JP3113375B2 - 超小型近接撮影装置を用いたｉｃ観察装置 - Google Patents
超小型近接撮影装置を用いたｉｃ観察装置Info
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- JP3113375B2 JP3113375B2 JP04055446A JP5544692A JP3113375B2 JP 3113375 B2 JP3113375 B2 JP 3113375B2 JP 04055446 A JP04055446 A JP 04055446A JP 5544692 A JP5544692 A JP 5544692A JP 3113375 B2 JP3113375 B2 JP 3113375B2
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- optical axis
- illumination
- reflecting mirror
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- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
- Electric Connection Of Electric Components To Printed Circuits (AREA)
- Lead Frames For Integrated Circuits (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、ＩＣ（集積回路）にお
ける端子のはんだ付け状態を観察（検査）するための装
置に関する。
ける端子のはんだ付け状態を観察（検査）するための装
置に関する。
【０００２】
【従来の技術】ＩＣの場合、基板の周囲には回路接続用
の端子がはんだ付けにより多数取り付けられている。従
来、このはんだ付けは超小型近接撮影装置を用いてはん
だ付け部分を拡大し、この拡大した像をモニター上に写
し出して観察している。
の端子がはんだ付けにより多数取り付けられている。従
来、このはんだ付けは超小型近接撮影装置を用いてはん
だ付け部分を拡大し、この拡大した像をモニター上に写
し出して観察している。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかし、上記超小型近
接撮影装置を用いて観察する場合、はんだ付け部分はＩ
Ｃの周囲に存在することから、超小型近接撮影装置を片
手に持ち、もう一方の手でＩＣを摘んでこれを回転させ
ないとＩＣ全体のはんだ付け部分を観察できないという
不便がある。このため、チップ１ケの観察に多くの時間
が必要である。
接撮影装置を用いて観察する場合、はんだ付け部分はＩ
Ｃの周囲に存在することから、超小型近接撮影装置を片
手に持ち、もう一方の手でＩＣを摘んでこれを回転させ
ないとＩＣ全体のはんだ付け部分を観察できないという
不便がある。このため、チップ１ケの観察に多くの時間
が必要である。
【０００４】本発明の目的は、超小型近接撮影装置を用
いて能率的にＩＣはんだ付け部分の観察を行うことが出
来るようにすることである。
いて能率的にＩＣはんだ付け部分の観察を行うことが出
来るようにすることである。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明に係るＩＣはんだ
付け部分の観察装置は次のとおりである。
付け部分の観察装置は次のとおりである。
【０００６】超小型近接撮影装置１に対してビス３によ
り固定自在の固定リング２と、この固定リング２に対し
て回転自在に取り付けられた回転リング４と、この回転
リング４と一緒に回転し、且つ光軸に置かれた光軸反射
ミラー７と、この光軸反射ミラー７に対してＩＣのハン
ダ付け部分を斜め上方から反射させ、この反射像を前記
光軸反射ミラー７に向けて投写することができ、前記回
転リング４により光軸反射ミラー７と一緒にＩＣの周囲
を回転する周回反射ミラー９と、超小型近接撮影装置１
側の照明用リングレンズの前面に位置し、照明用光路を
補正する照明光路補正用リングレンズ８と、から成る超
小型近接撮影装置におけるＩＣ観察装置。
り固定自在の固定リング２と、この固定リング２に対し
て回転自在に取り付けられた回転リング４と、この回転
リング４と一緒に回転し、且つ光軸に置かれた光軸反射
ミラー７と、この光軸反射ミラー７に対してＩＣのハン
ダ付け部分を斜め上方から反射させ、この反射像を前記
光軸反射ミラー７に向けて投写することができ、前記回
