JP2000125289A - 凹部強調画像の作成方法 - Google Patents
凹部強調画像の作成方法Info
- Publication number
- JP2000125289A JP2000125289A JP29347098A JP29347098A JP2000125289A JP 2000125289 A JP2000125289 A JP 2000125289A JP 29347098 A JP29347098 A JP 29347098A JP 29347098 A JP29347098 A JP 29347098A JP 2000125289 A JP2000125289 A JP 2000125289A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- image
- test piece
- concave portion
- sample
- recessed part
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Image Processing (AREA)
- Closed-Circuit Television Systems (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 非接触で且つ比較的短時間で、試料表面にあ
る凹部の位置及び形状を正確に観察することが可能な凹
部強調画像の作成方法を提供する。 【解決手段】 観察対象の試料１は、表面に凹部を有し
ている。試料１の正面には、撮影用のカメラ２が配置さ
れ、試料１の周囲を四方向から取り囲む様に、且つ試料
１の表面を斜めに望む角度で、４台の照明光源１１〜１
４が配置されている。なお、試料１の表面の凹部の輪郭
線を正確に撮影するため、各照明光源１１〜１４による
照射角を、５℃〜２５℃程度に設定する。各照明光源１
１〜１４を単独に使用して、それぞれ、試料表面を撮影
する。次に、上記の様にして撮影された複数の画像を用
いて合成画像を作成する。
る凹部の位置及び形状を正確に観察することが可能な凹
部強調画像の作成方法を提供する。 【解決手段】 観察対象の試料１は、表面に凹部を有し
ている。試料１の正面には、撮影用のカメラ２が配置さ
れ、試料１の周囲を四方向から取り囲む様に、且つ試料
１の表面を斜めに望む角度で、４台の照明光源１１〜１
４が配置されている。なお、試料１の表面の凹部の輪郭
線を正確に撮影するため、各照明光源１１〜１４による
照射角を、５℃〜２５℃程度に設定する。各照明光源１
１〜１４を単独に使用して、それぞれ、試料表面を撮影
する。次に、上記の様にして撮影された複数の画像を用
いて合成画像を作成する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、試料の表面にある
凹部の形状の観察あるいは計測を行うための画像の作成
方法に係り、特に、凹部の形状及び位置を強調した画像
を作成するための方法に関する。
凹部の形状の観察あるいは計測を行うための画像の作成
方法に係り、特に、凹部の形状及び位置を強調した画像
を作成するための方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、撮影された画像に基づいて試料の
表面の観察を行う場合、試料の表面にある凹部とその周
囲の平面部分との間で明暗の差が少ないので、凹部の位
置及び形状を正確に把握することは必ずしも容易ではな
かった。このため、凹部の位置及び形状を正確に観察す
る必要がある場合には、例えば、凹部の中に着色液を充
填して撮影を行うなどの方法が採用されていた。
表面の観察を行う場合、試料の表面にある凹部とその周
囲の平面部分との間で明暗の差が少ないので、凹部の位
置及び形状を正確に把握することは必ずしも容易ではな
かった。このため、凹部の位置及び形状を正確に観察す
る必要がある場合には、例えば、凹部の中に着色液を充
填して撮影を行うなどの方法が採用されていた。
【０００３】しかし、着色液を使用する方法は、着色液
が観察対象の試料に直接接触するので、適用可能な対象
が限定される。また、凹部の中への着色液の充填、ある
いは撮影終了後の着色液の除去などの作業に手間が掛
り、一画像の作成にかなりの時間を要する。
が観察対象の試料に直接接触するので、適用可能な対象
が限定される。また、凹部の中への着色液の充填、ある
いは撮影終了後の着色液の除去などの作業に手間が掛
り、一画像の作成にかなりの時間を要する。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】本発明は、試料表面に
有る凹部を撮影画像を用いて観察する際の上記の様な問
題点に鑑み成されたもので、本発明の目的は、非接触で
且つ比較的短時間で、試料表面上の凹部の位置及び形状
を正確に観察することが可能な凹部強調画像の作成方法
を提供することにある。
