JP3206150B2 - ３板式撮像ブロックの組立装置 - Google Patents
３板式撮像ブロックの組立装置Info
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- JP3206150B2 JP3206150B2 JP29828692A JP29828692A JP3206150B2 JP 3206150 B2 JP3206150 B2 JP 3206150B2 JP 29828692 A JP29828692 A JP 29828692A JP 29828692 A JP29828692 A JP 29828692A JP 3206150 B2 JP3206150 B2 JP 3206150B2
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- Mounting And Adjusting Of Optical Elements (AREA)
- Color Television Image Signal Generators (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、固体撮像素子を具備し
たテレビジョンカメラ、ビデオカメラなどの製造に用い
られる３板式撮像ブロックの組立装置に関するものであ
る。
たテレビジョンカメラ、ビデオカメラなどの製造に用い
られる３板式撮像ブロックの組立装置に関するものであ
る。
【０００２】
【従来の技術】近年、テレビジョンカメラにおいては撮
像手段として固体撮像素子が、叉色分解光学系としては
複数のプリズム部材を組み合わせて構成した色分解プリ
ズムが多く用いられている。
像手段として固体撮像素子が、叉色分解光学系としては
複数のプリズム部材を組み合わせて構成した色分解プリ
ズムが多く用いられている。
【０００３】しかしながらプリズム部材は加工バラツキ
があり色分解プリズムの高精度な組立が難しく、光路長
で±０．３ｍｍの誤差があり、対物レンズからの光束が
各々のプリズム系内を通過する際、各光束毎の光路長誤
差が生じる。固体撮像素子を用いたテレビカメラでは簡
単な保持機構と調整機構により固体撮像素子とプリズム
射出面との隙間をもたせて光路長の調整を行い、縦軸・
横軸の調整を行なった後、隙間を接着剤とガラス部材、
溶融金属等により連結してプリズムの射出面と固体撮像
素子の固定を行なっていた。このようにプリズム組立と
固体撮像素子の装着は別工程でおこなわれていた。
があり色分解プリズムの高精度な組立が難しく、光路長
で±０．３ｍｍの誤差があり、対物レンズからの光束が
各々のプリズム系内を通過する際、各光束毎の光路長誤
差が生じる。固体撮像素子を用いたテレビカメラでは簡
単な保持機構と調整機構により固体撮像素子とプリズム
射出面との隙間をもたせて光路長の調整を行い、縦軸・
横軸の調整を行なった後、隙間を接着剤とガラス部材、
溶融金属等により連結してプリズムの射出面と固体撮像
素子の固定を行なっていた。このようにプリズム組立と
固体撮像素子の装着は別工程でおこなわれていた。
【０００４】以下に従来の３板式撮像ブロックの組立装
置について説明する。図３は、従来の３板カメラ撮像ブ
ロック組立装置の模式図である。１は３個のプリズム部
材からなる色分解プリズム。２ａ、２ｂ、２ｃは、各色
成分を撮像する固体撮像素子。３ａ、３ｂ、３ｃは、固
体撮像素子を６次元に位置合わせする位置調整治具。４
は、レンズマウント。５は基準レンズ。６は基準チャー
トを内蔵したチャートボックス。７は撮像光を照射する
光源。８は、固体撮像素子とプリズム部材を連結するガ
ラス部材、９は画像信号処理回路、１０は高解像度モニ
ターである。
置について説明する。図３は、従来の３板カメラ撮像ブ
ロック組立装置の模式図である。１は３個のプリズム部
材からなる色分解プリズム。２ａ、２ｂ、２ｃは、各色
成分を撮像する固体撮像素子。３ａ、３ｂ、３ｃは、固
体撮像素子を６次元に位置合わせする位置調整治具。４
は、レンズマウント。５は基準レンズ。６は基準チャー
トを内蔵したチャートボックス。７は撮像光を照射する
