KR100282529B1 - 레이저인터페로미터용모듈조정장치 - Google Patents

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Abstract

레이저 인터페로미터용 모듈 조정장치를 개시한다. 본 발명에 따른 레이저 인터페로미터용 모듈 조정장치는 베이스와; 상기 베이스의 상면에 안착된 하판과; 상기 하판의 상면에 안착된 상판과; 상기 베이스에 대해 일단부가 고정되고 타단부는 하판에 회전가능하게 결합된 요(yaw) 조정중심용 핀과, 상기 베이스에 일단부가 고정되고 타단부는 상기 하판내에 결합된 요조정용 핀과, 상기 하판에 결합된 요 조정용 핀의 단부 양면에 각각 배치된 요 조정용 나사 및 요 조정용 스프링 내장형 나사를 구비한 요(yaw)조정부와; 상기 상판과 하판을 관통하여 나사결합시키는 틸트고정용 나사와, 상기 상판에 일단부가 고정결합되고 타단부는 상기 하판내에 결합된 틸트(tilt)조정용 나사와, 상기 하판에 결합된 틸트 조정용 나사의 단부 양면에 각각 배치된 틸트 조정용 나사 및 틸트 조정용 스프링 내장형 나사를 구비한 틸트 조정부;를 포함하여 된 것을 특징으로 한다. 본 발명을 채용함으로써, 조정할 수 있는 자유도가 확장되고 그 확장된 자유도간의 간섭을 방지하여 손쉽게 조정할 수 있는 효과가 있다.

Description

레이저 인터페로미터용 모듈 조정장치{Module support of LASER interferometer}
본 발명은 레이저 인터페로미터용 모듈 조정장치에 관한 것으로, 더 상세하게는 레이저 인터페로미터 모듈의 조립시 모듈들을 레이저빔에 대해서 정확한 위치로 조정할 수 있으며, 소형 광학 부붐의 정밀조정에도 광범위하게 응용될 수 있도록 그 구조가 개선된 레이저 인터페로미터용 모듈 조정장치에 관한 것이다.
레이저 인터페로미터는 두파장 레이저를 이용한 변위측정센서로서 정밀도가 매우 높아 반도체 노광장치의 위치 맞춤 및, 공작기계나 광학기기의 기하학적 정밀도 검사 예컨대, 길이, 각도, 평면도, 진직도, 평행도, 직각도 등에 응용되고 있다. 상기한 응용분야 이외에 안내 나사 리드 측정기, 대형정밀 기계의 3차원 좌표측정 및 자동치수검사 등 광범위한 분야에 응용되고 있다. 이러한 분야들에 응용되는 레이저 인터페로미터 시스템은 레이저, 미러, 빔, 스플리터, 및 인터페로미터등 여러개의 광학모듈로 구성되며 이들이 정확한 위치에 있어야 제 성능을 발휘할 수 있다. 따라서, 모듈 조립시 조정장치가 반드시 필요하게 된다.
레이저 인터페로미터 모듈 조정장치중에 일 예를 도 1a와 도 1b에 도시하였다. 이 모듈 조정장치는 2축 예컨대, 요(yaw)와 틸트(tilt)를 조정하게 된다.이 조정장치는 주로 미러 및 빔스플리터의 조정에 사용된다. 조정방법은 우선 요(yaw) 고정용 나사(7)를 풀어 약간 느슨하게 한 다음 하판(2)을 손이나 해머로 조정하고 요(yaw) 고정용 나사(7)를 조여서 하판(2)을 고정시켜 요(yaw)를 조정한다. 틸트(tilt)조정을 위해서는 우선 틸트 고정용 나사(8)를 풀어서 약간 느슨하게 한 다음 손이나 해머로 틸트 안내면(6)을 따라 틸트를 조정하고 틸트 고정용 나사(8)를 조여서 상판(1)을 하판(2)에 고정시키는 구조이다. 미설명부호 3은 틸트 고정용 판이고, 부호 4는 요 고정용 슬롯이며, 부호 5는 틸트 조정용 슬롯이고, 부호 9는 모듈 조립용 탭이다.
