JPH03103728A - 分光計の可動ミラーの傾斜調節機構 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は、広くは、フーリエ変換干渉分光計に使用され
ている可動ξラーの傾斜調節の分野に関し、より詳しく
は、このような分光計における可動ミラーとその運動方
向との間の直交性を維持する技術に関する． フーリエ変換赤外！　（ＦＴＩＲ）干渉分光計は、化合
物の分析に広く使用されている。これらの分光計は、赤
外線スペクトルの種々の波長における未知のサンプルに
よる赤外線輻射の吸収を測定し、その結果を既知の標準
７（ｓｔａｎｄａｒｄｓ）と比較することにより、未知
のサンプルの化学的組戒に関する有効な情報を発生する
ようになっている。一般的なＦＴＴＲ分光計においては
、赤外線放射源からの赤外線輻射は、先ず分光計に通さ
れ、更に、分析すべきサンプルに通されて収集され、赤
外線検出器上に焦点合わせされる。分光計装置（システ
ム）は、サンプルと協働して、検出器に入射する赤外線
輻射の強度を変調し、これにより時変強度信号を形成す
るようになっている。検出器の機能にょり、この時変強
度信号は対応する時変電流に変換される。この時変電流
は、次に、時変電圧に変換され、この時変電圧はＡ／Ｄ
変換器に導かれた後、分光計に接続されるプロセッサで
処理すべき一連のデジタル数として記憶される。

ＦＴＩＲ分光計の１つの重要な特徴は、サンプルを試験
する機器により使用される分析用幅射光（ａｎａｌｙｔ
ｔｃａｌ　ｒａｄｉａｔｔｏｎ）を変調する可動ミラー
エレメントである。可動ミラーにより、時間領域干渉写
真を創或することが可能になり、このため、分析したと
きに高分解能周波数領域スペクトルを作ることが可能に
なる。データは、コンピュータによりフーリエ変換処理
されて、周波数に対するスペクトルエネルギを示すスペ
クトルが作り出される。

これらの機器の設計に際し、可動ξラーの表面を非常に
正確に直交位置（すなわち、可動ミラーの運動方向に対
して直角な位置）に保持することが重要である。可動ミ
ラーの位置的精度は極めて重要なものでる。なぜならば
、ミラーアライメント（′．ラーの整合性）に偏差があ
ると、時間領域干渉写真に小さな誤差が生じ、この誤差
が、周波数領域スペクトルにおいて大きな誤差となって
表れるからである。一般的な干渉計においては、可動ミ
ラーの偏差が、使用される分析用輻射光の１波長より太
いことは重大なことであり、測定機器全体の品質が大き
く低下されてしまう。

１つの形式の干渉計においては、可動ミラーは、互いに
間隔を隔てて配置された２つのリンクからなるサスペン
ションにより、可動ミラーの運動ラインに沿ってガイド
されるアーム上に取り付けられている。リンクは、ミラ
ーアーム及び干渉計のハウジングに框着されていて、平
行四辺形を形成している。このような構成は、その運動
が同名の運動に似ていることから、時々、干渉計の「ポ
ーチスイング（ｐｏｒｃｈ　ｓｗｉｎｇ）Ｊ形と呼ばれ
ている。

ミラーアーム、リンク及びハウジングにより形成される
平行四辺形が正確でないとき（すなわち、リンクの長さ
が等しくないときや同じ運動平面内にないとき）には、
可動ミラーがその運動経路に沿って傾斜し、従ってスペ
クトルに誤差を生じさセル。ミラーの移動中にごラーが
傾斜しないように維持するには、２つの水平部材（ハウ
ジング及びミラーアーム）の長さは等しくなくてはなら
ないし、垂直部材（リンク）同士の長さも等しくなくて
はならない。従来技術の設計では、ミラーアームに沿う
枢着点の１つに調節コレソトを使用して、水平部材及び
垂直部材の長さを微調整を行うようになっている。しか
しながら、貴ラーの傾斜を矯正する調節を行うのにその
ようなコレソトを用いることについては問題がある。例
えば、この調節は、機構の可動部分について行うもので
あるため、反復調節の度毎にミラーの運動を停止させ、
結果としての傾斜をチェンクすべく再始動させなければ
ならないことである。コレフトの調節はノンリニアに行
われ、従って、必ずしも反復調節毎の結果を予想するこ
とはできない。また、コレソトは止めねじにより所定位
置に保持されるが、該止めねしは調節の度毎に緩めかつ
締め付ける必要がある。しかしながら、止めねしを締め
付けると、アライメントに影響が及んでしまう。