光源。８は、固体撮像素子とプリズム部材を連結するガ
ラス部材、９は画像信号処理回路、１０は高解像度モニ
ターである。
【０００５】以上のように構成された３板式カメラ撮像
ブロックの組立装置について、以下その動作について説
明する。３個のプリズム部材で構成された色分解プリズ
ム１がレンズマウント４を介して基準レンズ５に取り付
けられ、この基準レンズ５の先端に基準チャートを内蔵
したチャートボックス６が設けられ、光源７から上記チ
ャートボックス６、基準レンズ５を介して上記色分解プ
リズム１に固体撮像素子２ａ、２ｂ、２ｃの相対位置調
整用の撮像光が照射されるようになっている。
ブロックの組立装置について、以下その動作について説
明する。３個のプリズム部材で構成された色分解プリズ
ム１がレンズマウント４を介して基準レンズ５に取り付
けられ、この基準レンズ５の先端に基準チャートを内蔵
したチャートボックス６が設けられ、光源７から上記チ
ャートボックス６、基準レンズ５を介して上記色分解プ
リズム１に固体撮像素子２ａ、２ｂ、２ｃの相対位置調
整用の撮像光が照射されるようになっている。
【０００６】また各固体撮像素子２ａ、２ｂ、２ｃは、
６次元に位置合わせを行なう位置調整治具３ａ、３ｂ、
３ｃに簡単な保持具によって各々取り付けられており、
上記色分解プリズム１にて分光された各色成分の撮像光
による画像すなわち基準チャートを撮像する。上記各固
体撮像素子２ａ、２ｂ、２ｃにて得られる各撮像出力
は、画像信号処理回路９を介して高解像度モニタ１０に
供給されている。そして、この組立装置では、上記高解
像度モニタ１０の画面上で各固体撮像素子２ａ、２ｂ、
２ｃの相対位置の状態を確認しながら、基準チャートに
対して上記各位置調整治具３ａ、３ｂ、３ｃを操作して
固体撮像素子２ａ、２ｂ、２ｃの相対位置調整を行なう
ようになっている。相対位置調整が完了した後、色分解
プリズム１側面と固体撮像素子２ａ、２ｂ、２ｃの側面
をガラス部材８で相対位置がズレ無いよう連結固定す
る。
６次元に位置合わせを行なう位置調整治具３ａ、３ｂ、
３ｃに簡単な保持具によって各々取り付けられており、
上記色分解プリズム１にて分光された各色成分の撮像光
による画像すなわち基準チャートを撮像する。上記各固
体撮像素子２ａ、２ｂ、２ｃにて得られる各撮像出力
は、画像信号処理回路９を介して高解像度モニタ１０に
供給されている。そして、この組立装置では、上記高解
像度モニタ１０の画面上で各固体撮像素子２ａ、２ｂ、
２ｃの相対位置の状態を確認しながら、基準チャートに
対して上記各位置調整治具３ａ、３ｂ、３ｃを操作して
固体撮像素子２ａ、２ｂ、２ｃの相対位置調整を行なう
ようになっている。相対位置調整が完了した後、色分解
プリズム１側面と固体撮像素子２ａ、２ｂ、２ｃの側面
をガラス部材８で相対位置がズレ無いよう連結固定す
る。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら上記従来
の構成では、光束の光路長が一定でない固体撮像素子と
色分解プリズムを構成するプリズム部材において、直接
密着して少なくとも２つ以上ある固体撮像素子の全ての
相対位置を良好に位置合わせすることが難しい。
の構成では、光束の光路長が一定でない固体撮像素子と
色分解プリズムを構成するプリズム部材において、直接
密着して少なくとも２つ以上ある固体撮像素子の全ての
相対位置を良好に位置合わせすることが難しい。
【０００８】また色分解プリズムと固体撮像素子が離間
することで相対位置が不安定であること、連結用のガラ
ス部材が必要なこと、離間部に異物の進入を防止する後
処理が必要であるという問題点を有していた。
することで相対位置が不安定であること、連結用のガラ
ス部材が必要なこと、離間部に異物の進入を防止する後
処理が必要であるという問題点を有していた。
【０００９】本発明は、上記従来の問題点を解決するも
ので、液状の接着剤を固体撮像素子とプリズム部材で挟
持し仮組した撮像ブロックの固体撮像素子とプリズム部
材を独立して密着微動させ固体撮像素子の相対位置合わ
せをおこなうことで、固体撮像素子とプリズム部材系内