또 다른 실시예에 따른 종래의 레이저 인터페로미터 모듈 조정장치는 도 2a와 도 2b에 나타내었다. 이 조정장치는 평면미러 직전의 인터페로미터 모듈의 조정에 주로 사용되며 정밀한 조립을 위해서는 5축 및 6축의 조정 자유도가 필요하다. 수평방향의 3자유도 조절을 위해서는 3개의 수평방향 고정용 나사(18)를 풀어서 약간 느슨하게 한 다음 손이나 해머로 하판(12)을 움직여 3자유도를 조정하고 수평방향 고정용 나사(18)를 조여서 하판(12)을 고정시킨다. 수직방향의 3자유도 조정을 위해서는 운동학적인 지지구조를 가진 3개의 수직방향 조정 메카니즘(14)을 이용한다. 우선, 수직방향 고정용 나사(17)를 약간 풀고 수직방향 조정용 나사(15)를 사용하여 3자유도를 조정한 다음 수직방향 고정용 나사(15)를 조여서 상판(11)을 하판(12)에 고정시키는 구조이다. 미설명부호 13은 수평방향 조정용 슬롯이고,부호 16은 와셔이며, 부호 19는 모듈 조립용 탭이다.
그러나, 상기한 2축조정장치의 틸트(tilt)와 요(yaw) 조정메카니즘 및 6축 조정장치의 수평방향 3 자유도 조정메카니즘은 모두 고정용 나사를 풀어 약간 느슨하게 한 다음 주어진 슬롯의 공간내에서 손이나 해머로 조정을 하는 방식이다. 이와 같은 방식은 조정이 불편할 뿐만 아니라 조정 정밀도도 떨어지는 문제점이 있다. 또한, 6축 조정장치의 수평방향 3 자유도 조정 메카니즘은 조정을 한꺼번에 하기 때문에 각 자유도 조정간의 간섭이 발생되는 문제점이 있다.
본 발명은 상기 문제점을 해결하기 위하여 창출된 것으로서, 손이나 해머등으로 조정할 경우의 불편함 및 부정확성을 해소하기 위하여 각 자유도를 조정나사를 이용하여 조정하도록 구성하고, 정밀한 조정이 필요한 경우에는 조정나사의 피치를 가늘게 하여 정밀도를 쉽게 향상시키며 조정도 편리하도록 하고, 조정나사와 핀 스프링 내장형 나사가 조합된 조정메카니즘 및 핀에 의한 안내 메카니즘을 구성하여 부품을 줄이고 구조가 간단해진 레이저 인터페로미터용 모듈 조정장치를 제공함에 그 목적이 있다.
도 1a와 도 1b는 각각 종래의 레이저 인터페로미터용 2축 조정장치를 개략적으로 도시한 평면단면도와 정면단면도이다.
도 2a와 2b는 각각 종래의 레이저 인터페로미터용 6축 조정장치를 개략적으로 도시한 평면단면도와 정면단면도이다.
도 3은 본 발명에 따른 레이저 인터페로미터용 2축 조정장치를 개략적으로 도시한 평면도이다.
도 4a에서 4d는 각각 도 3의 A-A 와, B-B 와, C-C 와 D-D 부위를 절단하여 도시한 단면도이다.
도 5는 도 4의 스프링 내장형 나사의 구조를 나타낸 단면도이다.
도 6은 본 발명에 따른 레이저 인터페로미터용 6축 고정장치를 개략적으로 도시한 평면도이다.
도 7a와 도 7b는 도 6의 A-A 와 B-B 부위를 절단하여 도시한 단면도이다.
도 8은 본 발명에 따른 레이저 인터페로미터용 고정장치의 다른 실시예를 개략적으로 도시한 평면도이다.
도 9는 도 8의 A-A 부위를 절단하여 도시한 단면도이다.
