JPH0678916U - レボルバの調心機構 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 容易に操作できるとともに、調心範囲が広く
得られ、かつ、コストの低いレボルバの調心機構を提供
する。 【構成】 レボルバの調心機構は、レボルバ本体７を顕
微鏡ユニット４に取付けた後、レボルバ本体７に装着さ
れた対物レンズ６を微調整する機構である。レボルバ本
体７には、対物レンズ６を取付けた調整フランジ10を、
調心ねじ12でスライドかつ固定可能としたカラー11で取
付ける。調整フランジ10の外周には、光軸Ｐ2 に対して
傾斜する第１のテーパ面を１２０度間隔で形成してあ
る。一方、カラー11には、第１のテーパ面に係合する第
２のテーパ面を形成してある。カラー11を押付ければ、
テーパ同士の作用で調整フランジ10が調心ねじ12と光軸
Ｐ2 とを結ぶ線に沿って移動するので、操作および微調
整が容易にできる。

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】

本考案はレボルバの調心機構に係り、特に顕微鏡等の光学機器に対物レンズを 取り付け、その対物レンズを微調整する際に利用できる。

【０００２】

【背景技術】

近年、例えば、半導体の高集積化、ビデオヘッド等の微細加工に代表されるよ うに、ミクロからサブミクロンへの部品検査のニーズが急速に高まるとともに、 例えば、顕微鏡による検査の精度も飛躍的に向上している。

【０００３】 図１には、例えば、部品検査等に使用される一般的な顕微鏡の全体が示されて おり、この顕微鏡１は本体２を備えている。この本体２には、被検査物を取り付 けるステージ３が設けられるとともに、Ｚ軸（上下）方向移動自在に顕微鏡ユニ ット４が取り付けられている。この顕微鏡ユニット４には、接眼レンズ５が取り 付けられるとともに、複数本の対物レンズ６を装着したレボルバ本体７が所定位 置に割り出しかつ固定可能に取り付けられている。

【０００４】 ところで、顕微鏡１において高精度の検査結果を得るためには、顕微鏡ユニッ ト４側の光軸Ｐ1 と対物レンズ６の光軸Ｐ2 との一致は不可欠である。しかし、 対物レンズ６がレボルバ本体７を介して顕微鏡ユニット４側に取り付けられる形 式の顕微鏡にあっては、両者が別体なのでそれぞれの光軸Ｐ1 ，Ｐ2 を一致させ ることはかなり困難である。そのため、レボルバ本体７を顕微鏡ユニット４に取 り付けた後に、対物レンズ６の微調整、つまり、調心が行われている。

【０００５】 検査の精度が飛躍的に向上したことに伴い、検査の後引き続き、例えば、液晶 パターン、ＩＣ等の補修をレーザ加工、あるいは可視光観察で行うこともできる ようになっている。その場合にも、上述のように、顕微鏡の対物レンズの調心が 行われる。

【０００６】 ここで、一般的なレボルバの調心機構としては、図５〜７に示すようなものが 知られている。 すなわち、対物レンズ６を取り付けるための段付き孔7Aがレボルバ本体７に複 数明けられており、この孔7Aに、鍔部を有する調整フランジ20が３個の取付けね じ21によって取り付けられるようになっている。一方で、調整フランジ20の鍔部 と段付き孔7Aの段部とは、鍔部の円周上対向位置に埋め込まれた２個の偏心ピン 22で連結されている。それぞれの調整フランジ20には、例えば、倍率の異なる対 物レンズ６が取り付けられている。なお、レボルバ本体７には、段付き孔7Aに連 続するとともに、対物レンズ６の光軸Ｐ2 を中心とする光用の貫通孔7Bが明けら れている。

【０００７】 このようなレボルバ本体７を顕微鏡ユニット４に取り付けた後、対物レンズ６ の調心を行う際は、３個の取付けねじ21を軽く緩め調整フランジ20を仮止めの状 態にしておき、接眼レンズ５を覗きながら２個の偏心ピン22を回し、調整フラン ジ20を移動させていた。

【０００８】

【考案が解決しようとする課題】

しかし、従来のレボルバの調心機構では、調整フランジ20を仮止めする際、取 付けねじ21を緩めすぎると、偏心ピン22を回してピントを合わせた後取付けねじ 21を本締めする時、調整フランジ20が動いて調心がうまく行かないという問題が あった。そのため、取付けねじ21の締め加減と偏心ピン22の回し加減とに熟練度 を要しており、操作が面倒であった。特に、偏心ピン22を回した際、調整フラン ジ20の動きは円弧状となるので、調心が難しいものとなっていた。

