JP2875933B2 - 光学部品の角度調整装置 - Google Patents
光学部品の角度調整装置Info
- Publication number
- JP2875933B2 JP2875933B2 JP2896693A JP2896693A JP2875933B2 JP 2875933 B2 JP2875933 B2 JP 2875933B2 JP 2896693 A JP2896693 A JP 2896693A JP 2896693 A JP2896693 A JP 2896693A JP 2875933 B2 JP2875933 B2 JP 2875933B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- optical component
- axis
- optical
- stage
- optical components
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Landscapes
- Mechanical Coupling Of Light Guides (AREA)
Description
れる2個の光学部品の光軸の調芯に先立って行われる光
学部品の対向面の角度を調整する角度調整装置に関す
る。
各装置間をケ−ブル等で接続する必要上接続用の光学部
品は必要不可欠なものとなっている。
本のファイバのコア面がズレることなく、密着する必要
があり、しかも、シングルモ−ド光ファイバではコア径
は10μm 程度と細いので接続損失を少なくする必要が
ある。そこで、光学部品を接続する場合には、調芯装置
で光ファイバの光軸を調芯してから接続するようにして
いる。
の光学部品を取り付け、移動ステ−ジに第2の光学部品
を取り付け、前記第1および第2の光学部品を直交する
X、Y軸によって形成されるXY平面を介して対向させ
る。
対し直交するZ軸方向の位置を固定して移動させること
により、XY平面内で光ファイバの最適位置を探し、光
軸を調芯するようになっている。
よび第2の光学部品の対向する境界面が互いに平行にな
るように、X軸およびY軸回りに角度を修正する必要が
ある。
は、光学部品が小さい(たとえば、縦約7mm、横4〜5
mm、高さ1〜2mmの長方形状である)ことから、光学部
品の端面をX方向およびY方向からCCDカメラなどで
モニタに拡大して写し、作業者がモニタを見ながら、マ
ニアルで操作ネジ等を操作することにより、第1および
第2の光学部品の端面を平行化していた。
調芯前におけるマニアルでの角度修正方法では、境界面
を互いを平行にすることは大変困難であり、時間がかか
っていた。また、CCDカメラなどにより、モニタ画面
に拡大して映し出しても完全に平行にすることは不可能
になっていた。
を開けて調芯を行う場合(普通は間隔を開けて調芯す
る)には、角度誤差により、光量測定の精度が低下して
しまう。
同志を一定の力で押しあてた状態で調芯する場合には、
それぞれの光学部品ホルダに弾性変形が生じ、境界面は
平行な状態となるが、光学部品ホルダに無理な力が作用
する。
る上に、調芯完了後、第1および第2の光学部品を結合
する際、たとえば、レ−ザなどで、加熱、溶融結合を行
った場合などには、特に、歪み発生の原因となり、結果
として結合後に位置ずれが生じ、調芯によってサ−チし
た最適光量が変化してしまうという現象が起こる。
けて調芯を行ったのち、加熱、溶融結合などを行った場
合も、境界面が平行になっていないと歪みの発生の要因
となり、結果として最適光量の変化が起きてしまう。な
お、ここで、光学部品とは、分岐カプラ、光コネクタ、
LDモジュ−ル等を言う。これら光学部品は光ファイバ
−をガラスで固めたものや、その外側をコバ−ル合金で
被覆したもの等がある。
品の境界面を平行にするために、マニアルでX軸、およ
びY軸まわりの角度修正をすることなく、また、境界面
を圧接させても、光学部品のホルダに弾性変形を与える
ことなく、X軸、およびY軸まわりの角度ずれを修正で
きるようにした光学部品の角度調整装置を提供すること
を目的とする。
するため、固定ステ−ジに第1の光学部品を取り付け、
移動ステ−ジにX軸およびこのX軸に直交するY軸から
なるXY平面を介して前記第1の光学部品に対向する第
2の光学部品を取り付け、前記第1および第2の光学部
品の対向面の角度を調整する光学部品の角度調整装置に
おいて、前記固定あるいは移動ステ−ジに取り付けられ
摺動面を有した固定部材と、この固定部材に取り付けら
れて前記第1あるいは第2の光学部品を保持し、前記第
1および第2の光学部品の端面が圧接されることによ
り、前記X軸およびY軸に平行な第1および第2の軸を
回転軸として前記摺動面に沿って摺動し前記第1および
第2の光学部品の対向面の角度を調整する可動部材とを
具備してなる。
り付けられ第1のガイド部を有した固定部材と、この固
定部材の第1のガイド部に当接され、前記X軸に平行な
