JPH0347246Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 (イ) 産業上の利用分野 本考案は、電子顕微鏡等における電子線の絞り
装置に関する。

(ロ) 従来技術とその問題点 従来の電子顕微鏡等において適用される電子線
絞り装置には、像の収差を少なくする点から互い
に口径の異なる複数の絞り孔を選択できる可変絞
り機構を備え、検鏡時に倍率やレンズモードに合
わせて最適な絞り孔が選定できるようにしたもの
がある。この場合、上記の絞り孔の口径は数十な
いし数百μｍと極めて微少なため、絞り孔の中心
を電子線の光軸に対して高精度に位置決めする必
要がある。そこで、従来のものでは、絞り板に複
数の絞り孔を一定間隔で直線状に形成するととも
に、該絞り板に絞り板を直線移動するねじ送り機
構を接続し、ねじ送り機構のツマミ操作によつて
ねじピツチの送りを調整し、これによつて所要の
口径の絞り孔が適宜電子線の光軸上に位置するよ
うにした構成が広く採用されている（例えば、特
公昭55−13374参照）。

ところが、このような従来の構造ものでは、絞
り孔の位置調整は絞り孔の直線配列に沿つたＸ方
向に対しては高精度に行なえても、これと直行す
るＹ，Ｚ方向での位置調整の精度は保証されな
い。従来のもので絞り孔の位置を全方向で微調整
しようとすれば一層複雑な調整機構が必要となり
装置が高価になる。このため、比較的簡単な機構
でもつて絞り孔を電子線の光軸に対して高精度か
つ短時間に位置合わせできる装置が望まれてい
た。

(ハ) 目的 本考案は、上述の事情に鑑みてなされたもので
あつて、比較的簡単な機構で所要の絞り孔を短時
間にかつ高精度に位置決めできるようにすること
を目的とする。

(ニ) 構成 本考案は上述の目的を達成するため、電子線の
光軸上に配置された中心円筒とこの中心円筒の径
方向外方に配置された複数の絞り手段とを備え、
これらの各絞り手段は前記中心円筒の外周面に当
接離間自在に設けられるとともに、中心に絞り孔
が形成された絞り板部とこの絞り板部を保持する
断面円弧状の係合部とが形成された位置決め基体
を有し、この位置決め基体の前記係合部の内周面
が前記中心円筒の外周面と同径に形成されて電子
線絞り装置を構成している。

(ホ) 実施例 以下、本考案を図面に示す実施例に基づいて詳
細に説明する。

第１図は本考案の電子線絞り装置の縦断面図、
第２図は同装置の横断面図である。これらの図に
おいて、符号１は電子線絞り装置、２は真空保持
用の筐体、４は電子線を放射する電子銃のフイラ
メント、６は電子線収束用の磁界レンズである。
また、８は電子線の光軸ｘ上に間隙ｃを存して対
向配置された２つの中心円筒、１０は中心円筒８
の径方向外方に配置された複数（本例では３つ）
の絞り手段である。各絞り手段１０は、第３図に
示すように、中心に絞り孔１２が形成された絞り
板部１４とこの絞り板部１４を保持する断面円弧
状の係合部１６とを有する位置決め基体１８を備
え、上記係合部１６の内周面が前記中心円筒８の
外周面と同径に形成されている。なお、各絞り手
段１０の絞り孔１２は口径がそれぞれ異なるよう
に形成される。２０は位置決め基体１８の係合部
１６外壁に取り付けられた自在継手、２２は自在
継手２０に一端が連結された移動軸、２４は筐体
２内を大気と隔絶するベロー、２６は筐体２に取
り付けられたシリンダ部材、２８は位置決め基体
１８を移動軸２２とともに中心円筒８側に付勢す
る圧縮ばね、３０は移動軸２２に嵌着されたスリ
ーブ、３２はスリーブ３０に螺合されたばね力調
整用の調整ねじ、３４は移動軸２２に遊嵌された
つば、３６はつば３４に固着されたアーム、３
８，４０はそれぞれアーム掛止用の切欠である。

従つて、所要の絞り孔１２を電子線の光軸ｘに
位置決めするには、まず、アーム３６を引き込み
位置側の切欠４０から外して押し込み側の切欠３
８に掛止する。これに伴ない、移動軸２２が圧縮
ばね２８のばね力により図上左方向に移動し、そ
の結果、位置決め基体１８の係合部１６が中心円
筒８の外周面に当接するとともに、絞り板部１４
が中心円筒８の間隙ｃに位置する。この場合、中
心円筒８外周面と位置決め基体１８の係合部１６
内周面とは精密なはめあい公差で形成されてお
り、かつ、自在継手によつて位置決め基体１８は
完全に中心円筒８に沿うことになる。これによつ
て、電子線の光軸ｘ上に絞り孔１２が設定される
ので、フイラメント４を出た電子線は中心円筒８
を通つて電磁レンズ６で収束され、絞り孔１２で
所要のビーム径に絞られて図示省略した対物レン
ズ等を通過して試料に照射される。

(ヘ) 効果 以上のように、本考案によれば、中心円筒の内
外周面を直接光軸設定のためのガイドとしている
ので機械加工精度の誤差の累積が少なく、従つ
て、比較的簡単な機構にもかかわらず所要の絞り
孔を短時間にかつ精度良く電子線の光軸上に位置
合わせすることができる。また、絞り孔の交換が
容易で、その際再調整の必要もなく再現性も良い
という優れた効果を奏する。

【図面の簡単な説明】

図面は本考案の実施例を示すもので、第１図は
電子線絞り装置の縦断面図、第２図は同装置の横
断面図、第３図は位置決め基体の斜視図である。 １……電子線絞り装置、８……中心円筒、１０
……絞り手段、１２……絞り孔、１４……絞り板
部、１６……係合部、１８……位置決め基体。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 電子線の光軸上に配置された中心円筒とこの中
   心円筒の径方向外方に配置された複数の絞り手段
   とを備え、これらの各絞り手段は前記中心円筒の
   外周面に当接離間自在に設けられるとともに、中
   心に絞り孔が形成された絞り板部とこの絞り板部
   を保持する断面円弧状の係合部とが形成された位
   置決め基体を有し、この位置決め基体の前記係合
   部の内周面が前記中心円筒の外周面と同径に形成
   されていることを特徴とする電子線絞り装置。