【０００９】 また、顕微鏡という機器の性質上調整フランジ20を大きくすることはできない ので、偏心ピン22が埋め込まれる部分も狭くなり、従って、従来の調心機構では 偏心ピン22の偏心量も大きくとることができない。そのため、調整フランジ20の 移動量、つまり対物レンズ６の調心範囲が狭く、十分な微調整が行われないとい う問題があった。

【００１０】 さらに、偏心ピン22の製作は面倒であるとともに、費用も多くかかり、結果的 にコストの高いレボルバの調心機構となっていた。

【００１１】 ここに本考案の目的は、容易に操作できるとともに、調心範囲が広く得られ、 かつ、コストの低いレボルバの調心機構を提供することにある。

【００１２】

【課題を解決するための手段】

そこで本考案は、光学機器のレボルバ本体に取り付けた対物レンズを微調整可 能とするレボルバの調心機構であって、前記対物レンズが着脱自在に取り付けら れるとともに、外周１２０度間隔位置に前記対物レンズの光軸に対して傾斜する 第１のテーパ面が形成された調整部材と、前記レボルバ本体に取り付けられると ともに、前記第１のテーパ面と係合する第２のテーパ面を有し、かつ、この第２ のテーパ面で前記第１のテーパ面を押圧し調整部材を前記レボルバ本体に固定可 能とする３個の係止部材と、これらの係止部材を前記光軸と平行な方向に押圧し て調整部材をレボルバ本体に固定する調心ねじとを備えたレボルバの調心機構と したものである。

【００１３】

【作用】

このような本考案では、レボルバ本体に設けられた調整部材の第１のテーパ面 と、係止部材の第２のテーパ面とが係合しており、係止部材を調心ねじによって スライドさせれば、第２のテーパ面が第１のテーパ面を押圧し調整部材が移動し 対物レンズが微調整される。 調心ねじを回せば係止部材がスライドし、調整部材と係止部材のそれぞれのテ ーパ面の作用により調整部材が、光軸と直交する方向に移動するので、容易に操 作できるとともに、広い調心範囲が得られる。また、偏心ピンが不要となるので 、コストも低くなり、これらにより、前記目的が達成される。

【００１４】

【実施例】

以下、本考案のレボルバの調心機構について好適な実施例挙げ、添付図面を参 照しながら詳細に説明する。

【００１５】 図２〜４には、本実施例のレボルバの調心機構が示されている。 以下、前記従来例で説明した部材と同一部材については、同一符号を付すとと もに、その説明は省略または簡略化する。

【００１６】 レボルバ本体７には、前述のように複数個の対物レンズ６が取り付けられるが 、この対物レンズ６は、図２に示すように、調整部材である調整フランジ10にね じ込んで取り付けられる。 調整フランジ10は、鍔部を備えた筒状部材とされており、その筒部をレボルバ 本体７に明けられた段付き孔7Aに挿入して取り付けられる。ここで、筒部外周と 段付き孔7Aとの間には所定の隙間が形成され、調整フランジ10の移動範囲が確保 されている。また、鍔部の外周には、図４に示すように、対物レンズ６の光軸Ｐ 2 に対してＰ2 から離れる方向に傾斜する第１のテーパ面10A が、図３に示すよ うに１２０度間隔で設けられている。

【００１７】 この第１のテーパ面10A に対応するレボルバ本体７側には、円形凹部7Cが形成 されており、この円形凹部7C内に、係止部材である円柱状の３個のカラー11が、 調心ねじ12によって光軸Ｐ2 と平行な方向に移動可能に取り付けられている。 また、各カラー11には、第１のテーパ面10A に係合可能な第２のテーパ面11A がそれぞれ形成されている。 従って、調整フランジ10の第１のテーパ面10A とカラー11の第２のテーパ面11 A とを係合させた後、調心ねじ12を回してカラー11を押付ければ、第２のテーパ 面11A と第１のテーパ面10A との当接により、調整フランジ10は調心ねじ12の中 心と対物レンズ６の光軸Ｐ2 とを結ぶ線に沿って直線移動するようになっている 。

【００１８】 次に本実施例の作用を説明する。 予め所定の対物レンズ６が取り付けられた調整フランジ10をレボルバ本体７に 取り付け、このレボルバ本体７を顕微鏡ユニット４に装着する。この際、調整フ ランジ10の取り付けは、調心ねじ12によって大まかに調心して仮に固定しておく 。

