JPH0684412U

JPH0684412U - 光学手段の連結手段及びその連結手段を用いたアライメントユニット

Info

Publication number: JPH0684412U
Application number: JP030992U
Authority: JP
Inventors: 一馬関家; 隆之馬橋
Original assignee: 株式会社ディスコ
Priority date: 1993-05-18
Filing date: 1993-05-18
Publication date: 1994-12-02

Abstract

(57)【要約】【目的】光学手段の連結手段、及びその連結手段を用
いたアライメントユニットを提供する。【構成】第１の光学手段と、第２の光学手段とを連結
する連結手段であって、第１の光学手段に結合する固定
部と、第２の光学手段に結合するスリ割りリング部とか
ら構成する。第１の光学手段である顕微鏡と、第２の光
学手段である撮像手段とを連結してダイシング装置等に
装着されるアライメントユニットにおいて、顕微鏡と撮
像手段との光軸を揃えて前記連結手段によって連結す
る。

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】

本考案は、光学手段の連結手段及びその連結手段を用いたダイシング装置等のアライメントユニットに関するものである。

【０００２】

【従来の技術】

ダイシング装置等のアライメントユニットには、撮像手段（ＣＣＤカメラ等）と顕微鏡とが同軸に連結して組み込まれるが、その連結手段としては、従来図４ (イ) 、(ロ) に示すように第１の光学手段である顕微鏡１の上部の取付孔１ａに、円筒形の連結手段２を嵌めてフランジ部２ａをビス３で固定し、この連結手段２に第２の光学手段である撮像手段４の被結合部４ａを挿入し、前記フランジ部２ａの側部に放射方向（求心方向）に取り付けられた複数本の締め付けねじ５で撮像手段４の被結合部４ａを締め付け固定するようになっている。

【０００３】

【考案が解決しようとする課題】

ダイシング装置等に前記顕微鏡１及び撮像手段４を組み込む際、撮像手段４で撮像されモニター上に写し出される画像がずれないようにしなければならない。即ち、図５(イ) 、(ロ) に示すように回転ブレード６によって形成されたダミーウェーハ７上の溝７ａを顕微鏡１で捉え、撮像手段４で撮像しモニター８に写し出した際、モニター８上の中心線であるヘアーラインＣと切削溝７ａの切削ラインＬとが少なくとも平行になるようにしなければならない。そのため装置に固定されている顕微鏡１に対し撮像手段４を軸心回りに回転（θ方向）させ、ヘアーラインＣと切削ラインＬとが平行になるように微調整をしている。この調整作業は前記締め付けねじ５を緩め、撮像手段４をθ方向に所定角度回転させ、調整後には再び締め付けねじ５を締め付けて撮像手段４を固定するようにしている。しかし、締め付けねじ５の先端部が撮像手段４の被結合部４ａに強く接触して傷が付いたり、或はねじの回転に起因して撮像手段４に歪みが生じる等の不具合があった。本考案は、このような従来の不具合を除去するためになされ、撮像手段を傷付けずに且つ歪みが生じる事無く顕微鏡と撮像手段とを連結出来るようにした連結手段、及びその連結手段を用いたアライメントユニットを提供することを課題としたものである。

【０００４】

【課題を解決するための手段】

前記課題を技術的に解決するための手段として、本考案は、第１の光学手段と、第２の光学手段とを連結する連結手段であって、前記第１の光学手段に結合する固定部と、前記第２の光学手段に結合するスリ割りリング部と、から構成された光学手段の連結手段を要旨とするものである。更に、第１の光学手段である顕微鏡と、第２の光学手段である撮像手段とを連結してダイシング装置等に装着されるアライメントユニットにおいて、前記顕微鏡と、前記撮像手段との光軸を揃えて請求項１記載の連結手段によって連結したアライメントユニットを要旨とするものである。

【０００５】

【作用】

第１の光学手段である顕微鏡と第２の光学手段である撮像手段との連結手段がスリ割りリングを有しており、このスリ割りリングで撮像手段の被結合部を全体的に締め付けて固定し、締め付けねじが被結合部に接触しないので傷を付けることがなく、又撮像手段に歪みが生じることもない。

【０００６】

【実施例】

以下、本考案の実施例を添付図面に基づいて詳説する。図１において、９はアルミニウム、合成樹脂等で一体形成された連結手段であり、円筒部９ａと、この円筒部９ａをほぼ上下に二分する固定部９ｂを有し、上半部の円筒部はスリット９ｃで欠円状に形成されている。そのスリット９ｃの両側には切り込み９ｄが前記固定部９ｂの上面に沿って対称的に設けられ、且つスリット９ｃの両側には肉厚の締付片９ｅが対設されると共に締め付けねじ１０が螺挿され、この締め付けねじ１０を締め付けると上半部の円筒部が窄まるようにしてある。つまり、上半部の円筒部はスリ割りリング部９ｆに形成され、円筒部９ａに挿入した棒状物等をクランプ出来るようにしてある。更に、前記固定部９ｂには取付孔９ｇが円周方向に沿って複数個設けられている。

【０００７】この連結手段９は前記第１の光学手段である顕微鏡１の取付孔１ａに挿入し、固定部９ｂをビス１１で結合する。次いで、図２に示すように第２の光学手段である撮像手段４の被結合部４ａを連結手段９の円筒部９ａに挿入し、前記締め付けねじ１０を締め付ければスリ割りリング部９ｆによって、被結合部４ａを締め付けて同軸に結合することが出来る。

