JP2024067725A - 加工装置 - Google Patents

Abstract

【課題】ボルトを紛失することなく、加工具の交換を効率よく短時間で行うことができる加工装置を提供すること。【解決手段】スピンドル２４の先端に配置したマウント２５に研削ホイール（加工具）２６をボルト２によって締結し、回転する研削ホイール２６でウェーハ（被加工物）Ｗを加工する研削装置（加工装置）１において、前記マウント２５は、上下面を貫通する複数の貫通孔３と、該貫通孔３の上端側に形成された第１ネジ穴３ａとを備え、前記研削ホイール２６は、基台２６ａの貫通孔３に対応する位置に形成された複数の第２ネジ穴４を備え、前記ボルト２は、頭部２Ａと、該頭部２Ａの下に形成されて第１ネジ穴３ａと第２ネジ穴４に螺合可能な雄ネジ部２Ｂと、頭部２Ａと雄ネジ部２Ｂとを連結する細い首部２Ｃを備える。【選択図】図４

Description

本発明は、スピンドルの先端に配置したマウントに加工具をボルトによって締結した加工装置に関する。

例えば、各種電子機器に用いられるＩＣやＬＳＩなどの半導体デバイスの製造工程においては、半導体デバイスの小型化と軽量化のために、ウェーハの裏面が研削装置によって研削されて該ウェーハが所定の厚さまで薄肉化されている。

ウェーハの研削装置は、例えば、特許文献１～４に開示されているように、複数の研削砥石を環状に配置した研削ホイールを、モータによって回転駆動されるスピンドルの先端に取り付けられたマウントに複数のボルトによって着脱可能に取り付けられている。そして、スピンドルとマウント及び該マウントに取り付けられた研削ホイールを回転させ、チャックテーブルに保持されたウェーハを回転する研削砥石によって研削するようにしている。

このような研削装置において、研削砥石が摩耗した場合には、この摩耗した研削砥石を備える研削ホイールが新しい研削ホイールに交換される。この研削ホイールの交換は、摩耗した研削砥石を備える研削ホイールがマウントから取り外され、摩耗していない研削砥石を備える新しい研削ホイールがマウントに取り付けられる。

特開２００６－０５５９６３号公報 特開２０１４－２１０３０５号公報 特開２０２２－０３８７１８号公報 特開２０２２－１１５６１７号公報

ところで、研削ホイールにはネジ穴が形成されており、このネジ穴に、マウントに形成された複数の貫通孔を貫通するボルトをねじ込むことによって、研削ホイールがマウントに着脱可能に取り付けられている。したがって、研削ホイールをマウントから取り外す際には、複数のボルトをマウントから取り外し、研削ホイールをマウントに取り付ける際には、マウントの貫通孔にボルトを通す必要がある。このため、複数のボルトの取り付けと取り外しは、面倒で時間が掛かり、研削ホイールの交換を効率よく短時間で行うことができないという問題がある。また、取り外したボルトを紛失してしまうという問題もある。

本発明は、上記問題に鑑みてなされたもので、その目的は、ボルトを紛失することなく、加工具の交換を効率よく短時間で行うことができる加工装置を提供することにある。

上記目的を達成するための本発明は、スピンドルの先端に配置したマウントに加工具をボルトによって締結し、該スピンドルを回転させ回転する該加工具で、チャックテーブルに保持された被加工物を加工する加工装置であって、該マウントは、中心を中心に周方向に等角度で上下面を貫通する複数の貫通孔と、該貫通孔の上端側に配置された第１ネジ穴と、を備え、該加工具は、円環状または円盤状の基台と、該基台の下面に配置されて被加工物を加工する加工部材と、該基台の該貫通孔に対応する位置に形成された第２ネジ穴と、を備え、該ボルトは、頭部と、該頭部の下に形成されて該第１ネジ穴と該第２ネジ穴に螺合可能な雄ネジ部と、該頭部と該雄ネジ部とを連結し該雄ネジ部よりも細い首部と、を備え、該第１ネジ穴に該雄ネジ部を螺合させ該雄ネジ部を該マウント内に収容させ該加工具を該マウントから離脱可能にし、該第１ネジ穴から該雄ネジ部を離脱させ該マウントに対し該ボルトを下降させ該雄ネジ部を該第２ネジ穴に螺合させ、該ボルトによって該マウントに該加工具を締結することを特徴とする。