有る凹部を撮影画像を用いて観察する際の上記の様な問
題点に鑑み成されたもので、本発明の目的は、非接触で
且つ比較的短時間で、試料表面上の凹部の位置及び形状
を正確に観察することが可能な凹部強調画像の作成方法
を提供することにある。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明の凹部強調画像の
作成方法は、試料の表面にある凹部の観察を行うための
凹部強調画像の作成方法であって、前記表面の正面にカ
メラを配置するとともに、前記表面を斜めに望む複数の
位置にそれぞれ光源を配置し、各光源を単独に使用し
て、それぞれ前記表面の撮影を行った後、撮影された各
画像を用いて合成画像を作成することを特徴とする。
作成方法は、試料の表面にある凹部の観察を行うための
凹部強調画像の作成方法であって、前記表面の正面にカ
メラを配置するとともに、前記表面を斜めに望む複数の
位置にそれぞれ光源を配置し、各光源を単独に使用し
て、それぞれ前記表面の撮影を行った後、撮影された各
画像を用いて合成画像を作成することを特徴とする。
【０００６】本発明の凹部強調画像の作成方法によれ
ば、非接触で且つ比較的短時間で、試料表面にある凹部
の位置及び形状を正確に捉えた合成画像を作成すること
ができる。
ば、非接触で且つ比較的短時間で、試料表面にある凹部
の位置及び形状を正確に捉えた合成画像を作成すること
ができる。
【０００７】なお、前記光源とは別に同軸落射用の光源
を配置し、同軸落射でも撮影を行い、この同軸落射で撮
影された画像と前記合成画像とを用いて最終的な合成画
像を作成すれば、試料の表面に凹部とは別に光の反射率
が異なる部分が共存していても、この部分を凹部として
捉えることなく、真の凹部のみを正確に捉えた合成画像
を作成することができる。
を配置し、同軸落射でも撮影を行い、この同軸落射で撮
影された画像と前記合成画像とを用いて最終的な合成画
像を作成すれば、試料の表面に凹部とは別に光の反射率
が異なる部分が共存していても、この部分を凹部として
捉えることなく、真の凹部のみを正確に捉えた合成画像
を作成することができる。
【０００８】
【発明の実施の形態】（例１）図１に、本発明に基づく
凹部強調画像の作成方法において使用される撮影システ
ムの概要を示す。図中、１は観察対象の試料、２はカメ
ラ、１１〜１５は照明光源である。
凹部強調画像の作成方法において使用される撮影システ
ムの概要を示す。図中、１は観察対象の試料、２はカメ
ラ、１１〜１５は照明光源である。
【０００９】試料１は、表面に凹部を有している。試料
１の正面には、撮影用のカメラ２が配置されている。試
料１の周囲を四方向から取り囲む様に、且つ試料１の表
面を斜めに望む角度で、４台の照明光源１１〜１４が配
置されている。また、カメラ２のレンズの周囲には、同
軸落射用の照明光源１５が配置されている。
１の正面には、撮影用のカメラ２が配置されている。試
料１の周囲を四方向から取り囲む様に、且つ試料１の表
面を斜めに望む角度で、４台の照明光源１１〜１４が配
置されている。また、カメラ２のレンズの周囲には、同
軸落射用の照明光源１５が配置されている。
【００１０】なお、試料１の表面の凹部の輪郭線を正確
に撮影するためには、各照明光源１１〜１４による照射
角を、５℃〜２５℃程度に設定すると良い。また、照明
光源の数は、観察対象の凸部の形状、観察の要求精度な
どによって異なるが、通常、３〜６台程度が適当であ
る。
に撮影するためには、各照明光源１１〜１４による照射
角を、５℃〜２５℃程度に設定すると良い。また、照明
光源の数は、観察対象の凸部の形状、観察の要求精度な
どによって異なるが、通常、３〜６台程度が適当であ
る。
【００１１】図２に、上記の撮影システムを用いて、各
照明光源１１〜１４を単独に使用して、それぞれ、試料
表面を撮影した画像の模式図を示す。図中、画像２１、
２２、２３及び２４は、それぞれ、照明光源１１、１
２、１３及び１４を単独に使用して撮影された画像を表
している。試料表面に対して斜めの方向から光が照射さ
れているので、試料表面の凹部の側壁及び底部に影が生
じている。
照明光源１１〜１４を単独に使用して、それぞれ、試料
表面を撮影した画像の模式図を示す。図中、画像２１、
２２、２３及び２４は、それぞれ、照明光源１１、１
２、１３及び１４を単独に使用して撮影された画像を表
している。試料表面に対して斜めの方向から光が照射さ
れているので、試料表面の凹部の側壁及び底部に影が生
じている。
【００１２】次に、上記の様に複数の照明光源を用いて
撮影された複数の画像を用いて、例えば、以下の様に画
像処理を行って合成画像を作成する。即ち、合成画像に
おける各画素の明るさ（濃淡）を決定するに当たり、同
一座標の画素についての画像２１〜２４のそれぞれの明
るさを比較して、その内の最も明るさが低いデータ（最
も暗いデータ）を、合成画像における当該画素の明るさ
とする。
