JPH039972Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 この考案は、半導体ウエハ、セラミツクス、ガ
ラス等のような脆性硬質材料からなる被加工物
に、溝入れ加工を行なつたり、あるいは切断・分
離するために切削・溝入れ加工を行なう（以下単
にダイシング加工という）ダイシングマシンにお
いて外周刃を有するブレードを常に一定の締付力
でスピンドルに装着できるようにしたダイシング
マシンのブレード取付装置に関するものである。

第１図により従来のブレード取付方法について
説明する。図において、１０は高速回転するスピ
ンドルで、このスピンドル１０には先細のテーパ
状軸１２が形成されている。テーパ状軸１２には
ブツシユ１４が嵌め込まれて、ボルト１６で固定
される。ブツシユ１４にはドーナツ形のブレード
１８が挿入される。このブレード１８は、ブツシ
ユ１４と螺合するナツト２０を締付ることによつ
て、フランジ２２を介してブツシユ１４のブレー
ド挟持部１５との間で挟持される。このような従
来のブレード取付方法においては、ブレード１８
を装着するときの締付力、つまりナツト２０の締
付力は、作業者の勘に頼つているため、そのとき
どきによりばらつきがあり、次のような問題があ
つた。例えばナツト２０の締付力が強い場合に
は、フランジ２２を介してブツシユ１４のブレー
ド挟持部１５を変形させてしまい、スピンドル１
０を回転させたときに、ブレード１８に回転ブレ
が生じ、テーブル２４上に載置された被加工物２
６に対し高精度のダイシング加工が行なえないば
かりでなく、ブレードの寿命を早めることにもな
る。また、必要以上にブレード１８にひねりによ
る力が加わり、ブレード１８が変形・破損しやす
くなる等の問題もある。また、ナツト２０の締付
力が弱い場合には、ブレード１８に回転ブレが生
じ、上記と同様に高精度のダイシング加工が行な
えないとか、あるいはブレードの寿命を早める等
の問題があつた。

本考案は上記したような従来のブレード取付方
法の欠点を解決して、常に均一な締付力でブレー
ドをスピンドルに装着できるようにしたダイシン
グマシンのブレード取付装置を提供するものであ
る。

以下第２図ないし第４図により本考案の一実施
例について説明する。第２図は本考案のダイシン
グマシンのブレード取付部分の側断面図、第３図
は同正面図である。図において、３０は高速回転
するスピンドルで、このスピンドル３０には先細
のテーパ状軸３２が形成されている。テーパ状軸
３２にはブツシユ３４が嵌め込まれて、ボルト３
６で固定されている。ブツシユ３４の外方部には
溝３８が十字状に形成されている。ブツシユ３４
には外周面にダイヤモンド等の砥粒を固着された
ドーナツ形のブレード４０が挿入され、ブツシユ
３４のブレード挟持部４２とブツシユに挿入され
たフランジ４４との間で挟持されている。４６は
前記ブツシユ３４に左ねじで螺合するナツトで、
このナツト４６を締付けることにより、フランジ
４４を介してブレード４０を所定の締付力で挟持
できるようになつている。このナツト４６には、
小孔４７が図示の例では４個形成されている。な
お図において、４８はテーブル、５０はこのテー
ブル４８上に載置された被加工物である。

第４図は、本考案の締付具の一部断面を有する
側面図であつて、図において、５２は内側円筒部
材で、この内側円筒部材５２の一端には、前記し
たブツシユ３４の外方部に形成された十字状の溝
３８に挿入される突出部５４が形成されている。
また内側円筒部材５２の他の一端には、予め定め
たトルクにセツトしておけば、締付力がそのトル
クに達すると空回りし、均一な締付力を得ること
のできる公知のトルクドライバ５６が取付けられ
ている。５８は前記内側円筒部材５２の外周に、
回転可能に、かつ軸方向に摺動可能に嵌合された
外側筒部材で、その一端、つまり内側円筒部材５
２の突出部５４が形成されている側には、前記し
たナツト４６に形成されている小孔４７に挿入さ
れるための突起爪６０が設けられている。

