JP2002328292A - 撮像ユニット製造方法および撮像ユニット - Google Patents

撮像ユニット製造方法および撮像ユニット

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JP2002328292A
JP2002328292A JP2001131732A JP2001131732A JP2002328292A JP 2002328292 A JP2002328292 A JP 2002328292A JP 2001131732 A JP2001131732 A JP 2001131732A JP 2001131732 A JP2001131732 A JP 2001131732A JP 2002328292 A JP2002328292 A JP 2002328292A
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Akito Terada
明人 寺田
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Original Assignee
Toshiba Corp
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 固体撮像素子等の光学部品を高精度でプリズ
ムに固定することが可能な撮像ユニット製造方法とそれ
による撮像ユニットを提供すること。 【解決手段】 プリズム3に対して固体撮像素子4〜6
の位置を調整し、調整されたプリズム3と固体撮像素子
4〜6とを仮固定用接着剤37を硬化させて仮固定し、
プリズム3と固体撮像素子4〜6との間に本固定用の接
着剤44を充填して硬化させて固着する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、例えば3板式CC
Dカメラ等で用いられるような撮像ユニット製造方法と
それによる撮像ユニットに関する。
【0002】
【従来の技術】固体撮像素子としてCCDを用いた固体
カラー撮像装置(撮像ユニット)では、撮像光をプリズ
ム系により複数の色成分に分解して、各色成分の被写体
像を、それぞれ固体撮像装置にて撮像している。また、
各撮像出力からNTSC方式などの標準カラーテレビジ
ョン信号を形成して出力するように構成されている。複
数の固体撮像装置を用いた固体カラー撮像装置では、各
固体撮像装置により撮像される各色成分の被写体像の重
ね合わせ、すなわち、相対位置調整(光路長、画素)
を、光軸方向、光軸に対する傾き方向、光軸に垂直な面
内の平行移動・回転移動に伴う4方向の6つの方向、即
ち6自由度(6軸調整)について行われなければならな
い。
【0003】それらの6軸調整は、非常に精度良く行う
必要があり、具合的には、μmオーダーの精度で位置合
わせを行わなければならない。
【0004】固体撮像素子(CCD)を色分解プリズム
の光出射面上に固定するには、通常、はんだ等の溶融金
属や、接着剤が用いられる。前述した高い位置精度を満
足し、かつ生産性を向上させるために、その固定方法に
は様々な工夫がなされている。以下に、接着剤を用いて
固体撮像素子を色分解プリズムに固定する方法について
説明する。
【0005】特開平4−133009号公報(以下、第
1の従来例と称する)に開示されている固定方法では、
図13に示すように、固体撮像素子101は位置調整が
なされた状態で固体撮像素子101及び色分解プリズム
l02の出射面に接着剤104を介して直方体のガラス
からなる固定部材103を当接させた後、固定部材10
3の一部に紫外線l05を照射して固定部材103を部
分的に仮固定しその後接着剤104全体を紫外線l07
で硬化させることで色分解プリズム102の出射面への
固体撮像素子l0lの固定を行う。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述の
第lの従来例の固体撮像素子の固定方法では、直方体の
ガラスからなる固定部材103に垂直に紫外線105を
局部的に透過させ接着剤104を部分的に硬化して仮固
定するようになっているが、ガラスの光屈折や反射の影
響から、接着剤104に到達する紫外線の位置・面積・
強度にばらつきが生じ、レジストレーションずれが生じ
るという問題を有している。
