JPH0879774A - 撮像装置の製造装置およびチャック機構 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 撮像素子（ＣＣＤ）の接合を精度良く行うこ
とができる撮像装置の製造装置およびチャック機構装置
を提供する。 【構成】 入射面に入射した光を分光し３つの出射面か
ら出射するプリズム３の上記出射面のそれぞれにＣＣＤ
４を接合することで、３板式ＣＣＤカメラを製造する装
置であって、上記プリズム３および位置決め用のレンズ
系１２を保持するプリズム保持機構１４と、ロ−タリテ
−ブル２３と、このロ−タリテ−ブル２３上に設けら
れ、上記ＣＣＤ４を保持可能なチャック機構３１を具備
すると共に、このロ−タリテ−ブル２３が回転すること
で上記プリズム保持機構１４に保持されたプリズム３の
各出射面に上記ＣＣＤ４を対向させ、このＣＣＤ４を位
置決めして上記出射面に接合する６軸位置決め装置２４
とを有する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】この発明は、例えば３板式ＣＣＤ
カメラや２枚式ＣＣＤカメラ等の撮像装置を製造する撮
像装置の製造装置および例えばこの撮像装置に取着する
撮像素子を握持するチャック機構に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】ＣＣＤ（撮像素子）を用いた撮像装置
に、図６に示す３板式ＣＣＤカメラ１がある。この３板
式ＣＣＤカメラ１は、入射光Ｌをダイクロイックミラ−
２を組み込んでなるプリズム３で光の３原色（Ｒ、Ｇ、
Ｂ）に分光し、それらを図に４〜６で示す３つの第１〜
第３のＣＣＤ（撮像素子）で別々に検出することで、カ
ラ−出力画像を得る装置である。

【０００３】この３板式ＣＣＤカメラ１は、３原色
（Ｒ、Ｇ、Ｂ）のそれぞれに各ＣＣＤ４〜６を割り当て
るようにしているので、カラ−フィルタを用い一枚のＣ
ＣＤで３色を取り出す単板式ＣＣＤカメラと比較して単
純計算で３倍の解像度を得ることができる。

【０００４】したがって、このような３板式ＣＣＤカメ
ラ１を小形化して、例えば半導体製造装置や精密加工装
置等に組み込めるようにすれば、これらの装置の加工精
度を向上させることができる等、実用範囲が拡大する。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】ところで、この３板式
ＣＣＤカメラ１を小形化するには、上記第１〜第３のＣ
ＣＤ４〜６に例えば１／３インチのＣＣＤを採用すると
共に、これに適合する小形のプリズム３を設計すること
が必要となる。

【０００６】しかし、このＣＣＤカメラ１の小形化で最
も大きな問題となるのは、上記各第１〜第３のＣＣＤ４
〜６の上記プリズム３への固定精度である。小形３板式
ＣＣＤカメラ１では、各ＣＣＤ４〜６のわずかな位置ず
れが性能に大きく影響する。

【０００７】例えば、上記１／３インチＣＣＤを使用す
る場合には、２／３インチのＣＣＤを使用する放送局用
の３板式ＣＣＤカメラに比べて、上記ＣＣＤの固定精度
を「一桁程度」も向上なければならないとも言われてい
る。

【０００８】ここで、上記３板式ＣＣＤカメラ１におけ
るＣＣＤの固定は、上記プリズム３の第１〜第３の出射
面３ａ〜３ｃ（第１〜第３の接合面）に、それぞれＲ、
Ｇ、Ｂ用の第１〜第３のＣＣＤ４〜６を位置合わせして
接着することで行う。

【０００９】この接着は、図７に拡大して示すように、
上記第１〜第３のＣＣＤ４〜６（図には第１のＣＣＤ４
のみ図示）の位置決めを行った後、このＣＣＤ４の表面
と上記出射面３ａとの間に図に示す楔部材８を介在させ
て行うようにしている。