このような構成の本考案より、ブレード４０を
一定の締付力により挟持する手順について説明す
る。まずテーパ状軸３２に、ブツシユ３４を挿入
してボルト３６で固定する。次にブレード４０、
続いてフランジ４４をブツシユ３４に挿入した
後、ナツト４６を軽くねじ込む。このようにして
から、締付具５１の内側円筒部材５２の突出部５
４を、ブツシユ３４の溝３８に挿入すると共に、
外側筒部材５８の突起爪６０を、ナツト４６の小
孔４７に挿入する。次いで一方の手で締付具５１
の外側筒部材５８を把持固定し、つまりナツト４
６を回転出来ないように固定し、他の一方の手で
トルクドライバ５６を右方向に回転させる。トル
クドライバ５６の先端の突出部５４は、ブツシユ
３４の溝３８に挿入されているので、トルクドラ
イバ５６の回転により、ブツシユ３４はスピンド
ル３０と一体となつて右方向に回転する。ブツシ
ユ３４とナツト４６とは、左ねじで螺合されてい
るため、トルクドライバ５６を右方向に回転させ
ることにより、両者は締め付けられる。締付力が
予め設定されたトルクに達すると、トルクドライ
バ５６は空回りし、それ以上の締付力は生ぜず、
従つてブレード４０は、ブレード挟持部４２とフ
ランジ４４との間で常に所定の締付力で挟持され
ることになる。なお、上記においては、外側筒部
材５８を固定し、トルクドライバ５６を回転させ
たが、これとは逆にトルクドライバ５６を固定
し、外側筒部材５８を左方向に回転させても、所
定の締付力でブレード４０を挟持できることは当
然である。

なお、上記実施例においては、ブツシユ３４に
設けられた溝３８は、凹状溝であるが、勿論これ
に限られず、トルクドライバ５６側の回転力が、
ブツシユ３４側に伝達される形状であれば、例え
ば凸状部でもよく、その場合は内側円筒部材５２
の突出部５４は、前記凸状部に合う凹状部とすれ
ばよい。また実施例においては、溝３８は十字状
に２本設けられているが、少なくとも１本、ほぼ
直径線上に設けたものでもよい。またナツト４６
に設けられた小孔４７は、実施例では円形の小孔
が４個設けられているが、これも勿論これに限ら
れず角孔、凹状溝、凸状部、等を少なくとも１個
設ければよく、この場合も外側筒部材５８の突起
爪６０は、前記それぞれの形状に係合する形状と
すればよい。

以上詳述したように本考案によれば、ダイシン
グマシンのブレードを常に最適な締付力でスピン
ドルに装着することができるので、従来のように
ブレードを取付ける度に生ずるばらつきに起因し
たブレードの回転ブレを防止でき、従つて被加工
物の高精度の加工が可能であると共に、ブレード
の破損等の事故を防止でき、かつブレードの寿命
を長くすることが出来る等種々の効果を奏するこ
とができた。

【図面の簡単な説明】

第１図は従来のブレード取付方法の一部断面を
有する側面図、第２図は本考案のダイシングマシ
ンのブレード取付部分の側断面図、第３図は同正
面図、第４図は本考案の締付具の一部断面を有す
る側面図。 ３０：スピンドル、３４：ブツシユ、４０：ブ
レード、４４：フランジ、４６：ナツト、５１：
締付具、５２：内側円筒部材、５６：トルクドラ
イバ、５８：外側筒部材。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 高速回転するブレードにより、被加工物にダイ
   シング加工を行なうダイシングマシンにおいて、
   高速回転する回転軸に固定され、外方部にブレー
   ド締付用の凹状部または凸状部を形成されたブツ
   シユと、前記ブツシユとの間で前記ブレードを挟
   持するフランジと、前記フランジを前記ブレード
   側へ押圧するべく前記ブツシユと螺合し、かつブ
   レード締付用の凹状部または凸状部を形成された
   ナツトと、一端に前記ブツシユに形成された凹状
   部または凸状部に係合する凸状部または凹状部を
   有し、他端にトルクドライバを取付けられた内側
   円筒部材と、一端に前記ナツトに形成された凹状
   部または凸状部に係合する凸状部または凹状部を
   有し、前記内側円筒部材に対し回転可能に係合す
   る外側筒部材とよりなるダイシングマシンのブレ
   ード取付装置。