JP2811985B2 - ３板カメラ撮像ブロックの組立方法 - Google Patents
３板カメラ撮像ブロックの組立方法Info
- Publication number
- JP2811985B2 JP2811985B2 JP3054505A JP5450591A JP2811985B2 JP 2811985 B2 JP2811985 B2 JP 2811985B2 JP 3054505 A JP3054505 A JP 3054505A JP 5450591 A JP5450591 A JP 5450591A JP 2811985 B2 JP2811985 B2 JP 2811985B2
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- Japan
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- solid
- state imaging
- prism
- ultraviolet light
- imaging device
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- Mounting And Adjusting Of Optical Elements (AREA)
- Color Television Image Signal Generators (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は固体撮像素子を具備した
テレビジョンカメラ、ビデオカメラなどに用いられる３
板カメラ撮像ブロックの組立方法に関する。
テレビジョンカメラ、ビデオカメラなどに用いられる３
板カメラ撮像ブロックの組立方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】近年、固体撮像素子を３個用いる３板式
カラーカメラ（以下３板カメラという）が開発され広く
用いられるようになってきている。
カラーカメラ（以下３板カメラという）が開発され広く
用いられるようになってきている。
【０００３】図３は従来の３板カメラの撮像ブロックの
断面図である。図において１は撮像レンズを通過した光
束、２はプリズム部材２ａ、２ｂ、２ｃからなる３色分
解プリズムである。光束１は３色分解プリズム２に設け
られたダイクロイックミラー３、４によって、３原色の
光束５、６、７に色分解され、各々固体撮像素子８、
９、１０に受光される。プリズム部材２ｂと２ｃは密着
して接合され、プリズム部材２ａと２ｂとは、その間に
数十μmの間隔を設けて接合される。
断面図である。図において１は撮像レンズを通過した光
束、２はプリズム部材２ａ、２ｂ、２ｃからなる３色分
解プリズムである。光束１は３色分解プリズム２に設け
られたダイクロイックミラー３、４によって、３原色の
光束５、６、７に色分解され、各々固体撮像素子８、
９、１０に受光される。プリズム部材２ｂと２ｃは密着
して接合され、プリズム部材２ａと２ｂとは、その間に
数十μmの間隔を設けて接合される。
【０００４】ダイクロイックミラー３、４で３原色に分
解反射された光束５、６は全反射により再度反射させる
ことで、裏返し像（鏡像）でなく表像を形成する光束と
して出射する。光束は固体撮像素子に入射するからこの
固体撮像素子８、９、１０の撮像信号を合成してカラー
テレビジョン信号が得られる。
解反射された光束５、６は全反射により再度反射させる
ことで、裏返し像（鏡像）でなく表像を形成する光束と
して出射する。光束は固体撮像素子に入射するからこの
固体撮像素子８、９、１０の撮像信号を合成してカラー
テレビジョン信号が得られる。
【０００５】このような従来の３板カメラでは、３色の
被写体像の重ね合わせを精度良く行う必要がある。重ね
合わせの精度、すなわちレジストレーションの精度が悪
いと色ずれやモアレ偽信号が発生し、画質は微妙に劣化
する。固体撮像素子の位置決めは光軸方向では焦点深度
があるため数十μm、被写体映像面内方向ではμmオーダ
の精度を必要とする。同様に固体撮像素子の熱膨張や振
動衝撃に対する位置安定性も同程度の精度を要し、これ
をレジストレーションの安定性と称している。
被写体像の重ね合わせを精度良く行う必要がある。重ね