撮影された複数の画像を用いて、例えば、以下の様に画
像処理を行って合成画像を作成する。即ち、合成画像に
おける各画素の明るさ（濃淡）を決定するに当たり、同
一座標の画素についての画像２１〜２４のそれぞれの明
るさを比較して、その内の最も明るさが低いデータ（最
も暗いデータ）を、合成画像における当該画素の明るさ
とする。
【００１３】例えば、図３に示す様に、撮影画像の左上
の画素を原点として、Ｘ−Ｙ座標を設定した場合、座標
（Ｘ１、Ｙ１）で表される画素の明るさが、画像２１に
おいて２００、画像２２において１５６、画像２３にお
いて１００、画像２４において１６０であるとすると、
合成画像における座標（Ｘ１、Ｙ１）の画素の明るさは
１００となる。
の画素を原点として、Ｘ−Ｙ座標を設定した場合、座標
（Ｘ１、Ｙ１）で表される画素の明るさが、画像２１に
おいて２００、画像２２において１５６、画像２３にお
いて１００、画像２４において１６０であるとすると、
合成画像における座標（Ｘ１、Ｙ１）の画素の明るさは
１００となる。
【００１４】この様な操作を、全画素について実施する
ことによって、例えば図４に示す様に、凹部全体もしく
は凹部の輪郭が強調された合成画像が得られる。
ことによって、例えば図４に示す様に、凹部全体もしく
は凹部の輪郭が強調された合成画像が得られる。
【００１５】なお、合成画像における各画素の明るさの
決定方法は、上記で例示した方法のみに限定されるもの
ではなく、各画素について最も明るさが低いデータが反
映されるものであれば、他の類似の方法を用いることも
できる。
決定方法は、上記で例示した方法のみに限定されるもの
ではなく、各画素について最も明るさが低いデータが反
映されるものであれば、他の類似の方法を用いることも
できる。
【００１６】（例２）図５を用いて、本発明に基づく画
像作成方法の他の例について説明する。
像作成方法の他の例について説明する。
【００１７】この図は、試料１の表面に、前述した凹部
とは別に光の反射率が異なる部分３が共存する場合の画
像を表している。５１は、前述した照明光源１１〜１４
を用いて撮影した画像を合成して得た図４と同様の合成
画像であり、５２は、同軸落射用の照明光源１５のみを
使用して撮影した画像である。
とは別に光の反射率が異なる部分３が共存する場合の画
像を表している。５１は、前述した照明光源１１〜１４
を用いて撮影した画像を合成して得た図４と同様の合成
画像であり、５２は、同軸落射用の照明光源１５のみを
使用して撮影した画像である。
【００１８】このように試料１の表面に、光の反射率が
異なる部分３が存在する場合には、合成画像５１の中に
光の反射率が異なる部分３の画像が現れ、これを凹部と
して捉えてしまう。そこで、この例では、光の反射率が
異なる部分３を、上記画像５２で示すように、同軸落射
で撮影して捉える。この同軸落射で撮影した画像５２に
は、凹部はほとんど現れず、光の反射率が異なる部分３
が現れる。
異なる部分３が存在する場合には、合成画像５１の中に
光の反射率が異なる部分３の画像が現れ、これを凹部と
して捉えてしまう。そこで、この例では、光の反射率が
異なる部分３を、上記画像５２で示すように、同軸落射
で撮影して捉える。この同軸落射で撮影した画像５２に
は、凹部はほとんど現れず、光の反射率が異なる部分３
が現れる。
【００１９】この同軸落射により撮影した画像５２の前
記部分３の明るさと、合成画像５１における前記部分３
の明るさは、等しくはないが、比較的近似した明るさを
示す。このため、両画像５１、５２の対応した画素の明
るさを比較し、その差が予め定めた許容値よりも小さい
ときは、前記部分３であり、許容値以上のときに凹部で
あると判定する。この方法によれば、試料１の表面に光
の反射率が異なる部分３が存在しても、これに左右され
ずに真の凹部のみが正確に捉えられる。
記部分３の明るさと、合成画像５１における前記部分３
の明るさは、等しくはないが、比較的近似した明るさを
示す。このため、両画像５１、５２の対応した画素の明
るさを比較し、その差が予め定めた許容値よりも小さい
ときは、前記部分３であり、許容値以上のときに凹部で
あると判定する。この方法によれば、試料１の表面に光
の反射率が異なる部分３が存在しても、これに左右され
ずに真の凹部のみが正確に捉えられる。
【００２０】
【発明の効果】本発明の凹部強調画像の作成方法によれ
ば、非接触で且つ比較的短時間で、試料表面にある凹部
の位置及び形状を正確に捉えた合成画像を作成すること
ができる。
ば、非接触で且つ比較的短時間で、試料表面にある凹部
の位置及び形状を正確に捉えた合成画像を作成すること
ができる。
【図１】本発明に基づく凹部強調画像の作成方法におい
て使用される撮影システムの概要を示す図。
て使用される撮影システムの概要を示す図。
【図２】図１の撮影システムを用いて撮影された画像の
例を示す模式図。
例を示す模式図。
【図３】複数の方向からの照射光を用いて撮影された画
像から合成画像を作成する方法について説明する図。