第1の軸を回転軸として前記第1のガイド部にガイドさ
れながら回転する第1の可動部材と、この第1の可動部
材に設けられた第2のガイド部と、この第2のガイド部
に当接されて前記第1あるいは第2の光学部品を保持
し、前記第1および第2の光学部品が圧接されることに
より、前記Y軸に平行な第2の軸を回転軸として前記第
2のガイド部にガイドされながら前記第1の可動部材と
ともに回転し、前記第1および第2の光学部品の対向面
の角度を調整する第2の可動部材とを具備してなる。
よび第2の光学部品を取り付け、移動ステ−ジを移動さ
せることにより、第1および第2の光学部品の端面を圧
接させる。このとき、第1および第2の光学部品の端面
が平行でない場合には、可動部材が第1および第2の軸
を回転軸として固定部材の摺動面に沿って摺動しながら
回動する。これにより、光学部品の保持部材に弾性変形
を与えることなく、第1および第2の光学部品の対向面
の角度を平行に調整する。
ジに第1および第2の光学部品を取り付け、移動ステ−
ジを移動させることにより、第1および第2の光学部品
の端面を圧接させる。このとき、第1および第2の光学
部品の端面が平行でない場合には、第1および第2の可
動部材が第1および第2の軸を回転軸として固定部材の
第1のガイド部および第1の可動部材の第2おガイド部
にガイドされて回動する。これにより、光学部品の保持
部材に弾性変形を与えることなく、第1および第2の光
学部品の対向面の角度を平行に調整する。
参照して説明する。図2は調芯装置の全体的な構成を示
すもので、図中11,12は調芯すべき第1および第2
の光学部品である。
に固定されている。上記第2の光学部品12はXYZθ
ステージ(移動ステ−ジ)1に搭載され、XYZθステ
ージ1により位置制御されて上記第1の光学部品11と
の調芯が行われる。上記XYZθステージ1の構成は本
発明とは直接関係なく、後述するX方向,Y方向、Z方
向、θ方向が調整できる構造であればよい。
し、このベース13上にはX案内部14が設けられてい
る。このX案内部14にはXステージ15が搭載され、
このXステージ15は紙面に対し垂直な方向であるX方
向に移動される。また、上記Xステージ15上にはZス
テージ16が搭載され、Zモータ17により、Z方向
(図中左右方向)に移動されるようになっている。上記
Zステージ16の垂直面はYステージ18の案内面を構
成しており、Yステージ18がYモータ19により、Y
方向(図中上下方向)に駆動される。上記Yステージ1
8の前面にはθステージ20が搭載されていて、Z軸回
りの回転が与えられる構造となっている。上記θステー
ジ20にはワーク搭載用イケール21が設けられ、この
ワ−ク搭載用イケ−ル21上に上記第2の光学部品12
がクランプ機構(図示せず)を用いて固定されている。
をXYZθ方向に制御する制御装置である。この制御装
置29には各軸の現在位置を表示する表示部29aが設
けられている。
ータ17,19等への制御信号及びパワーと、位置、回
転センサからのフィードバック信号路を示し、配線28
は、本体側からのON/OFF信号路(例えば各軸の原
点信号、各部のインタロック信号等)を示す。
測定部25が配設されている。前記光源部24は光ファ
イバ22を介して上記第1の光学部品11に接続され、
前記光パワ−測定部25は光ファイバ23を介して上記
第2の光学部品12に接続されている。
接続され、光パワ−測定部25からの信号を受けて第1
および第2の光学部品11,12の調芯状態を判断し、
次の新しい指令を上記制御装置29へ送り出すようにな
っている。
−ルに接続され、他端がこれら接続すべき1対の分岐カ
プラを示す詳細図で、分岐カプラは第1の光学部品11
と第2の光学部品12より成っている。詳述すると、光
ファイバ22の一端がLDモジュ−ルの光源部24に接
続され、他端が光学部品11の入射側の1芯ポ−トA0
1となっている。そして、1芯ポ−トA01は内部で8
つの出射側ポ−トA11〜A18に分割されている。ま
た、光学部品11に接続すべき光学部品12には8芯の
入射ポ−トB01〜B08が設けられ出射側は8本の光
ファイバB11〜B18となっている。
体レ−ザ91を備え、この半導体レ−ザ91から発振さ
れたレ−ザ光は第2の筒体94内に設けられたレンズ9
2で収束されて送り出される。上記第1の筒体93と第
2の筒体94はレ−ザ溶接あるいは紫外線硬化接着剤等
により固着される。
入射部があり、上記Xステ−ジ15,Zステ−ジ16、
Yステ−ジ18、θステ−ジ20を動作させて上記第1
の光学部品11の8芯の出射側と上記第2の光学部品1
2の8芯の入射側とを互いに最適な位置に持ってくるの
が調芯動作である。
11,12の対向する境界面の調芯に先立ち、第1およ
び第2の光学部品11,12の対向面の角度を平行にす
るための角度調整装置30を示すものである。
2に取付板4を介して取り付けられ、上記取付板4には
複数本の固定具5…によって固定部材としての固定球6
が固定されている。上記固定球6には可動部材としての