【００１０】この接着において問題となるのは、上述し
たように上記第１〜第３のＣＣＤ４〜６の位置合わせ精
度である。この位置合わせを精度良く行うには、Ｘ、
Ｙ、Ｚ方向のずれ、およびＸＹ面、ＸＺ面、ＹＺ面にお
ける傾きを補正するための６軸位置決め装置が必要とな
る。

【００１１】従来の装置として、この６軸位置決め装置
を各ＣＣＤ４〜６用に合計３台具備するものがある。す
なわち、上記プリズム３の各第１〜第３の出射面３ａ〜
３ｃに対向する位置に上記６軸位置決め装置をそれぞれ
設けたものである。

【００１２】この装置では、各６軸位置決め装置にそれ
ぞれＣＣＤ４〜６を保持させる。そして、各ＣＣＤ４〜
６で、位置合わせ用の図柄が描画されてなる同一のチャ
−トを撮像し、この撮像画像に基づいて各６軸位置決め
装置を操作することで、上記各ＣＣＤ４〜６の位置合わ
せを行う。

【００１３】しかし、このように、３台の６軸位置決め
装置を有する構成では、装置全体が大型化、複雑化し、
プリズム３やＣＣＤ４〜６をセットするためのスペ−ス
が小さくなって作業性が悪化するということがある。

【００１４】また、６軸位置決め装置を３台も具備する
ものであるため、装置全体が非常に高価になるというこ
とがあった。一方、他の装置として、一台の６軸位置決
め装置で上記第１〜第３のＣＣＤ４〜６の位置合わせを
行う装置がある。この装置では、上記プリズム３を回転
させることで、このプリズム３の各第１〜第３の出射面
３ａ〜３ｃを順次上記６軸位置決め装置に対向させ、上
記各ＣＣＤ４〜６の位置合わせを行うようにしている。

【００１５】しかし、この装置では、上記プリズム３を
回動させる毎に上記各ＣＣＤ４〜６の位置合わせを行う
ようにしているので、位置合わせの度にこのプリズム３
の光軸がずれることになる。したがって、位置合わせの
度に上記プリズム３と上記チャ−トの位置合わせをやり
直す必要があり、作業性が悪いという問題がある。

【００１６】一方、上記ＣＣＤ４〜６の位置決めおよび
接合を確実に行うには、上記ＣＣＤ４〜６を確実に保持
する必要がある。従来、上記ＣＣＤ４〜６の保持は、図
７に９で示すようなチャック機構により行っているのが
一般的であったが、このチャック機構９は、上記ＣＣＤ
４〜６をプリズム３の各出射面に接合する際の邪魔にな
ることがないように、図に示すように、このＣＣＤ４
（５、６）の矩形状のパッケ−ジ４ａを上下あるいは左
右から握持するのみ構成であった。

【００１７】しかし、このような握持方法であると、こ
のＣＣＤ４〜６を上記プリズム３に接合する場合等のよ
うに、このＣＣＤ４〜６に対してその表面と直交する方
向の力が加わった場合に、上記ＣＣＤ４〜６が容易に位
置ずれしてしまうという問題がある。

【００１８】また、このようなチャック機構では、握持
力の調整が難しく、握持力を小さくすると上記の場合に
位置ずれしやすく、大きくするとパッケ−ジが破損した
り弾かれて脱落するという事態が生じる。

【００１９】この発明はこのような事情に鑑みてなされ
たもので、例えば撮像素子（ＣＣＤ）の接合を精度良く
行うことができる撮像装置の製造装置およびこの撮像素
子を握持するチャック機構を提供することを目的とする
ものである。

【００２０】

【課題を解決するための手段】この発明の第１の手段
は、入射面に入射した光を分光し２以上の出射面から出
射するプリズムの上記２以上の出射面のそれぞれに撮像
素子を接合することで、撮像装置を製造する撮像装置の
製造装置において、上記プリズムを保持する可能なプリ
ズム保持部と、回転テ−ブルと、この回転テ−ブル上に
設けられ、上記撮像素子を保持可能なチャックを具備す
ると共に、この回転テ−ブルが回転することで上記プリ
ズム保持部に保持されたプリズムの各出射面にこの撮像
素子を対向させ、この撮像素子を位置決めして上記出射
面に接合する位置決め駆動機構とを有することを特徴と
する撮像装置の製造装置である。