像から合成画像を作成する方法について説明する図。
【図４】本発明に基づく凹部強調画像の作成方法に基づ
いて作成された合成画像の一例を示す図。
いて作成された合成画像の一例を示す図。
【図５】本発明に基づく凹部強調画像の作成方法の他の
例について説明する図。
例について説明する図。
１・・・観察対象の試料、 ２・・・カメラ、 ３・・・光の反射率が異なる部分、 １１、１２、１３、１４・・・照明光源、 ２１、２２、２３、２４・・・各照射光を用いて撮影さ
れた画像。 ５１・・・合成画像、 ５２・・・同軸落射で撮影した画像。
れた画像。 ５１・・・合成画像、 ５２・・・同軸落射で撮影した画像。
Claims (2)
- 【請求項１】 試料の表面にある凹部の観察を行うため
の凹部強調画像の作成方法であって、 前記表面の正面にカメラを配置するとともに、前記表面
を斜めに望む複数の位置にそれぞれ光源を配置し、 各光源を単独に使用して、それぞれ前記表面の撮影を行
った後、 撮影された各画像を用いて合成画像を作成することを特
徴とする凹部強調画像の作成方法。 - 【請求項２】 前記光源とは別に同軸落射用の光源を配
置し、同軸落射でも撮影を行い、この同軸落射で撮影さ
れた画像と前記合成画像とを用いて最終的な合成画像を
作成することを特徴とする請求項１に記載の凹部強調画
像の作成方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP29347098A JP2000125289A (ja) | 1998-10-15 | 1998-10-15 | 凹部強調画像の作成方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP29347098A JP2000125289A (ja) | 1998-10-15 | 1998-10-15 | 凹部強調画像の作成方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000125289A true JP2000125289A (ja) | 2000-04-28 |
Family
ID=17795173
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP29347098A Pending JP2000125289A (ja) | 1998-10-15 | 1998-10-15 | 凹部強調画像の作成方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2000125289A (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006329659A (ja) * | 2005-05-23 | 2006-12-07 | Universal Shipbuilding Corp | 鋼材の形状認識方法及び装置 |
| JP2014206388A (ja) * | 2013-04-10 | 2014-10-30 | オリンパス株式会社 | 撮像装置、画像処理装置及び画像処理方法 |
| JP2016116589A (ja) * | 2014-12-19 | 2016-06-30 | カシオ計算機株式会社 | 描画装置、描画装置の動作制御方法及び描画装置の動作制御プログラム |
| JP2017169727A (ja) * | 2016-03-23 | 2017-09-28 | カシオ計算機株式会社 | 描画装置及び描画装置の描画方法 |
| JP2020185395A (ja) * | 2016-03-23 | 2020-11-19 | カシオ計算機株式会社 | 描画装置及び描画装置の描画方法 |
| JP2021191436A (ja) * | 2020-07-08 | 2021-12-16 | カシオ計算機株式会社 | 描画装置及び描画方法 |
-
1998
- 1998-10-15 JP JP29347098A patent/JP2000125289A/ja active Pending
Cited By (11)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006329659A (ja) * | 2005-05-23 | 2006-12-07 | Universal Shipbuilding Corp | 鋼材の形状認識方法及び装置 |
| JP4711401B2 (ja) * | 2005-05-23 | 2011-06-29 | ユニバーサル造船株式会社 | 鋼材の形状認識方法及び装置 |
| JP2014206388A (ja) * | 2013-04-10 | 2014-10-30 | オリンパス株式会社 | 撮像装置、画像処理装置及び画像処理方法 |