＜도면의 주요 부분에 대한 부호 설명＞
1, 11, 21...상판 2, 12, 22...하판
3, 24...틸트(tilt) 고정용 판 23...베이스
4...요(yaw) 고정용 슬롯 5...틸트(tilt) 조정용 슬롯
27...틸트 조정용 핀 6, 25...틸트 안내면
26...요 조정중심용 핀 28...요 조정용 핀
7, 30...요(yaw) 고정용 나사 32...요 조정용 나사
8, 29...틸트 고정용 나사 31...틸트 조정용 나사
34...요 조정용 스프링 내장형 나사
34a...케이스 34b...볼
34c...스프링 16...와셔
9, 19, 35, 53...모튤 조립용 탭
13...수평방향 조정용 슬롯
14, 52...수직방향 조정 메카니즘
15, 48...수직방향 조정용 나사
17...수직방향 고정용 나사
18, 49...수평방향 고정용 나사
상기 목적을 달성하기 위하여 본 발명에 따른 레이저 인터페로미터용 모듈 고정장치는 베이스와; 상기 베이스의 상면에 안착된 하판과; 상기 하판의 상면에 안착된 상판과; 상기 베이스에 대해 일단부가 고정되고 타단부는 하판에 회전가능하게 결합된 요(yaw) 조정중심용 핀과, 상기 베이스에 일단부가 고정되고 타단부는 상기 하판내에 결합된 요조정용 핀과, 상기 하판에 결합된 요 조정용 핀의 단부 양면에 각각 배치된 요 조정용 나사 및 요 조정용 스프링 내장형 나사를 구비한 요(yaw)조정부와; 상기 상판과 하판을 관통하여 나사결합시키는 틸트고정용 나사와, 상기 상판에 일단부가 고정결합되고 타단부는 상기 하판내에 결합된 틸트(tilt)조정용 나사와, 상기 하판에 결합된 틸트 조정용 나사의 단부 양면에 각각 배치된 틸트 조정용 나사 및 틸트 조정용 스프링 내장형 나사를 구비한 틸트 조정부;를 포함하여 된 것을 특징으로 한다. 이때, 상기 틸트 및 요 조정용 스프링 내장형 나사는 원통형 케이스와; 상기 케이스 내부에 안착된 스프링과; 상기 케이스 내부에 이동가능하게 설치되어 상기 틸트 조정용 나사와 요조정용 핀에 맞닿아 상기 스프링을 압압하는 볼을 구비하여 된 것이 바람직하다.
다른 실시예에 따른 본 발명에 따른 레이저 인터페로미터용 모듈 조정장치는 하판과; 상기 하판의 상면에 안착된 상판과; 상기 상판과 하판을 관통하고 나사결합되어 수직방향의 자유도를 조정하는 복수의 수직방향 조정용 나사와, 상기 수직방향 조정용 나사에 결합되어 상기 상판과 하판을 고정시키는 수직방향 고정용 나사를 구비한 수직방향 조정부와; 상기 베이스에 일단부가 고정되고 타단은 상기 하판내에 결합된 수평방향 조정핀과, 상기 하판내에 결합된 조정핀의 양면에 맞닿아 결합된 수평방향 조정용 나사 및 스프링 내장형 나사를 구비한 수평방향조정부와; 상기 베이스에 일단부가 고정되고 타단은 상기 하판내에 결합된 요 조정용 핀과, 상기 하판내에 결합된 요 조정용핀의 양면에 맞닿아 결합되며 상기 조정용 나사와 수직으로 위치한 요 조정용 나사 및 요조정용 스프링 내장형 나사를 구비한 요(yaw)조정부;를 포함하여 된 것을 특징으로 한다. 이때, 상기 수평방향 스프링 내장형 나사 및 요 조정용 스프링 내장형 나사는 원통형 케이스와, 상기 케이스 내부에 안착된 스프링과; 상기 케이스 내부에 이동가능하게 설치되어 상기 수평방향 조정핀과 요조정용 핀에 맞닿아 상기 스프링을 압압하는 볼을 구비하여 된 것이 바람직하다.