【００２１】第２の手段は、上記第１の手段の撮像装置
の製造装置において、上記位置決め駆動機構は、６軸位
置決め駆動機構であることを特徴とする撮像装置の製造
装置である。

【００２２】第３の手段は、表面、背面および側面を有
する部品を握持するチャック機構において、上記部品の
背面を受ける支持面と、上記支持面に支持された部品の
側面に対して接離自在に設けられた一対の握持爪とを有
し、この握持爪は、上記部品の側面の表面側に形成され
た角部と当接し、この部品を握持すると共にこの部品を
上記支持面に押し付ける傾斜面を有することを特徴とす
るチャック機構である。

【００２３】第４の手段は、第３の手段のチャック機構
において、上記握持爪の傾斜面は、上記部品の表面側に
形成された凹陥部内に侵入し、この凹陥部の底面と上記
側面とで形成された角部に当接してこの部品を握持する
と共に、この部品を上記支持面に押し付けるものである
ことを特徴とするチャック機構である。

【００２４】第５の手段は、第３の手段のチャック機構
において、上記握持爪は、上記部品の凹陥部内からこの
部品の表面側に突出しない寸法を有することを特徴とす
るチャック機構である。

【００２５】

【作用】第１、第２の手段によれば、位置決め駆動装置
が回転テ−ブルに設けられているので、この回転テ−ブ
ルを回転させることで上記プリズム保持部に保持された
プリズムの各出射面に撮像素子を対向させ、この撮像素
子を位置決めして上記出射面に接合することができる。

【００２６】したがって、簡単な制御で複数の撮像素子
を有する撮像装置を製造することができる。第３〜第５
の手段によれば、握持爪に傾斜面を設けたことで、部品
を握持するとともに上記支持面に対してこの部品を押し
付けることができ、小さい力であってもこの部品を確実
に保持することができる。

【００２７】

【実施例】以下、この発明の一実施例を図面を参照して
説明する。なお、従来例で説明した構成要素と同一の構
成要素には同一符号を付してその説明は省略する。この
発明の撮像装置製造装置は、図６に示した３板式ＣＣＤ
カメラ１を製造する装置であり、特に、図２に示すよう
にプリズム３の上記第１〜第３の出射面３ａ〜３ｃに、
それぞれＲ、Ｇ、Ｂ用の第１〜第３のＣＣＤ（撮像素
子）４〜６を接合する装置である。

【００２８】上記なお、このプリズム３は、入射面から
上記第１〜第３の接合面３ａ〜３ｃまでの光路長がすべ
て等しくなるように設計されている。図１中Ａは、この
装置の本体である。この本体Ａと対向する位置には、位
置決め用のチャ−ト１０を支持するチャ−ト支持部Ｂが
設けられている。このチャ−ト１０には、位置合わせ用
の図柄１０ａが描画されている。

【００２９】上記本体Ａは、基台１１を有する。この基
台１１上には、上記プリズム３と図に１２で示す結像用
のレンズ系とを保持するプリズム保持機構１４と、この
プリズム保持機構１４に保持されたプリズム３に上記第
１〜第３のＣＣＤ４〜６を接合するＣＣＤ接合機構１５
とが設けられている。

【００３０】上記プリズム保持機構１４は、上記基台１
１上に設けられた門形のフレ−ム１６と、このフレ−ム
１６の上面に固定された保持台１７と、この保持台１７
上に立設され、上記プリズム３およびレンズ系１２を保
持する保持部１８とからなる。

【００３１】この保持部１８は、略垂直に立設されたブ
ラケット２０を具備する。そして、このブラケット２０
の上記チャ−ト１０に対向する側の面には上記レンズ系
１２が固定され、その反対側の面には上記プリズム３が
固定されている。

【００３２】上記プリズム３は、図１および図２に示す
２１で示す保持治具を介して上記ブラケット２０に固定
されている。この保持治具２１は、取付位置調節可能と
なっており、上記プリズム３の光軸を上記レンズ系１２
の光軸に一致させた状態（図５参照）で上記ブラケット
２０に取り付けられるようになっている。

