JP2599745Y2 - レボルバの調心機構 - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本考案はレボルバの調心機構に係
り、特に顕微鏡等の光学機器に対物レンズを取り付け、
その対物レンズを微調整する際に利用できる。

【０００２】

【背景技術】近年、例えば、半導体の高集積化、ビデオ
ヘッド等の微細加工に代表されるように、ミクロからサ
ブミクロンへの部品検査のニーズが急速に高まるととも
に、例えば、顕微鏡による検査の精度も飛躍的に向上し
ている。

【０００３】図１には、例えば、部品検査等に使用され
る一般的な顕微鏡の全体が示されており、この顕微鏡１
は本体２を備えている。この本体２には、被検査物を取
り付けるステージ３が設けられるとともに、Ｚ軸（上
下）方向移動自在に顕微鏡ユニット４が取り付けられて
いる。この顕微鏡ユニット４には、接眼レンズ５が取り
付けられるとともに、複数本の対物レンズ６を装着した
レボルバ本体７が所定位置に割り出しかつ固定可能に取
り付けられている。

【０００４】ところで、顕微鏡１において高精度の検査
結果を得るためには、顕微鏡ユニット４側の光軸Ｐ1 と
対物レンズ６の光軸Ｐ2 との一致は不可欠である。しか
し、対物レンズ６がレボルバ本体７を介して顕微鏡ユニ
ット４側に取り付けられる形式の顕微鏡にあっては、両
者が別体なのでそれぞれの光軸Ｐ1 ，Ｐ2 を一致させる
ことはかなり困難である。そのため、レボルバ本体７を
顕微鏡ユニット４に取り付けた後に、対物レンズ６の微
調整、つまり、調心が行われている。

【０００５】検査の精度が飛躍的に向上したことに伴
い、検査の後引き続き、例えば、液晶パターン、ＩＣ等
の補修をレーザ加工、あるいは可視光観察で行うことも
できるようになっている。その場合にも、上述のよう
に、顕微鏡の対物レンズの調心が行われる。

【０００６】ここで、一般的なレボルバの調心機構とし
ては、図５〜７に示すようなものが知られている。すな
わち、対物レンズ６を取り付けるための段付き孔7Aがレ
ボルバ本体７に複数明けられており、この孔7Aに、鍔部
を有する調整フランジ20が３個の取付けねじ21によって
取り付けられるようになっている。一方で、調整フラン
ジ20の鍔部と段付き孔7Aの段部とは、鍔部の円周上対向
位置に埋め込まれた２個の偏心ピン22で連結されてい
る。それぞれの調整フランジ20には、例えば、倍率の異
なる対物レンズ６が取り付けられている。なお、レボル
バ本体７には、段付き孔7Aに連続するとともに、対物レ
ンズ６の光軸Ｐ2 を中心とする光用の貫通孔7Bが明けら
れている。

【０００７】このようなレボルバ本体７を顕微鏡ユニッ
ト４に取り付けた後、対物レンズ６の調心を行う際は、
３個の取付けねじ21を軽く緩め調整フランジ20を仮止め
の状態にしておき、接眼レンズ５を覗きながら２個の偏
心ピン22を回し、調整フランジ20を移動させていた。

【０００８】

【考案が解決しようとする課題】しかし、従来のレボル
バの調心機構では、調整フランジ20を仮止めする際、取
付けねじ21を緩めすぎると、偏心ピン22を回してピント
を合わせた後取付けねじ21を本締めする時、調整フラン
ジ20が動いて調心がうまく行かないという問題があっ
た。そのため、取付けねじ21の締め加減と偏心ピン22の
回し加減とに熟練度を要しており、操作が面倒であっ
た。特に、偏心ピン22を回した際、調整フランジ20の動
きは円弧状となるので、調心が難しいものとなってい
た。

【０００９】また、顕微鏡という機器の性質上調整フラ
ンジ20を大きくすることはできないので、偏心ピン22が
埋め込まれる部分も狭くなり、従って、従来の調心機構
では偏心ピン22の偏心量も大きくとることができない。
そのため、調整フランジ20の移動量、つまり対物レンズ
６の調心範囲が狭く、十分な微調整が行われないという
問題があった。

