JP3535969B2 - レボルバの調心機構 - Google Patents

レボルバの調心機構

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JP3535969B2 JP04191398A JP4191398A JP3535969B2 JP 3535969 B2 JP3535969 B2 JP 3535969B2 JP 04191398 A JP04191398 A JP 04191398A JP 4191398 A JP4191398 A JP 4191398A JP 3535969 B2 JP3535969 B2 JP 3535969B2
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Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、レボルバの調心機
構に関する。詳しくは、顕微鏡などの光学機器に複数の
対物レンズを切り換え可能に取り付けるためのレボルバ
に係り、とくに、対物レンズの調心機構に関する。
【0002】
【背景技術】近年、たとえば、半導体の高集積化、ビデ
オヘッドなどの微細加工に代表されるように、ミクロか
らサブミクロンへの部品検査のニーズが急速に高まると
ともに、たとえば、顕微鏡による検査の精度も飛躍的に
向上している。
【0003】図1は、部品検査などに使用される一般的
な顕微鏡である。この顕微鏡1は、本体2を備える。本
体2には、被検査物を取り付けるステージ3が設けられ
ているとともに、顕微鏡ユニット4が上下(Z軸)方向
へ移動自在に設けられている。顕微鏡ユニット4には、
接眼レンズ5が取り付けられているとともに、複数本の
対物レンズ6のいずれかがレボルバ7によって所定位置
に割り出し可能に設けられている。
【0004】ところで、顕微鏡1において、高精度の検
査結果を得るためには、顕微鏡ユニット4側の光軸P1
と対物レンズ6の光軸P2との一致は不可欠である。何
故なら、これらの光軸P1,P2が一致していないと、
レボルバ7を回して対物レンズ6を切り換えた際、観察
している像が視野の中心からずれてしまう原因になるか
らである。
【0005】しかし、対物レンズ6がレボルバ7を介し
て顕微鏡ユニット4側に取り付けられる形式の顕微鏡に
あっては、両者が別体なのでそれぞれの光軸P1,P2
を一致させることが困難である。つまり、各対物レンズ
6単体でも、対物レンズの外径に対して光軸中心のずれ
(誤差)があるうえ、レボルバ7の対物レンズ取付部に
も光軸中心とのずれ(誤差)があるため、光軸P1,P
2を一致させることが困難である。
【0006】そこで、本出願人は、先に、この対策とし
て、レボルバの調心機構(実開平6−78916号公報
参照)を提案している。これは、図6および図7に示す
ように、固定部材11とこれに対して回転可能な可動部
材12とからレボルバ本体13を構成するとともに、可
動部材12の回転軸線を中心とする同一円周上に対物レ
ンズ6を取付可能な複数の対物レンズ取付フランジ14
を配置し、各対物レンズ取付フランジ14の外周120
度間隔位置に位置調整機構15をそれぞれ設け、この3
つの位置調整機構15によって対物レンズ取付フランジ
14を対物レンズ6の光軸に対して直交する方向へ位置
調整できるようにした構造である。
【0007】位置調整機構15は、図8に示すように、
対物レンズ取付フランジ14の外周120度間隔位置に
第1傾斜面16を形成するとともに、この第1傾斜面1
6に係合する第2傾斜面17を有する調整カラー18を
レボルバ本体13の可動部材12に調整ねじ19を介し
て取り付けた構造で、調整ねじ19の螺合により調整カ
ラー18を矢印A方向へスライドさせると、第1および
第2傾斜面16,17の作用によって対物レンズ取付フ
ランジ14が移動される構成である。
【0008】
【発明が解決しようとする課題】ところが、従来の調心
機構では、各対物レンズ取付フランジ14を調整するた
めの位置調整機構15のうち、内側の位置調整機構15
がレボルバ本体13の中心部分に集中配置される関係か
ら、対物レンズ取付フランジ14に対物レンズ6を取り
付けると、調整ねじ19の締め付け緩め作業が困難にな
るという課題があった。
【0009】しかも、各対物レンズ取付フランジ14に
3つの第1傾斜面16を加工しなければならないうえ、
これに対応して3つの調整カラー18が必要なため、製
造コストが高くつくという課題もある。
【0010】本発明の目的は、このような従来の課題を
解消し、コストを抑えつつ、調整作業が容易にできるレ
ボルバの調心機構を提供することにある。
【0011】
【課題を解決するための手段】本発明のレボルバの調心
機構は、回転可能なレボルバ本体に複数の対物レンズを
その回転軸線を中心とする同一円周上に取り付けたレボ