【００３３】すなわち、上記レンズ系１２は、上記プリ
ズム３と上記チャ−ト１０との間に介在され、上記チャ
−ト１０に描画された図柄１０ａを上記プリズム３の各
第１〜第３の接合面３ａ〜３ｃ上に結像させる機能を有
する。

【００３４】次に、上記ＣＣＤ接合機構１５について説
明する。このＣＣＤ接合機構１５は、上記基台１１上に
設けられたロ−タリインデックステ−ブル２３を具備す
る。このロ−タリインデックステ−ブル２３は、図に２
３ａで示す垂直軸線回りに回転位置決め自在に設けら
れ、かつ上記門形フレ−ム１６の下側に一部を侵入させ
た状態で設けられている。このロ−タリインデックステ
−ブル２３の上面は略水平に形成され、この上面の縁部
には、６軸位置決め機構２４が固定されている。

【００３５】この６軸位置決め機構２４は、上記ロ−タ
リインデックステ−ブル２３の上面に固定されたＹ軸テ
−ブル２５と、このＹ軸テ−ブル２５によりＹ方向位置
決め駆動自在に保持されたＺ軸テ−ブル２６と、このＺ
軸テ−ブル２６によりＺ方向位置決め駆動自在に保持さ
れたＸ軸テ−ブル２７と、このＸ軸テ−ブル２７により
上下（Ｘ）方向位置決め自在に保持されＸＹ面内におけ
る回動動作を行うθテ−ブル２８とを有する。

【００３６】このθテ−ブル２８には、ＸＺ面方向およ
びＹＺ面方向に煽り動作を行うＲＸテ−ブル２９および
ＲＹテ−ブル３０が取り付けられ、このＲＸテ−ブル２
９およびＲＹテ−ブル３０には上記各ＣＣＤ４〜６を保
持するチャック機構３１が取り付けられている。

【００３７】すなわち、このチャック機構３１に保持さ
れたＣＣＤは、上記６軸位置決め装置が作動すること
で、図２に示すように、Ｘ、Ｙ、Ｚ、θ、ＲＸ、ＲＹの
６軸に関して位置決めされるようになっている。なお、
上記ロ−タリインデックステ−ブル２３によりさらに１
軸制御が加わるから、計７軸の位置決めがなされるよう
になっている。

【００３８】次に、上記チャック機構３１について図３
を参照して説明する。このチャック機構３１は、図示し
ないＲＸ、ＲＹテ−ブル２９、３０に取り付けられたベ
−ス３３を有する。

【００３９】このベ−ス３３からは、４本のピラ−３４
が立設され、このピラ−３４の突端面には、支持板３５
が取り付けられるようになっている。この支持板３５の
前面には、上記第１〜第３のＣＣＤ４〜６（図には第１
のＣＣＤ４のみ図示する）のピン端子４ａが挿入される
一対のソケット３６と、上記ＣＣＤ４の背面を受ける支
持片３７とが固定されるようになっている。

【００４０】上記ソケット３６の各端子は、図に３９で
示す画像処理装置に接続されている。この画像処理装置
３９は、モニタ−３８に接続されており、このモニタ−
３８には、上記ＣＣＤ４（５、６）で検出した映像が写
し出されるようになっている。

【００４１】一方、上記支持片３７の表面は略平坦に形
成されており、上記ＣＣＤ４の背面を受ける支持面３７
ａとなっている。また、この支持面３７ａの中央部に
は、上記ＣＣＤ４〜６を吸着するための吸引孔４０が開
口している。

【００４２】この吸引孔４０は、この支持片３７および
支持板３５を貫通して設けられており、図に４１で示す
接続チュ−ブを介して真空装置４２に接続されている。
したがって、この真空装置４２を作動させることで、上
記ＣＣＤ４〜６は、上記ピン端子４ａを上記ソケット３
６に挿入した状態で、上記支持片３７の支持面３７ａに
吸着保持されるようになっている。