本発明によれば、加工具を交換する際には、各ボルトをマウントから取り外すことなくマウントに保持させておくことができるため、ボルトを紛失することがない。また、加工具を交換する際には、マウントに保持されているボルトをそのまま締め付け方向に回して新しい加工具をマウントに取り付けることができるため、加工具の交換作業を短時間で効率よく行うことができる。

本発明に係る加工装置の一形態である研削装置の一部を破断して示す斜視図である。 研削ホイールの着脱構造を示す部分破断縦面図である。 （ａ）～（ｃ）は研削ホイールの取付方法をその工程順に示す部分縦断面図である。 （ａ）～（ｅ）は研削ホイールの交換方法をその工程順に示す部分破断縦断面図である。 （ａ）～（ｃ）は別形態に係る着脱構造による研削ホイールの取付方法を示す部分破断縦断面図である。 リングの斜視図である。

以下に本発明の実施の形態を添付図面に基づいて説明する。

まず、本発明に係る加工装置の一形態としてのウェーハの研削装置の基本構成を図１に基づいて以下に説明する。なお、以下の説明においては、図１に示す矢印方向をそれぞれＸ軸方向（左右方向）、Ｙ軸方向（前後方向）、Ｚ軸方向（上下方向）とする。

［研削装置の基本構成］
図１に示す研削装置１は、被加工物である円板状のウェーハＷを研削加工するものであって、次の構成要素を備えている。

すなわち、研削装置１は、被加工物であるウェーハＷを保持して該ウェーハＷの垂直な軸心回りに回転するチャックテーブル１０と、該チャックテーブル１０に吸引保持されたウェーハＷを研削加工する研削ユニット２０と、研削加工中のウェーハＷの厚みを測定する厚み測定器３０と、研削ユニット２０をチャックテーブル１０の保持面に対して垂直方向（Ｚ軸方向）に昇降させる研削送り機構４０と、チャックテーブル１０を保持面に対して水平方向（Ｙ軸方向）に移動させる水平移動機構５０を主要な構成要素として備えている。

ここで、ウェーハＷは、単結晶のシリコン母材で構成されており、図１に示す状態において下方を向いている表面には、複数の不図示のデバイスが形成されており、これらのデバイスは、ウェーハＷの表面に貼着された保護テープＴによって保護されている。そして、ウェーハＷは、その表面（図１においては下面）が保護テープＴを介してチャックテーブル１０の保持面に吸引保持され、裏面（図１においては上面）が研削ユニット２０によって研削される。

次に、研削装置１の主要な構成要素であるチャックテーブル１０、研削ユニット２０、厚み測定器３０、研削送り機構４０及び水平移動機構５０の構成についてそれぞれ説明する。

（チャックテーブル）
チャックテーブル１０は、円板状の部材であって、その中央部には、ポーラス部材１１が組み込まれている。ここで、ポーラス部材１１は、多孔質のセラミックなどで構成されており、その上面が円板状のウェーハＷを吸引保持する保持面を構成している。

そして、チャックテーブル１０は、不図示の回転機構によって垂直な軸心回りに回転駆動される。なお、図示しないが、チャックテーブル１０のポーラス部材１１は、真空ポンプなどの不図示の吸引源に選択的に接続される。

また、本実施形態に係る研削装置１は、Ｙ軸方向（前後方向）に長い矩形ボックス状のベース１００を備えており、このベース１００に開口するＹ軸方向に長い矩形の開口部１００ａにはチャックテーブル１０が臨んでいる。そして、開口部１００ａのチャックテーブル１０の周囲は、矩形プレート状のカバー１０１によって覆われており、開口部１００ａのカバー１０１の前後（－Ｙ方向と＋Ｙ方向）の部分は、カバー１０１と共に移動して伸縮する蛇腹状の伸縮カバー１０２，１０３によってそれぞれ覆われている。