従って、干渉計の可動ミラーの傾斜を調節する従来の手
段は、不正確で、手間を要し、かつ煩わしいものである
。このため，，正確で効率良く可動ミラーの傾斜を調節
できる機構に対する要求が高まっている。

本発明によれば、「ポーチスイング形」干渉計の可動ミ
ラーの傾斜を矯正するための正確で、時間を節約できか
つ予測可能（ｐｒｅｄｉｃｔａｂｌｅ）な調節機構が提
供される。リンクが懸架されているハウジングの一方の
ピボットが、調節自在のブロックに取り付けられている
。このブロックは、他方のピボットに対して移動するこ
とができ、従って、ユーザが傾斜を最小限にすることが
できる手段が提供される。また、このブロックは、ハウ
ジングノヒボット同士の距離を、ミラーアームのビボ・
７ト同士の距離に一致させるべく調節するのに使用され
る。これは、「垂直方向」の傾斜を矯正することである
。また、ブロックは、両リンクが同一の運動平面内で揺
動することを妨げる原因となるあらゆる角度差を補償す
べく移動できるようになっている。これは、「水平方向
」の傾斜を矯正することである。精密公差機械加工法を
用いれば・危険性のないピボットーピボット間距離を、
各リンク内で充分に制御することができる。

調節ねじの回転により、調節自在のブロックを移動して
垂直方向の傾斜を補償することができ、またこれと同時
に、調節自在のブロックの傾斜面に対してカムを移動さ
せることができる。第２調節ねじを回転することにより
、調節自在のブロックを移動させて（すなわち、第２調
節ねじの回転により、両リンクの平行アライメントが得
られる位置又は平行アライメントが失われる位置に両リ
ンクを配置することにより、調節自在のブロンクが回転
される）、水平方向の傾斜を補償することができる。調
節機構は平行四辺形の固定位置上（すなわちハウジング
上）に配置されているので、ミラーが移動している間に
逅ラーの傾斜調節を行うことができる。これにより、骨
の折れる反復調節作業の必要をなくすことができ、かつ
全ての調節の効果を直ちに確認することができる。リニ
アな関係があるため、垂直方向の傾斜の矯正を一層容易
に行うことができる。

本発明の他の目的、特徴及び利点は、添付図面に関連し
て述べる本発明の実施例についての以下の詳細な説明に
より明らかになるであろう。

添付図面の第１図及び第２図には、ＦＴＩＲ分光計に使
用される変調器（モジュレータ）１０が示されている。

この変調器１０は、サンプルを試験する機器により使用
される分析用輻射光を変調するためのものであり、本発
明による可動ミラー傾斜機構を使用している。この分光
計は、「ポーチスイング」形の干渉計である。第３図、
第４図及び第５図は変調器１０の種々の断面図であり。

可動ミラー１４（第５図）を包囲するハウジング１２と
、可動５ラー１４の傾斜を調節するのに必要な関連部品
とが示されている。第５図に最も良く示されているよう
に、可動ミラー１４は、剛性のある案ラーアーム１８の
第１端部ｌ６に取り付けられている。可動ミラー１４を
ミラーアーム１８に取り付けるのに適した手段は、可動
ミラー１４をホルダ２０に接着剤で固定することであり
、ホルダ２０はねじ２２によりミラーアーム１８に固定
されている。ミラーアームｌ８の第２端部２４は変調器
モータ２６に取り付けられており、該モータ２６は、コ
イル２８、磁極片３０、磁石３２、及びモータハウジン
グ３３を有している。ミラーアームｌ８は、リンク３４
、３６を介してハウジング１２から懸架されており、各
リンク３４、３６は第１端部３８及び第２端部４０を有
している。各リンク３４、３６の第１端部３８は、それ
ぞれピボット４２、４４によりミラーアーム１８に取り
付けられている。第６図に示すように、各リンク３４、
３６はＨ形に構成するのが好ましい。また、各リンク３
４、３６は、その第１端部３８が、ピボット４２又は４
４の箇所においてミラーアームｌ８に跨がっている。干
渉計は、ＦＴＩＲ分光計の対象スペクトル範囲（１（１
４）〜４，（１４）（１４）ｌＩ１引）において固有振
動共鳴（ｎａｔｕｒａｌ　ｖｉｂｒａｔｉｏｎ　ｒｅｓ
ｏｎａｎｃｅ）がないようにしなければならない。Ｈ形
のリンクを使用することにより、最大の機械的剛性を得
ることができ、また、好ましくない振動共鳴を生じさせ
ことになる好ましくない軸線の回りでの運動をなくすこ
とができる。各リンク３４、３６の第２端部４０は、そ
れぞれ、固定のピボット４６、４８により調節自在のブ
ロック６８及びハウジング１２に取り付けられている。