【００４３】一方、上記ベ−ス３３には、上記支持片３
７に吸着保持されたＣＣＤ４〜６を握持する握持機構４
３が設けられている。この握持機構４３は、上記ベ−ス
３３に固定されたエアチャック４４と、このエアチャッ
ク４４によって開閉自在に設けられ一対の握持爪４５と
からなる。

【００４４】上記一対の握持爪４５は、上記支持片３７
を挟んで対向配置され、その先端部４５ａで上記支持片
３７に吸着保持されたＣＣＤ４を握持するようになって
いる。また、この握持爪４５の先端部４５ａは、上記支
持片３７側に折曲されることで上記支持片３７の支持面
３７ａに対して約４５°の角度をもって傾斜している。

【００４５】ところで、この握持爪４５で上記ＣＣＤ４
〜６を握持した際に、この握持爪４５の先端部４５ａが
上記ＣＣＤ４〜６の表面よりも飛び出していると、この
握持爪４５が上記プリズム３や楔部材８に衝突して邪魔
になるということが考えられる。

【００４６】したがって、この握持爪４５の先端部４５
ａは、このＣＣＤ４〜６を上記プリズム３に接合する際
の邪魔にならないように、図３および図４に４６で示す
ようにこのＣＣＤ４〜６の表面と平行な面取りが施され
ている。すなわち、図４に示すように、上記握持爪４５
の最先端部は厚さ方向に尖鋭化され、面取り面４６と４
５°傾斜面４７とから構成されるようになっている。

【００４７】また、この握持爪４５の先端部４５ａは、
図３に示すように、幅方向に２股に分割されている。そ
して、上記ＣＣＤ４〜６の４隅部には、上記握持爪４５
の尖鋭化された各先端部４５ａが挿入される凹陥部４８
が形成されている。

【００４８】次に、この装置を用いた上記ＣＣＤ４〜６
の接合動作について説明する。まず、前述したように、
上記レンズ系１２とプリズム３の光軸を互いに一致させ
ると共に、上記レンズ系１２を調整し、上記チャ−ト１
０に描画された図柄１０ａの像が上記プリズム３の各第
１〜第３の接合面３ａ〜３ｂに結像するようにする。

【００４９】上述したように、上記プリズム３の光入射
面から上記第１〜第３の接合面３ａ〜３ｃまでの光路長
は等しくなるように設計されているので、例えば上記第
１の接合面３ａに合わせて上記レンズ系１２を調整すれ
ば、他の接合面３ｂ、３ｃについての調整も行われたこ
とになる。したがって、以上述べたレンズ系１２とプリ
ズム１０の調整は、一回のみで良く、この後は行われな
い。

【００５０】ついで、まず、第１のＣＣＤ４の接合を行
う。このためには、上記ＣＣＤ接合機構１５に設けられ
た６軸位置決め装置２４に第１のＣＣＤ４を取り付け
る。

【００５１】すなわち、上記第１のＣＣＤ４を、この６
軸位置決め装置２４のチャック機構３１に設けられた支
持片３７の支持面３７ａに当接させる。この際、この第
１のＣＣＤ４のピン端子４を上記チャック機構３１に設
けられた一対のソケット３６に挿入させる。

【００５２】ついで、上記真空装置４２を作動させるこ
とで、上記支持片３７の支持面３７ａに上記第１のＣＣ
Ｄ４を吸着保持する。第１のＣＣＤ４が吸着保持された
ならば、上記握持機構４３が作動し、上記エアチャック
４４を作動させることで、上記握持爪４５を閉駆動す
る。このことで、上記握持爪４５の先端部４５ａは、図
４に示すように、このＣＣＤ４に形成された凹陥部４８
内に侵入する。

【００５３】上記握持爪４５は、まず上記４５°傾斜面
４７を上記ＣＣＤ４の上記凹陥部４８の底面と側面とで
形成される角部５０に当接させる。この状態で、上記握
持爪４５をさらに閉駆動することで、上記ＣＣＤ４は上
記一対の握持爪４５により握持されると共に上記支持片
３７の支持面３７ａに押し付けられる。