【０００８】この時、締め付けねじ１０の先端部が撮像手段４の被結合部４ａに全く接触しないので傷を付けることがなく、又撮像手段４に歪みが生じることもない。しかも、スリ割りリング部９ｆで撮像手段４の被結合部４ａを全体的に締め付けて固定することから、安定性の高い結合状態が得られる。

【０００９】このように連結された顕微鏡１と撮像手段４は、図３に示すようにダイシング装置１２等のアライメントユニット１３に組み込んで使用される。顕微鏡１と撮像手段４とを結合し固定する際、モニター８を見ながら前記のようにヘアーラインＣと切削ラインＬとを平行に合わせるために顕微鏡１に対する撮像手段４の微調整が行われる。この調整時に前記締め付けねじ１０を少し緩めれればスリ割りリング部９ｆのクランプが解除され、撮像手段４をθ方向に回転させることが出来るので調整作業が非常にし易くなる。従来は、複数本の締め付けねじ５を全部緩めないと、撮像手段４をθ方向に回転させることが出来ないので調整作業は面倒であった。更に、調整後の再固定も前記締め付けねじ１０のみで操作できるので、従来例より著しく簡単である。

【００１０】前記ダイシング装置１２においては、先ずスライド可能な出入手段１４によってカセット１５からウェーハが待機領域１６に１枚ずつ引き出され、そのウェーハは次に回転アームを備えた搬送手段１７によってチャックテーブル１８に搬送される。その後、前記アライメントユニット１３の下部まで移動してアライメントが遂行される。このアライメントは従来通りに前記撮像手段４で撮像することにより遂行され、モニター８にその状況が写し出される。

【００１１】アライメントの終了後、チャックテーブル１８は更に移動して回転ブレードを備えた切削手段１９によりダイシングが遂行される。ダイシング後に、チャックテーブル１８は最初の位置に戻り、ウェーハはスライド式の搬送手段２０によって洗浄領域２１に搬送され、ここで所定の洗浄を受けた後に前記回転式の搬送手段１７によって待機領域１６に戻され、出入手段１４により前記カセット１５内に再び収納される。この一連の作業がタイミングを取りながら連続的に行われる。

【００１２】尚、２２は搬送手段１７の回転アーム先端部の上面に取り付けられた透明円盤カバーで、待機領域１６でのウェーハの汚染を防止するものであり、２３は搬送手段２０のアーム先端下部の吸着機構の上に取り付けられた透明円盤カバーで、洗浄時に洗浄領域２１の開口部を施蓋し洗浄液の飛散を防止するためのものである。

【００１３】

【考案の効果】

以上説明したように、本考案によれば、ダイシング装置等のアライメントユニットに組み込む第１の光学手段である顕微鏡と第２の光学手段である撮像手段とを、スリ割りリングを有する連結手段で連結したので、安定性の高い結合状態が得られ、撮像手段の被結合部を傷付けたり或は撮像手段に歪みを生じたりすることはなく、又スリ割りリング部を開閉するねじ１本を操作するだけで撮像手段の θ方向の微調整を簡単に出来る等の優れた効果を奏する。

【図面の簡単な説明】

【図１】本考案の一実施例における連結手段の取付要
領を示す斜視図である。

【図２】顕微鏡と撮像手段との連結状態を示す正面図
である。

【図３】顕微鏡と撮像手段とをアライメントユニット
に組み込んだダイシング装置の斜視図である。

【図４】 (イ) は従来例での顕微鏡と撮像手段との連結
要領を示す斜視図、(ロ) はその連結状態を示す正面図で
ある。

【図５】 (イ) はダミーウェーハを回転ブレードで溝付
けする様子を示す斜視図、(ロ) は撮像手段で撮像した切
削ラインをモニターに写し出し、モニターのヘアーライ
ンと見比べて撮像手段をθ方向に微調整する様子を示す
説明図である。

【符号の説明】

１…顕微鏡１ａ…取付孔２…連結手段２ａ
…フランジ部３…ビス４…撮像手段４ａ…
被結合部５…締め付けねじ６…回転ブレード
７…ダミーウェーハ７ａ…切削溝８…モニタ
ー９…連結手段９ａ…円筒部９ｂ…固定部
９ｃ…スリット９ｄ…切り込み９ｅ…締付片９ｆ…スリ割りリング部９ｇ…取
付孔１０…締め付けねじ１１…ビス１２…
ダイシング装置１３…アライメントユニット１４…出入手段１５…カセット１６…待機領域
１７…搬送手段１８…チャックテーブル１９…切削手段２０…
搬送手段２１…洗浄領域２２、２３…透明円盤
カバー

Claims

【実用新案登録請求の範囲】

【請求項１】第１の光学手段と、第２の光学手段とを
連結する連結手段であって、前記第１の光学手段に結合
する固定部と、前記第２の光学手段に結合するスリ割り
リング部と、から構成された光学手段の連結手段。
【請求項２】第１の光学手段である顕微鏡と、第２の
光学手段である撮像手段とを連結してダイシング装置等
に装着されるアライメントユニットにおいて、前記顕微
鏡と、前記撮像手段との光軸を揃えて請求項１記載の連
結手段によって連結したアライメントユニット。