JP2688623B2 - ダイシング装置 - Google Patents
ダイシング装置Info
- Publication number
- JP2688623B2 JP2688623B2 JP4143630A JP14363092A JP2688623B2 JP 2688623 B2 JP2688623 B2 JP 2688623B2 JP 4143630 A JP4143630 A JP 4143630A JP 14363092 A JP14363092 A JP 14363092A JP 2688623 B2 JP2688623 B2 JP 2688623B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- area
- chuck
- cassette
- wafer
- dicing
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
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- Dicing (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、側方への出っ張り部分
をなくしてコンパクトでスマートなダイシング装置に関
するものである。
をなくしてコンパクトでスマートなダイシング装置に関
するものである。
【０００２】
【従来の技術とその問題点】従来、半導体ウェーハをダ
イシングするダイシング装置には、２つのタイプのもの
がある。１つは、ダイシングされる前のウェーハと、ダ
イシングされた後のウェーハとをそれぞれ別個のカセッ
トに収納する２カセットタイプと称するもの（例えば、
特開昭６３−２８６４２号公報）で、他の１つは、ダイ
シングされる前と後のウェーハを１つのカセットに収納
する１カセットタイプと称するものである。
イシングするダイシング装置には、２つのタイプのもの
がある。１つは、ダイシングされる前のウェーハと、ダ
イシングされた後のウェーハとをそれぞれ別個のカセッ
トに収納する２カセットタイプと称するもの（例えば、
特開昭６３−２８６４２号公報）で、他の１つは、ダイ
シングされる前と後のウェーハを１つのカセットに収納
する１カセットタイプと称するものである。
【０００３】これらのタイプのダイシング装置には以下
のような問題点があり、先ず２カセットタイプの問題点
は、 (1) ダイシングされる前のカセットと、ダイシングされ
た後のカセットとが異なり、次工程との関係でカセット
の管理が比較的煩雑となる。 (2) ２つのカセットをダイシング装置に着脱しなければ
ならず作業が面倒である。又、オペレーターが身を乗り
出してカセットの着脱をしなければならない場合もあっ
て好ましくない。 (3) 装置が大型となり、クリーンルームの有効利用が図
れない。 等であり、次に１カセットタイプの問題点は、 (1) 前記２カセットタイプの問題点は一応解決されるも
のの、カセットが装着される部分が装置から側方に出っ
張って作業性が比較的悪い。又、スマートさがない。 (2) 出っ張りに起因して実質的にクリーンルームの有効
利用が図れない。等である。
のような問題点があり、先ず２カセットタイプの問題点
は、 (1) ダイシングされる前のカセットと、ダイシングされ
た後のカセットとが異なり、次工程との関係でカセット
の管理が比較的煩雑となる。 (2) ２つのカセットをダイシング装置に着脱しなければ
ならず作業が面倒である。又、オペレーターが身を乗り
出してカセットの着脱をしなければならない場合もあっ
て好ましくない。 (3) 装置が大型となり、クリーンルームの有効利用が図
れない。 等であり、次に１カセットタイプの問題点は、 (1) 前記２カセットタイプの問題点は一応解決されるも
のの、カセットが装着される部分が装置から側方に出っ
張って作業性が比較的悪い。又、スマートさがない。 (2) 出っ張りに起因して実質的にクリーンルームの有効
利用が図れない。等である。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】本発明は、このような