合わせの精度、すなわちレジストレーションの精度が悪
いと色ずれやモアレ偽信号が発生し、画質は微妙に劣化
する。固体撮像素子の位置決めは光軸方向では焦点深度
があるため数十μm、被写体映像面内方向ではμmオーダ
の精度を必要とする。同様に固体撮像素子の熱膨張や振
動衝撃に対する位置安定性も同程度の精度を要し、これ
をレジストレーションの安定性と称している。
【０００６】特に近年の固体撮像素子の多画素化傾向に
伴い、画素ピッチが減少していることから、従来以上に
高いレジストレーションの精度と安定性が必要とされ
る。
伴い、画素ピッチが減少していることから、従来以上に
高いレジストレーションの精度と安定性が必要とされ
る。
【０００７】さて固体撮像素子８、９、１０の３色分解
プリズム２への装着であるが、従来、図のように３色分
解プリズム２の各光束出射面と離間した状態で光束５、
６、７に対して最良の結像位置となるよう、また固体撮
像素子８、９、１０の画素が所定の位置関係となるよう
レジストレーションの６軸調整がなされ、その後、連結
部材（図示せず）を周囲に接着するなどして各光束出射
面に装着固定されていた。
プリズム２への装着であるが、従来、図のように３色分
解プリズム２の各光束出射面と離間した状態で光束５、
６、７に対して最良の結像位置となるよう、また固体撮
像素子８、９、１０の画素が所定の位置関係となるよう
レジストレーションの６軸調整がなされ、その後、連結
部材（図示せず）を周囲に接着するなどして各光束出射
面に装着固定されていた。
【０００８】３色分解プリズム２の出射面と固体撮像素
子８を離間する理由はプリズム出射面位置のばらつきが
大きいためであり、固体撮像素子８の光軸距離の調整と
傾き調整のために調整範囲を大きくとり、調整時両者の
衝突による調整不能を避けるためである。プリズム部材
２ａ、２ｂ、２ｃは寸法に加工誤差を有し、特に研磨工
程が必要なため角度精度に比べ、長さ精度を保つことが
難しいという問題がある。
子８を離間する理由はプリズム出射面位置のばらつきが
大きいためであり、固体撮像素子８の光軸距離の調整と
傾き調整のために調整範囲を大きくとり、調整時両者の
衝突による調整不能を避けるためである。プリズム部材
２ａ、２ｂ、２ｃは寸法に加工誤差を有し、特に研磨工
程が必要なため角度精度に比べ、長さ精度を保つことが
難しいという問題がある。
【０００９】また、エアーギャップを形成するため、組
立工程としてはやや複雑になり、出射面の位置精度の確
保は難しくなる。そのため、固体撮像素子８、９、１０
と３色分解プリズム２とを離間して、レジストレーショ
ンの６軸調整を行なっていたのである。
立工程としてはやや複雑になり、出射面の位置精度の確
保は難しくなる。そのため、固体撮像素子８、９、１０
と３色分解プリズム２とを離間して、レジストレーショ
ンの６軸調整を行なっていたのである。
【００１０】
【発明が解決しようとする課題】しかし、熱膨張や振動
衝撃に対するレジストレーションの安定性、さらには固
体撮像素子８、９、１０の入射面と３色分解プリズム２
の出射面における反射光の抑制、さらには防塵性、光路
長の短縮などが強く要求されるから、従来のように撮像
ブロックを離間構造とすることは大きな問題であった。
衝撃に対するレジストレーションの安定性、さらには固
体撮像素子８、９、１０の入射面と３色分解プリズム２
の出射面における反射光の抑制、さらには防塵性、光路
長の短縮などが強く要求されるから、従来のように撮像
ブロックを離間構造とすることは大きな問題であった。
【００１１】本発明は上記課題を解決するもので、撮像
ブロックの構造を効率よく密着構造にでき、レジストレ
ーションの調整が容易で、かつレジストレーションの高
安定性を実現できる３板カメラ撮像ブロックの組立方法
を提供することを目的としている。
ブロックの構造を効率よく密着構造にでき、レジストレ
ーションの調整が容易で、かつレジストレーションの高
安定性を実現できる３板カメラ撮像ブロックの組立方法
を提供することを目的としている。
【００１２】
【課題を解決するための手段】本発明は上記目的を達成
するために、３個のプリズム部材を備えた３色分解プリ
ズムと、３個の固体撮像素子を有する３板カメラ撮像ブ
ロックの組立方法において、前記プリズム部材と３個の
固体撮像素子とを液状の紫外光硬化型接着剤にて全ての