【0007】以上の固体撮像素子の固定方法において
は、レジストレーションずれが生じることから、固体撮
像素子をμmオーダー精度で色分解プリズムに固定する
のは困難と考えられる。
【0008】本発明はこれらの事情にもとづいてなされ
たもので、固体撮像素子等の光学部品を高精度でプリズ
ムに固定することが可能な撮像ユニット製造方法とそれ
による撮像ユニットを提供することを目的としている。
【0009】
【課題を解決するための手段】請求項1の発明による手
段によれば、プリズムの出射面に対して固体撮像素子を
位置決めして接着剤により固着する撮像ユニットの製造
方法において、前記プリズムの出射面の光路を遮らない
位置に仮固定接着剤を塗布する塗布工程と、前記プリズ
ムの出射面と前記固体撮像素子の位置を相対的に調整す
る調整工程と、この調整工程により調整された前記出射
面と前記固体撮像素子とを前記仮固定用接着剤を硬化さ
せて仮固定する仮固定工程と、この仮固定された前記プ
リズムと前記固体撮像素子との間に本固定用の接着剤を
充填する充填工程と、この充填工程により充填された接
着剤を硬化させる硬化工程を有していることを特徴とす
る撮像ユニットの製造方法である。
【0010】また請求項2の発明による手段によれば、
前記仮固定工程で用いる仮固定用接着剤は、前記本固定
用の接着剤に比べて収縮量が小さいものであることを特
徴とする撮像ユニットの製造方法である。
【0011】また請求項3の発明による手段によれば前
記充填工程では、前記本固定用の接着剤を少なくとも前
記固体撮像素子の出射面の光路の全面にわたって塗布す
ることを特徴とする撮像ユニットの製造方法である。
【0012】また請求項4の発明による手段によれば、
前記調整工程では、前記本固定接着剤の屈折率を考慮し
て前記固体撮像素子の位置を調整することを特徴とする
撮像ユニットの製造方法である。
【0013】また請求項5の発明による手段によれば、
プリズムの出射面に対して固体撮像素子を位置決めして
接着剤により固着する撮像ユニットの製造方法におい
て、前記プリズムと前記固体撮像素子の位置を相対的に
調整する位置調整工程と、調整された位置の前記プリズ
ムと前記固体撮像素子との間のギャップを測定するギャ
ップ測定工程と、前記プリズムと前記固体撮像素子との
ギャップを予め定められている所定距離に調整する距離
調整工程と、調整された前記プリズムと前記固体撮像素
子とのギャップに接着剤を充填する充填工程と、この充
填工程により充填された前記接着剤を硬化させる硬化工
程とを有することを特徴とする撮像ユニットの製造方法
である。
【0014】また請求項6の発明による手段によれば、
前記距離調整工程で用いる予め定められている所定距離
は、充填する接着剤の収縮量を考慮して定められている
ことを特徴とする撮像ユニットの製造方法である。
【0015】また請求項7の発明による手段によれば、
プリズムの出射面に対して、この出射面の光路を遮らな
い位置に設けられた第1の接着剤と、前記光路に設けら
れた第2の接着剤により固体撮像素子が固着されている
ことを特徴とする撮像ユニットである。
【0016】また請求項8の発明による手段によれば、
前記第1の接着剤は、前記第2の接着剤より収縮率が小
さいことを特徴とする撮像ユニットである。
【0017】
【発明の実施の形態】以下、本発明の一実施例を図面を
参照して説明する。
【0018】3板式CCDカメラ1は、入射光Lを結像
用レンズ系12を介してダイクロイックミラー2を組み
込んでなるプリズム3で光の3原色(R、G、B)に分
光し、それらを第1〜第3の3つのCCD(撮像素子)
4〜6で別々に検出することで、カラー出力画像を得る
装置である。
【0019】この3板式CCDカメラ1は、3原色
(R、G、B)のそれぞれに各CCD4〜6を割り当て
るようにしているので、カラーフィルタを用いて、一枚
のCCDで3色を取り出す単板式CCDカメラと比較し
て単純計算で3倍の解像度を得ることができる。したが
って、このような3板式CCDカメラ1を小形化して、
例えば半導体製造装置や精密加工装置等に組み込めば、
それらの装置の加工や組立の精度を向上させることがで
きる。
【0020】本発明の撮像ユニット製造方法を用いた製
造装置は、図2に示すように、保持治具21に保持され
たプリズム3の第1〜第3の出射面3a〜3cに、それ