従来技術の問題点を解決するためになされたもので、カ
セットが装着される部分が装置から側方に出っ張らない
ようにし、コンパクトでスマートな１カセットタイプの
ダイシング装置を提供することを課題としたものであ
る。
従来技術の問題点を解決するためになされたもので、カ
セットが装着される部分が装置から側方に出っ張らない
ようにし、コンパクトでスマートな１カセットタイプの
ダイシング装置を提供することを課題としたものであ
る。
【０００５】
【課題を解決するための手段】この課題を技術的に解決
するための手段として、本発明は、ウェーハが収納され
るカセットが装着される１つのカセット領域と、前記カ
セット内から又はカセット内にウェーハを搬出入する第
１の搬送手段と、この第１の搬送手段によって搬送され
た、又は搬送されるウェーハが一時的に待機する待機領
域と、この待機領域にあるウェーハをチャック領域まで
搬送する第２の搬送手段と、前記チャック領域でウェー
ハを吸引保持し、アライメント領域、ダイシング領域ま
で相対的に移動するチャックテーブルと、ダイシング後
のウェーハをチャック領域から洗浄領域まで搬送する第
３の搬送手段と、前記洗浄領域においてスピン洗浄され
たウェーハを前記待機領域まで搬送する第４の搬送手段
とから構成されるダイシング装置であって、このダイシ
ング装置は、少なくとも前記カセット領域と、待機領域
と、チャック領域と、洗浄領域とがそれぞれ正四角形の
頂点となる位置に配設され、前記第２の搬送手段と、第
４の搬送手段とが同一の搬送手段となっており、この同
一の搬送手段は、待機領域と、チャック領域と、洗浄領
域とを旋回動する１本の旋回アームから構成され、前記
第３の搬送手段は、チャック領域と、洗浄領域との間を
直線運動し、且つ前記カセット領域と、チャック領域
と、ダイシング領域とがオペレータ側に面し直線状に配
設されていることを要旨とするものである。
するための手段として、本発明は、ウェーハが収納され
るカセットが装着される１つのカセット領域と、前記カ
セット内から又はカセット内にウェーハを搬出入する第
１の搬送手段と、この第１の搬送手段によって搬送され
た、又は搬送されるウェーハが一時的に待機する待機領
域と、この待機領域にあるウェーハをチャック領域まで
搬送する第２の搬送手段と、前記チャック領域でウェー
ハを吸引保持し、アライメント領域、ダイシング領域ま
で相対的に移動するチャックテーブルと、ダイシング後
のウェーハをチャック領域から洗浄領域まで搬送する第
３の搬送手段と、前記洗浄領域においてスピン洗浄され
たウェーハを前記待機領域まで搬送する第４の搬送手段
とから構成されるダイシング装置であって、このダイシ
ング装置は、少なくとも前記カセット領域と、待機領域
と、チャック領域と、洗浄領域とがそれぞれ正四角形の
頂点となる位置に配設され、前記第２の搬送手段と、第
４の搬送手段とが同一の搬送手段となっており、この同
一の搬送手段は、待機領域と、チャック領域と、洗浄領
域とを旋回動する１本の旋回アームから構成され、前記
第３の搬送手段は、チャック領域と、洗浄領域との間を
直線運動し、且つ前記カセット領域と、チャック領域
と、ダイシング領域とがオペレータ側に面し直線状に配
設されていることを要旨とするものである。
【０００６】
【作 用】ダイシング装置は、少なくとも前記カセット
領域と、待機領域と、チャック領域と、洗浄領域とがそ
れぞれ四角形の頂点となる位置に配設されているので、
側方への出っ張りがなくなりコンパクトでスマートなも
のとなる。
領域と、待機領域と、チャック領域と、洗浄領域とがそ
れぞれ四角形の頂点となる位置に配設されているので、
側方への出っ張りがなくなりコンパクトでスマートなも
のとなる。
【０００７】
【実施例】以下、本発明の実施例を添付図面に基づいて
詳説する。図１において、１はカセット領域であり、装
置上面の前側（図１の下側）右隅部に設けられ、そのカ
セット領域１には図示は省略したが紙面に対して上下動
する昇降機構が設けられており、その昇降機構のカセッ
ト載置台に１つのカセット１１が装着され、内部には複
数枚のウェーハ１２が一定の間隔をあけて収納され、こ