（研削ユニット）
研削ユニット２０は、ホルダ２１に固定されたスピンドルハウジング２２と、該スピンドルハウジング２２に収容されたスピンドルモータ２３と、該スピンドルモータ２３によって回転駆動される垂直なスピンドル２４と、該スピンドル２４の下端に取り付けられた円板状のマウント２５と、該マウント２５の下面に着脱可能に装着された加工具である研削ホイール２６とを備えている。ここで、研削ホイール２６は、円環状または円盤状の基台２６ａと、該基台２６ａの下面に円環状に取り付けられた複数の研削砥石２６ｂによって構成されている。なお、研削砥石２６ｂは、ウェーハＷを研削するための矩形ブロック状の加工部材であって、その下面は、ウェーハＷの上面（被研削面）に接触する研削面を構成している。

（厚み測定器）
厚み測定器３０は、チャックテーブル１０に保持された研削加工中のウェーハＷの厚みを測定するハイトゲージであって、ウェーハＷの上面に接触する第１の接触子３１とチャックテーブル１０の上面に接触する第２の接触子３２を備えている。ここで、第１の接触子３１によって研削加工中のウェーハＷの上面高さが測定されるが、この第１の接触子３１によって測定されるウェーハＷの上面高さと第２の接触子３２によって測定されるチャックテーブル１０の上面の高さとの差によってウェーハＷの厚みが求められる。

（研削送り機構）
研削送り手段４０は、研削ユニット２０をチャックテーブル１０の保持面に対して垂直な方向（Ｚ軸方向）に沿って昇降させるものであって、ベース１００の上面の＋Ｙ軸方向端部（後端部）上に垂直に立設された矩形ボックス状のコラム４１の－Ｙ軸方向端面（前面）に配置されている。この研削送り手段４０は、ホルダ２１の背面に取り付けられた矩形プレート状の昇降板４２を、ホルダ２１及び該ホルダ２１に保持されたスピンドル２４と研削ホイール２６と共に左右一対のガイドレール４３に沿ってＺ軸方向に昇降させるものである。ここで、左右一対のガイドレール４３は、コラム４１の前面に垂直且つ互いに平行に配設されている。

また、左右一対のガイドレール４３の間には、回転可能なボールネジ４４がＺ軸方向（上下方向）に沿って垂直に立設されており、該ボールネジ４４の上端は、駆動源である正逆転可能なサーボモータ４５に連結されている。ここで、サーボモータ４５は、コラム４１の上面に取り付けられた矩形プレート状のブラケット４６を介してコラム４１に縦置き状態で取り付けられている。また、ボールネジ４４の下端は、コラム４１に回転可能に支持されており、このボールネジ４４には、昇降板４２の背面に後方（＋Ｙ軸方向）に向かって水平に突設された不図示のナット部材が螺合している。

したがって、サーボモータ４５を起動してボールネジ４４を正逆転させれば、このボールネジ４４に螺合する不図示のナット部材が取り付けられた昇降板４２が一対のガイドレール４３に沿って研削ユニット２０と共に上下動するため、研削ユニット２０が昇降して研削砥石２６ｂのウェーハＷに対する研削量（研削代）が設定される。

（水平移動機構）
水平移動機構５０は、チャックテーブル１０を保持面に対して水平方向（Ｙ軸方向）に移動させる機構であって、ベース１００の内部に収容された矩形ブロック状の内部ベース５１の上に配設されている。この水平移動機構５０は、ブロック状のスライダ５２を備えており、このスライダ５２は、Ｙ軸方向（前後方向）に沿って互いに平行に配設された左右一対のガイドレール５３に沿ってＹ軸方向に摺動可能である。したがって、このスライダ５２に支持されたチャックテーブル１０と不図示の回転機構は、スライダ５２と共にＹ軸方向に沿って摺動可能である。

そして、内部ベース５１上の左右一対のガイドレール５３の間には、Ｙ軸方向（前後方向）に延びる回転可能なボールネジ５４が配設されており、該ボールネジ５４のＹ軸方向一端（図１の左端）は、駆動源である正逆転可能なサーボモータ５５に連結されている。また、ボールネジ５４のＹ軸方向他端（図１の右端）は、内部ベース５１上に立設された軸受５６によって内部ベース５１に回転可能に支持されている。そして、このボールネジ５４には、スライダ５２から下方に向かって突設された不図示のナット部材が螺合している。