【００１０】さらに、偏心ピン22の製作は面倒であると
ともに、費用も多くかかり、結果的にコストの高いレボ
ルバの調心機構となっていた。

【００１１】ここに本考案の目的は、容易に操作できる
とともに、調心範囲が広く得られ、かつ、コストの低い
レボルバの調心機構を提供することにある。

【００１２】

【課題を解決するための手段】そこで本考案は、光学機
器のレボルバ本体に取り付けた対物レンズを微調整可能
とするレボルバの調心機構であって、前記レボルバ本体
と前記対物レンズとの間に設けられるとともに当該対物
レンズが着脱自在に取り付けられかつ外周１２０度間隔
位置に対物レンズの光軸に対して傾斜する第１のテーパ
面を有する調整部材と、前記レボルバ本体に取り付けら
れるとともに前記第１のテーパ面と係合する第２のテー
パ面を有しかつこの第２のテーパ面で前記第１のテーパ
面を押圧して前記調整部材を前記光軸と交差する方向に
移動させて前記レボルバ本体に固定する３個の係止部材
と、これらの係止部材をそれぞれ前記光軸と平行な方向
に押圧し前記調整部材を前記レボルバ本体に固定する３
本の調心ねじとを備えたレボルバの調心機構としたもの
である。

【００１３】

【作用】このような本考案では、レボルバ本体に設けら
れた調整部材の第１のテーパ面と、係止部材の第２のテ
ーパ面とが係合しており、係止部材を調心ねじによって
スライドさせれば、第２のテーパ面が第１のテーパ面を
押圧し調整部材が移動し対物レンズが微調整される。調
心ねじを回せば係止部材がスライドし、調整部材と係止
部材のそれぞれのテーパ面の作用により調整部材が、光
軸と直交する方向に移動するので、容易に操作できると
ともに、広い調心範囲が得られる。また、偏心ピンが不
要となるので、コストも低くなり、これらにより、前記
目的が達成される。

【００１４】

【実施例】以下、本考案のレボルバの調心機構について
好適な実施例挙げ、添付図面を参照しながら詳細に説明
する。

【００１５】図２〜４には、本実施例のレボルバの調心
機構が示されている。以下、前記従来例で説明した部材
と同一部材については、同一符号を付すとともに、その
説明は省略または簡略化する。

【００１６】レボルバ本体７には、前述のように複数個
の対物レンズ６が取り付けられるが、この対物レンズ６
は、図２に示すように、調整部材である調整フランジ10
にねじ込んで取り付けられる。調整フランジ10は、鍔部
を備えた筒状部材とされており、その筒部をレボルバ本
体７に明けられた段付き孔7Aに挿入して取り付けられ
る。ここで、筒部外周と段付き孔7Aとの間には所定の隙
間が形成され、調整フランジ10の移動範囲が確保されて
いる。また、鍔部の外周には、図４に示すように、対物
レンズ６の光軸Ｐ2 に対してＰ2 から離れる方向に傾斜
する第１のテーパ面10A が、図３に示すように１２０度
間隔で設けられている。

【００１７】この第１のテーパ面10A に対応するレボル
バ本体７側には、円形凹部7Cが形成されており、この円
形凹部7C内に、係止部材である円柱状の３個のカラー11
が、調心ねじ12によって光軸Ｐ2 と平行な方向に移動可
能に取り付けられている。また、各カラー11には、第１
のテーパ面10A に係合可能な第２のテーパ面11Aがそれ
ぞれ形成されている。従って、調整フランジ10の第１の
テーパ面10A とカラー11の第２のテーパ面11A とを係合
させた後、調心ねじ12を回してカラー11を押付ければ、
第２のテーパ面11A と第１のテーパ面10A との当接によ
り、調整フランジ10は調心ねじ12の中心と対物レンズ６
の光軸Ｐ2 とを結ぶ線方向（図３，４中矢印Ａ方向）に
沿って直線移動するようになっている。

【００１８】次に本実施例の作用を説明する。予め所定
の対物レンズ６が取り付けられた調整フランジ10をレボ
ルバ本体７に取り付け、このレボルバ本体７を顕微鏡ユ
ニット４に装着する。この際、調整フランジ10の取り付
けは、調心ねじ12によって大まかに調心して仮に固定し
ておく。

【００１９】レボルバ本体７が顕微鏡ユニット４に装着
された後、複数の対物レンズ６のうち、まず１つを被検
査物に対する位置に割り出し、その対物レンズ６の調心
を行う。この際、まず３個の調心ねじ12をそれぞれ均等
に軽く緩め、次に調整フランジ10を所定の方向に微動さ
せるために所定の調心ねじ12を締め込む。調心ねじ12の
締め込みによって、カラー11が押し込まれ、その結果、
カラー11の第２のテーパ面11A と調整フランジ10の第１
のテーパ面10A との作用により、調整フランジ10が所定
の方向に移動し調心が終了する。次いで、３個の調心ね
じ12を均等に締付けて調整フランジ10を固定する。