또한, 다른 특징에 있어서, 본 발명에 따른 레이저 인터페로미터용 모듈 조정장치는 하판과; 상기 하판의 상면에 안착된 상판과; 상기 상판과 하판을 관통하고 나사결합되어 수직방향의 자유도를 조정하는 복수의 수직방향 조정용 나사와, 상기 수직방향 조정용 나사에 결합되어 상기 상판과 하판을 고정시키는 수직방향 고정용 나사를 구비한 수직방향 조정부와; 상기 베이스에 대해 일단부가 고정되고 타단부는 하판에 회전가능하게 결합된 요(yaw) 조정중심용 핀과, 상기 베이스에 일단부가 고정되고 타단부는 상기 하판내에 결합된 요조정용 핀과, 상기 하판에 결합된 요 조정용 핀의 단부 양면에 각각 배치된 요 조정용 나사 및 요 조정용 스프링 내장형 나사를 구비한 요(yaw)조정부;를 포함하여 된 것에 특징이 있다. 이때, 상기 요 조정용 스프링 내장형 나사는 원통형 케이스와, 상기 케이스 내부에 안착된 스프링과; 상기 케이스 내부에 이동가능하게 설치되어 요조정용 핀에 맞닿아 상기 스프링을 압압하는 볼을 구비하여 된 것이 바람직하다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명에 따른 레이저 인터페로미터용 모듈 고정장치의 실시예들을 상세히 설명한다. 도 3은 본 발명에 따른 레이저 인터페로미터용 2축 조정장치를 개략적으로 도시한 평면도이다. 도 4a에서 4d는 각각 도 3의 A-A 와, B-B 와, C-C 와 D-D 부위를 절단하여 도시한 단면도이다.
본 발명에 따른 레이저 인터페로미터용 모듈 고정장치는 도 1에 도시된 2축 조정장치를 개선한 구조이다. 특히, 요 조정을 위해서 요 조정중심용 핀(26)과 도 4d에 도시된 조정 메카니즘을 이용한다. 베이스(23)의 상면에 하판(22)이 안착되고, 하판(22)의 상면에 상판(21)이 안착된다. 베이스(26)에 대해 요 조정중심용 핀(26)의 일단이 억지 끼워맞춤되고 하판(22)에는 타단이 헐거운 끼워맞춤이 되어 있어 하판(22)은 베이스(23)에 대해서 회전만 할 수 있다. 도 4d에 도시된 조정메카니즘은 베이스(23)에 억지끼워맞춤된 요 조정용 핀(28)과 그 양면으로 배치된 요 조정용 나사(32) 및 요 스프링 내장형 나사(34)로 구성되어 있다. 그래서, 요 조정용 스프링 내장형 나사(34)를 이용하여 예압을 가한 상태에서 요 조정용 나사(32)를 돌리면 하판(22)은 요 조정 중심용 핀(26)을 회전중심으로하여 베이스(23)에 대해 상대적인 회전운동을 한다. 조정이 끝난 후, 요고정용 나사(30)를 조이면 하판(22)은 베이스(23)에 대해 완전히 고정된다.
틸트(tilt) 조정을 위해서는 도 4b에 도시된 안내 메카니즘과 도 4c에 도시된 조정 메카니즘을 이용한다. 도 4b에 도시된 안내 메카니즘은 도 1에 도시된 종래의 2축 조정장치와 같은 구조로 상판(21)과 하판(22)에 같은 반지름의 곡면을 가공하여 하판(22)의 안내면(25)을 따라 상판(21)이 틸트(tilt)되는 방식이다.
도 4c에 나타난 조정 메카니즘은 도 4d에 도시된 조정메카니즘과 같은 방식으로 상판(21)에 억지끼워맞춤된 틸트 조정용 핀(27)의 양면에 하판(22)의 내부에 조립되어 있는 틸트 조정용 나사(31) 및 틸트 조정용 스프링 내장형 나사(33)가 접촉하고 있는 구조로 되어 있다. 요 조정시와 마찬가지로 틸트 조정용 스프링 내장형 나사(33)를 이용하여 예압을 가한 상태에서 틸트 조정용 나사(31)를 돌리면 틸트 조정용 핀(27)이 상판(21)에 고정되어 있기 때문에 상판(21)은 베이스(23)에 고정되어 있는 하판(22)에 대하여 도 4b에 도시된 틸트 안내면(25)을 따라 상대적인 회전운동을 하게 된다. 상기한 바와 같이, 본 발명에서는 특정한 한 판에 억지 끼워 맞춤된 핀이 나머지 판에 결합되어 있는 조정나사 및 스프링 내장형 나사를 이용하여 두 판의 상대변위 및 회전을 유도하는 방식의 조정 메카니즘을 요(yaw)와 틸트(tilt)의 두 조정에 대해 일관되게 적용하였고 그 결과 손이나 해머가 아닌 조정나사를 이용하여 손쉽게 두 자유도를 조정할 수 있다. 미설명부호 35는 모듈 조립용 탭이다.