可動球8が摺動自在に嵌合されている。
て第1および第2のクランプ片9,10が配設され、こ
れら第1および第2のクランプ片9,10間に上記第1
の光学部品11が位置されている。上記第1のクランプ
片9には操作ネジ31および楔状のスライダ32が取り
付けられ、上記操作ネジ31の正逆回転により、上記ス
ライダ32が前後にスライド移動されて上記第1の光学
部品11を上記第2のクランプ片10に押圧保持し、あ
るいは押圧を解除するようになっている。
で、上記固定球6の内面部には内側に湾曲する摺動面6
aが形成されている。上記可動球8の外周面には外方に
突出する球面部8aが形成されている。上記可動球8は
上記XY平面M(図3参照)のX軸とY軸に平行な第1
および第2の軸101,102を回転軸として回転し、
このとき、その球面部8aが上記摺動面6aに沿って摺
動する。
で、上記固定球6には挿通孔33,33が穿設され、こ
れら挿通孔33,33内には固定ボルト34,34が挿
通されている。上記可動球8にはネジ孔8b,8bが穿
設され、これらネジ孔8b,8bには上記固定ボルト3
4,34がネジ込まれて可動球8が上記固定球6に固定
される。上記固定ボルト34,34を緩めた状態におい
て、上記可動球8は上記挿通孔33,33と固定ボルト
34,34との間の隙間分だけ回動できるようになって
いる。
の光学部品11,12の対向する端面の平行度をだすた
めには、まず、XYZθステ−ジ1のワ−ク搭載イケ−
ル21に第2の光学部品12を固定する。つぎに、図1
に示すように、固定ステ−ジ2の角度調節装置30の第
1および第2のクランプ片9,10間に第2の光学部品
11をセットする。しかるのち、操作ネジ31を回転さ
せてスライダ32を移動させる。このスライダ32の移
動により第2の光学部品11が第2のクランプ片10に
押し付けられて押圧保持される。ついで、固定ボルト3
4,34を緩めた状態にしてから、XYZθステ−ジ1
のZステ−ジ16をZモ−タ17によりZ方向に移動さ
せ、第2の光学部品12の端面を固定ステ−ジ2の第1
の光学部品11の端面に押し当てる。これにより、第1
および第2の光学部品11,12の境界面同志が圧接さ
れる状態になる。
品11,12の境界面が平行でない場合には、可動球8
が第1および第2の光学部品11,12の境界面内の一
点を旋回中心として回動しその球面部8aを固定球6の
摺動面6aに沿って摺動させる。この可動球8の回動に
より、第1および第2の光学部品11,12の対向面が
平行化されて最適位置が決定する。このように、最適位
置が決定したら、固定ボルト34,34を締めて可動球
8と固定球6を連結固定して調芯に備える。
面に第2の光学部品12を圧接させるだけで、自動的に
その境界面を平行化でき、従来のように、マニアルで平
行化する場合と比較して著しく調整作業が容易化する。
光学部品12を圧接させたときには、可動球8がその球
面部8aを固定球6の摺動面6aに沿って摺動させて回
動するため、第1の光学部品11と第2の光学部品12
との圧接力が光学部品の保持部材に作用して弾性変形さ
せることがなく、確実に平行状態を維持できる。
品12の境界面を平行化したのちは、可動球8を固定球
6に固定するため、第1の光学部品11と第2の光学部
品12の端面間に隙間をあけて調芯する場合において
も、最適位置が狂うこともない。
装置30を固定ステ−ジ2側に設けたが、これに限られ
ることなく、XYZθステ−ジ1側に設けるようにして
も良い。また、光学部品としては、分岐カプラに限られ
ることなく、光コネクタ、LDモジュ−ルでも良い。こ
れら光学部品は光ファイバ36をガラスで固めたもの
や、図6に示すように、その外側をコバ−ル合金37で
被覆したもの等がある。
に、芯38と、この芯38を被覆する被覆材39からな
り、直径が0.125mmで、上記芯38の直径は0.0
1mmとなっている。また、本発明は上記一実施例に限ら
れるものではなく、図8および図9に示すような角度調
整装置40であってもよい。
定ボルト42…により固定された固定部材としての固定
板である。この固定板41は図10および図11にも示
すように、その両側部の上下部に取付片51,52をそ
れぞれ一体に形成している。上記上部側の取付片51,
51の側面部には取付孔53がそれぞれ形成され、下部
側の取付片52,52の側面部には取付孔54がそれぞ
れ形成されている。
面部にはネジ孔55が形成されている。また、上記上部
側の取付片51,51の先端部側にはネジ孔56がそれ
ぞれ形成され、また、下部側の取付片52,52の先端
部側には取付孔57がそれぞれ形成されている。
にはコロ軸受け44がそれぞれ回転自在に取り付けら
れ、上記取付片52の側面部のネジ孔55にはクランプ
ネジ65がネジ込まれるようになっている。
7にはスプリング67が取り付けられ、上記上部側の取
付片51,51のネジ孔56にはストッパ60が螺着さ
れている。
としての第1の可動板45が取り付けられている。この