【００２０】このような作業によって、残りの対物レン
ズ６の調心も行う。そして、被検査物をステージ３上に
取り付けて、所定の対物レンズ６を割り出し検査等を開
始する。

【００２１】前述のような本実施例によれば次のような
効果がある。すなわち、調整フランジ10に装着された対
物レンズ６の調心は、調整フランジ10の第１のテーパ面
10A にカラー11の第２のテーパ面11A を係合させ、カラ
ー11を上下方向にスライドさせれば、両テーパ面10A ，
11A の作用により、調整フランジ10が調心ねじ12の中心
と対物レンズ６の光軸Ｐ2 とを結ぶ線に沿って直線移動
するので、操作が容易であり、かつ、調心が容易であ
る。

【００２２】また、調整フランジ10の筒部とこの筒部が
挿入されるレボルバ本体７の段付き孔7Aとには、所定の
隙間が形成されており、この隙間内での調整フランジ10
の移動が許容されるので、調心範囲が広くとれる。

【００２３】さらに、カラー11は円柱形状とされ、一端
側にテーパ面11A を形成すればよく、加工が容易であ
り、従来のように面倒な偏心ピンを作成せずにすむの
で、製造コストが安くなる。

【００２４】また、調整フランジ10とカラー11とは、12
0 度間隔の位置で係合しており、均等位置での係合なの
で、安定した姿勢を保持して調心が可能となる。

【００２５】なお、本考案は、上記実施例に限定される
ものではなく、本考案の要旨を逸脱しない範囲において
種々の改良並びに設計変更ができる。例えば、前記実施
例では、係止部材であるカラー11は円柱形状とされ一端
側にテーパ面11A が形成されているが、これに限らず、
例えば、ブロック形状のカラーとしてもよい。

【００２６】また、前記実施例では、レボルバの調心機
構が顕微鏡に使用された例としたが、これに限らず、要
は、対物レンズが装着されたレボルバ本体を着脱可能に
取り付けるものであればよく、例えば、投影機や、チャ
ートの位置補正が必要とされるルーペおよびコリメータ
等の光学機器にも利用できる。

【００２７】

【考案の効果】以上に説明したように、本考案によれ
ば、容易に操作できるとともに、調心範囲が広く得ら
れ、かつ、コストが低いレボルバの調心機構を提供する
ことができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】一般的な顕微鏡を示す全体図である。

【図２】本考案の一実施例に係るレボルバの調心機構を
示す縦断面図である。

【図３】図２におけるIII 矢視図である。

【図４】本考案の一実施例の要部を表し、図２における
Ａ部の縦断面図である。

【図５】従来のレボルバの調心機構を示す縦断面図であ
る。

【図６】図５におけるVI矢視図である。

【図７】図６におけるVII-VII 線断面図である。

【符号の説明】

１ 顕微鏡 ６ 対物レンズ ７ レボルバ本体 10 調整フランジ（調整部材） 10A 第１のテーパ面 11 カラー（係止部材） 11A 第２のテーパ面 12 調心ねじ Ｐ1 光軸（顕微鏡ユニット側） Ｐ2 光軸（対物レンズ側）

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.⁶，ＤＢ名) G02B 19/00 - 21/00 G02B 21/06 - 21/36

Claims (1)

(57)【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】 光学機器のレボルバ本体に取り付けた対
   物レンズを微調整可能とするレボルバの調心機構であっ
   て、前記レボルバ本体と前記対物レンズとの間に設けら
   れるとともに当該対物レンズが着脱自在に取り付けられ
   かつ外周１２０度間隔位置に対物レンズの光軸に対して
   傾斜する第１のテーパ面を有する調整部材と、前記レボ
   ルバ本体に取り付けられるとともに前記第１のテーパ面
   と係合する第２のテーパ面を有しかつこの第２のテーパ
   面で前記第１のテーパ面を押圧して前記調整部材を前記
   光軸と交差する方向に移動させて前記レボルバ本体に固
   定する３個の係止部材と、これらの係止部材をそれぞれ
   前記光軸と平行な方向に押圧し前記調整部材を前記レボ
   ルバ本体に固定する３本の調心ねじと、を備えたことを
   特徴とするレボルバの調心機構。