接合面で密着させた後、前記固体撮像素子の位置情報を
撮像信号から検出しながら、前方のプリズム部材の接合
面に沿って後方のプリズム部材を順次移動させ光路長調
整を行い、かつ前記プリズム部材の出射面に沿って前記
固体撮像素子を移動させ固体撮像素子の画素の位置合わ
せ調整を行った後、紫外光を照射して前記紫外光硬化型
接着剤を硬化させることによって各部材や素子を固定す
るようにしたものである。
するために、３個のプリズム部材を備えた３色分解プリ
ズムと、３個の固体撮像素子を有する３板カメラ撮像ブ
ロックの組立方法において、前記プリズム部材と３個の
固体撮像素子とを液状の紫外光硬化型接着剤にて全ての
接合面で密着させた後、前記固体撮像素子の位置情報を
撮像信号から検出しながら、前方のプリズム部材の接合
面に沿って後方のプリズム部材を順次移動させ光路長調
整を行い、かつ前記プリズム部材の出射面に沿って前記
固体撮像素子を移動させ固体撮像素子の画素の位置合わ
せ調整を行った後、紫外光を照射して前記紫外光硬化型
接着剤を硬化させることによって各部材や素子を固定す
るようにしたものである。
【００１３】
【作用】本発明では上記のように全ての接合面を接着剤
で密着した状態で組立調整を行うようにしたため、従来
別々であったプリズム組立と固体撮像素子装着の工程
を、一つに合体した効率的な組立工程とすることがで
き、組立後（硬化後）と同等の状態で撮像信号をモニタ
しつつ組立作業を実施することができ、したがって容易
に組立寸法を調整して各色の光路長の相対精度を確保さ
せるとともに、固体撮像素子のレジストレーションの調
整をも簡素化することができる。その結果、レジストレ
ーション安定性の向上や、装着構成の簡素化を図ること
ができる。
で密着した状態で組立調整を行うようにしたため、従来
別々であったプリズム組立と固体撮像素子装着の工程
を、一つに合体した効率的な組立工程とすることがで
き、組立後（硬化後）と同等の状態で撮像信号をモニタ
しつつ組立作業を実施することができ、したがって容易
に組立寸法を調整して各色の光路長の相対精度を確保さ
せるとともに、固体撮像素子のレジストレーションの調
整をも簡素化することができる。その結果、レジストレ
ーション安定性の向上や、装着構成の簡素化を図ること
ができる。
【００１４】
【実施例】以下、本発明の３板カメラ撮像ブロックの組
立方法の一実施例について図１および図２を参照しなが
ら説明する。
立方法の一実施例について図１および図２を参照しなが
ら説明する。
【００１５】図１は本実施例の３板カメラ撮像ブロック
の断面図である。図において、２１、２２、２３は３色
分解プリズムのプリズム部材である。２４は撮像レンズ
からの光束２５を受け、青色の波長帯の光束２６を反射
するダイクロイックミラー面であり、プリズム部材２１
面上に設ける。２７は赤色の波長帯の光束２８を反射
し、緑色の波長帯の光束２９を透過するダイクロイック
ミラー面であり、プリズム部材２２面上に設ける。３
０、３１、３２はプリズム部材２１、２２、２３の出射
面３３、３４、３５に設ける固体撮像素子である。
の断面図である。図において、２１、２２、２３は３色
分解プリズムのプリズム部材である。２４は撮像レンズ
からの光束２５を受け、青色の波長帯の光束２６を反射
するダイクロイックミラー面であり、プリズム部材２１
面上に設ける。２７は赤色の波長帯の光束２８を反射
し、緑色の波長帯の光束２９を透過するダイクロイック
ミラー面であり、プリズム部材２２面上に設ける。３
０、３１、３２はプリズム部材２１、２２、２３の出射
面３３、３４、３５に設ける固体撮像素子である。
【００１６】ダイクロイックミラー面２４にエアーギャ
ップは無く、赤色の波長帯の光束２８は１回反射して出
射するため、その被写体像は裏返し像（鏡像）となる
が、電気回路にて画像の裏表を反転させる。このような
３色分解プリズムの形態は公知のものである。
ップは無く、赤色の波長帯の光束２８は１回反射して出
射するため、その被写体像は裏返し像（鏡像）となる
が、電気回路にて画像の裏表を反転させる。このような
３色分解プリズムの形態は公知のものである。
【００１７】組立は、まずプリズム部材２１、２２、２
３をダイクロイックミラー面２４、２７にて液状の紫外
光硬化型接着剤を挟んで密着する。この紫外光硬化型接
着剤には熱硬化性を付与しておく。同様に固体撮像素子