| JP2016116589A (ja) * | 2014-12-19 | 2016-06-30 | カシオ計算機株式会社 | 描画装置、描画装置の動作制御方法及び描画装置の動作制御プログラム |
| US10318838B2 (en) | 2014-12-19 | 2019-06-11 | Casio Computer Co., Ltd. | Drawing apparatus, operation control method for drawing apparatus, and computer-readable recording medium |
| JP2017169727A (ja) * | 2016-03-23 | 2017-09-28 | カシオ計算機株式会社 | 描画装置及び描画装置の描画方法 |
| JP2020185395A (ja) * | 2016-03-23 | 2020-11-19 | カシオ計算機株式会社 | 描画装置及び描画装置の描画方法 |
| JP2021191436A (ja) * | 2020-07-08 | 2021-12-16 | カシオ計算機株式会社 | 描画装置及び描画方法 |
| JP2021191435A (ja) * | 2020-07-08 | 2021-12-16 | カシオ計算機株式会社 | 描画装置及び描画方法 |
| JP7184130B2 (ja) | 2020-07-08 | 2022-12-06 | カシオ計算機株式会社 | 描画装置及び描画方法 |
| JP7184131B2 (ja) | 2020-07-08 | 2022-12-06 | カシオ計算機株式会社 | 描画装置及び描画方法 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US20240118218A1 (en) | Stroboscopic stepped illumination defect detection system | |
| US10447999B2 (en) | Alignment of images of a three-dimensional object | |
| WO2012053521A1 (ja) | 光学情報処理装置、光学情報処理方法、光学情報処理システム、光学情報処理プログラム | |
| US20070176927A1 (en) | Image Processing method and image processor | |
| US7999862B2 (en) | Method and apparatus for an automated background lighting compensation system | |
| JP5633058B1 (ja) | ３次元計測装置及び３次元計測方法 | |
| WO2022126870A1 (en) | Three-dimensional imaging method and method based on light field camera and three-dimensional imaging measuring production line | |
| JP2017122614A (ja) | 画像生成方法及び検査装置 | |
| JP7056131B2 (ja) | 画像処理システム、画像処理プログラム、および画像処理方法 | |
| CN112648935A (zh) | 一种图像处理方法、装置和三维扫描系统 | |
| JP6237032B2 (ja) | 色と三次元形状の計測方法及び装置 | |
| JPH1069543A (ja) | 被写体の曲面再構成方法及び被写体の曲面再構成装置 | |
| CN118172264A (zh) | 一种图像处理方法、装置和系统 | |
| JPH1079029A (ja) | 立体情報検出方法及びその装置 | |
| WO1992010810A1 (fr) | Procede de correction de tache et dispositif a cet effet | |
| KR102216999B1 (ko) | 라인 스캔용 논-램버시안 표면 검사 시스템 | |
| JP2000125289A (ja) | 凹部強調画像の作成方法 | |
| JP2011095131A (ja) | 画像処理方法 | |
| CN112995641B (zh) | 一种3d模组成像装置及方法、电子设备 | |
| JP2007315777A (ja) | 三次元形状計測システム | |
| JPS63233312A (ja) | 被測定物体からの反射光による距離測定方法 | |
| CN115272569A (zh) | 三维数据的偏差色差图的生成方法、生成装置和电子设备 | |
| JP4218283B2 (ja) | ターゲット投影式３次元形状計測方法および装置 | |
| JPH05322526A (ja) | ３次元形状測定装置 | |
| JP2775924B2 (ja) | 画像データ作成装置 |