ルバの調心機構において、前記レボルバ本体の回転軸線
を中心とする同一円周上に配置されそれぞれ対物レンズ
を取付可能な複数の対物レンズ取付部材と、これら複数
の対物レンズ取付部材が配置された内側に配置されそれ
ぞれの対物レンズ取付部材を外側へ向かって付勢する付
勢部材と、この付勢部材とは各対物レンズを挟んで反対
側において、各対物レンズ取付部材を前記付勢部材の付
勢方向に対して反対方向および直交方向へ押圧しながら
位置調整する位置調整機構とを備え、前記付勢部材は、
リング状ばねによって構成されていることを特徴とす
る。
【0012】このような構成によれば、付勢部材によっ
て、各対物レンズはそれぞれ外側へ向かって付勢されて
いるから、各対物レンズを挟んで付勢部材とは反対側の
位置調整機構によって、対物レンズ取付部材を付勢部材
の付勢方向に対して反対方向および直交方向へ位置調整
することができる。従って、複数の対物レンズ取付部材
が配置された内側では調整作業を行わなくてもよいか
ら、調整作業を容易に行うことができる。しかも、付勢
部材は、単に対物レンズ取付部材を外側へ向かって付勢
するだけでよいから、従来の構造(対物レンズ取付フラ
ンジに第1傾斜面を形成し、これに係合する第2傾斜面
を有する調整カラーを調整ねじを介して設けた構造)に
比べ、構造的にも簡易にできる。
【0013】また、前記付勢部材として、リング状ばね
によって構成したので、複数の対物レンズ取付部材に共
通して1本のリング状ばねでよいから、コストをより低
減できる。この際、対物レンズ取付部材の外周にリング
状ばねが係合する係合溝を形成しておけば、リング状ば
ねが対物レンズ取付部材から外れることがないから、リ
ング状ばねの付勢力を対物レンズ取付部材に確実に伝達
できる。
【0014】前記位置調整機構は、前記対物レンズ取付
部材の外周に形成された第1傾斜面と、この第1傾斜面
と係合する第2傾斜面を有する押圧部材と、この押圧部
材を前記対物レンズの光軸と平行な方向へ押圧しながら
対物レンズ取付部材を位置調整する調整ねじとを含んで
構成され、前記付勢部材が接する前記対物レンズ取付部
材の外周位置を基準としてその対物レンズ取付部材の外
周120度間隔位置にそれぞれ設けられている構成が好
ましい。
【0015】また、上記構成において、前記対物レンズ
取付部材をレボルバ本体に固定する固定手段を備えてい
ることが好ましい。固定手段としては、なんでもよい
が、止めねじなどでよい。固定手段を設けておけば、付
勢手段の付勢力が小さくてもよいから、位置調整機構の
調整作業を容易に行える。ちなみに、固定手段がない場
合には、付勢手段の付勢力を大きくして、対物レンズ取
付部材をレボルバ本体に対してずれが生じないように保
持する必要があるが、そうすると、位置調整機構の調整
作業が困難になる。
【0016】また、上記構成において、前記各対物レン
ズの焦点方向の位置を調整する焦点調整機構を備えてい
ることが好ましい。焦点調整機構としては、前記対物レ
ンズ取付部材に螺合されかつ内部に前記対物レンズを螺
合した第1ナット部材と、この第1ナット部材の外周に
螺合されその第1ナット部材との間で前記対物レンズを
締め付け固定する第2ナット部材とを備える構成が好ま
しい。
【0017】この構成によれば、第2ナット部材を緩
め、この状態において、第1ナット部材に螺合された対
物レンズを回してピント合わせを行ったのち、第2ナッ
ト部材を締め付ける。これにより、各対物レンズ毎にピ
ント合わせをすることができるから、使用者がレボルバ
の切り換えにより対物レンズを切り換えて観察する際の
ピント合わせ操作を少なくすることができる。
【0018】
【発明の実施の形態】以下、本発明のレボルバの調心機
構にかかる実施形態を図面に基づいて説明する。なお、
以下の説明にあたって、前記図6〜図8と同一構成要件
については、同一符号を付し、その説明を省略もしくは
簡略化する。
【0019】本実施形態におけるレボルバの調心機構
は、図2および図3に示すように、対物レンズ取付部材
としての対物レンズ取付フランジ14に配置された3つ
の位置調整機構15のうち内側の位置調整機構15が省
略され、これに代わって、複数の対物レンズ取付フラン
ジ14をそれぞれ外側へ向かって付勢する付勢手段21
と、各対物レンズ取付フランジ14をレボルバ本体13
(可動部材12)に固定する固定手段31とが設けられ
ている点が、従来(図6および図7)のものと異なる。
【0020】付勢手段21は、図4に示すように、それ
ぞれの対物レンズ取付フランジ14を外側へ向かって付
勢する一部開放(リングの一部が切れている)のリング
状ばね22と、このリング状ばね22を可動部材12の
回転中心位置に保持する保持部材23と、この保持部材
23を可動部材12の回転中心位置に固定する止めねじ
