洗浄水供給ノズル731から洗浄水を供給することにより被加工物Wを洗浄することができる。
搬入手段5Aは、リング状の第1保持部50及び第1保持部50を上下自在に吊持するアーム51を備えている。
第1保持部50の中央には円形の開口500が形成されている。第1保持部50の下面50bは、被加工物Wの上面Waを吸引保持する吸引面となっている。
また、第1保持部50の上部に備えるツバ部は、貫通孔520よりも大径に形成されており、ボルト53の下降範囲を制限している。例えば、第1保持部50に被加工物W等を保持する際に第1保持部50の下面50bが被加工物W等から+Z方向の押力を受けると、第1保持部50及びボルト53が環状部材52に対して一定の距離だけ上昇することができる。
搬出手段5Bは、搬入手段5Aに備えるリング状の第1保持部50に代えて、円板状の第2保持部57を備えている。第2保持部57の上面57aに形成されている図示しないネジ穴にボルト53のネジ切りが螺合して、第2保持部57がボルト53に連結されている。第2保持部57の下面57bは被加工物Wの上面Waを吸引保持する吸引面となっている。
搬出手段5Bについてのその他の構成は、搬入手段5Aと同様であるため、同様の符号を付してその説明を省略する。
回転する研削砥石340をドレッサボード6のドレス砥石61の上面61aに接触させることによって研削砥石340のドレスをすることができる。
(仮置き工程)
上記の研削装置1を用いて、ドレッサボード6のドレス砥石61の上面61aの高さを測定する方法について説明する。まず、図1に示したロボット71を用いてカセット70からドレッサボード6を引き出して、仮置きテーブル13に仮置きする。
次いで、位置合わせ手段72を用いて、仮置きテーブル13に仮置きされているドレッサボード6の位置合わせをする。
その後、搬入手段5Aの第1保持部50の下面50bにドレッサボード6を接触させる。このとき、第1保持部50の円環の中心とドレス砥石61の上面61aの中心とを一致させて第1保持部50の下面50bに基板60を接触させることにより、第1保持部50の開口500からドレス砥石61が突出する。
ここで、予め水平移動手段80を用いて保持手段2を-Y方向に移動させて、搬入手段5Aのアーム51の可動域に保持手段2を位置付けておく。
そして、軸部510を軸にしてアーム51を旋回させて、ドレッサボード6を、保持手段2の保持面20aの中心Toとドレス砥石61の上面61aの中心Goとがずれるように保持手段2の保持面20aに載置する。
次に、水平移動手段80を用いて保持面20aにドレッサボード6が保持されている保持手段2を+Y方向に移動させて、図2に示すようにハイトゲージ102の下方に基板60の上面を位置づける。
このとき、図2及び図3に示すように、上面ハイトゲージ102の第2接触子102aの水平位置が、ドレス砥石61の上面61aの中心Goから距離Rだけ離れた点Pに位置づけられる。ただし、ドレス砥石61の上面61aの中心Goから点Pまでの距離Rは、ドレス砥石61の上面61aの直径Dよりも大きいものとする。
このようにして、水平移動手段80を用いた+Y方向への水平移動及び回転手段81を用いた回転移動によって、ドレッサボード6のドレス砥石61の上面61aの高さが上面ハイトゲージ102によって測定可能となるような位置に保持手段2が位置付けられる。
上記のようにドレッサボード6を保持手段2に保持して、上面ハイトゲージ102を用いてドレス砥石61の上面61aの高さを測定できる位置に保持手段2を位置付けた後、上面ハイトゲージ102をドレス砥石61の上面61aに接触させて、ドレス砥石61の上面61aの高さを測定する。
そして、ドレス砥石61の上面61aの高さを測定した後、回転軸35を軸にして研削砥石340を回転させるとともに、測定されたドレス砥石61の上面61aの高さを基にして研削送り手段4を用いて研削砥石340を降下させて、ドレス砥石61の上面61aに研削砥石340の下面を接触させることにより、研削砥石340のドレスを行うことができる。