第1の可動板45は図12および図13に示すように、
その上面部に複数個のネジ孔60,60,61を有する
とともに、その両側部に側壁部57,57を有してい
る。これら側壁部57,57の端面には円弧状のガイド
面58が形成され、側面部には長孔59が穿設されてい
る。上記第1の可動板45はその両側壁部57,57の
下部側が上記スプリング67,67によって付勢され、
この付勢力によりガイド面58,58が上記固定板41
の取付片51,52に取り付けられた第1のガイド部と
してのコロ軸受け44,44に転接されて回動し、側壁
部57,57の上部側を上記取付片51,51に取り付
けられたストッパ60,60に当接して停止している。
0,60には第2のガイド部としてのコロ軸受け62,
62が回転自在に取り付けられている。さらに、上記第
1の可動板45の上面部には第2の可動部材としての第
2の可動板48が設けられている。
うに、円弧状のガイド面47が形成され、このガイド面
47は上記第1の可動板45に取り付けられたコロ軸受
け62,62に転接されている。上記第2の可動板48
の上面中央部には図15にも示すように、突起部71が
突設されているとともに、複数個のネジ孔72…および
一個の通孔73が穿設されている。
第2のクランプ片75,76が配設され、これら第1お
よび第2のクランプ片75,76は上記突起部71を介
して離間対向されている。上記第1のクランプ片75に
は図16に示すように、通孔82,82および通孔83
が穿設されている。上記第2のクランプ片76には通孔
84,84および通孔90が穿設されている。
2には固定ネジ85,85が挿通され、これら固定ネジ
85,85が上記第2の可動板48のネジ孔72,72
にねじ込まれることにより、第1のクランプ片75が固
定される。上記第2のクランプ片76の通孔84,84
には固定ネジ86,86が挿通され、これら固定ネジ8
6,86が上記第2の可動板48のネジ孔72,72に
ねじ込まれることにより、第2のクラプ片76が固定さ
れる。
5,76間には楔状のスライダ79が設けられ、このス
ライダ79にはネジ孔87が穿設されている。上記第1
のクラップ片75の通孔83内には操作ネジ95が挿通
され、この操作ネジ95は上記スライダ79のネジ孔8
7にねじ込まれている。
はクランプネジ88が挿通され、こクランプネジ88は
第2の可動板48の通孔73を介して第1の可動板45
のネジ孔61にねじ込まれて第2の可動板48が固定さ
れる。次に、上記第1および第2の光学部品11,12
の対向面の角度を上記角度調整装置40により調整する
場合について説明する。
のZステ−ジ16に第2の光学部品12を取り付け、つ
いで、固定ステ−ジ2の角度調整装置40の第1のクラ
ンプ片75の操作ネジ95を緩めてスライダ79と第2
のクランプ片76との間に第1の光学部品11を介在さ
せたのち、操作ネジ95を締めてスライダ79を移動さ
せこのスライダ79により第1の光学部品11を第2の
クランプ片76に押し付けて押圧保持する。しかるの
ち、Zステ−ジ16を第1の光学部品11側に向かって
Z軸方向に移動させる。この移動により、第2の光学部
品12の端面が第1の光学部品11の端面に当接され
る。このとき、第1および第2の光学部品11,12の
端面が平行でない場合には、第1および第2の光学部品
11,12の境界面の旋回中心を中心として第2の可動
板48がY軸回りにガイド面47をコロ軸受け62,6
2に転接して回転する。
光学部品11,12の境界面の旋回中心を中心として第
1の回動板45がX軸回りにガイド面58,58をコロ
軸受け44,44に転接してスプリング67,67の付
勢力に抗して回転する。上記した第1および第2の可動
板45,48の回動により、第1および第2の光学部品
11,12の対向面の角度が調整されて平行化される。
このように平行化したのち、クランプネジ65,88を
締めて、第1および第2の可動板45,48を固定す
る。この実施例においても、上記した第1の実施例と同
様の作用効果を奏する。
学部品と第2の光学部品を圧接させるだけで、自動的に
その境界面を平行化でき、従来のように、マニアルで平
行化する場合と比較して著しく調整作業が容易化する。
品12を圧接させたときには、第1の光学部品と第2の
光学部品との圧接力が光学部品の保持部材に作用して弾
性変形させることがなく、確実に平行状態を維持でき
る。
らないとともに、調芯完了後、第1および第2の光学部
品を結合する際、歪みが発生して結合後に位置ずれが生
じることもなく、調芯によってサ−チした最適光量を維
持できる。
に間隔を開けて調芯を行ったのち、加熱、溶融結合など
を行った場合も、歪みの発生がなく、最適光量を維持で
きる。
置を示す平面図。
略的構成図。
れる光学部品を示す斜視図。
面図。
平面図。
面図。
面図。
ンパを示す平面図。
パ片を示す正面図。
動面、8…可動球(可動部材)、11…第1の光学部
品、12…第2の光学部品、16…Zステ−ジ、M…X