【００５４】これは、図に示すように、上記傾斜面４７
と直交する方向の力Ｆが上記ＣＣＤの角部５０に加わる
ためであり、この力Ｆの分力Ｆ2 により上記ＣＣＤ４は
握持され、分力Ｆ1 により上記支持片３７に押し付けら
れることとなる。

【００５５】このことにより、このＣＣＤ４は、チャッ
ク機構３１に確実に握持される。ついで、上記第１のＣ
ＣＤ４の位置決めを行う。これには、まず、上記ロ−タ
リインデックステ−ブル２３を作動させることで、この
ロ−タリインデックステ−ブル２３の中心軸線２３ａと
上記６軸位置決め装置２４を結ぶ線が、上記プリズム３
の第１の接合面３ａと略直交するように位置決めする。

【００５６】このことで、図５（ａ）に示すように、上
記第１のＣＣＤ４は、上記プリズム３の第１の接合面３
ａに略対向することとなる。ついで、上記６軸位置決め
装置２４を用いて上記第１のＣＣＤの精密位置合わせを
行う。

【００５７】すなわち、作業者は、この第１のＣＣＤ４
により撮像されたチャ−ト１０の図柄を上記モニタ−３
８を通して確認しながら、上記６軸位置決め装置２４を
操作する。このような動作により上記第１のＣＣＤ４の
位置合わせが行われたならば、上記第１のＣＣＤ４を上
記第１の接合面３ａに対して前進する方向に押圧するこ
とで、上記第１の接合面３ａに接合（接着）する。この
接合は、この第１のＣＣＤ４と上記接合面３ａとの間に
図７で示した楔部材８を介在させることで行う。

【００５８】なお、このとき、上記チャック機構３１の
握持爪４５の先端部４５ａは、上記ＣＣＤ４の凹陥部４
８内に位置し、このＣＣＤ４の表面から飛び出していな
いから、接合の際に邪魔になるということはない。

【００５９】一方、上記第１のＣＣＤ４の接合を行った
後、上記握持爪４５を開方向に駆動し握持状態を解除す
るのであるが、この動作も、上記握持爪４５が上記プリ
ズム３や楔部材８に干渉させることなく行うことができ
る。

【００６０】このようにして、第１のＣＣＤ４の接合を
行ったならば、次に、上記プリズム３の第２の接合面３
ｂに対して第２のＣＣＤ５を接合する。この場合には、
まず、上記６軸位置決め装置２４のチャック機構３１
で、上記第２のＣＣＤ５を握持する。ついで、上記ロ−
タリインデックステ−ブル２３を作動させ、このロ−タ
リインデックステ−ブル２３の中心軸線２３ａと上記６
軸位置決め装置２４とを結ぶ線が上記プリズム３の第２
の接合面３ｂと直交するように、上記６軸位置決め装置
２４を位置決めする。

【００６１】このことで、図５（ｂ）に示すように、上
記第２のＣＣＤ５は、上記プリズム３の第２の出射面３
ｂに略対向する。ついで、上記第１のＣＣＤ４の位置合
わせおよび接合工程と同じ工程で、この第２のＣＣＤ５
の位置合わせおよび接合を行う。

【００６２】なお、この第２のＣＣＤ５の接合を行う
際、チャ−ト１０の位置および上記レンズ系１２を再調
整する必要はない。上記プリズム３の位置は変わらず、
かつこのプリズム３の入射面から各出射面３ａ〜３ｂま
での光路長はすべて等しいからである。

【００６３】この第２のＣＣＤ５が上記プリズム３の第
１の出射面３ｂに接合されたならば、上記第３のＣＣＤ
６の接合を行う。この工程も上記レンズ系１２の再調整
を行うことなく行うことが可能である。すなわち、ま
ず、上記６軸位置決め装置のチャックに上記第３のＣＣ
Ｄを取り付けた後、上記ロ−タリインデックステ−ブル
を作動させることで、図５（ｃ）に示すように、この第
３のＣＣＤ６を上記プリズム３の第３の出射面３ｃに略
対向させる。

