JP2610952B2

JP2610952B2 - コリメータ

Info

Publication number: JP2610952B2
Application number: JP63198722A
Authority: JP
Inventors: 正志近藤
Original assignee: Jeol Ltd
Current assignee: Jeol Ltd
Priority date: 1988-08-09
Filing date: 1988-08-09
Publication date: 1997-05-14
Anticipated expiration: 2012-05-14
Also published as: JPH0247600A

Description

【発明の詳細な説明】［産業上の利用分野］本発明は、Ｘ線回折装置に用いるコリメータに関する
ものである。

［従来の技術］微小領域Ｘ線回折装置、デバイシェラカメラ、ラウエ
カメラ、ワイゼンベルグカメラ、４軸形回折計等のＸ線
回折を行う装置においては、Ｘ線源からの入射Ｘ線ビー
ムをコリメータにより小さなスポットとして試料の微小
な領域に照射し、そこから発生する回折線を解析して定
性分析することが行われる。

従来のコリメータの１例を第２図に示す。第２図は二
つのコリメータピースを有する、いわゆるダブルピンホ
ールコリメータの断面図であり、外筒１の軸方向には貫
通孔が設けられ、その両端部には第１コリメータピース
２および第２コリメータピース３が取り付けられてい
る。該コリメータピース２および３は、直径3mm程度、
厚さが0.4mm程度のモリブデン、金等からなる円板に、
直径10μｍ〜1mm程度の所定の孔を開けたもので、通
常、Ｘ線源に近い第１コリメータピース２の孔の径は第
２コリメータピース３の径より大きく設定される。これ
はＸ線ビームの強度を高めるためであるが、Ｘ線ビーム
に高い平行性が要求される場合には、第１コリメータピ
ース２および第２コリメータピース３としては同じ径の
孔を有するものが使用される。

第２図の構成において、６で示す矢印の方向から入射
したＸ線ビームは第１コリメータピース２、第２コリメ
ータピース３によって絞り込まれ、細いビームとなされ
て図示しない試料の微小領域に照射される。なお、図
中、4,5は補助リングである。

また、第３図に示すようなコリメータも提案されてい
る。第３図に示すものにおいては、外筒１の内部には、
第１コリメータピース２および第２コリメータピース３
を有する内筒７が挿入され、第１および第２のコリメー
タピース２、３の孔の中心位置は調整部材としての調整
ネジ８および９で外部から調整可能となされている。即
ち、調整ネジ８の部分のＡ−Ａ′での断面図を第４図に
示すが、第４図から明らかなように、４つのネジ８′を
調整することで第１コリメータピース２の径方向の位置
を調整することができるものである。調整ネジ９の部分
も同様に構成されている。なお、第３図において、第１
コリメータピース２は内筒７に接着されるが、第２コリ
メータピース３は内筒７の軸方向に形成された貫通孔で
構成されている。

第３図に示すコリメータにおいては、内筒７は外筒１
より長くなされており、内筒７のＸ線出射端は外筒から
試料側に飛び出すように配置されている。これはデッド
アングルを小さくするためであり、これが当該コリメー
タの特徴となっている。

いま、第５図ａ、ｂに示すように、第２図に示すコリ
メータの第２コリメータピース３と、第３図に示すコリ
メータの第２コリメータピース３が試料10から等しい距
離にあったとすると、試料10からコリメータを見込む角
度θは第３図に示すコリメータの方が小さく、それだけ
検出器に対して邪魔にならない、即ちデッドアングルが
小さいことになる。

［発明が解決しようとする課題］さて、コリメータを用いて試料の測定しようとする微
小領域に、再現性よく、かつ互換性を持たせてＸ線ビー
ムを照射するためには、全てのコリメータの外筒の外径
は一定で、かつ真円であることは勿論として、各コリメ
ータピースの孔の中心は外筒の中心と一致していなけれ
ばならない。

しかし、第２図に示すコリメータにおいて第１、第２
のコリメータピース２、３を外筒１に固着するために
は、第１、第２のコリメータピース２および３をそれぞ
れ補助リング４および５に接着し、接着剤が乾燥した
後、顕微鏡で観察しながら外筒１に補助リング４、５を
中心を合わせて接着していたので、接着の際に補助リン
グが浮き上がって位置が変わったり、接着剤が乾燥する
過程で収縮して補助リングが動いてしまうこともあっ
た。そして、補助リング４、５を接着、乾燥後コリメー
タピース２または３の位置ずれが確認されると、それは
廃棄されて別のコリメータを初めから作り直すことを行
わねばならないものであった。

もっとも、コリメータピースの孔の径が0.5mm〜1mm程
度であれば位置決めの作業は比較的楽であるが、最近で
は10μｍ程度の小さな径のコリメータピースが要求され
ることが多く、このように非常に小さな径のコリメータ
ピースを上記の方法で中心を合わせて接着する作業は非
常に困難を伴うものであった。

これに対して、第３図に示す構成のコリメータにおい
ては、先ず、内筒７に第１コリメータピース２を接着
し、乾燥の後内筒７を外筒１に挿入する。そして、コリ
メータを第６図に示すようにＶブロック11で押さえ、顕
微鏡12で観察しながら矢印13のように外筒１をその中心
軸の廻りに回転させ、第１コリメータピース２の孔の中
心が動かなくなるように調整ネジ８を調整する。これで
第１コリメータピース２の孔の中心がとれたことにな
る。次に、第２コリメータピース３についても同様に行
う。