24とから構成されている。一方、リング状ばね22が
当接する対物レンズ取付フランジ14の外周には、リン
グ状ばね22が係合する環状の係合溝25が形成されて
いる。
【0021】固定手段31は、各対物レンズ取付フラン
ジ14の位置調整機構15よりやや内側位置において、
対物レンズ取付フランジ14を通って可動部材12に螺
合され、対物レンズ取付フランジ14を可動部材12に
固定する締付ねじ32によって構成されている。
【0022】なお、位置調整機構15については、図8
の構造と同じである。つまり、対物レンズ取付フランジ
14の外周に対物レンズの光軸に対して傾斜状に形成さ
れた第1傾斜面16と、この第1傾斜面16と係合する
第2傾斜面17を有する押圧部材としての調整カラー1
8と、この調整カラー18を前記対物レンズ6の光軸と
平行な方向へ押圧しながら対物レンズ取付フランジ14
を位置調整する調整ねじ19とを備えた構成で、リング
状ばね22が接する対物レンズ取付フランジ14の外周
位置を基準として、その対物レンズ取付フランジ14の
外周120度間隔位置にそれぞれ配置されている。
【0023】従って、本実施形態によれば、リング状ば
ね22によって、各対物レンズ取付フランジ14はそれ
ぞれ外側へ向かって付勢されているから、それとは反対
側の位置調整機構15において調整作業を行うと、対物
レンズ取付フランジ14が対物レンズの光軸に対して直
交する方向へ移動される。このことは、複数の対物レン
ズ取付フランジ14が配置された内側では、調整作業を
行わなくてもよいから、調整作業を容易に行うことがで
きる。
【0024】また、各対物レンズ取付フランジ14をそ
れぞれ外側へ向かって付勢する部材として、リング状ば
ね22を用いたので、簡単な構成のうえ、複数の対物レ
ンズ取付フランジ14に共通して1本のリング状ばねで
よいから、コストをより低減できる。しかも、対物レン
ズ取付フランジ14の外周にリング状ばね22が係合す
る係合溝25を形成したので、リング状ばね22が対物
レンズ取付フランジ14から外れることがない。従っ
て、リング状ばね22の付勢力を対物レンズ取付フラン
ジ14に確実に伝達できる。
【0025】また、位置調整機構15は、対物レンズ取
付フランジ14の外周に形成された第1傾斜面16と、
この第1傾斜面16と係合する第2傾斜面17を有する
調整カラー18と、この調整カラー18を対物レンズの
光軸と平行な方向へ押圧しながら対物レンズ取付フラン
ジ14を位置調整する調整ねじ19とを備えた構成であ
るから、調心作業を正確にかつ簡単に行うことができ
る。
【0026】また、対物レンズ取付フランジ14をレボ
ルバ本体13に固定する固定手段31を設けたので、リ
ング状ばね22の付勢力が小さいものを用いることがで
き、よって、位置調整機構15の調整作業を容易に行え
る。ちなみに、固定手段31がない場合には、リング状
ばね22の付勢力を大きくして、対物レンズ取付フラン
ジ14をレボルバ本体13に対してずれが生じないよう
に保持する必要があるが、そうすると、位置調整機構1
5の調整作業が困難になる。
【0027】なお、上記実施形態において、各対物レン
ズ6の焦点方向の位置を調整する焦点調整機構を設けて
もよい。たとえば、図5に示すような焦点調整機構41
を設けてもよい。これは、対物レンズ取付フランジ14
に螺合されかつ内部に前記対物レンズ6を螺合した第1
ナット部材42と、この第1ナット部材42の外周に螺
合されその第1ナット部材42との間で前記対物レンズ
6の鍔部6Aを締め付け固定する第2ナット部材43と
を備える構成である。なお、44は第2ナット部材43
の外周に開けられた穴で、第2ナット部材43を回す際
にピンなどを差し込んで回すためのものである。
【0028】このようにすると、第2ナット部材43を
緩め、この状態において、第1ナット部材42に螺合さ
れた対物レンズ6を回してピント合わせを行ったのち、
第2ナット部材43を締め付ける。これにより、各対物
レンズ6毎にピント合わせすることができるから、使用
者がレボルバ7の切り換えにより対物レンズ6を切り換
えて観察する際のピント合わせ操作を少なくすることが
できる。
【0029】
【0030】また、上記実施形態では、位置調整機構1
5を、対物レンズ取付フランジ14の外周に形成された
第1傾斜面16と、この第1傾斜面16と係合する第2
傾斜面17を有する調整カラー18と、調整ねじ19と
から構成したが、これに限らず、他の構成でもよい。要
するに、各対物レンズ取付フランジ14をリング状ばね
22の付勢方向に対して反対方向および直交方向へ押圧
しながら位置調整できるものであれば、どのようなもの
でもよい。
【0031】
【発明の効果】本発明のレボルバの調心機構によれば、
複数の対物レンズ取付部材が配置された内側に、それぞ
れの対物レンズ取付部材を外側へ向かって付勢する付勢