13:仮置きテーブル 14:洗浄領域
2:保持手段 20:吸引部 20a:保持面 21:枠体 21a:枠体の上面
26:吸引源 27:カバー 28:蛇腹
3:研削手段 30:スピンドル 31:ハウジング 32:スピンドルモータ
33:マウント 34:研削ホイール 340:研削砥石 340a:研削砥石の下面
341:ホイール基台 35:回転軸
4:研削送り手段 40:ボールネジ 41:ガイドレール 42:Z軸モータ
43:昇降板 44:ホルダ 45:回転軸
5A:搬入手段 50:第1保持部 50a:上面 50b:下面 500:開口
51:アーム 510:軸部 52:環状部材 520:貫通孔
53:ボルト 55:回転軸 57:第2保持部57a:上面 57b:下面
6:ドレッサボード 60:基板 60a:基板の上面 61:ドレス砥石
61a:ドレス砥石の上面 70:カセット 71:ロボット
710:ロボットハンド 711:軸部 72:位置合わせ手段
73:スピンナ洗浄手段 730:スピンナテーブル 731:洗浄水供給ノズル
8:位置づけ手段 80:水平移動手段
81:回転手段 810:モータ 811:エンコーダ 85:回転軸
9:水源 90::水供給ノズル
100:厚み測定手段 101:保持面ハイトゲージ 101a:第1接触子
102:上面ハイトゲージ 102a:第2接触子 103:筐体
W:被加工物 Wa:被加工物の上面
D:直径 R:距離 Go:ドレス砥石の上面の中心 To:保持面の中心
P:上面ハイトゲージの第1接触子の位置
Claims (3)
- 保持面に被加工物を保持させ該保持面の中心を軸に該保持面を回転させる保持手段と、該保持面に保持された被加工物を研削砥石の研削面により研削する研削手段と、該研削砥石により該保持手段に保持された被加工物を研削する研削位置に該保持手段を位置づける位置づけ手段と、該保持面に保持された被加工物の上面高さを測定するハイトゲージと、を備える研削装置を用いて、該保持面を覆う面積の基板と該基板の上面中央に形成されるドレス砥石とからなるドレッサボードの該基板を該保持面に保持させ該ドレス砥石の上面高さを測定するドレッサボードの上面高さ測定方法であって、
該保持面の中心と該ドレス砥石の中心とをずらして該保持面に該ドレッサボードを保持させる保持工程と、
該保持工程で該保持面に該ドレッサボードを保持した該保持手段を回転させることにより該保持面の中心を中心として該ドレス砥石を回転させて、該ドレス砥石を該ハイトゲージの下方に位置させ、該ドレッサボードの該ドレス砥石の上面高さを該ハイトゲージで測定可能に位置づける位置づけ工程と、
該位置づけ工程で位置付けられた該保持面に保持された該ドレス砥石の上面高さを、該ハイトゲージで測定する上面高さ測定工程と、
を備えるドレッサボードの上面高さ測定方法。 - 該研削装置は、該ドレッサボードを保持する保持部を有し該保持部に保持された該ドレッサボードを該保持面に搬入する搬入手段と、該ドレッサボードを仮置きする仮置きテーブルとを備え、
該保持工程の前に該仮置きテーブルに該ドレッサボードを仮置きさせる仮置き工程を備え、
該保持工程は、該仮置きテーブルに仮置きされた該ドレッサボードを該搬入手段で、該保持面の中心と該ドレス砥石の中心とをずらして該保持面に該ドレッサボードを保持させる、
請求項1記載のドレッサボードの上面高さ測定方法。 - 該研削装置は、該保持面に水を供給する水供給ノズルを備え、
該保持工程において、該水供給ノズルから該保持面に水を供給し、該保持面のうち該基板に接触しておらず露出している部分に水シールを形成する、
請求項1または2記載のドレッサボードの上面高さ測定方法。
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