JPH06347233A - 外観検査装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 ＩＣのリードなどを検査する外観検査装置に
おいて、光学部品を削減し、装置の簡略化と価格低減を
実現する外観検査装置を提供する。 【構成】 カメラによって外観を検査する外観検査装置
であって、被検査部であるＩＣ６のリード６ａを分割し
て撮影する第１カメラ７および第２カメラ８と、前記カ
メラ７，８によって撮影された画像により、リード６ａ
のリードピッチ計測を行う画像処理装置９と、前記カメ
ラ７，８によって撮影された画像を出力するモニタ１０
とから構成されるものである。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、電子部品など、例えば
半導体製造技術における半導体集積回路装置（以下、Ｉ
Ｃと略す）の外観を検査する装置に関して、光学系の部
品を削減した外観検査技術に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】従来の外観検査装置においては、ＩＣの
大きさやピンの数の増加に伴い、外観検査を実施する視
野を複数のカメラによって分割してその画像を取り込ん
でいる。

【０００３】例えば、一辺に５２ピンを備えたＱＦＰ−
２０８ピンのＩＣのリードを検査する場合には、その一
辺をカメラ２台によって視野分割し、計測するのが一般
的である。

【０００４】また、この分割方法では、プリズムやハー
フミラーなどの光学部品を用いて、光路を２分割して計
測を実施している。

【０００５】ここで、従来の外観検査装置の構造の一例
を図３の構成図に示す。

【０００６】図３を用いて、従来の外観検査装置の構成
を説明すると、検査物であるＩＣ１のリード１ａを、分
割して映し出す第１カメラ２および第２カメラ３と、入
射光をそのまま透過する機能と入射光の光路を変換する
機能との両方を備えるハーフミラー４と、入射光を反射
させるミラー５とから構成されるものである。

【０００７】次に、図３を用いて、従来の外観検査装置
の撮影光路について説明すると、第１カメラ２は、ハー
フミラー４によって光路を変換されることなく、そのま
まＩＣ１のリード１ａの向かって左側半分を撮影し、第
２カメラ３は、ミラー５とハーフミラー４とによって光
路を変換され、リード１ａの向かって右側半分を撮影し
ている。

【０００８】つまり、ハーフミラー４やミラー５などの
光学部品が使用されており、さらに、第１カメラ２と第
２カメラ３とによって、その光路を２分割して計測を行
っている。

【０００９】また、実際の計測は、図示しない画像処理
装置のソフト上において、リード１ａのピッチなどの計
測を行っている。

【００１０】

【発明が解決しようとする課題】ところが、前記した従
来技術においては、第１カメラ２と第２カメラ３の２台
のカメラが、ＩＣ１のリード１ａに対して真正面から撮
影しようとした場合、前記カメラ２，３とリード１ａと
の大きさの違いや、光を照射するライティングの関係か
ら２台のカメラ２，３をリード１ａの真正面に配置する
のは無理である。

【００１１】そのため、従来の外観検査装置では、ハー
フミラー４やミラー５などの光学部品を設置することに
よって、２台のカメラ２，３の光路がリード１ａの真正
面から入るように種々のユニットが設置されている。

【００１２】したがって、２台のカメラ２，３の光路の
途中にハーフミラー４やミラー５などの光学部品が必要
とされるため、装置に設置される光学系が複雑なものと
なり、前記光学部品に起因するトラブルが多数発生する
ことがある。

【００１３】また、装置全体で使用するスペースも増
え、さらに、装置の価格も高価なものとなっている。

【００１４】本発明の目的は、ＩＣのリードなどを検査
する外観検査装置において、光学部品を削減し、装置の
簡略化と価格低減を実現する外観検査装置を提供するこ
とにある。

【００１５】本発明の前記ならびにその他の目的と新規
な特徴は、本明細書の記述および添付図面から明らかに
なるであろう。

【００１６】

【課題を解決するための手段】本願において開示される
発明のうち、代表的なものの概要を簡単に説明すれば、
以下のとおりである。

【００１７】すなわち、ＩＣのリードなどを検査する外
観検査装置であって、検査物の被検査部を分割して撮影
するための少なくとも２台のカメラが、それぞれ前記被
検査部を水平斜め方向から撮影するように設置されるも
のである。

【００１８】さらに、前記水平斜め方向からの撮影であ
るために発生する画像の歪みを補正する補正手段が設け
られるものである。

【００１９】また、前記補正手段は、設定された補正係
数を乗じることによって、前記画像の歪みを補正するプ
ログラムである。

【００２０】

【作用】前記した手段によれば、検査物の被検査部を分
割して撮影するための少なくとも２台のカメラが、それ
ぞれ被検査部を水平斜め方向から撮影するように設置さ
れるため、前記２台のカメラと被検査部との大きさの違
いや、光を照射するライティングに影響されることなく
前記２台のカメラが被検査部を撮影することができる。

【００２１】さらに、前記画像の歪みを補正するための
補正手段が設けられるため、従来の外観検査装置におい
て使用していた多数の光学部品を削減できる。

【００２２】

【実施例】図１は本発明の一実施例である外観検査装置
の構成を示す構成解説図であり、また、図２は本発明の
一実施例である外観検査装置におけるカメラ画像を示す
画像解説図であり、（ａ）は第１カメラによる画像、
（ｂ）は第２カメラによる画像を示す画像解説図であ
る。