の光路長を一定にする必要なく組立てできる３板式撮像
ブロックの組立装置を提供することを目的とする。
ので、液状の接着剤を固体撮像素子とプリズム部材で挟
持し仮組した撮像ブロックの固体撮像素子とプリズム部
材を独立して密着微動させ固体撮像素子の相対位置合わ
せをおこなうことで、固体撮像素子とプリズム部材系内
の光路長を一定にする必要なく組立てできる３板式撮像
ブロックの組立装置を提供することを目的とする。
【００１０】
【課題を解決するための手段】この目的を達成するため
に本発明の３板式撮像ブロックの組立装置は、光軸に対
して傾いた面を対向して隣接された３個のプリズム部材
と固体撮像素子を３個用いる３板式カラーテレビジョン
カメラの撮像ブロック組立において、第１のプリズム部
材を光軸に対して所定の位置に規制する基準台と第２、
第３のプリズム部材を載置して第１、第２、第３のプリ
ズム部材の対向した隣接面に対し平行に独立して微動す
る第１と第２の直進状微動台と、３個の各プリズム部材
を独立して基準台及び第１と第２の直進状微動台に固定
するための保持具と、３個のプリズム部材の対向した隣
接面に対し垂直に第２、第３のプリズムを押圧する第１
と第２の直進状押圧具を備えるものである。
に本発明の３板式撮像ブロックの組立装置は、光軸に対
して傾いた面を対向して隣接された３個のプリズム部材
と固体撮像素子を３個用いる３板式カラーテレビジョン
カメラの撮像ブロック組立において、第１のプリズム部
材を光軸に対して所定の位置に規制する基準台と第２、
第３のプリズム部材を載置して第１、第２、第３のプリ
ズム部材の対向した隣接面に対し平行に独立して微動す
る第１と第２の直進状微動台と、３個の各プリズム部材
を独立して基準台及び第１と第２の直進状微動台に固定
するための保持具と、３個のプリズム部材の対向した隣
接面に対し垂直に第２、第３のプリズムを押圧する第１
と第２の直進状押圧具を備えるものである。
【００１１】この場合、第１の直進状微動台の台上に第
２の直進状微動台を載置できる連結板を設け第１の直進
状微動台の移動に第２の直進状微動台全体が追従するよ
うに構成すると一層好都合である。
２の直進状微動台を載置できる連結板を設け第１の直進
状微動台の移動に第２の直進状微動台全体が追従するよ
うに構成すると一層好都合である。
【００１２】
【００１３】
【００１４】
【作用】この構成によって、液状の接着剤をプリズム部
材と固体撮像素子で挟持し仮組した後、保持具により３
個のプリズム部材で構成された色分解プリズムと３個の
固体撮像素子を各々独立して保持できる。固体撮像素子
の撮像信号を読み取りながら直進状微動台と直進状押圧
具により各プリズム部材を独立して接合面を密着した状
態で微動でき、位置調整治具は固体撮像素子を保持する
と共にプリズム部材の射出面に押圧して密着させプリズ
ム部材の移動に追従して光路長の調整ができ、且つ光路
長を除いた相対位置調整（横軸、縦軸、回転軸）を色分
解プリズムの射出面内で固体撮像素子を密着した状態で
調整できることから、直接密着して２つ以上ある固体撮
像素子の全ての相対位置を良好に位置合わせすることが
容易である。
材と固体撮像素子で挟持し仮組した後、保持具により３
個のプリズム部材で構成された色分解プリズムと３個の
固体撮像素子を各々独立して保持できる。固体撮像素子
の撮像信号を読み取りながら直進状微動台と直進状押圧
具により各プリズム部材を独立して接合面を密着した状
態で微動でき、位置調整治具は固体撮像素子を保持する
と共にプリズム部材の射出面に押圧して密着させプリズ
ム部材の移動に追従して光路長の調整ができ、且つ光路
長を除いた相対位置調整（横軸、縦軸、回転軸）を色分
解プリズムの射出面内で固体撮像素子を密着した状態で
調整できることから、直接密着して２つ以上ある固体撮
像素子の全ての相対位置を良好に位置合わせすることが
容易である。
【００１５】また固体撮像素子をプリズム部材に直接密
着できることでガラス部材による連結が不要で異物の侵
入も無い。
着できることでガラス部材による連結が不要で異物の侵
入も無い。
【００１６】
【実施例】以下本発明の一実施例について、図面を参照