도 5는 도 4의 스프링 내장형 나사의 구조를 나타낸 단면도이다. 예압을 가하기 위한 스프링 내장형 나사는 나사가공된 원통형 케이스(34a)와, 이 케이스(34a)에 내장된 스프링(34c)과, 상기 스프링(34c)을 압압하면서 케이스(34a)내를 이동가능하게 설치된 볼(34b)을 구비하여 된다. 이 내장형 나사를 사용하면 조립 후에도 예압력의 조절이 용이할 뿐만 아니라 조정범위도 자유로운 이점이 있으나 다른 종류의 예압수단을 이용해도 무방하다.
도 6은 본 발명에 따른 레이저 인터페로미터용 6축 고정장치를 개략적으로 도시한 평면도이다. 도 7a와 도 7b는 도 6의 A-A 와 B-B 부위를 절단하여 도시한 단면도이다. 본 발명에 따른 다른 실시예는 도 2의 6축 조정장치를 개선한 레이저 인터페로미터용 모듈 조정장치이다. 이 레이저 인터페로미터용 모듈 조정장치는 3개의 자유도를 조정하는 수직방향 조절부와, 수평방향의 병진운동 자유도를 조정하는 수평방향 조정부와, 요운동을 조정하는 요 조정부를 구비하여 된다. 수직방향 조정을 위해서는 도 2에 도시된 메카니즘과 유사한 운동학적 지지구조를 이용하도록 하였다. 즉, 두 개의 수직방향 예압용 스프링 메카니즘(52)을 이용하여 상판(41)과 하판(42)을 서로 잡아당기는 힘을 생성하고 수직방향 조정용 나사(48)를 직각으로 상판(41)에 3개 배치하여 하판(42)을 밀어내는 방식으로 수직방향 3자유도를 조정하게 된다. 수평방향의 병진운동 자유도 조정과 요 조정은 서로 직각으로 배치되며, 각각 도 7a와 7b에 도시된 조정메카니즘을 이용한다. 이 조정메카니즘도 상기한 것들과 마찬가지로 베이스(43)에 억지 끼워맞춤된 핀(44)(45)과 그 양면에 하판(42)의 내부에 조립되어 있는 조정용 나사(46)(47) 및 스프링 내장형 나사(50)(51)가 접촉하고 있는 구조이다. 도 7b에 나타낸 바와 같이, 요 조정용 스프링 내장형 나사(51)를 이용하여 예압을 가한 상태에서 요 조정용 나사(47)를 돌리면 하판(42)은 수평방향 조정핀(44)을 중심으로하여 회전하게 되어 요가 고정된다. 요 조정이 끝난후에는 도 7a에 나타난 바와 같이, 수평방향 조정용 스프링 내장형 나사(50)를 이용하여 예압을 가한 상태에서 수평방향 조정용 나사(46)를 돌리면 하판(42)은 요 조정용 핀(45)의 두 평면을 안내면으로하여 직진하게 되어 수평방향의 병진운동 자유도가 조정된다. 상기한 방식은 조정나사를 사용하므로 조정이 편리하고 정확할 뿐만 아니라 조정자유도가 서로 분리되어 도 2에 도시된 종래의 수평방향 조정방식에 나타나는 각 자유도 조정간의 간섭이 일어나지 않는다. 본 발명에서 예압을 가하기 위한 스프링 내장형 나사는 도 5에 도시된 바와 같이 나사 가공된 원통형 케이스(34a)와, 이 케이스(34a)에 내장된 스프링(34c)과, 상기 스프링(34c)을 압압하면서 케이스(34a)내를 이동가능하게 설치된 볼(34b)을 구비하여 된다. 이 내장형 나사를 사용하면 조립 후에도 예압력의 조절이 용이할 뿐만 아니라 조정범위도 자유로운 이점이 있으나 다른 종류의 예압수단을 이용해도 무방하다. 미설명부호 53은 모듈 조립용 탭이다.