Y平面、30,40…角度調整装置、41…固定板(固
定部材)、44…コロ軸受け(第1のガイド部)、45
…第1の可動板(第1の可動部材)、48…第2の可動
板(第2の可動部材)、62…コロ軸受け(第2のガイ
ド部)、101…第1の軸、102…第2の軸。
Claims (3)
- 【請求項1】 固定ステ−ジに第1の光学部品を取り付
け、移動ステ−ジにX軸およびこのX軸に直交するY軸
からなるXY平面を介して前記第1の光学部品に対向す
る第2の光学部品を取り付け、前記第1および第2の光
学部品の対向面の角度を調整する光学部品の角度調整装
置において、 前記固定あるいは移動ステ−ジに取り付けられ摺動面を
有した固定部材と、 この固定部材に取り付けられて前記第1あるいは第2の
光学部品を保持し、前記第1および第2の光学部品が圧
接されることにより、前記X軸およびY軸に平行な第1
および第2の軸を回転軸として前記摺動面に沿って摺動
し前記第1および第2の光学部品の対向面の角度を調整
する可動部材と、を具備し、てなることを特徴とする光
学部品の角度調整装置。 - 【請求項2】 前記固定部材の摺動面は球面状をなし、
前記可動部材は前記固定部材の球面状の摺動面と等しい
曲率半径の球面部を外周一部に有することを特徴とする
請求項1記載の光学部品の角度調整装置。 - 【請求項3】 固定ステ−ジに第1の光学部品を取り付
け、移動ステ−ジにX軸およびこのX軸に直交するY軸
からなるXY平面を介して前記第1の光学部品に対向す
る第2の光学部品を取り付け、前記第1および第2の光
学部品の対向面の角度を調整する光学部品の角度調整装
置において、 前記固定あるいは移動ステ−ジに取り付けられ第1のガ
イド部を有した固定部材と、 この固定部材の第1のガイド部に当接され、前記X軸に
平行な第1の軸を回転軸として前記第1のガイド部にガ
イドされながら回転する第1の可動部材と、 この第1の可動部材に設けられた第2のガイド部と、 この第2のガイド部に当接されて前記第1あるいは第2
の光学部品を保持し、前記第1および第2の光学部品が
圧接されることにより、前記Y軸に平行な第2の軸を回
転軸として前記第2のガイド部にガイドされながら前記
第1の可動部材とともに回転し、前記第1および第2の
光学部品の対向面の角度を調整する第2の可動部材と、
を具備し、てなることを特徴とする光学部品の角度調整
装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2896693A JP2875933B2 (ja) | 1993-02-18 | 1993-02-18 | 光学部品の角度調整装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2896693A JP2875933B2 (ja) | 1993-02-18 | 1993-02-18 | 光学部品の角度調整装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH06242356A JPH06242356A (ja) | 1994-09-02 |
JP2875933B2 true JP2875933B2 (ja) | 1999-03-31 |
Family
ID=12263162
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2896693A Expired - Lifetime JP2875933B2 (ja) | 1993-02-18 | 1993-02-18 | 光学部品の角度調整装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2875933B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6130641B2 (ja) * | 2012-10-04 | 2017-05-17 | プレサイスゲージ株式会社 | 回転機構 |
-
1993
- 1993-02-18 JP JP2896693A patent/JP2875933B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH06242356A (ja) | 1994-09-02 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US6142678A (en) | Optical coupling | |
US4643521A (en) | Plural-channel optical rotary joint | |
JP3837689B2 (ja) | 光モジュール用試験機、調整装置及び調整方法 | |
US7298466B2 (en) | System and method for assembling optical components | |