リンク３４、３６の第１端部３８及び第２端部４０には
各２つずつのピボット４２、４４、４６、４８があり、
これらの第１端部３８及び第２端部４０は、Ｈ形のため
にフォーク状になっていることに注目すべきである。

装置の他のコンポーネンツ、例えばベースプレート（図
示せず）、ホルダ２０又はビームスプリンタ（図示せず
）等のダンピングを図ることによって、残留ノイズを更
に低減できるであろう。第６図には、ミラーアーム１８
にもハウジング１２にも未だ取り付けられていない状態
の典型的なリンク３４又は３６の斜視図が示されており
、第７図には、未だ組み立てられていない状態のミラー
アーム１８が示されている。

再び第５図に戻って説明すると、ごラーアームｌ８はモ
ータ２６により直線運動をするように駆動され、ミラー
アーム１８の経路はリンク３４、３６によってガイドさ
れる。可動ξラー１４及びミラーアーム１８の最大移動
範囲は、第ｌリミット組立体５０により制限される。こ
の第１リミット組立体５０は、プレート５２、２つの調
節自在のねじ５４、５６、及び２つのバンパ５８、６０
を有している。リンク３６の第２端部４０が、２つの開
口部６２（第４図）を通ってハウジング１２の外部に出
ており、ここにプレート５２が取り付けられている。プ
レート５２を貫通して調節ねじ５４、５６が螺着されて
いる。バンバ５８、６０は、それぞれ、ねじ５４、５６
の下でハウジング１２の外面に取り付けられている。ミ
ラーアーム１８が一方向に最大限に移動すると、ねじ５
４がバンバ５８に当接し、ミラーアームｌ８が反対方向
に最大限に移動すると、ねじ５６がバンバ６０に当接す
る。調節ねじ５４、５６は、ナソト６４、６６により所
定位置に調節されかつロックされる。ミラーアーム１８
から突出しているフラソグ６９及び１組の光学スイッチ
７１により第２リミット組立体６７（第３図）が構成さ
れている。フラッグ６９は第７図に最も良く示されてお
り、光学スイッチ７１は第３図に最も良く示されている
。フラッグ６９は切欠き領域７３を備えており、該切欠
き領域７３は縁部７５、７７を有している。縁部７５及
び７７のいずれか一方が、方の光学スイッチ７ｔからの
光ビームを遮ると、サーボ制御装置に信号が送られて、
モータ２６従ってミラーアーム１８が逆回転される。第
２りξット組立体６７により許容される運動範囲は、光
学スイッチ７１からの光が縁部７５、７７により遮断さ
れることがない、ミラーアーム１８の移動範囲である。

第１りξフト組立体５０は、第２　１Ｊ５ット組立体６
７が故障した場合に、変調器１０を保護する手段として
機能する。

第４図には、それぞれのリンク３４、３６をハウジング
１２に連結する固定のピボット４６、４８にに最も良く
示されている。ハウジング１２には、ピボフｌ・４６が
取り付けられるブロック６８が設けられている。ブロッ
ク６８は、ハウジング１２の孔７０内に配置されている
。ブロック６８は、ばねプランジャ７２、７４、調節ね
し７６、及びカム８０により、孔７０内の所定位置に拘
束されかつ保持されている。カム８０の位置は、ハウジ
ング１２を貫通しておりかつカム８０に当接している調
節ねじ８２を回転することにより調節される。この調節
ねじ８２に抗してカム８０を押圧するようにして、ばね
プランジャ８４が取り付けられている。カム８０が接触
しているブロック６８の表面は、カム８０の移動方向に
対して傾斜している。このため、調節ねじ８２を回転す
ることによりブロック６８が移動され、これにより、固
定ピボット４６と４８との間の距離が変化される。