도 8은 본 발명에 따른 레이저 인터페로미터용 고정장치의 다른 실시예를 개략적으로 도시한 평면도이다. 도 9는 도 8의 A-A 부위를 절단하여 도시한 단면도이다. 핀과 조정나사 및 스프링 내장형 나사의 조합을 이용한 조정메카니즘은 광학부품의 조정메카니즘에 광범위하게 응용되고 조합되어 다축조정장치를 구성할 수 있다. 그 일 예를 도 8에 도시하였다. 이 레이저 인터페로미터용 모듈 조정장치는 4축조정장치로서, 도 3에 도시된 요 조정 메카니즘과 도 6의 수직방향 3자유도 조정메카니즘으로 이루어진다. 상기 수직방향 조정부는 상판(61)과 하판(62)을 수직방향 조정용 나사(66)가 복수개 나사결합되고, 이 수직방향 조정용 나사(66)에 수직방향 고정용 나사(67)가 결합되어 상기 상판(61)과 하판(62)을 고정시킨다.
상기 요 조정부는 상기 베이스(63)에 대해 요(yaw) 조정중심용 핀의 일단부가 고정되고 타단부는 하판(62)에 회전가능하게 결합된다. 상기 베이스(63)에 요 조정용 핀(65)의 일단부가 고정되고 타단부는 상기 하판(62)내에 결합되며, 상기 하판(62)에 결합된 요 조정용 핀(65)의 단부 양면에는 요 조정용 나사(68) 및 요 조정용 스프링 내장형 나사(69) 각각 배치된다. 미설명부호 71은 모듈 조립용 탭이다.
본 발명의 다른 실시예에 사용되는 수직방향 조정부와 요 조정부의 작동은 상기한 것들과 동일하므로 생략하기로 한다. 그리고, 본 발명에서도 예압을 가하기 위한 스프링 내장형 나사는 도 5에 도시된 바와 같이 나사가공된 원통형 케이스(34a)와, 이 케이스(34a)에 내장된 스프링(34c)과, 상기 스프링(34c)을 압압하면서 케이스(34a)내를 이동가능하게 설치된 볼(34b)을 구비하여 된다. 이 내장형 나사를 사용하면 조립 후에도 예압력의 조절이 용이할 뿐만 아니라 조정범위도 자유로운 이점이 있으나 다른 종류의 예압수단을 이용해도 무방하다.
상기한 본 발명에 따른 레이저 인터페로미터용 모듈 조정장치는 핀과 조정나사 및 스프링 내장형 나사의 조합을 모듈화하여 이를 다축 조정장치에 이용하였기 때문에 조정 자유도의 확장 및 조정자유도간의 간섭방지가 용이하며, 조정나사를 사용하여 조정함으로써 조정이 편리하고 정확한 조정을 할 수 있는 효과가 있다.
본 발명은 도면에 도시된 실시예들을 참고로 설명되었으나, 이는 예시적인 것에 불과하며, 본 발명의 해당분야에서 통상적 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 타 실시예들이 가능하다는 점을 이해할 것이다. 따라서, 본 발명의 진정한 기술적 보호 범위는 첨부된 특허 청구 범위에 의해 정해져야 할 것이다.