３０、３１、３２も出射面３３、３４、３５に液状の紫
外光硬化型接着剤を挟んで密着し、全体を仮組みの状態
として保持する。各部品の保持は密着後でも密着前でも
かまわないが、各々前方の接合面に押圧し、かつ接合面
に沿って微動可能な位置調整機構によって保持する。実
際には接着剤の表面張力で吸着力が発生するため、強い
押圧力は必要としない。
３をダイクロイックミラー面２４、２７にて液状の紫外
光硬化型接着剤を挟んで密着する。この紫外光硬化型接
着剤には熱硬化性を付与しておく。同様に固体撮像素子
３０、３１、３２も出射面３３、３４、３５に液状の紫
外光硬化型接着剤を挟んで密着し、全体を仮組みの状態
として保持する。各部品の保持は密着後でも密着前でも
かまわないが、各々前方の接合面に押圧し、かつ接合面
に沿って微動可能な位置調整機構によって保持する。実
際には接着剤の表面張力で吸着力が発生するため、強い
押圧力は必要としない。
【００１８】図２は、前記微動の方向、すなわち組立調
整の動作の自由度を矢印にて示す図である。プリズム部
材２２は前方のプリズム部材２１との接合面であるダイ
クロイックミラー面２４に沿って、矢印で示した微動可
能方向３６、３７の方向に微動可能とする。プリズム部
材２３は、前方のプリズム部材２２との接合面であるダ
イクロイックミラー面２７に沿って、矢印で示した微動
可能方向３８、３９の方向に微動可能とする。プリズム
部材２１は所定の基準位置に保持し微動は行わない。固
体撮像素子３０は出射面３３に沿って、固体撮像素子３
１は出射面３４に沿って、固体撮像素子３２は出射面３
５に沿って、図中それぞれの固体撮像素子について矢印
Ｘ，Ｙ，Ｒで示した微動可能方向に微動可能とする。
整の動作の自由度を矢印にて示す図である。プリズム部
材２２は前方のプリズム部材２１との接合面であるダイ
クロイックミラー面２４に沿って、矢印で示した微動可
能方向３６、３７の方向に微動可能とする。プリズム部
材２３は、前方のプリズム部材２２との接合面であるダ
イクロイックミラー面２７に沿って、矢印で示した微動
可能方向３８、３９の方向に微動可能とする。プリズム
部材２１は所定の基準位置に保持し微動は行わない。固
体撮像素子３０は出射面３３に沿って、固体撮像素子３
１は出射面３４に沿って、固体撮像素子３２は出射面３
５に沿って、図中それぞれの固体撮像素子について矢印
Ｘ，Ｙ，Ｒで示した微動可能方向に微動可能とする。
【００１９】図１に戻り、各部品を保持の後、固体撮像
素子３０、３１、３２を撮像状態とし、レジストレーシ
ョン調整の基準となるテストチャートを撮像する。まず
固体撮像素子３０、３１の撮像信号をモニタし、撮像レ
ンズのフォーカスを固体撮像素子３０に合わせた後、固
体撮像素子３１の結像状態が最良となるよう、プリズム
部材２２をダイクロイックミラー面２４に沿って微動し
光路長調整を行う。
素子３０、３１、３２を撮像状態とし、レジストレーシ
ョン調整の基準となるテストチャートを撮像する。まず
固体撮像素子３０、３１の撮像信号をモニタし、撮像レ
ンズのフォーカスを固体撮像素子３０に合わせた後、固
体撮像素子３１の結像状態が最良となるよう、プリズム
部材２２をダイクロイックミラー面２４に沿って微動し
光路長調整を行う。
【００２０】次に固体撮像素子３２の撮像信号をモニタ
し、結像状態が最良となるよう、プリズム部材２３をダ
イクロイックミラー面２７に沿って微動させ光路長調整
を行う。次に固体撮像素子３０の画素位置がテストチャ
ートに対し所定の位置となるよう出射面３３に沿って微
動して位置合わせ調整をする。固体撮像素子３１、３２
についてもテストチャートに対し所定の位置関係となる
よう出射面３４、３５に沿って各々微動させ、画素の位
置合わせ調整を行う。
し、結像状態が最良となるよう、プリズム部材２３をダ
イクロイックミラー面２７に沿って微動させ光路長調整
を行う。次に固体撮像素子３０の画素位置がテストチャ
ートに対し所定の位置となるよう出射面３３に沿って微
動して位置合わせ調整をする。固体撮像素子３１、３２
についてもテストチャートに対し所定の位置関係となる
よう出射面３４、３５に沿って各々微動させ、画素の位
置合わせ調整を行う。
【００２１】この状態で紫外光を照射して各接合面の接
着剤を硬化させるが、これは仮固定の状態でよい。保持
から解除した後、加熱庫に入れるなどして完全に硬化さ