転リング４により光軸反射ミラー７と一緒にＩＣの周囲
を回転する周回反射ミラー９と、超小型近接撮影装置１
側の照明用リングレンズの前面に位置し、照明用光路を
補正する照明光路補正用リングレンズ８と、から成る超
小型近接撮影装置におけるＩＣ観察装置。
【０００７】
【作用】ＩＣを水平に置き、この上部中央に超小型近接
撮影装置を配置すると、ＩＣの周囲のはんだ付け部分に
光源から光ファイバーを経由して送られてきた照明光は
リングレンズから照明光路補正用リングレンズを介して
はんだ付け部分に照射される。この照明によって明るく
なったはんだ付け部分の像は周回反射ミラーから光軸反
射ミラーを経由して超小型近接撮影装置内に入り、拡大
されてＣＣＤに結像し、この像がテレビカメラを介して
モニターに写し出される。観察者は、このモニターによ
りはんだ付けの状態を観察する。そして、回転リングを
回転させると、一緒に周回反射ミラー及び中心ミラー及
び照明光路補正用リングミラーが回転し、ＩＣを一周す
る間に順次はんだ付け部分をモニターに写し出す。この
結果、ＩＣはそのまま固定し、回転リングを指先で１回
転させるだけで、ＩＣ全体のはんだ付け部分を迅速に観
察することができる。
撮影装置を配置すると、ＩＣの周囲のはんだ付け部分に
光源から光ファイバーを経由して送られてきた照明光は
リングレンズから照明光路補正用リングレンズを介して
はんだ付け部分に照射される。この照明によって明るく
なったはんだ付け部分の像は周回反射ミラーから光軸反
射ミラーを経由して超小型近接撮影装置内に入り、拡大
されてＣＣＤに結像し、この像がテレビカメラを介して
モニターに写し出される。観察者は、このモニターによ
りはんだ付けの状態を観察する。そして、回転リングを
回転させると、一緒に周回反射ミラー及び中心ミラー及
び照明光路補正用リングミラーが回転し、ＩＣを一周す
る間に順次はんだ付け部分をモニターに写し出す。この
結果、ＩＣはそのまま固定し、回転リングを指先で１回
転させるだけで、ＩＣ全体のはんだ付け部分を迅速に観
察することができる。
【０００８】
【実施例】図１に本発明の実施例を示す。１は超小型近
接撮影装置（以下「撮影装置」という）、２は撮影装置
１に対する固定リングにして、ビス３により固定されて
いる。４は固定リング２の外側において、この固定リン
グ２に対して回転自在に取り付けられた回転リング、５
は回転ハンドリング、６は回転リング４と一緒に回転す
る反射ミラー保持リングにして、この保持リング６の中
心には光軸上に位置するように光軸反射ミラー７が取り
付けられていると共にこの光軸反射ミラー７の周囲には
撮影装置１側の照明用リングレンズ（図示せず）に対応
する照明光路補正用リングレンズ８及びＩＣのはんだ付
け部分を斜め上方から写し出し、この像を光軸反射ミラ
ー７に投写する周回反射ミラー９が固定されている。な
お、照明光路補正用リングレンズ８は回転させなくても
よい。
接撮影装置（以下「撮影装置」という）、２は撮影装置
１に対する固定リングにして、ビス３により固定されて
いる。４は固定リング２の外側において、この固定リン
グ２に対して回転自在に取り付けられた回転リング、５
は回転ハンドリング、６は回転リング４と一緒に回転す
る反射ミラー保持リングにして、この保持リング６の中
心には光軸上に位置するように光軸反射ミラー７が取り
付けられていると共にこの光軸反射ミラー７の周囲には
撮影装置１側の照明用リングレンズ（図示せず）に対応
する照明光路補正用リングレンズ８及びＩＣのはんだ付
け部分を斜め上方から写し出し、この像を光軸反射ミラ
ー７に投写する周回反射ミラー９が固定されている。な
お、照明光路補正用リングレンズ８は回転させなくても
よい。
【０００９】図２は上記観察装置を用いて行う観察例の
説明図にして、１０はＩＣ、１１ははんだ付け部分にし
て、本発明観察装置を取り付けた撮影装置１をＩＣ１０
の直上に配置し、指先で回転リング４を例えば矢印ａ方
向に回転すると、周回反射ミラー９及び光軸反射ミラー
７がＩＣ１０の周りを回転し、照明光路補正用リングミ
ラー８で補正された照明光によりはんだ付け部分１１を
反射してこの反射像を撮影装置１内に結像させる。観察
者は、この結像をモニターで観察することにより、はん
だ付けの良及び不良を検査する。
説明図にして、１０はＩＣ、１１ははんだ付け部分にし
て、本発明観察装置を取り付けた撮影装置１をＩＣ１０
の直上に配置し、指先で回転リング４を例えば矢印ａ方
向に回転すると、周回反射ミラー９及び光軸反射ミラー
７がＩＣ１０の周りを回転し、照明光路補正用リングミ
ラー８で補正された照明光によりはんだ付け部分１１を
反射してこの反射像を撮影装置１内に結像させる。観察