Claims (6)

  1. 베이스와;
    상기 베이스의 상면에 안착된 하판과;
    상기 하판의 상면에 안착된 상판과;
    상기 베이스에 대해 일단부가 고정되고 타단부는 하판에 회전가능하게 결합된 요(yaw) 조정중심용 핀과, 상기 베이스에 일단부가 고정되고 타단부는 상기 하판내에 결합된 요조정용 핀과, 상기 하판에 결합된 요 조정용 핀의 단부 양면에 각각 배치된 요 조정용 나사 및 요 조정용 스프링 내장형 나사를 구비한 요(yaw)조정부와;
    상기 상판과 하판을 관통하여 나사결합시키는 틸트고정용 나사와, 상기 상판에 일단부가 고정결합되고 타단부는 상기 하판내에 결합된 틸트(tilt)조정용 나사와, 상기 하판에 결합된 틸트 조정용 나사의 단부 양면에 각각 배치된 틸트 조정용 나사 및 틸트 조정용 스프링 내장형 나사를 구비한 틸트 조정부;를 포함하여 된 레이저 인터페로미터용 모듈 조정장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 틸트 및 요 조정용 스프링 내장형 나사는 원통형 케이스와;
    상기 케이스 내부에 안착된 스프링과;
    상기 케이스 내부에 이동가능하게 설치되어 상기 틸트 조정용 나사와 요조정용 핀에 맞닿아 상기 스프링을 압압하는 볼을 구비하여 된 것을 특징으로 하는 레이저 인터페로미터용 모듈 조정장치.
  3. 하판과;
    상기 하판의 상면에 안착된 상판과;
    상기 상판과 하판을 관통하고 나사결합되어 수직방향의 자유도를 조정하는 복수의 수직방향 조정용 나사와, 상기 수직방향 조정용 나사에 결합되어 상기 상판과 하판을 고정시키는 수직방향 고정용 나사를 구비한 수직방향 조정부와;
    상기 베이스에 일단부가 고정되고 타단은 상기 하판내에 결합된 수평방향 조정핀과, 상기 하판내에 결합된 조정핀의 양면에 맞닿아 결합된 수평방향 조정용 나사 및 스프링 내장형 나사를 구비한 수평방향조정부와;
    상기 베이스에 일단부가 고정되고 타단은 상기 하판내에 결합된 요 조정용 핀과, 상기 하판내에 결합된 요 조정용핀의 양면에 맞닿아 결합되며 상기 조정용 나사와 수직으로 위치한 요 조정용 나사 및 요조정용 스프링 내장형 나사를 구비한 요(yaw)조정부;를 포함하여 된 것을 특징으로 하는 레이저 인터페로미터용 모듈 조정장치.
  4. 제3항에 있어서,
    상기 수평방향 스프링 내장형 나사 및 요 조정용 스프링 내장형 나사는
    원통형 케이스와,
    상기 케이스 내부에 안착된 스프링과;
    상기 케이스 내부에 이동가능하게 설치되어 상기 수평방향 조정핀과 요조정용 핀에 맞닿아 상기 스프링을 압압하는 볼을 구비하여 된 것을 특징으로 하는 레이저 인터페로미터용 모듈 조정장치.
  5. 하판과;
    상기 하판의 상면에 안착된 상판과;
    상기 상판과 하판을 관통하고 나사결합되어 수직방향의 자유도를 조정하는 복수의 수직방향 조정용 나사와, 상기 수직방향 조정용 나사에 결합되어 상기 상판과 하판을 고정시키는 수직방향 고정용 나사를 구비한 수직방향 조정부와;
    상기 베이스에 대해 일단부가 고정되고 타단부는 하판에 회전가능하게 결합된 요(yaw) 조정중심용 핀과, 상기 베이스에 일단부가 고정되고 타단부는 상기 하판내에 결합된 요조정용 핀과, 상기 하판에 결합된 요 조정용 핀의 단부 양면에 각각 배치된 요 조정용 나사 및 요 조정용 스프링 내장형 나사를 구비한 요(yaw)조정부;를 포함하여 된 것을 특징으로 하는 레이저 인터페로미터용 모듈 조정장치.
  6. 제5항에 있어서,
    상기 요 조정용 스프링 내장형 나사는 원통형 케이스와,
    상기 케이스 내부에 안착된 스프링과;
    상기 케이스 내부에 이동가능하게 설치되어 요조정용 핀에 맞닿아 상기 스프링을 압압하는 볼을 구비하여 된 것을 특징으로 하는 레이저 인터페로미터용 모듈 조정장치.
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