しながら説明する。
しながら説明する。
【００１７】図１、図２において、２１ａ、２１ｂ、２
１ｃはプリズム部材、２２ａ、２２ｂ、２２ｃは光束を
撮像する固体撮像素子、２３は光軸に対して所定の位置
に設けられた基準台、２４ａ、２４ｂはプリズム部材の
隣接面に対して平行に微動させる第１と第２の直進状微
動台、２５ａ、２５ｂは各プリズム部材の隣接面が離間
せずに均一な接着層を得るための直進状押圧具、２６
ａ、２６ｂ、２６ｃは各プリズム部材を独立して基準台
と第１・第２の直進状微動台に固定する保持具、２７
ａ、２７ｂ、２７ｃは固体撮像素子を保持して位置合わ
せする位置調整治具、２８は基準レンズ、２９ａ、２９
ｂはプリズム部材の移動方向である。
１ｃはプリズム部材、２２ａ、２２ｂ、２２ｃは光束を
撮像する固体撮像素子、２３は光軸に対して所定の位置
に設けられた基準台、２４ａ、２４ｂはプリズム部材の
隣接面に対して平行に微動させる第１と第２の直進状微
動台、２５ａ、２５ｂは各プリズム部材の隣接面が離間
せずに均一な接着層を得るための直進状押圧具、２６
ａ、２６ｂ、２６ｃは各プリズム部材を独立して基準台
と第１・第２の直進状微動台に固定する保持具、２７
ａ、２７ｂ、２７ｃは固体撮像素子を保持して位置合わ
せする位置調整治具、２８は基準レンズ、２９ａ、２９
ｂはプリズム部材の移動方向である。
【００１８】以上のように構成された３板式カメラ撮像
ブロックの組立装置について、図１を用いてその動作を
説明する。まず、液状の紫外光硬化型接着剤をプリズム
部材２１ａ、２１ｂ、２１ｃのダイクロイックミラー面
で挟持して仮組する。この時、プリズム部材は角度は一
定で辺の長さにバラツキがある。固体撮像素子２２ａ、
２２ｂ、２２ｃを各プリズム部材２１ａ、２１ｂ、２１
ｃの射出面に密着して全体を仮組の状態として保持しな
がら、プリズム部材２１ａを基準台２３上とプリズム部
材２１ｂを直進状微動台２４ａ上とプリズム部材２１ｃ
を直進状微動台２４ｂ上に独立して載置する。
ブロックの組立装置について、図１を用いてその動作を
説明する。まず、液状の紫外光硬化型接着剤をプリズム
部材２１ａ、２１ｂ、２１ｃのダイクロイックミラー面
で挟持して仮組する。この時、プリズム部材は角度は一
定で辺の長さにバラツキがある。固体撮像素子２２ａ、
２２ｂ、２２ｃを各プリズム部材２１ａ、２１ｂ、２１
ｃの射出面に密着して全体を仮組の状態として保持しな
がら、プリズム部材２１ａを基準台２３上とプリズム部
材２１ｂを直進状微動台２４ａ上とプリズム部材２１ｃ
を直進状微動台２４ｂ上に独立して載置する。
【００１９】保持具２６ａ、２６ｂ、２６ｃによりプリ
ズム部材２１ａ、２１ｂ、２１ｃを各々独立して押圧し
固定する。固体撮像素子２２ａ、２２ｂ、２２ｃは相対
的な位置合わせ用位置調整治具２７ａ、２７ｂ、２７ｃ
に保持具を介して各々取り付ける。調整位置の検出方法
は従来例と同様にチャートボックスに内蔵された基準チ
ャートを基準レンズ２８を介して固体撮像素子２２ａ、
２２ｂ、２２ｃの撮像信号を観察する。
ズム部材２１ａ、２１ｂ、２１ｃを各々独立して押圧し
固定する。固体撮像素子２２ａ、２２ｂ、２２ｃは相対
的な位置合わせ用位置調整治具２７ａ、２７ｂ、２７ｃ
に保持具を介して各々取り付ける。調整位置の検出方法
は従来例と同様にチャートボックスに内蔵された基準チ
ャートを基準レンズ２８を介して固体撮像素子２２ａ、
２２ｂ、２２ｃの撮像信号を観察する。
【００２０】最初に固体撮像素子２２ａにより基準チャ
ートの撮像を行い焦点合わせを基準レンズ２８の移動に
より行ない固定する。次に基準レンズ２８を介して固体
撮像素子２２ｂにより基準チャートを撮像して焦点のズ
レ量を検出してズレ量に応じて第１の直進状微動台２４
ａ上に保持具２６ｂで固定されたプリズム部材２１ｂを
直進状押圧具２５ａにより接合面を密着した状態で摺動
方向２９ａへ微動して焦点を合わす。連結板により第１
の直進状微動台２４ａ上に第２の直進状微動台２４ｂを
載置することで第２の直進状微動台２４ｂ全体が追従し
てプリズム部材２１ｂとプリズム部材２１ｃの相対的な
位置関係がずれない。