【００６４】ついで、上記第１、第２のＣＣＤ４、５の
場合と同じ動作で、この第３のＣＣＤ６を上記プリズム
３の第３の接合面３ｃに位置決め合わせした後、接合す
る。

【００６５】以上のような工程で、上記プリズム３のす
べての出射面３ａ〜３ｃにそれぞれ第１〜第３のＣＣＤ
４〜６が接合される。このような構成によれば、次に説
明する効果がある。

【００６６】第１に、上記６軸位置決め装置２４をロ−
タリインデックステ−ブル２３に設置するようにしたこ
とで、一つの６軸位置決め装置で３つのＣＣＤ４〜６の
接合を行え、かつチャ−ト１０とプリズム３との位置決
め（レンズ系１２の調整）は一回のみで済む効果があ
る。

【００６７】すなわち、従来例の項で説明した３台の６
軸位置決め装置を具備する装置では、高価であると共に
構成が大型、複雑化するということがある。特に１８軸
制御となるために、制御が非常に複雑になるということ
がある。また、この装置においては、スペ−ス的に余裕
が無いために上記ＣＣＤ４〜６やプリズム３の取り付け
が面倒になるということもある。

【００６８】しかし、この発明の装置では、同じ作業を
一つの６軸位置決め装置２４で行えるから、構成が簡単
になり、装置を小型化することができる。また、７軸制
御で済むことから制御も簡単になる。さらにスペ−ス的
に余裕が生じるから、上記ＣＣＤ４〜６やプリズム３の
取り付けも容易に行える効果がある。

【００６９】一方、従来例の項では、上記プリズム３を
回転させることで、このプリズム３の各出射面３ａを６
軸位置決め装置に対向させる装置についても述べた。こ
の装置では、上記プリズム３を回転させる度にチャ−ト
１０、レンズ系１２およびプリズム３の調整が必要であ
った。

【００７０】しかし、この発明の装置では、上記チャ−
ト１０、レンズ系１２およびプリズム３の調整は一回で
済ませることができるので、作業工程が簡略化される。
また、上記ロ−タリインデックステ−ブル２３は任意の
角度で停止可能であり、上記プリズム３の形状に変更あ
る場合でも、装置の設定を変えずに対応することがで
き、自由度が高い。

【００７１】第２に、チャック機構３１の握持爪４５に
４５°傾斜面４７を設け、この傾斜面をＣＣＤ４〜６の
角部５０に当接させることで、このＣＣＤ４〜６を上記
支持片３７の支持面３７ａに押し付けつつ握持するよう
にした。このことで、このＣＣＤ４〜６を、上下横方向
に移動不能かつ、前後方向にも移動不能に保持すること
ができる。

【００７２】また、従来例のチャック機構９では、握持
力はこのチャック機構９とＣＣＤ４〜６の側面との摩擦
力で決定されていたが、この発明のチャック機構３１で
は上記ＣＣＤ４〜６は上記支持片３７の支持面３７ａに
対しても押し付けられるため、この支持面３７ａとＣＣ
Ｄ４〜６の背面との間に生じる摩擦力によっても保持さ
れることとなる。

【００７３】したがって、上記握持爪４５の駆動力をあ
まり大きくしなくても上記ＣＣＤ４〜６を確実に握持す
ることができる効果がある。このことで、上記チャック
機構３１を駆動した際や上記ＣＣＤ４〜６を接合する際
に、この上記ＣＣＤ４〜６がずれたり脱落したりすると
いうことがなく、上記ＣＣＤ４〜６の位置決めを確実に
行うことができる効果がある。

【００７４】なお、この発明は、上記一実施例に限定さ
れるものでははなく、発明の要旨を変更しない範囲で種
々変形可能である。例えば、上記一実施例のＣＣＤカメ
ラは３板式ＣＣＤカメラであったが、これに限定される
ものではなく、例えば２枚式ＣＣＤカメラであっても良
い。また、上記チャック機構３１は、他の実装装置にも
適用することができる。