したがって、サーボモータ５５を起動してボールネジ５４を正逆転させると、このボールネジ５４に螺合する不図示のナット部材がスライダ５２と共にボールネジ５４に沿ってＹ軸方向（前後方向）に摺動するため、このスライダ５２と共にチャックテーブル１０もＹ軸方向に沿って一体的に移動する。この結果、チャックテーブル１０の保持面に吸引保持されたウェーハＷもＹ軸方向に沿って移動する。

［研削装置の作用］
次に、以上のように構成された研削装置１によるウェーハＷの研削加工について説明する。

ウェーハＷの研削加工に際しては、該ウェーハＷが保護テープＴを下にしてチャックテーブル１０の保持面上に載置される。そして、チャックテーブル１０のポーラス部材１１が真空ポンプなどの不図示の吸引源に接続され、該ポーラス部材１１が真空引きされる。すると、ポーラス部材１１に負圧が発生し、この負圧に引かれてウェーハＷがチャックテーブル１０の保持面上に吸引保持される。

他方、水平移動機構５０が駆動され、チャックテーブル１０が＋Ｙ軸方向（後方）に移動し、該チャックテーブル１０に吸引保持されているウェーハＷが研削ユニット２０の研削ホイール２６の下方に位置決めされる。そして、不図示の回転機構によってチャックテーブル１０が回転し、該チャックテーブル１０の保持面に保持されているウェーハＷが所定の回転速度で回転駆動されるとともに、スピンドルモータ２３が駆動されて研削ホイール２６が所定の速度で回転駆動される。

そして、チャックテーブル１０の保持面に保持されたウェーハＷの裏面（上面）に研削砥石２６ｂの下面を接触させ、ウェーハＷの厚み（厚み測定器３０によって測定される厚み）が所定の厚みになるまで、研削送り機構４０によって研削砥石２６ｂを－Ｚ軸方向（保持面に接近する方向）に下降させる。これによって、ウェーハＷの裏面（上面）が研削され、その厚みが所定の厚みになるよう仕上げられる。

［研削ホイールの着脱構造］
ところで、研削ユニット２０においては、加工具である研削ホイール２６が複数本（図示例では、８本）のボルト２によってマウント２５に着脱可能に取り付けられているが、ここで、研削ホイール２６のマウント２５に対する着脱構造を図２に基づいて以下に説明する。なお、本実施形態においては、図１に示すように、８本のボルト２が周方向に等角度ピッチ（４５°ピッチ）で配置されているが、図２には、１本のボルト２による研削ホイール２６のマウント２５に対する着脱構造のみを図示している。

研削ホイール２６をマウント２５の下面に着脱可能に締結するための各ボルト２は、上端の頭部２Ａと、該頭部２Ａの下方の下端部に形成された雄ネジ部２Ｂと、該雄ネジ部２Ｂと頭部２Ａとを連結する首部２Ｃとを備えている。ここで、雄ネジ部２Ｂは、首部２Ｃの下端に形成された長さの短い第１雄ネジ部２ａと、その下方（当該ボルト２の下端部）に形成された長さの長い第２雄ネジ部２ｂと、これらの第１雄ネジ部２ａと第２雄ネジ部２ｃとを連結する連結部２ｃとで構成されている。ここで、第１雄ネジ部２ａの外径φｄ１は、第２雄ネジ部２ｂの外径φｄ２以上に設定されている（φｄ１≧φｄ２）。そして、連結部２ｃの外径は、第２雄ネジ部２ｂの外径φｄ２以下に設定されている（連結部２ｃの外径≦ｄ２）。なお、連結部２ｃを省略し、第１雄ネジ部２ａと第２雄ネジ部２ｂとを合体させてもよい。

また、マウント２５には、該マウント２５の上下面を貫通する複数（本実施形態では、ボルト２の本数と同数の８つ）の貫通孔３（図２には、１つのみ図示）が周方向に等角度ピッチ（４５°ピッチ）で上下方向に貫設されている。そして、各貫通孔３の上端側には、長さの短い第１ネジ穴３ａが形成されている。ここで、貫通孔３の第１ネジ穴３ａを除く部分の長さＬ２は、ボルト２の第１雄ネジ部２ａの下端から第２雄ネジ部２ｂの下端までの長さＬ１よりも長く設定されている（Ｌ２＞Ｌ１）。