ぞれR、G、B用の第1〜第3のCCD(撮橡素子)4
〜6を接合する装置である。
【0021】なお、このプリズム3は、入射面から上記
第1〜第3の出射面3a〜3cまでの光路長がすべて等
しくなるように設計されている。
【0022】図3は撮像ユニットの製造装置の斜視図で
ある。基台7上には、この装置の本体であるCCD調整
ユニット8と、それに対向する位置には、位置決め用の
チャート10を支持するチャート支持部9が設けられて
いる。このチャート10には、位置合わせ用の二次元方
向の解像力パターン10aが描画されている。
【0023】CCD調整ユニット8には、プリズム3と
結像用レンズ系12とを保持するプリズム保持機構14
と、このプリズム保持機構14に保持されたプリズム3
に第1〜第3のCCD4〜6を接合するCCD接合機構
15とが設けられている。
【0024】プリズム保持機構14は、基台7上に設け
られた門形のフレーム16と、このフレーム16の上面
に固定された保持台17と、この保持台17上に立設さ
れ、上記プリズム3および結像用レンズ系12を保持す
るL型ブラケット18とから形成されている。
【0025】このL型ブラケット18のチヤート10に
対向する側の面には結像用レンズ系12が固定され、そ
の反対側の面にはプリズム3が固定されている。
【0026】プリズム3は、保持治具21を介してL型
ブラケット18に固定されている。この保持治具21
は、L型ブラケット18への取付位置が調節可能となっ
ており、プリズム3の光軸を結像用レンズ系12の光軸
に一致させた状態でL型ブラケット18に取リ付けられ
るようになっている。
【0027】すなわち、結像用レンズ系12は、プリズ
ム3とチヤート10との間に介在され、チヤート10に
描画された二次元方向の解像力パターン10aをプリズ
ム3の各第1〜第3の出射面3a〜3c上に結像させる
作用を有している。
【0028】CCD接合機構15は、基台7上に設けら
れた回転ステージ23を備えている。この回転ステージ
23は、回転中心である垂直軸線23aの回りに回転位
置決め自在に設けられ、かつ、門形フレーム16の内側
部に収納させた状態で設けられている。この回転ステー
ジ23の上面は略水平に形成され、この上面の縁部に
は、6軸位置決め機構24が固定されている。
【0029】この6軸位置決め機構24は、回転ステー
ジ23の上面に固定されたY軸ステージ25と、このY
軸ステージ25によりY方向位置決め駆動自在に保持さ
れたZ軸ステージ26と、このZ軸ステージ26により
Z方向位置決め駆動自在に保持されたX軸ステージ27
と、このX軸ステージ27により上下方向の位置決め自
在に保持されXY面内における回動動作を行うθステー
ジ28とを備えている。
【0030】このθステージ28には、XZ面方向およ
びYZ面方向に煽り動作を行うRXステージ29および
RYステージ30が取り付けられ、このRXステージ2
9およびRYステージ30には各CCD4〜6を保持す
る後述するCCD保持機構31が取り付けられている。
【0031】すなわち、このCCD保持機構31に保持
されたCCDは、6軸位置決め装置が作動することで、
図2に示したように、X、Y、Z、θ、RX、RYの6
軸に関して位置決めされるようになっている。なお、回
転ステージ23によりさらに1軸制御が加わるから、計
7軸の位置決めがなされるようになっている。
【0032】また、CCD保持機構31の上方には接着
剤を硬化させるためにUV照射を行うUVファイバ32
に接続されたUV照射装置33が設けられている。
【0033】図4は、CCD保持機構31とその周辺の
拡大図である。CCD保持機構31は、CCD4〜6を
保持するクランプ35、CCD4〜6を電気的に接続す
るコネクタ36、仮固定用接着剤37を塗布するための
シリンジ38、これらを保持するための保持部材39か
ら構成されている。シリンジ38は仮固定用接着剤37
を指定量を塗布できるような制御機構(不図示)を備え
ている。
【0034】クランプ35は、エアチャック(不図示)
によって開閉自在に設けられた一対の把持爪を対向配置
し、それによりCCD4〜6を把持するようになってい
る。
【0035】仮固定用接着剤37は、例えばUV接着剤
にガラス粒子を混ぜて硬化収縮量の小さいものを使用す
る。それにより、プリズム3とCCD4〜6間に生じる
ギヤップに対する収縮量が、使用する結像用レンズ系1