【００７５】

【発明の効果】以上述べた撮像装置の製造装置によれ
ば、撮像素子を位置決めし接合する位置決め駆動機構
が、プリズムを保持するプリズム保持部とは独立に回転
自在に設けられた回転テ−ブルに設けられているので、
この回転テ−ブルを回転させることで上記プリズム保持
部に保持されたプリズムの各出射面に撮像素子を対向さ
せ、この撮像素子を位置決めして上記出射面に接合する
ことができる。

【００７６】したがって、複数の撮像素子を接合する場
合であっても６軸位置決め機構は一台で済み、かつ、各
撮像素子の位置決めの際にプリズムおよびこのプリズム
に像を結像させる光学系を再調整しなくても済む。

【００７７】このことにより、簡単な構成でかつ簡単な
制御で複数の撮像素子を有する撮像装置を製造すること
ができる。また、この発明のチャック機構によれば、握
持爪に傾斜面を設けたことで、部品を握持するとともに
上記支持面に対してこの部品を押し付けることができ、
小さい力であってもこの部品を確実に保持することがで
きる。したがって、部品の脱落や位置ずれを防止するこ
とができ、装置の信頼性を向上できる効果がある。

【図面の簡単な説明】

【図１】この発明の一実施例を示す全体斜視図。

【図２】同じく、プリズムとこのプリズムに接合するＣ
ＣＤを示す概略斜視図。

【図３】同じく、チャック機構を分解して示す斜視図。

【図４】同じく、チャック機構による握持状態を拡大し
て示す説明図。

【図５】同じく、撮像装置の製造工程を示す工程図。

【図６】一般的な３板式ＣＣＤカメラを示す概略構成
図。

【図７】同じく、ＣＣＤの接合を示す拡大図。

【符号の説明】

３…プリズム、４…第１のＣＣＤ（撮像素子）、５…第
２のＣＣＤ、６…第３のＣＣＤ、３ａ…第１の出射面、
３ｂ…第２の出射面、３ｃ…第３の出射面、１４…プリ
ズム保持機構（プリズム保持部）、２３…ロ−タリイン
デックステ−ブル（回転テ−ブル）、２４…６軸位置決
め装置（位置決め駆動機構）、３１…チャック機構、３
７…支持片、３７ａ…支持面、４５…握持爪、４７…傾
斜面、４８…凹陥部。

Claims (5)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 入射面に入射した光を分光し２以上の出
   射面から出射するプリズムの上記２以上の出射面のそれ
   ぞれに撮像素子を接合することで、撮像装置を製造する
   撮像装置の製造装置において、 上記プリズムを保持可能なプリズム保持部と、 回転テ−ブルと、 この回転テ−ブル上に設けられ、上記撮像素子を保持可
   能なチャックを具備すると共に、この回転テ−ブルが回
   転することで上記プリズム保持部に保持されたプリズム
   の各出射面にこの撮像素子を対向させ、この撮像素子を
   位置決めして上記出射面に接合する位置決め駆動機構と
   を具備することを特徴とする撮像装置の製造装置。
2. 【請求項２】 請求項１記載の撮像装置の製造装置にお
   いて、 上記位置決め駆動機構は、 ６軸位置決め駆動機構であることを特徴とする撮像装置
   の製造装置。
3. 【請求項３】 表面、背面および側面を有する部品を握
   持するチャック機構において、 上記部品の背面を受ける支持面と、 上記支持面に支持された部品の側面に対して接離自在に
   設けられた一対の握持爪とを有し、 この握持爪は、上記部品の側面の表面側に形成された角
   部と当接し、この部品を握持すると共にこの部品を上記
   支持面に押し付ける傾斜面を有することを特徴とするチ
   ャック機構。
4. 【請求項４】 請求項３記載のチャック機構において、 上記握持爪の傾斜面は、 上記部品の表面側に形成された凹陥部内に侵入し、この
   凹陥部の底面と上記側面とで形成された角部に当接して
   この部品を握持すると共に、この部品を上記支持面に押
   し付けるものであることを特徴とするチャック機構
5. 【請求項５】 請求項３記載のチャック機構において、 上記握持爪は、上記部品の凹陥部内からこの部品の表面
   側に突出しない寸法を有することを特徴とするチャック
   機構。