【００１９】 レボルバ本体７が顕微鏡ユニット４に装着された後、複数の対物レンズ６のう ち、まず１つを被検査物に対する位置に割り出し、その対物レンズ６の調心を行 う。この際、まず３個の調心ねじ12をそれぞれ均等に軽く緩め、次に調整フラン ジ10を所定の方向に微動させるために所定の調心ねじ12を締め込む。調心ねじ12 の締め込みによって、カラー11が押し込まれ、その結果、カラー11の第２のテー パ面11A と調整フランジ10の第１のテーパ面10A との作用により、調整フランジ 10が所定の方向に移動し調心が終了する。次いで、３個の調心ねじ12を均等に締 付けて調整フランジ10を固定する。

【００２０】 このような作業によって、残りの対物レンズ６の調心も行う。 そして、被検査物をステージ３上に取り付けて、所定の対物レンズ６を割り出 し検査等を開始する。

【００２１】 前述のような本実施例によれば次のような効果がある。 すなわち、調整フランジ10に装着された対物レンズ６の調心は、調整フランジ 10の第１のテーパ面10A にカラー11の第２のテーパ面11A を係合させ、カラー11 を上下方向にスライドさせれば、両テーパ面10A ，11A の作用により、調整フラ ンジ10が調心ねじ12の中心と対物レンズ６の光軸Ｐ2 とを結ぶ線に沿って直線移 動するので、操作が容易であり、かつ、調心が容易である。

【００２２】 また、調整フランジ10の筒部とこの筒部が挿入されるレボルバ本体７の段付き 孔7Aとには、所定の隙間が形成されており、この隙間内での調整フランジ10の移 動が許容されるので、調心範囲が広くとれる。

【００２３】 さらに、カラー11は円柱形状とされ、一端側にテーパ面11A を形成すればよく 、加工が容易であり、従来のように面倒な偏心ピンを作成せずにすむので、製造 コストが安くなる。

【００２４】 また、調整フランジ10とカラー11とは、120 度間隔の位置で係合しており、均 等位置での係合なので、安定した姿勢を保持して調心が可能となる。

【００２５】 なお、本考案は、上記実施例に限定されるものではなく、本考案の要旨を逸脱 しない範囲において種々の改良並びに設計変更ができる。 例えば、前記実施例では、係止部材であるカラー11は円柱形状とされ一端側に テーパ面11A が形成されているが、これに限らず、例えば、ブロック形状のカラ ーとしてもよい。

【００２６】 また、前記実施例では、レボルバの調心機構が顕微鏡に使用された例としたが 、これに限らず、要は、対物レンズが装着されたレボルバ本体を着脱可能に取り 付けるものであればよく、例えば、投影機や、チャートの位置補正が必要とされ るルーペおよびコリメータ等の光学機器にも利用できる。

【００２７】

【考案の効果】

以上に説明したように、本考案によれば、容易に操作できるとともに、調心範 囲が広く得られ、かつ、コストが低いレボルバの調心機構を提供することができ る。

【図面の簡単な説明】

【図１】一般的な顕微鏡を示す全体図である。

【図２】本考案の一実施例に係るレボルバの調心機構を
示す縦断面図である。

【図３】図２におけるIII 矢視図である。

【図４】本考案の一実施例の要部を表し、図２における
Ａ部の縦断面図である。

【図５】従来のレボルバの調心機構を示す縦断面図であ
る。

【図６】図５におけるVI矢視図である。

【図７】図６におけるVII-VII 線断面図である。

【符号の説明】

１ 顕微鏡 ６ 対物レンズ ７ レボルバ本体 10 調整フランジ（調整部材） 10A 第１のテーパ 11 カラー 11A 第２のテーパ 12 調心ねじ Ｐ1 光軸（顕微鏡ユニット側） Ｐ2 光軸（対物レンズ側）

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】 光学機器のレボルバ本体に取り付けた対
   物レンズを微調整可能とするレボルバの調心機構であっ
   て、前記対物レンズが着脱自在に取り付けられるととも
   に、外周１２０度間隔位置に前記対物レンズの光軸に対
   して傾斜する第１のテーパ面が形成された調整部材と、
   前記レボルバ本体に取り付けられるとともに、前記第１
   のテーパ面と係合する第２のテーパ面を有し、かつ、こ
   の第２のテーパ面で前記第１のテーパ面を押圧し調整部
   材を前記レボルバ本体に固定可能とする３個の係止部材
   と、これらの係止部材を前記光軸と平行な方向に押圧し
   て調整部材をレボルバ本体に固定する調心ねじと、を備
   えたことを特徴とするレボルバの調心機構。