2の焦点深度の1/10〜1/5以下程度にすることが
できる。
【0036】またCCD4〜6に結像された像は、コネ
クタ36より画像処理装置41を経てモニタ42の画面
に表示され、それをもとに作業者がCCD調整ユニット
8を操作して調整する。
【0037】次に、この装置を用いたCCD4〜6の接
合動作について説明する。
【0038】図5は、接合工程を示すフローチャートで
ある。なお、以下の説明での各部の符号については、図
1〜図4で用いた符号を用いている。
【0039】まず、はじめに作業者がプリズム3を保持
具2にセットする。(S1)一方、CCD4〜6の一つ
(例えば、G(緑)に対応する第1のCCD4)をコネ
クタ36に接続する。接続後、クランプ35により第1
のCCD4を保持する。そして、調整する出射面3aに
第1のCCD4が対向できるように回転ステージ23を
移動させる。(S2)これは、Gを基準としているため
で、その他の色を基準にする場合は、その基準とした色
に合せた位置に移動させればよい。次にCCD調整を行
う。(S3) このCCD調整(S3)はサブルーチンで示すように、
CCDをセット(S11)後に、CCD調整ユニット8
を作動させて、シリンジ38からプリズム3の四隅に指
定された量だけ仮固定用接着剤37を塗布する(S1
2)。塗布後に図6に示すようにシリンジ38を移動し
て退避させ、第1のCCD4を出射面3aと対向する位
置まで移動させ、プリズム3を介して第1のCCD4〜
6に結像される解像力パターン10aをモニタ42で見
ながらCCD4の位置を調整する。(S13)調整によ
り所定の解像度が得られた後、UV照射装置によりUV
光を照射して仮固定用接着剤37を硬化させる。(S1
4) このような手順で、回転ステージ23を回転させて、R
(赤)、B(青)についても順次、調整し仮固定する。
(S4〜S7) 仮固定されたプリズム3とCCD4〜6とによる撮像ユ
ニットは、CCD調整ユニット8から取り出す。(S
8) 次に、図7に示すようにCCD4〜6と出射面3a〜3
cとの間に固定用シリンジ45を用いて本固定用接着剤
44を充填塗布する。(S9)、その後にUV光を照射
して固定用接着剤44を硬化させる。(S10) なお、図8に示すように、プリズム3の面への各接着剤
の塗布位置は、対応するCCD4〜6の面で説明する
と、仮固定接着剤37はCCD4〜6上のチップ面4a
〜6a以外の4隅部分に塗布する。また、本固定接着剤
44はCCD4〜6のチップ面4a〜6aの全面に塗布
する。
【0040】また、CCD4〜6とプリズム3間は隙間
が開いた状態では迷光が入る可能性がある。そのため、
迷光対策としてCCD4〜6とプリズム3との間の周囲
を、遮光性のシール剤(不図示)を塗布することが好ま
しい。
【0041】また、図9に斜視図を示すように、シール
剤と本固定用接着剤を兼用する接着剤を用いる場合は、
本固定用接着剤44aとして遮光性の接着剤を使用し、
固定用シリンジ45aによりCCD4〜6とプリズム3
との間の外周のみ塗布することで同様の効果を得ること
ができる。
【0042】上述の実施の形態で、結像用レンズ系12
に焦点深度の浅い結像用レンズ系を搭載する場合には、
仮固定接着剤37を充填後に本固定接着剤44を充填す
ると、本固定接着剤44の屈折率の影響から光路距離が
変わり、ピントずれが発生する可能性がある。しかしな
がら、それらは補正動作を用いることで回避することが
できる。
【0043】図10は、それらの補正動作を入れたフロ
ーチャートである。なお、図5と同一個所には同一符号
を付して個々の説明を省略している。すなわち、図5で
示したフローチャートのステップ(S13)である「C
CDを調整」の後に、2つのステップを挿入する。すな
わち、CCDとプリズムとの距離Laを調整量から算出
する。(S16)その後、本固定接着剤の屈折率をNと
するとき、CCD4〜6とプリズム3との距離をN×L
aになるようにCCD4〜6を移動させる。(S17)
その後、仮固定接着剤を硬化させる。(S14)その後
の調整は上述の実施の形態と同様に、他の2色各々につ
いて調整して仮固定を行って本固定接着剤44を塗布し
て硬化させる。
【0044】なお、CCD4〜6とプリズム3との距離
Laを調整量から算出せずに、直接センサ(不図示)を
用いて距離を測定してもよい。