【００２３】まず、図１を用いて、本実施例の外観検査
装置の構成を説明すると、被検査部であるＩＣ６のリー
ド６ａを分割して撮影する第１カメラ７および第２カメ
ラ８と、前記カメラ７，８によって撮影された画像によ
り、リード６ａのリードピッチ計測を行う画像処理装置
９と、前記カメラ７，８によって撮影された画像を出力
するモニタ１０とから構成されるものである。

【００２４】次に、図１および図２を用いて、本発明に
よる外観検査装置の検査原理について説明する。

【００２５】図１において、第１カメラ７と第２カメラ
８とは、ＩＣ６の一辺のリード６ａを２分割して撮影す
るように設置されたものであり、さらに、前記カメラ
７，８は、それぞれＩＣ６のリード６ａを水平斜め方向
から撮影するようにＩＣ６の一辺に対しα度傾いて設置
されている。

【００２６】したがって、第１カメラ７と第２カメラ８
とがそれぞれα度傾いて設置されることにより、前記カ
メラ７，８とＩＣ６のリード６ａの大きさの違いや光を
照射するライティングに影響されることなく、カメラ
７，８がＩＣ６のリード６ａを撮影することができる。

【００２７】続いて、第１カメラ７と第２カメラ８とが
映した画像が、画像処理装置９を介してモニタ１０に出
力される。この時、前記画像処理装置９内の図示しない
計測ソフトによってリード６ａのピッチの計測が行われ
ている。

【００２８】図２は、第１カメラ７および第２カメラ８
が映した画像を示すものであり、（ａ）に示す第１カメ
ラによる画像は、第１カメラ７が映したＩＣ６のリード
６ａの向かって左半分の画像である。また、（ｂ）に示
す第２カメラによる画像は、第２カメラ８が映したＩＣ
６のリード６ａの向かって右半分の画像である。

【００２９】ところが、第１カメラ７および第２カメラ
８が、それぞれα度傾いて水平斜め方向から撮影するよ
うに設置されているため、図２（ａ）に示すピッチの値
は、Ｐ１＞Ｐ２となり、また、図２（ｂ）に示すピッチ
の値は、Ｐ４＞Ｐ３となり、それぞれ誤差を含んだ計測
値となっている。

【００３０】この結果、前記誤差が生じないように、各
リード位置に応じた補正係数を乗じるような補正手段で
あるプログラムが、画像処理装置９内の図示しない計測
ソフト上に組み込まれているため、前記誤差を含んでい
ない正しい計測値を出力することができる。

【００３１】以上、本発明者によってなされた発明を実
施例に基づき具体的に説明したが、本発明は前記実施例
に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲
で種々変更可能であることは言うまでもない。

【００３２】例えば、本実施例においては、被検査物と
してＩＣのリードについて説明したが、被検査物は他の
電子部品などであってもかまわない。

【００３３】

【発明の効果】本願において開示される発明のうち、代
表的なものによって得られる効果を簡単に説明すれば、
下記のとおりである。

【００３４】（１）．少なくとも２台のカメラが検査物
の被検査部を水平斜め方向から撮影するように設置さ
れ、さらに画像の歪みを補正するための補正手段が設け
られるため、従来の外観検査装置において使用されてい
た多数の光学部品を削減することができ、そのため装置
全体にかかる価格を大幅に低減できる。

【００３５】（２）．従来の外観検査装置において使用
されていた多数の光学部品を削減することができるた
め、装置の簡略化が実現でき、そのためスペースの有効
活用ができる。

【００３６】（３）．従来の外観検査装置において使用
されていた多数の光学部品を削減することができるた
め、装置の光路系が単純化され、そのため光学部品に起
因するトラブルを減らすことができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施例である外観検査装置の構造の
一例を示す構成解説図である。

【図２】本発明の一実施例である外観検査装置における
カメラ画像を示す画像解説図であり、（ａ）は第１カメ
ラによる画像、（ｂ）は第２カメラによる画像を示す図
である。

【図３】従来の外観検査装置の構造の一例を示す構成解
説図である。

【符号の説明】

１ ＩＣ １ａ リード ２ 第１カメラ ３ 第２カメラ ４ ハーフミラー ５ ミラー ６ ＩＣ ６ａ リード ７ 第１カメラ ８ 第２カメラ ９ 画像処理装置 １０ モニタ Ｐ１，Ｐ２，Ｐ３，Ｐ４ ピッチの値

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 カメラによって外観を検査する装置であ
   って、検査物の被検査部を水平斜め方向から分割して撮
   影するように配置された少なくとも２台のカメラと、前
   記カメラによって取り込まれた情報を処理する画像処理
   装置と、前記情報を出力するモニタと、前記カメラによ
   って映し出された画像の歪みを補正する補正手段とから
   なることを特徴とする外観検査装置。
2. 【請求項２】 前記補正手段は、設定された補正係数を
   乗じることによって、前記画像の歪みを補正するプログ
   ラムであることを特徴とする請求項１記載の外観検査装
   置。