者は、この結像をモニターで観察することにより、はん
だ付けの良及び不良を検査する。
【００１０】
【発明の効果】本発明は以上のように、ＩＣを水平に置
き、この上で回転リングにより反射ミラーを回転させる
だけでＩＣ全体のはんだ付け状態を観察することができ
るので、はんだ付けの検査作業を能率的に行うことがで
きる。
き、この上で回転リングにより反射ミラーを回転させる
だけでＩＣ全体のはんだ付け状態を観察することができ
るので、はんだ付けの検査作業を能率的に行うことがで
きる。
【図１】本発明に係る観察装置の断面図。
【図２】ＩＣ観察作業の説明図。
１ 超小型近接撮影装置 ２ 固定リング ３ ビス ４ 回転リング ５ 回転ハンドリング ６ 反射ミラー保持リング ７ 光軸反射ミラー ８ 照明光路補正用リングレンズ ９ 周回反射ミラー １０ ＩＣ １１ はんだ付け部分
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 ＦＩ Ｈ０５Ｋ 3/34 ５１２ Ｈ０５Ｋ 3/34 ５１２Ｂ (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) G01N 21/84 G01N 21/956 G01B 11/30 H01L 21/66 H01L 23/50 H05K 3/34 512
Claims (1)
- 【請求項１】 超小型近接撮影装置１に対してビス３に
より固定自在の固定リング２と、この固定リング２に対
して回転自在に取り付けられた回転リング４と、この回
転リング４と一緒に回転し、且つ光軸に置かれた光軸反
射ミラー７と、この光軸反射ミラー７に対してＩＣのハ
ンダ付け部分を斜め上方から反射させ、この反射像を前
記光軸反射ミラー７に向けて投写することができ、前記
回転リング４により光軸反射ミラー７と一緒にＩＣの周
囲を回転する周回反射ミラー９と、超小型近接撮影装置
１側の照明用リングレンズの前面に位置し、照明用光路
を補正する照明光路補正用リングレンズ８と、から成る
超小型近接撮影装置におけるＩＣ観察装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP04055446A JP3113375B2 (ja) | 1992-03-13 | 1992-03-13 | 超小型近接撮影装置を用いたｉｃ観察装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP04055446A JP3113375B2 (ja) | 1992-03-13 | 1992-03-13 | 超小型近接撮影装置を用いたｉｃ観察装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05256785A JPH05256785A (ja) | 1993-10-05 |
| JP3113375B2 true JP3113375B2 (ja) | 2000-11-27 |
Family
ID=12998828
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP04055446A Expired - Lifetime JP3113375B2 (ja) | 1992-03-13 | 1992-03-13 | 超小型近接撮影装置を用いたｉｃ観察装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3113375B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009109276A (ja) * | 2007-10-29 | 2009-05-21 | Canon Machinery Inc | 検査装置及び検査方法 |
| JP5507138B2 (ja) * | 2009-07-10 | 2014-05-28 | 株式会社ハイロックス | 超小型近接撮影装置用アダプター |
| JP2013232753A (ja) * | 2012-04-27 | 2013-11-14 | Hairokkusu:Kk | 周面立体観察装置 |
-
1992
- 1992-03-13 JP JP04055446A patent/JP3113375B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH05256785A (ja) | 1993-10-05 |
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