US5715341A (en) | Apparatus having at least one rotatable holder for adjusting alignment between end faces of optical substrates | |
JP2875933B2 (ja) | 光学部品の角度調整装置 | |
US6799370B2 (en) | Manufacturing technique for optical fiber array | |
US7073952B2 (en) | Stable mechanical devices for precision optical alignment and packaging | |
JP4229760B2 (ja) | 撮像装置の焦点調整装置 | |
JP3090573B2 (ja) | 光学部品の角度調整装置 | |
JP2823887B2 (ja) | 光ユニットの製造方法及び製造装置 | |
JP2002126954A (ja) | 組立装置 | |
JP3369085B2 (ja) | 光ファイバ・ガイド部材の固定方法 | |
JPH0575083B2 (ja) | ||
JPH0442803Y2 (ja) | ||
JPH09159883A (ja) | 光部品の接続面合わせ装置 | |
JPH0854536A (ja) | 光ファイバアレイ及び光導波路モジュールの結合方法 | |
JPH054686U (ja) | 撮像装置 | |
KR100282529B1 (ko) | 레이저인터페로미터용모듈조정장치 | |
JPH0854535A (ja) | 光ファイバアレイ及び光導波路モジュールの結合方法 | |
JPH01270009A (ja) | 光結合装置 | |
JPH02211411A (ja) | 光結合系の調整方法 | |
JPH0443309A (ja) | 光素子モジュールの組立方法 | |
JPH06123818A (ja) | 多心光ファイバ心線の接続装置 | |
JPH10148735A (ja) | 光部品の組立方法及びその装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080114 Year of fee payment: 9 |
|
S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531 |
|
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080114 Year of fee payment: 9 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080114 Year of fee payment: 9 |
|
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090114 Year of fee payment: 10 |
|
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Year of fee payment: 11 Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100114 |
|
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100114 Year of fee payment: 11 |
|
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110114 Year of fee payment: 12 |
|
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Year of fee payment: 13 Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120114 |
|
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130114 Year of fee payment: 14 |
|
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Year of fee payment: 14 Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130114 |
|
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Year of fee payment: 15 Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140114 |
|
EXPY | Cancellation because of completion of term |