【0045】上述の実施の形態では、使用する結像用レ
ンズ系12に用いるレンズの焦点深度に比べて、硬化収
縮量の小さい仮固定用接着剤37をあらかしめ塗布し
て、プリズム3とCCD4〜6との位置を調整後に硬化
するため、位置ずれが小さく性能が劣化しない。その
後、本固定接着剤44を充填して硬化させたとき、仮固
定接着剤37がCCD4〜6とプリズム3との距離を規
定しているため、光学性能が劣化しない。
【0046】次に、図11に示す斜視図により、上述の
実施の形態で用いたCCD保持機構31の変形例につい
て説明する。なお、CCD保持機構以外は、上述の実施
の形態と同様であるので、同一部分機能部分に同一符号
を付して個々の説明を省略する。
【0047】このCCD保持機構31aは、CCD4〜
6を保持するクランプ35、CCD4〜6を電気的に接
続するコネクタ36に加えて、CCD4〜6とプリズム
3のギヤッブ間隔を測定するセンサ51、接着剤を塗布
するシリンジ53、接着剤を硬化させるためのUV光を
伝送するUVファイバ54を有する。センサ51は投光
部51aと受光部51bに分かれており、投光部51a
は帯状のレーザ光を発光する。
【0048】これらの構成による、プリズム3とCCD
4〜6との間のギヤップ測定方法は、投光部51aより
発光された帯状のレーザ光を受光部51bで受光する。
その受光量から予め計算されているデータによりギヤッ
プを算出する。
【0049】また、センサ51、シリンジ53およびU
Vファイバ54の3つを保持する保持部材56がアクチ
ュエータ57の上に設置されている。したがって、アク
チュエータ57の動作により、センサ51、シリンジ5
3、およびUVファィバ54の3を各接合工程に応じて
切り替えることができる。
【0050】図12は接合工程のフローチャートであ
る。
【0051】まず、はじめに作業者がプリズム3を保持
治具21にセットする。(S31)一方、CCD4〜6
の一つをコネクタ36に接続する。接続後、クランプ3
5によりCCD4〜6の一つを保持する。調整するプリ
ズム3面にCCD4〜6の一つが対向できるように回転
ステージ8をGの位置に移動させる。(S32) 次の
CCD調整(S33)の各工程はサブルーチンで示して
いる。
【0052】はじめに作業者がCCD4〜6の一つ(例
えばGに対応する第1のCCD4)をコネクタ36に接
続し、接続後、クランプ35により第1のCCD4を保
持する。そして、調整する出射面3aに第1のCCD4
が対向できるように回転ステージ23を移動させる。
(S41)アクチユエータ57を作動させて第1のCC
D4と出射面3a上にセンサ51をセットし、隙間のギ
ャップ量Aの測定を行う。(S42)次に、アクチユエ
ータ57を作動させて第1のCCD4と出射面3a上に
シリンジ53をセットし接着剤を隙間に塗布する。(S
43)次に第1のCCD4に結像される解像力パターン
10aが映し出されているモニタ42を見ながら第1の
CCD4の位置を調整する。ここで、Z方向の調整量を
B算出し(S44)、単位長さ当たりの接着剤の収縮率
をα、接着剤の収縮を考慮したギヤップ間隔をLとする
と、 L=(A+B)/(1−α) が成り立つため接着剤の収縮量を推定することがでる。
(S45)それらによりギヤップ間隔がLになるように
CCD調整ユニット8を操作する。(S46)次にアク
チュエータ57を作動させて、第1のCCD4と出射面
3a上にUVフアイバ54をセットする。その後UVを
照射して接着剤を硬化させる。(S47)以後、同様の
手順で回転ステージ23を回転させて、RおよびBにつ
いて調整し(S45)、R、G、Bの3つを調整・固定
する。(S34〜S37) それらにより撮像ユニット
を製造する。
【0053】したがって、この実施の形態では、CCD
4〜6を調整後、CCD4〜6と出射面3a〜3cとの
ギヤップの間隔を計算し、接着剤の収縮量を含めた値に
より調整を行うため、接着剤が収縮しても光学性能が劣
化するのを防止することができる。
【0054】なお、上述の各実施の形態では、撮像ユニ
ットとして3板式CCDカメラについて説明したが、こ
れに限定されるものではなく例えば2枚式CCDカメラ
や、光路を変更するためにプリズムを使用するCCDカ
メラ等の撮像ユニットについても同様に適用することが
できる。
【0055】
【発明の効果】本発明によれば、光学的精度の高い撮像