れらのウェーハ１２はそれぞれフレーム１３にテープ１
４を介して固定された状態になっている。
詳説する。図１において、１はカセット領域であり、装
置上面の前側（図１の下側）右隅部に設けられ、そのカ
セット領域１には図示は省略したが紙面に対して上下動
する昇降機構が設けられており、その昇降機構のカセッ
ト載置台に１つのカセット１１が装着され、内部には複
数枚のウェーハ１２が一定の間隔をあけて収納され、こ
れらのウェーハ１２はそれぞれフレーム１３にテープ１
４を介して固定された状態になっている。
【０００８】２は待機領域であり、前記カセット領域１
の真後ろに位置させて装置上面の後側（図１の上側）右
隅部に設けられ、その右側端部に設けられた第１の搬送
手段３により前記カセット１１から引き出されたウェー
ハ１２が、待機領域２まで搬送されてその上面に載置さ
れ、一時的に待機するようにしてある。
の真後ろに位置させて装置上面の後側（図１の上側）右
隅部に設けられ、その右側端部に設けられた第１の搬送
手段３により前記カセット１１から引き出されたウェー
ハ１２が、待機領域２まで搬送されてその上面に載置さ
れ、一時的に待機するようにしてある。
【０００９】前記第１の搬送手段３は、先端部にハンド
機構３１（詳しくは、特開平２−１７８９４８号公報参
照）を備え、このハンド機構３１で前記カセット１１内
に収納されているウェーハ１２のフレーム１３の一端部
を挟持し、プリアライメントが遂行されると共にフレー
ム１３を挟持したままウェーハ１２を引き出し、前記待
機領域２迄搬送するようになっている。
機構３１（詳しくは、特開平２−１７８９４８号公報参
照）を備え、このハンド機構３１で前記カセット１１内
に収納されているウェーハ１２のフレーム１３の一端部
を挟持し、プリアライメントが遂行されると共にフレー
ム１３を挟持したままウェーハ１２を引き出し、前記待
機領域２迄搬送するようになっている。
【００１０】４はチャック領域であり、前記カセット領
域１の左隣りに位置させて装置上面の前側ほぼ中央部に
設けられ、前記待機領域２との間に設けられた第２の搬
送手段５により待機領域２から搬送されたウェーハ１２
を受止して固定するチャックテーブル４１を有してい
る。
域１の左隣りに位置させて装置上面の前側ほぼ中央部に
設けられ、前記待機領域２との間に設けられた第２の搬
送手段５により待機領域２から搬送されたウェーハ１２
を受止して固定するチャックテーブル４１を有してい
る。
【００１１】前記第２の搬送手段５は、水平に回転可能
な旋回アーム５１を有し、その先端部に複数本の脚から
成る吸着部材５２を備え、この吸着部材５２で前記待機
領域２上に一時的に待機しているウェーハ１２のフレー
ム１３を吸着すると共に、旋回アーム５１を１８０度水
平回転させて前記チャックテーブル４１上に搬送できる
ようにしてある。
な旋回アーム５１を有し、その先端部に複数本の脚から
成る吸着部材５２を備え、この吸着部材５２で前記待機
領域２上に一時的に待機しているウェーハ１２のフレー
ム１３を吸着すると共に、旋回アーム５１を１８０度水
平回転させて前記チャックテーブル４１上に搬送できる
ようにしてある。
【００１２】前記チャックテーブル４１は左右方向（矢
印Ｂ）に移動可能に形成され、待機領域２から搬送され
たウェーハ１２を固定した後に、チャック領域４の左隣
りに設けられたアライメント領域６に移動してウェーハ
１２のアライメント工程が行われ、アライメント工程後
に更にアライメント領域６の左隣りに位置して設けられ
たダイシング領域７迄移動し、ダイシング装置７１の回
転ブレード７２によってウェーハ１２に所定の研削加工
が行われる。
印Ｂ）に移動可能に形成され、待機領域２から搬送され
たウェーハ１２を固定した後に、チャック領域４の左隣
りに設けられたアライメント領域６に移動してウェーハ
１２のアライメント工程が行われ、アライメント工程後
に更にアライメント領域６の左隣りに位置して設けられ
たダイシング領域７迄移動し、ダイシング装置７１の回
転ブレード７２によってウェーハ１２に所定の研削加工
が行われる。
【００１３】この研削加工後に、チャックテーブル４１