さらに、研削ホイール２６には、複数（マウント２５の貫通孔３と同数の８つ）の第２ネジ穴４が周方向に等角度ピッチ（４５°ピッチ）で形成されている。ここで、各第２ネジ穴４には、ボルト２の第２雄ネジ部２ｂが螺合可能であり、マウント２５の第１ネジ穴３ａには、ボルト２の第１雄ネジ部２ａが螺合可能である。また、貫通孔３の内径φｄ２は、ボルト２の第１雄ネジ部２ａと第２雄ネジ部２ｂの外径φｄ１よりも大きく設定されている（φｄ２＞φｄ１）。なお、図２に示す５，６は、マウント２５と研削ホイール２６にそれぞれ形成された研削水供給路であって、これらの研削水供給路５，６を経て研削砥石２６ｂとウェーハＷとの接触部（加工領域）に研削水が供給される。

［研削ホイールの取付方法］
次に、研削ホイール２６のマウント２５への取付方法を図３に基づいて以下に説明する。

研削ホイール２６を複数本（本実施形態では８本）のボルト２によってマウント２５の下面に締結するには、マウント２５の中心と研削ホイール２６の中心とが同一軸上となるようにマウント２５の直下に研削ホイール２６を配置し、図３（ａ）に示すように、研削ホイール２６を、これに形成された複数（８つ）の第２ネジ穴４がマウント２５に形成された複数（８つ）の貫通孔３に周方向に合致するように位置決めした状態でマウント２５の下方に配置する。

次に、図３（ｂ）に示すように、研削ホイール２６をマウント２５の下面に当てた状態で、複数（８本）のボルト２（図３には、２本のみ図示）をマウント２５の貫通孔３にそれぞれ通し、各ボルト２を不図示の工具によって締め付け方向に回す。すると、各ボルト２の第２雄ネジ部２ｂと第１雄ネジ部２ａがマウント２５の第１ネジ穴３ａに順次螺合しつつ該第１ネジ穴３ａを通過し、各ボルト２の第２雄ネジ部２ｂが研削ホイール２６の第２ネジ穴４に螺合する。

上記状態から各ボルト２をその頭部２Ａの下面がマウント２５の上面に当たるまでさらに回すと、図３（ｃ）に示すように、各ボルト２の第２雄ネジ部２ｂが研削ホイール２６の第２ネジ穴４に確実にねじ込まれて研削ホイール２６が複数（８本）のボルト２による締結によってマウント２５に取り付けられる。なお、図３において、９はスピンドル２４の軸心に形成された研削水供給路である。

［研削ホイールの交換方法］
次に、研削加工によって研削砥石２６ｂが摩耗などしたために研削ホイール２６を新しいものと交換する場合の該研削ホイール２６の交換方法を図４に基づいて以下に説明する。

図４（ａ）に示すように、今まで使用していた研削ホイール２６の研削砥石２６ｂが摩耗などしたために該研削ホイール２６を新しいものと交換する必要がある場合には、複数（８本）の各ボルト２（図４には、１本のみ図示）を不図示の工具によって緩める方向に回す。すると、図４（ｂ）に示すように、各ボルト２の第２雄ネジ部２ｂの研削ホイール２６の第２ネジ穴４との螺合が外れ、該ボルト２の第１雄ネジ部２ａがマウント２５の第１ネジ穴３ａに螺合する状態となる。すると、研削ホイール２６のボルト２によるマウント２５への締結が解除され、該研削ホイール２６をマウント２５から取り外すことができる。

図４（ｂ）に示す状態においては、各ボルト２の第１雄ネジ部２ａがマウント２５の第１ネジ穴３ａに螺合して各ボルト２がマウント２５によって保持されているため、研削ホイール２６をマウント２５から取り外した状態において各ボルト２を紛失することがない。なお、前述のように、マウント２５の貫通孔３の第１ネジ穴３ａを除く部分の長さＬ２は、ボルト２の第１雄ネジ部２ａの下端から第２ネジ部２ｂの下端までの長さＬ１よりも長く設定されているため（Ｌ２＞Ｌ１）、図４（ｂ）に示すように、各ボルト２がマウント２５に保持されている状態においては、各ボルト２がマウント２５の下面から下方に突出することがない。