せる。熱硬化性を付与した紫外硬化型接着剤の使用によ
り硬化の確実性が増すとともに、プリズム部材に使用さ
れているガラス材による紫外線吸収のために紫外光照射
が十分に行なわれなかった場合や、保持機構によって妨
げられて同じく紫外光照射が不十分となったときにも熱
硬化によって十分な硬化強度が得られる。
着剤を硬化させるが、これは仮固定の状態でよい。保持
から解除した後、加熱庫に入れるなどして完全に硬化さ
せる。熱硬化性を付与した紫外硬化型接着剤の使用によ
り硬化の確実性が増すとともに、プリズム部材に使用さ
れているガラス材による紫外線吸収のために紫外光照射
が十分に行なわれなかった場合や、保持機構によって妨
げられて同じく紫外光照射が不十分となったときにも熱
硬化によって十分な硬化強度が得られる。
【００２２】以上のように本発明の実施例では３色分解
プリズムと固体撮像素子との高精度の密着が可能とな
る。また接合面は終始、密着状態にあるため組立開始時
から完成時まで防塵効果を有し製造性が高められる。な
お密着構造とすると、反射界面がなくなるため界面の反
射防止処理が不要であり、低フレアー化に有利である。
もちろん、固体撮像素子の離間固定で従来必要とした連
結部材に相当する部品は本発明では不要となり小型化や
簡素化が図れる。
プリズムと固体撮像素子との高精度の密着が可能とな
る。また接合面は終始、密着状態にあるため組立開始時
から完成時まで防塵効果を有し製造性が高められる。な
お密着構造とすると、反射界面がなくなるため界面の反
射防止処理が不要であり、低フレアー化に有利である。
もちろん、固体撮像素子の離間固定で従来必要とした連
結部材に相当する部品は本発明では不要となり小型化や
簡素化が図れる。
【００２３】なおプリズム部材２１、２２、２３は出射
面に色補正フィルタや赤外光カットフィルタあるいは光
学ローパスフィルタ等を予め貼合わせた複合構造のもの
であってもかまわない。複合構造とすることによりプリ
ズム部材２１、２２、２３の寸法は長さ誤差を生じ易く
なるが、本発明では組立調整によってこれを補正できる
ため問題はない。
面に色補正フィルタや赤外光カットフィルタあるいは光
学ローパスフィルタ等を予め貼合わせた複合構造のもの
であってもかまわない。複合構造とすることによりプリ
ズム部材２１、２２、２３の寸法は長さ誤差を生じ易く
なるが、本発明では組立調整によってこれを補正できる
ため問題はない。
【００２４】
【発明の効果】以上の実施例から明らかなように本発明
によれば、従来別々であったプリズム組立と固体撮像素
子装着の工程を、一つに合体した効率的な製造工程とす
ることができるので、組立寸法を調整して各色の光路長
の相対精度を同時に確保させることができる。
によれば、従来別々であったプリズム組立と固体撮像素
子装着の工程を、一つに合体した効率的な製造工程とす
ることができるので、組立寸法を調整して各色の光路長
の相対精度を同時に確保させることができる。
【００２５】またプリズム出射面によって固体撮像素子
の光軸方向の位置規正がなされ、固体撮像素子のレジス
トレーション調整を簡素化できる。プリズム出射面への
固体撮像素子の密着接着が容易に行える結果、３板カメ
ラ撮像ブロックのレジストレーション安定性の向上や、
装着構成の簡素化、さらにフレアー特性や防塵性の向
上、反射防止処理工程の省略化など３板カメラ撮像ブロ
ック効率的で優れた組立方法を提供することができる。
の光軸方向の位置規正がなされ、固体撮像素子のレジス
トレーション調整を簡素化できる。プリズム出射面への
固体撮像素子の密着接着が容易に行える結果、３板カメ
ラ撮像ブロックのレジストレーション安定性の向上や、
装着構成の簡素化、さらにフレアー特性や防塵性の向
上、反射防止処理工程の省略化など３板カメラ撮像ブロ
ック効率的で優れた組立方法を提供することができる。
【図１】本発明の一実施例における３板カメラ撮像ブロ
ックの断面図
ックの断面図
【図２】本発明の一実施例における３板カメラ撮像ブロ
ックの組立方法における各部材の微動調整動作を示す斜
視図
ックの組立方法における各部材の微動調整動作を示す斜
視図
【図３】従来の３板カメラ撮像ブロックの断面図
２１ プリズム部材 ２２ プリズム部材 ２３ プリズム部材 ３０ 固体撮像素子 ３１ 固体撮像素子 ３２ 固体撮像素子 ３６ 微動可能方向 ３７ 微動可能方向 ３８ 微動可能方向 ３９ 微動可能方向