ートの撮像を行い焦点合わせを基準レンズ２８の移動に
より行ない固定する。次に基準レンズ２８を介して固体
撮像素子２２ｂにより基準チャートを撮像して焦点のズ
レ量を検出してズレ量に応じて第１の直進状微動台２４
ａ上に保持具２６ｂで固定されたプリズム部材２１ｂを
直進状押圧具２５ａにより接合面を密着した状態で摺動
方向２９ａへ微動して焦点を合わす。連結板により第１
の直進状微動台２４ａ上に第２の直進状微動台２４ｂを
載置することで第２の直進状微動台２４ｂ全体が追従し
てプリズム部材２１ｂとプリズム部材２１ｃの相対的な
位置関係がずれない。
【００２１】同様に固体撮像装置２２ｃにより焦点のズ
レ量を検出してズレ量に応じて第２の直進状微動台上に
保持具２６ｃで固定されたプリズム部材２３を直進状押
圧具２５ｂにより接合面を密着した状態で摺動方向２９
ｂへ微動して焦点を合わせる。位置調整具２７ａ、２７
ｂ、２７ｃにより保持されプリズム部材２１ａ、２１
ｂ、２１ｃの射出面に押圧されている固体撮像素子２２
ａ、２２ｂ、２２ｃの光路長を除く横軸・縦軸・回転軸
の相対位置調整は、プリズム部材２１ａ、２１ｂ、２１
ｃの射出面内で密着微動して相対位置合わせした後、紫
外光を照射して全体を一括硬化して固体撮像素子２２
ａ、２２ｂ、２２ｃとプリズム部材２１ａ、２１ｂ、２
１ｃを固定する。
レ量を検出してズレ量に応じて第２の直進状微動台上に
保持具２６ｃで固定されたプリズム部材２３を直進状押
圧具２５ｂにより接合面を密着した状態で摺動方向２９
ｂへ微動して焦点を合わせる。位置調整具２７ａ、２７
ｂ、２７ｃにより保持されプリズム部材２１ａ、２１
ｂ、２１ｃの射出面に押圧されている固体撮像素子２２
ａ、２２ｂ、２２ｃの光路長を除く横軸・縦軸・回転軸
の相対位置調整は、プリズム部材２１ａ、２１ｂ、２１
ｃの射出面内で密着微動して相対位置合わせした後、紫
外光を照射して全体を一括硬化して固体撮像素子２２
ａ、２２ｂ、２２ｃとプリズム部材２１ａ、２１ｂ、２
１ｃを固定する。
【００２２】以上にように本実施例によれば、液状の接
着剤をプリズム部材と固体撮像素子で挟持し仮組した撮
像ブロックにおいて、プリズム部材と固体撮像素子を密
着した状態で微動できる直進状微動台と位置調整具、お
よびプリズム部材を独立して固定できる保持具、プリズ
ム部材と固体撮像素子の接着層を均一にする直進状押圧
具を設ける組立装置により、従来別々であったプリズム
組立と固体撮像素子装着の工程を一つに合体できること
で、作業効率が飛躍的に向上し、タクト時間が約１２０
分から約１分に短縮できた。
着剤をプリズム部材と固体撮像素子で挟持し仮組した撮
像ブロックにおいて、プリズム部材と固体撮像素子を密
着した状態で微動できる直進状微動台と位置調整具、お
よびプリズム部材を独立して固定できる保持具、プリズ
ム部材と固体撮像素子の接着層を均一にする直進状押圧
具を設ける組立装置により、従来別々であったプリズム
組立と固体撮像素子装着の工程を一つに合体できること
で、作業効率が飛躍的に向上し、タクト時間が約１２０
分から約１分に短縮できた。
【００２３】
【発明の効果】以上のように本発明は、液状の接着剤を
プリズム部材と固体撮像素子で挟持して、直進状微動台
により各プリズム部材を密着微動して各固体撮像素子の
光路長合わせができる事と固体撮像素子をプリズム部材
の射出面内で密着微動して光路長を除く相対位置合わせ
ができることで、従来別々であったプリズム組立と固体
撮像素子装着の工程を１つに合体した組立ができる組立
装置により、固体撮像素子とプリズム部材系内の光路長
を一定にする必要が無く３板式撮像ブロックの組立を実
現できるものである。
プリズム部材と固体撮像素子で挟持して、直進状微動台
により各プリズム部材を密着微動して各固体撮像素子の
光路長合わせができる事と固体撮像素子をプリズム部材
の射出面内で密着微動して光路長を除く相対位置合わせ
ができることで、従来別々であったプリズム組立と固体
撮像素子装着の工程を１つに合体した組立ができる組立
装置により、固体撮像素子とプリズム部材系内の光路長
を一定にする必要が無く３板式撮像ブロックの組立を実
現できるものである。