以上のようにして古い研削ホイール２６がマウント２５から取り外されると、図４（ｃ）に示すように、新しい研削ホイール２６’を、その第２ネジ穴４’がマウント２５の貫通孔３に合致するように位置決めした状態でマウント２５の下面に当て、マウント２５に保持されている各ボルト２を締め付け方向に回す。すると、図４（ｄ）に示すように、各ボルト２の第２雄ネジ部２ｂが研削ホイール２６’の第２ネジ穴４’に螺合する。そして、各ボルト２を、その頭部２Ａがマウント２５の上面に突き当たるまで締め付け方向に回すと、図４（ｅ）に示すように、各ボルト２の第２雄ネジ部２ｂが研削ホイール２６’の第２ネジ穴４’に確実にねじ込まれて新しい研削ホイール２６’がボルト２による締結によってマウント２５に取り付けられる。

以上のように、本実施形態では、古い研削ホイール２６を新しい研削ホイール２６’に交換する際には、各ボルト２をマウント２５から取り外すことなく該マウント２５に保持させておくようにしたため、ボルト２を紛失することがない。また、新しい研削ホイール２６’をマウント２５に取り付ける際には、マウント２５に保持されているボルト２をそのまま締め付け方向に回して新しい研削ホイール２６’をマウント２５に取り付けることができるため、交換作業を短時間で効率よく行うことができるという効果も得られる。

［本発明の別形態］
次に、本発明の別形態に係る着脱構造と該着脱構造による研削ホイール２６の取付方法を図５及び図６に基づいて以下に説明する。

本形態においては、図５に示すように、マウント２５の上面に別部材であるプレート７を取り付け、このプレート７の複数個所（周方向８箇所）に第１ネジ穴７ａを形成しており、他の構成は前記実施形態のそれと同じである。したがって、図５においては、図２～図４において示したものと同じ要素には同一符号を付しており、以下、それらについての再度の説明は省略する。

マウント２５とは別体に構成されたプレート７には、図６に示すように、ボルト２と同数の８つの第１ネジ穴７ａが周方向に等角度ピッチ（４５°ピッチ９）で形成されており、隣接する２つの第１ネジ穴７ａの間には、８つの円孔（ボルト挿通孔）７ｂが周方向に等角度ピッチ（４５°ピッチ）で形成されている。そして、プレート７は、各円孔７ｂに挿通するボルト８をマウント２５に形成された不図示のネジ穴にねじ込むことによって、図５に示すように、マウント２５の上面に取り付けられている。なお、プレート７をボルト８による締結に代えて溶接によってマウント２５の上面に取り付けるようにしてもよい。

本形態においても、前記実施形態と同様に研削ホイール２６をボルト２の締結によってマウント２５の下面に取り付けることができる。すなわち、図５（ａ）に示すように、研削ホイール２６を、これに形成された複数（８つ）の第２ネジ穴４がマウント２５に形成された複数（８つ）の貫通孔３に周方向に合致するように位置決めした状態でマウント２５の下方に配置する。

次に、図５（ｂ）に示すように、複数（８本）のボルト２（図５には、１本のみ図示）をマウント２５の貫通孔３にそれぞれ通し、各ボルト２を不図示の工具によって締め付け方向に回す。すると、各ボルト２の第２雄ネジ部２ｂと第１雄ネジ部２ａがプレート７の第１ネジ穴７ａに順次螺合しつつ該第１ネジ穴７ａを通過し、各ボルト２の第２雄ネジ部２ｂが研削ホイール２６の第２ネジ穴４に螺合する。

上記状態から各ボルト２をその頭部２Ａが図５（ｃ）に示すようにプレート７の上面に突き当たるまでさらに回すと、各ボルト２の第２雄ネジ部２ｂが研削ホイール２６の第２ネジ穴４に確実にねじ込まれて研削ホイール２６がボルト２による締結によってマウント２５に取り付けられる。