ユニットを得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】3板式CCDカメラの構成図。
【図2】プリズムとCCDとの接合関係の説明図。
【図3】本発明の撮像ユニット製造方法を用いた製造装
置の斜視図。
【図4】製造装置のCCD保持機構周辺の拡大図。
【図5】本発明の接合工程を示すフローチャート。
【図6】本発明の接合工程の作動図。
【図7】本発明の接合工程の作動図。
【図8】本発明の接合工程の作動図。
【図9】接着剤の塗布位置の説明図。
【図10】本発明の接合工程の変形例を示すフローチャ
ート。
【図11】CCD保持機構の変形例の斜視図。
【図12】本発明の接合工程のフローチャート。
【図13】従来の接合工程の説明図。
【図14】従来の接合工程の説明図。
【図15】従来の接合工程の説明図。
【符号の説明】
1…CCDカメラ、3…プリズム、4〜6…CCD、8
…CCD調整ユニット、10…位置決めチャート、14
…プリズム保持機構、15…CCD接合機構、24…6
軸位置決め機構、31…CCD保持機構、37…仮固定
用接着剤、44…本固定用接着剤

Claims (8)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 プリズムの出射面に対して固体撮像素子
    を位置決めして接着剤により固着する撮像ユニットの製
    造方法において、 前記プリズムの出射面の光路を遮らない位置に仮固定接
    着剤を塗布する塗布工程と、前記プリズムの出射面と前
    記固体撮像素子の位置を相対的に調整する調整工程と、
    この調整工程により調整された前記出射面と前記固体撮
    像素子とを前記仮固定用接着剤を硬化させて仮固定する
    仮固定工程と、この仮固定された前記プリズムと前記固
    体撮像素子との間に本固定用の接着剤を充填する充填工
    程と、この充填工程により充填された接着剤を硬化させ
    る硬化工程を有していることを特徴とする撮像ユニット
    の製造方法。
  2. 【請求項2】 前記仮固定工程で用いる仮固定用接着剤
    は、前記本固定用の接着剤に比べて収縮量が小さいもの
    であることを特徴とする請求項1記載の撮像ユニットの
    製造方法。
  3. 【請求項3】 前記充填工程では、前記本固定用の接着
    剤を少なくとも前記固体撮像素子の出射面の光路の全面
    にわたって塗布することを特徴とする請求項1記載の撮
    像ユニットの製造方法。
  4. 【請求項4】 前記調整工程では、前記本固定接着剤の
    屈折率を考慮して前記固体撮像素子の位置を調整するこ
    とを特徴とする請求項1記載の撮像ユニットの製造方
    法。
  5. 【請求項5】 プリズムの出射面に対して固体撮像素子
    を位置決めして接着剤により固着する撮像ユニットの製
    造方法において、 前記プリズムと前記固体撮像素子の位置を相対的に調整
    する位置調整工程と、調整された位置の前記プリズムと
    前記固体撮像素子との間のギャップを測定するギャップ
    測定工程と、前記プリズムと前記固体撮像素子とのギャ
    ップを予め定められている所定距離に調整する距離調整
    工程と、調整された前記プリズムと前記固体撮像素子と
    のギャップに接着剤を充填する充填工程と、この充填工
    程により充填された前記接着剤を硬化させる硬化工程と
    を有することを特徴とする撮像ユニットの製造方法。
  6. 【請求項6】 前記距離調整工程で用いる予め定められ
    ている所定距離は、充填する接着剤の収縮量を考慮して
    定められていることを特徴とする請求項5記載の撮像ユ
    ニットの製造方法。
  7. 【請求項7】 プリズムの出射面に対して、この出射面
    の光路を遮らない位置に設けられた第1の接着剤と、前
    記光路に設けられた第2の接着剤により固体撮像素子が
    固着されていることを特徴とする撮像ユニット。
  8. 【請求項8】 前記第1の接着剤は、前記第2の接着剤
    より収縮率が小さいことを特徴とする請求項7記載の撮
    像ユニット。
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