はダイシング領域７からチャック領域まで右移動して戻
り、ここでウェーハの固定が解除されると共に、第３の
搬送手段８によって洗浄領域９迄搬送される。
はダイシング領域７からチャック領域まで右移動して戻
り、ここでウェーハの固定が解除されると共に、第３の
搬送手段８によって洗浄領域９迄搬送される。
【００１４】洗浄領域９は、チャック領域４の真後ろで
しかも前記待機領域２の左隣りに位置させて設けられ、
前記第３の搬送手段８により搬送された切削加工後のウ
ェーハ１２を綺麗に洗浄できるようにしてある。
しかも前記待機領域２の左隣りに位置させて設けられ、
前記第３の搬送手段８により搬送された切削加工後のウ
ェーハ１２を綺麗に洗浄できるようにしてある。
【００１５】前記第３の搬送手段は、前記洗浄領域９の
左側方部に配設され、横に張り出して前後方向（矢印
Ｃ）に移動可能なスライドアーム８１を有し、このスラ
イドアーム８１の先端部に複数本の脚から成る吸着部材
８２を備え、この吸着部材８２で前記チャックテーブル
４１上のウェーハ１２のフレーム１３を吸着すると共
に、その儘後方に移動して洗浄領域９迄搬送できるよう
にしてある。
左側方部に配設され、横に張り出して前後方向（矢印
Ｃ）に移動可能なスライドアーム８１を有し、このスラ
イドアーム８１の先端部に複数本の脚から成る吸着部材
８２を備え、この吸着部材８２で前記チャックテーブル
４１上のウェーハ１２のフレーム１３を吸着すると共
に、その儘後方に移動して洗浄領域９迄搬送できるよう
にしてある。
【００１６】洗浄領域９での洗浄後に、前記第２の搬送
手段５にてウェーハ１２を洗浄領域９から前記待機領域
２迄搬送する。即ち、旋回アーム５１を水平回転させて
洗浄領域９に位置決めし、前記吸着部材５２で洗浄領域
９上のウェーハ１２のフレーム１３を吸着すると共に、
旋回アーム５１を９０度時計方向に水平回転させれば待
機領域２迄搬送することができる。待機領域２に搬送さ
れたウェーハ１２は、第１の搬送手段３のハンド機構３
１によってフレーム１３の一端部を挟持し、カセット領
域１にあるカセット１１内の所要位置に搬入される。
手段５にてウェーハ１２を洗浄領域９から前記待機領域
２迄搬送する。即ち、旋回アーム５１を水平回転させて
洗浄領域９に位置決めし、前記吸着部材５２で洗浄領域
９上のウェーハ１２のフレーム１３を吸着すると共に、
旋回アーム５１を９０度時計方向に水平回転させれば待
機領域２迄搬送することができる。待機領域２に搬送さ
れたウェーハ１２は、第１の搬送手段３のハンド機構３
１によってフレーム１３の一端部を挟持し、カセット領
域１にあるカセット１１内の所要位置に搬入される。
【００１７】この場合、第２の搬送手段５は、前記のよ
うに処理前のウェーハを待機領域２からチャック領域４
迄搬送する役目と、処理後のウェーハを洗浄領域９から
待機領域２迄搬送する役目の両方を兼ねているが、処理
後特に洗浄後の綺麗なウェーハを洗浄領域９から待機領
域２迄搬送するために、この搬送手段５とは別の第４の
搬送手段（図略）を設けることも可能である。
うに処理前のウェーハを待機領域２からチャック領域４
迄搬送する役目と、処理後のウェーハを洗浄領域９から
待機領域２迄搬送する役目の両方を兼ねているが、処理
後特に洗浄後の綺麗なウェーハを洗浄領域９から待機領
域２迄搬送するために、この搬送手段５とは別の第４の
搬送手段（図略）を設けることも可能である。
【００１８】又、第２の搬送手段５は、前記第３の搬送
手段８を兼ねることも可能であり、つまり研削後のウェ
ーハを吸着部材５２で吸着してチャック領域４（チャッ
クテーブル４１）から洗浄領域９迄、旋回アーム５１を
９０度時計方向に水平回転させることで搬送することが
できるからである。
手段８を兼ねることも可能であり、つまり研削後のウェ
ーハを吸着部材５２で吸着してチャック領域４（チャッ
クテーブル４１）から洗浄領域９迄、旋回アーム５１を
９０度時計方向に水平回転させることで搬送することが
できるからである。
【００１９】更に、洗浄領域９から待機領域２に搬送さ
れた処理後のウェーハ１２は、前記第１の搬送手段３に
よってカセット領域１に搬送されると共に、カセット１