部材を配置したので、複数の対物レンズ取付部材が配置
された内側では調整作業を行わなくてもよいから、調整
作業を容易に行うことができる。しかも、付勢部材は、
単に対物レンズ取付部材を外側へ向かって付勢するだけ
でよいから、従来の構造に比べ、構造的にも簡易にかつ
安価にできる。
【図面の簡単な説明】
【図1】一般的な顕微鏡を示す全体図である。
【図2】本発明にかかるレボルバの調心機構を示す図で
ある。
【図3】図2の III−III 線断面図である。
【図4】図3の一部を拡大した拡大図である。
【図5】本発明の他の実施形態を示す図である。
【図6】従来のレボルバを示す図である。
【図7】図6の VII−VII 線断面図である。
【図8】従来のレボルバにおける位置調整機構を示す断
面図である。
【符号の説明】
6 対物レンズ 7 レボルバ 13 レボルバ本体 14 対物レンズ取付フランジ(対物レンズ取付部材) 15 位置調整機構 16 第1傾斜面 17 第2傾斜面 18 調整カラー(押圧部材) 19 調整ねじ 22 リング状ばね(付勢部材) 25 係合溝 31 固定手段 41 焦点調整機構 42 第1ナット部材 43 第2ナット部材
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 平9−274140(JP,A) 実開 平6−78916(JP,U) 実開 平6−78917(JP,U) (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) G02B 21/24 G02B 7/00 G02B 7/16

Claims (6)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 回転可能なレボルバ本体に複数の対物レ
    ンズをその回転軸線を中心とする同一円周上に取り付け
    たレボルバの調心機構において、 前記レボルバ本体の回転軸線を中心とする同一円周上に
    配置されそれぞれ対物レンズを取付可能な複数の対物レ
    ンズ取付部材と、 これら複数の対物レンズ取付部材が配置された内側に配
    置されそれぞれの対物レンズ取付部材を外側へ向かって
    付勢する付勢部材と、 この付勢部材とは各対物レンズを挟んで反対側におい
    て、各対物レンズ取付部材を前記付勢部材の付勢方向に
    対して反対方向および直交方向へ押圧しながら位置調整
    する位置調整機構とを備え、 前記付勢部材は、リング状ばねによって構成されている
    ことを特徴とするレボルバの調心機構。
  2. 【請求項2】 請求項に記載のレボルバの調心機構に
    おいて、前記対物レンズ取付部材の外周には、前記リン
    グ状ばねが係合する係合溝が形成されていることを特徴
    とするレボルバの調心機構。
  3. 【請求項3】 請求項1または請求項2に記載のレボル
    バの調心機構において、前記位置調整機構は、前記対物
    レンズ取付部材の外周に形成された第1傾斜面と、この
    第1傾斜面と係合する第2傾斜面を有する押圧部材と、
    この押圧部材を前記対物レンズの光軸と平行な方向へ押
    圧しながら対物レンズ取付部材を位置調整する調整ねじ
    とを含んで構成され、前記付勢部材が接する前記対物レ
    ンズ取付部材の外周位置を基準としてその対物レンズ取
    付部材の外周120度間隔位置にそれぞれ設けられてい
    ることを特徴とするレボルバの調心機構。
  4. 【請求項4】 請求項1〜請求項のいずれかに記載の
    レボルバの調心機構において、前記対物レンズ取付部材
    をレボルバ本体に固定する固定手段を備えていることを
    特徴とするレボルバの調心機構。
  5. 【請求項5】 請求項1〜請求項のいずれかに記載の
    レボルバの調心機構において、前記各対物レンズの焦点
    方向の位置を調整する焦点調整機構を備えていることを
    特徴とするレボルバの調心機構。
  6. 【請求項6】 請求項に記載のレボルバの調心機構に
    おいて、前記焦点調整機構は、前記対物レンズ取付部材
    に螺合されかつ内部に前記対物レンズを螺合した第1ナ
    ット部材と、この第1ナット部材の外周に螺合されその
    第1ナット部材との間で前記対物レンズを締め付け固定
    する第2ナット部材とを備えることを特徴とするレボル
    バの調心機構。
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JP4721688B2 (ja) * 2004-10-27 2011-07-13 株式会社ミツトヨ 顕微鏡の安全装置及びそれを装備した顕微鏡
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