しかし、第３図の構成によれば、調整ネジ８で第１コ
リメータピース２の孔の中心位置を調整する場合には、
内筒７は調整ネジ９を支点として回転し、また、調整ネ
ジ９で第２コリメータピース３の孔の中心位置を調整す
る場合には、内筒７は調整ネジ８を支点として回転する
から、上記のように先ず調整ネジ８で第１コリメータピ
ース２の中心を合わせても、次の調整ネジ９で第２コリ
メータピース３の中心を合わせる作業のときには第１コ
リメータピース２の中心は移動してしまうことになり、
結局コリメータピース２および３の中心合わせの調整作
業は非常に手間の掛かるものであった。

本発明は、上記の課題を解決するものであって、コリ
メータピースの中心を外筒１の中心と一致させる作業を
容易にできるコリメータを提供することを目的とするも
のである。

［課題を解決するための手段］上記目的を達成するために、本発明のコリメータは、
外筒と、該外筒の内側に間隔を持って挿入され二つのコ
リメータピースを有する内筒と、前記コリメータピース
の中心を前記外筒の中心に合わせるために前記外筒の両
端部近傍に設けられた調整部材とを備え、前記内筒のＸ
線出射端が前記外筒から突出しているコリメータにおい
て、前記調整部材間に前記内筒と外筒が嵌合する部材を
設けたことを特徴とする。

［作用］本発明においては、外筒の両端近傍に設けられる二つ
の調整部材の間、望ましくは略中央部に固定部材を設け
るので、該固定部材の両側では内筒は干渉することな
く、互いに独立に調整でき、従ってコリメータピースの
中心の調整は２回で済むようになり、調整作業が容易に
なるものである。

［実施例］以下、図面を参照しつつ実施例を説明する。

第１図は本発明に係るコリメータの１実施例の構成を
示す図であり、第３図に示すものと比較すると、外筒１
の略中央部が内側に突出しており、当該突出部16には、
内筒７を外筒１と固定する固定ネジ15が設けられている
点が異なっている。この突出部16と固定ネジ15で固定部
材が構成されているものである。

さて、第１図に示す構成のコリメータを作製するにつ
いては、先ず、第１コリメータピース２が接着された内
筒７が外筒１に挿入されるが、突出部16により内筒７と
外筒１はがたが無いようにはめ合わされ、外筒１に対す
る内筒７の軸方向の位置が決められた後、固定ネジ15で
固定される。このことによって、内筒７の固定ネジ15の
両側の部分は互いに干渉することがなく、独立に調整が
可能である。即ち、調整ネジ８で第１コリメータピース
２の中心合わせを行う場合を考えると、内筒７は固定ネ
ジ15で固定された部分を支点としてたわむだけで第２コ
リメータピース３には何等の影響を与えないのである。
従って、第６図に示すと同様にＶブロックに押さえて、
先ず例えば調整ネジ８で第１コリメータピース２の中心
合わせを行い、ペイント等の方法で調整ネジ８を固定
し、次に、同様にして調整ネジ９で第２コリメータピー
ス３の中心を合わせた後に調整ネジ９を固定すればコリ
メータピース２および３の調整作業は完了する。なお、
調整ネジ８および９は第４図に示すと同様な構成でよい
ことは明かであろう。

以上、本発明の１実施例について説明したが、本発明
は上記実施例に限定されるものではなく、種々の変形が
可能である。例えば、コリメータの構造は第１図に示す
ものに限らない。つまり、上記実施例では、いわゆるダ
ブルピンホールコリメータの例をとりあげたが、コリメ
ータピースが１つの、いわゆるシングルコリメータにも
適用できるものである。また、内筒７を外筒１に固定す
る手段は種々考えられるところであり、実施例として説
明した突出部16と固定ネジ15の組合せに限られるもので
はない。更に、固定部材の位置は外筒１の中央部に限る
ものではなく、調整ネジ８と調整ネジ９の間ならどこで
もよいものである。更にまた、調整ネジを固定するに
は、ペイントする他にネジ自体に接着剤を含侵させてお
くことことによって行うこともできる。

［発明の効果］本発明によれば、調整部材間に内筒と外筒が嵌合する
部分を設けたので、その嵌合部の両側では内筒は干渉す
ることはなく、両側でのコリメータピースの中心の調整
を互いに独立に行なえ、その調整は２回で済むようにな
り、従来にくらべ調整作業が短時間に容易に行なえる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明に係るコリメータの１実施例の構成を示
す図、第２図、第３図は従来のコリメータの構成を示す
図、第４図は第３図のＡ−Ａでの断面を示す図、第５図
はデッドアングルを説明する図、第６図は第１図および
第３図に示すコリメータの調整方法を示す図である。１……外筒、２……第コリメータピース、３……第２コ
リメータピース、７……内筒、８、９……調整ネジ。

Claims

(57)【特許請求の範囲】

【請求項１】外筒と、該外筒の内側に間隔を持って挿入
され二つのコリメータピースを有する内筒と、前記コリ
メータピースの中心を前記外筒の中心に合わせるために
前記外筒の両端部近傍に設けられた調整部材とを備え、
前記内筒のＸ線出射端が前記外筒から突出しているコリ
メータにおいて、前記調整部材間に前記内筒と外筒が嵌
合する部材を設けたことを特徴とするコリメータ。