１内の元の位置（搬出された時と同じ場所）に収納され
ることが好ましい。カセット１１内のウェーハ１２の場
所がダイシングの前後において同じであれば後の工程が
円滑に遂行される。
れた処理後のウェーハ１２は、前記第１の搬送手段３に
よってカセット領域１に搬送されると共に、カセット１
１内の元の位置（搬出された時と同じ場所）に収納され
ることが好ましい。カセット１１内のウェーハ１２の場
所がダイシングの前後において同じであれば後の工程が
円滑に遂行される。
【００２０】本発明に係るダイシング装置１０は、上記
のような工程によりウェーハを加工処理するが、少なく
ともカセット領域１と、待機領域２と、チャック領域４
と、洗浄領域９とが装置上面においてそれぞれ四角形の
頂点となる位置に配設されているため、従来のようにカ
セット領域等が装置の側部に出っ張らずに済む。従っ
て、コンパクトでスマートな装置にすることができる。
のような工程によりウェーハを加工処理するが、少なく
ともカセット領域１と、待機領域２と、チャック領域４
と、洗浄領域９とが装置上面においてそれぞれ四角形の
頂点となる位置に配設されているため、従来のようにカ
セット領域等が装置の側部に出っ張らずに済む。従っ
て、コンパクトでスマートな装置にすることができる。
【００２１】又、本発明の場合は、オペレーターが装置
の手前側（図１の下側）に位置するようにしてあるた
め、カセット領域１と、チャック領域４と、アライメン
ト領域６及びダイシング領域７とがオペレーター側に面
して一直線状に並ぶこととなり、それぞれの動作状況が
一目で監視しやすくなって作業上非常に好都合である。
の手前側（図１の下側）に位置するようにしてあるた
め、カセット領域１と、チャック領域４と、アライメン
ト領域６及びダイシング領域７とがオペレーター側に面
して一直線状に並ぶこととなり、それぞれの動作状況が
一目で監視しやすくなって作業上非常に好都合である。
【００２２】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によるダイ
シング装置は、少なくとも前記カセット領域と、待機領
域と、チャック領域と、洗浄領域とが装置上面において
四角形の頂点となる位置にそれぞれ配設されているの
で、側方への出っ張り部分がなくなりコンパクトでスマ
ートなものとなる。従って、邪魔になる出っ張り部分が
ないため作業がしやくなって作業能率の向上が図れ、且
つ実質的にクリーンルーム等の有効利用率の拡大が図れ
る等の優れた効果を奏する。
シング装置は、少なくとも前記カセット領域と、待機領
域と、チャック領域と、洗浄領域とが装置上面において
四角形の頂点となる位置にそれぞれ配設されているの
で、側方への出っ張り部分がなくなりコンパクトでスマ
ートなものとなる。従って、邪魔になる出っ張り部分が
ないため作業がしやくなって作業能率の向上が図れ、且
つ実質的にクリーンルーム等の有効利用率の拡大が図れ
る等の優れた効果を奏する。
【図１】 本発明の一実施例を示すダイシング装置の概
略上面図である。
略上面図である。
１…カセット領域 １１…カセット １２…ウェーハ １３…フレーム
１４…テープ ２…待機領域 ３…第１の搬送装置 ３１…ハンド機構 ４…チャック領域 ４１…チャックテーブル ５…第２の搬送手段 ５１…旋回アーム ５２…吸着部材 ６…アライメント領域 ７…ダイシング領域 ７１…ダイシング装置 ７２…回転ブレード ８…第３の搬送手段 ８１…スライドアーム ８２…吸着部材 ９…洗浄領域
１４…テープ ２…待機領域 ３…第１の搬送装置 ３１…ハンド機構 ４…チャック領域 ４１…チャックテーブル ５…第２の搬送手段 ５１…旋回アーム ５２…吸着部材 ６…アライメント領域 ７…ダイシング領域 ７１…ダイシング装置 ７２…回転ブレード ８…第３の搬送手段 ８１…スライドアーム ８２…吸着部材 ９…洗浄領域
Claims (1)
- 【請求項１】ウェーハが収納されるカセットが装着され
る１つのカセット領域と、前記カセット内から又はカセ
ット内にウェーハを搬出入する第１の搬送手段と、この
第１の搬送手段によって搬送された、又は搬送されるウ
ェーハが一時的に待機する待機領域と、この待機領域に