【図１】本発明の一実施例における３板式撮像ブロック
組立装置の構成図
組立装置の構成図
【図２】同実施例装置の側面図
【図３】従来の３板式撮像ブロック組立装置の構成図
２１ プリズム部材 ２２ 固体撮像素子 ２３ 基準台 ２４ 直進状微動台 ２５ 直進状押圧具 ２６ 保持具 ２７ 位置調整治具 ２８ 基準レンズ ２９ 摺動方向
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 平４−290090（ＪＰ，Ａ) 特開 平２−109017（ＪＰ，Ａ) 特開 昭63−33089（ＪＰ，Ａ) 実開 平５−4686（ＪＰ，Ｕ) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) H04N 5/222 - 5/257 G02B 7/18 H04N 9/097
Claims (1)
- 【請求項１】 光軸に対して傾いた面を対向して隣接さ
れた３個のプリズム部材と固体撮像素子を３個用いる３
板式カラーテレビジョンカメラの撮像ブロック組立にお
いて、第１のプリズム部材を光軸に対して所定の位置に
規制する基準台と、第２、第３のプリズム部材を載置し
て前記第１、第２、第３のプリズム部材の対向した隣接
面に対し平行に独立して微動する第１と第２の直進状微
動台と、３個の各プリズム部材を独立して前記基準台及
び前記第１と第２の直進状微動台に固定するための保持
具と、３個のプリズム部材の対向した隣接面に対し垂直
に前記第２、第３のプリズムを押圧する第１と第２の直
進状押圧具を備え、 前記第１の直進状微動台の台上に前記第２の直進状微動
台を載置できる連結板を設け、前記第１の直進状微動台
の移動に前記第２の直進状微動台全体が追従すること を
特徴とする３板式撮像ブロックの組立装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP29828692A JP3206150B2 (ja) | 1992-11-09 | 1992-11-09 | ３板式撮像ブロックの組立装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP29828692A JP3206150B2 (ja) | 1992-11-09 | 1992-11-09 | ３板式撮像ブロックの組立装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06153052A JPH06153052A (ja) | 1994-05-31 |
| JP3206150B2 true JP3206150B2 (ja) | 2001-09-04 |
Family
ID=17857673
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP29828692A Expired - Fee Related JP3206150B2 (ja) | 1992-11-09 | 1992-11-09 | ３板式撮像ブロックの組立装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3206150B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100700986B1 (ko) * | 2005-08-11 | 2007-03-29 | 삼성전자주식회사 | 광학디바이스의 제조장치 및 제조방법 |
| KR100704668B1 (ko) * | 2005-11-09 | 2007-04-09 | 삼성전자주식회사 | 광학디바이스의 제조장치 및 제조방법 |
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1992
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| JPH06153052A (ja) | 1994-05-31 |
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