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 平３−209419（ＪＰ，Ａ) 特開 平２−148989（ＪＰ，Ａ) 特開 平２−109017（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.6，ＤＢ名) H04N 9/04 - 9/097
Claims (2)
- 【請求項１】３個のプリズム部材を備えた３色分解プリ
ズムと、３個の固体撮像素子を有する３板カメラ撮像ブ
ロックの組立方法において、前記プリズム部材と３個の
固体撮像素子とを液状の紫外光硬化型接着剤を用いて全
ての接合面で密着させた後、前記固体撮像素子の位置情
報を撮像信号から検出することによって、前方のプリズ
ム部材の接合面に沿って後方のプリズム部材を順次移動
させ光路長調整を行い、かつ前記プリズム部材の出射面
に沿って前記固体撮像素子を移動させ前記固体撮像素子
の画素の位置合わせ調整を行った後、紫外光を照射して
前記紫外光硬化型接着剤を硬化させる３板カメラ撮像ブ
ロックの組立方法。 - 【請求項２】紫外光硬化型接着剤に熱硬化性を付与して
おき、紫外光を照射して仮固定状態とした後、加熱によ
って硬化を完了させる請求項１記載の３板カメラ撮像ブ
ロックの組立方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3054505A JP2811985B2 (ja) | 1991-03-19 | 1991-03-19 | ３板カメラ撮像ブロックの組立方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3054505A JP2811985B2 (ja) | 1991-03-19 | 1991-03-19 | ３板カメラ撮像ブロックの組立方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04290090A JPH04290090A (ja) | 1992-10-14 |
| JP2811985B2 true JP2811985B2 (ja) | 1998-10-15 |
Family
ID=12972494
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3054505A Expired - Lifetime JP2811985B2 (ja) | 1991-03-19 | 1991-03-19 | ３板カメラ撮像ブロックの組立方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2811985B2 (ja) |
Families Citing this family (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| FI97264C (fi) | 1994-10-28 | 1996-11-11 | Tvi Temet Vision Ind Oy | Menetelmä valoilmaisinrivin asemoimiseksi ja valojako- ja ilmaisinrakenne viivakameraa varten |
| JPH09211209A (ja) * | 1996-01-31 | 1997-08-15 | Canon Inc | 光学部材及びそれを有する光学機器 |
| KR100704668B1 (ko) * | 2005-11-09 | 2007-04-09 | 삼성전자주식회사 | 광학디바이스의 제조장치 및 제조방법 |
| JP6947204B2 (ja) * | 2015-03-24 | 2021-10-13 | ソニーグループ株式会社 | 撮像装置とその製造方法 |
-
1991
- 1991-03-19 JP JP3054505A patent/JP2811985B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH04290090A (ja) | 1992-10-14 |
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