あるウェーハをチャック領域まで搬送する第２の搬送手
段と、前記チャック領域でウェーハを吸引保持し、アラ
イメント領域、ダイシング領域まで相対的に移動するチ
ャックテーブルと、ダイシング後のウェーハをチャック
領域から洗浄領域まで搬送する第３の搬送手段と、前記
洗浄領域においてスピン洗浄されたウェーハを前記待機
領域まで搬送する第４の搬送手段とから構成されるダイ
シング装置であって、 このダイシング装置は、少なくとも前記カセット領域
と、待機領域と、チャック領域と、洗浄領域とがそれぞ
れ正四角形の頂点となる位置に配設され、前記第２の搬送手段と、第４の搬送手段とが同一の搬送
手段となっており、この同一の搬送手段は、待機領域
と、チャック領域と、洗浄領域とを旋回動する１本の旋
回アームから構成され、 前記第３の搬送手段は、チャック領域と、洗浄領域との
間を直線運動し、 且つ前記カセット領域と、チャック領域と、ダイシング
領域とがオペレータ側に面し直線状に配設されている こ
とを特徴とするダイシング装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4143630A JP2688623B2 (ja) | 1992-05-11 | 1992-05-11 | ダイシング装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4143630A JP2688623B2 (ja) | 1992-05-11 | 1992-05-11 | ダイシング装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05315444A JPH05315444A (ja) | 1993-11-26 |
| JP2688623B2 true JP2688623B2 (ja) | 1997-12-10 |
Family
ID=15343227
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4143630A Expired - Lifetime JP2688623B2 (ja) | 1992-05-11 | 1992-05-11 | ダイシング装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2688623B2 (ja) |
Families Citing this family (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4616969B2 (ja) * | 2000-06-16 | 2011-01-19 | 株式会社ディスコ | 切断機 |
| DE10314383A1 (de) * | 2003-03-28 | 2004-10-07 | Integrated Dynamics Engineering Gmbh | Schnelle Wechselstation für den Wafertransport |
| JP2016021492A (ja) * | 2014-07-14 | 2016-02-04 | 株式会社ディスコ | 加工装置 |
| JP7032122B2 (ja) | 2017-12-22 | 2022-03-08 | 株式会社ディスコ | 切削装置 |
| JP2022190380A (ja) | 2021-06-14 | 2022-12-26 | 株式会社ディスコ | 加工装置 |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0523291Y2 (ja) * | 1987-12-11 | 1993-06-15 |
-
1992
- 1992-05-11 JP JP4143630A patent/JP2688623B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH05315444A (ja) | 1993-11-26 |
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