なお、プレート７は、リングでなくてもよい。円弧状であってもよい。その際は、第１ネジ穴７ａの両サイドに８つの円孔（ボルト挿通孔）７ｂを形成するとよい。また、円弧状のプレート７は、両面テープまたは接着剤で、マウントに取り付けてもよい。つまり、円弧状のプレート７は、既存のマウントに取り付けることにより、各ボルト２の紛失を防止することができる。

したがって、本形態においても、前記実施形態と同様に、ボルト２を紛失することなく、研削ホイール２６の交換を効率よく短時間で行うことができるという効果が得られる。

なお、以上は本発明に係る加工装置をウェーハの研削装置に対して適用した形態について説明したが、本発明は、ウェーハ以外の任意の被加工物を研削する研削装置、或いは研削装置以外の例えば研磨装置などもその適用対象に含むものである。

その他、本発明は、以上説明した実施の形態に適用が限定されるものではなく、特許請求の範囲及び明細書と図面に記載された技術的思想の範囲内で種々の変形が可能であることは勿論である。

１：研削装置（加工装置）、２：ボルト、２Ａ：ボルトの頭部、
２Ｂ：ボルトの雄ネジ部、２Ｃ：ボルトの首部、２ａ：第１雄ネジ部、
２ｂ：第２雄ネジ部、２ｃ：連結部、３：貫通孔、３ａ：第１ネジ穴、
４，４’：第２ネジ穴、５，６：研削水供給路、７：プレート、７ａ：第１ネジ穴、
７ｂ：円孔、８：ボルト、９：研削水供給路、１０：チャックテーブル、
１１：ポーラス部材、２０：研削ユニット、２１：ホルダ、
２２：スピンドルハウジング、２３：スピンドルモータ、２４：スピンドル、
２５：マウント、２６，２６’：研削ホイール（加工具）、２６ａ：基台、
２６ｂ：研削砥石（加工部材）、３０：厚み測定器、３１：第１の接触子、
３２：第２の接触子、４０：研削送り機構、４１：コラム、４２：昇降板、
４３：ガイドレール、４４：ボールネジ、４５：サーボモータ、４６：ブラケット、
５０：水平移動機構、５１：内部ベース、５２：スライダ、５３：ガイドレール、
５４：ボールネジ、５５：サーボモータ、５６：軸受、１００：ベース、
１００ａ：ベースの開口部、１０１：カバー、１０２，１０３：伸縮カバー、
φｄ１：ボルトの第１雄ネジ部と第２雄ネジ部の外径、φｄ２：第２ネジ穴の内径、
Ｌ１：ボルトの第１雄ネジ部の下端から第２雄ネジ部の下端までの長さ、
Ｌ２：貫通孔の第１ネジ穴を除く部分の長さ、Ｔ：保護テープ、Ｗ：ウェーハ

Claims (2)

1. スピンドルの先端に配置したマウントに加工具をボルトによって締結し、該スピンドルを回転させ回転する該加工具で、チャックテーブルに保持された被加工物を加工する加工装置であって、
   該マウントは、中心を中心に周方向に等角度で上下面を貫通する貫通孔と、該貫通孔の上端側に配置された第１ネジ穴と、を備え、
   該加工具は、円環状または円盤状の基台と、該基台の下面に配置されて被加工物を加工する加工部材と、該基台の該貫通孔に対応する位置に形成された第２ネジ穴と、を備え、
   該ボルトは、頭部と、該頭部の下に形成されて該第１ネジ穴と該第２ネジ穴に螺合可能な雄ネジ部と、該頭部と該雄ネジ部とを連結し該雄ネジ部よりも細い首部と、を備え、
   該第１ネジ穴に該雄ネジ部を螺合させ該雄ネジ部を該マウント内に収容させ該加工具を該マウントから離脱可能にし、該第１ネジ穴から該雄ネジ部を離脱させ該マウントに対し該ボルトを下降させ該雄ネジ部を該第２ネジ穴に螺合させ、該ボルトによって該マウントに該加工具を締結する、加工装置。
2. 該ボルトの該雄ネジ部は、該首部と連結する第１雄ネジ部と、該第１雄ネジ部の下に配置された第２雄ネジ部と、該第１雄ネジ部と該第２雄ネジ部とを連結し該第２雄ネジ部より細い連結部と、を備える、請求項１記載の加工装置。

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