ブロック６８は、ばねプランジャ７４によりカム８０に
対して押し付けられている。

ブロック６８の位置は、調節ねし７６を回転することに
よっても調節することができる。調節ねじ７６の回転に
より、ブロック６８が第４図で見て時計回り方向又は反
時計回り方向に回転される。

これにより、リンク３４、３６が同一運動平面内に配置
されたり、同一運動平面から外れて配置されたりする。

ピボット４８の位置は静止した状態に維持されていて、
調節することはできない。

ビボフト４２、４４、４６、４８の各々については、「
片端」形ピボットすなわち片持ち撓み形ビボ７トが好ま
しい。回転する撓み形ピポットは、それらに固有のゼロ
摩擦ばね作用により、機構の最良の反復性を与えること
ができる。ベアリングとして宝石ベアリングを用いても
、高精度ボールベアリング又はローラベアリングを用い
ても、費用的には殆ど同じである。ベアリングは、幾分
かの摩擦損失を発生するであろうが、ばねに抗する力を
なくしかつ及び撓み形ピボットの制限された運動範囲を
なくすこともできるであろう。撓み形ビボソトの一例と
して、Ｌｕｃａｓ　Ａｅｒｏｓｐａｃｅ社の製造に係る
ｒＦｒｅｅ　Ｆｌｅｘ　Ｆｌｅｘｕｒａｌ　Ｐｉｖｏｔ
Ｊがある。

このようなビボフトは、従来のピボットと同様に、固定
取付け部分と荷重支持部分とを有している。

ピポットの荷重支持能力を最大限にしかっぱね荷重と釣
り合いをとらせるためには、ピボット４２、４４、４６
、４８の荷重支持部分をリンク３４、３６内に取り付け
るべきである。また、できるならば、固定取付け部分は
、ハウジング１２内又はミラーアーム１８内に取り付け
るべきである。第３図に示すように、ねじ８６によりビ
ボソト４２、４４、４６、４８が固定されている。ねじ
８Ｇは、ピボットを充分に固定するけれどもビボソトに
歪みを生じさせることがない力で締付けられている．第
８図には、これらのピボット４２、４４、４６、４８の
１つが詳細に示されている。ピボット４２、４４、４６
、４８は、小さなギャップ８８が水平方向に整合するよ
うに、かつピボットの中実継手部（ジョイント）が「上
に上がった状態」すなわち重量が作用しない支持状態に
なるように取り付けられる。

ユーザは、ブロック６８を調節することにより、可動ミ
ラー１４を水平方向及び垂直方向に整合させ、可動ミラ
ーｌ４がその運動ラインに対して垂直を保つようにする
ことができる。第４図に示すように、ξラーの「垂直方
向」の傾斜とは、ミラーをＸ軸線の回りで傾斜させるこ
とである。このＸ軸線の回りの傾斜を垂直方向の傾斜と
呼ぶ理由は、くラーの各スイングに伴ない、分光計のオ
ートコリメータ（図示せず）における像が周期的に垂直
方向に変位するからである．調節ねじ８２の回転により
、揺動ピボフド４２、４４に対する固定ピボット４６、
４８の距離が変化する。前者のピボットーピポット間の
距離が後者のピボットーピポット間の距離に一致すると
、Ｘ軸線回りのミラーの傾斜が最小になる。

また、２軸線回りの傾斜を「水平方向」の傾斜と呼ぶ．
この水平方向の傾斜は、ミラーアーム１８の運動範囲の
全体を通じて、リンク３４、３６がが平行にならないこ
と（すなわち、リンク３４、３６が同一の運動平面内で
揺動しないこと）により生じる。調節ねじ７６の回転に
より、ブロンク６８がｘ−ｙ平面内で時計回り方向又は
反時計回り方向に回転され、これにより、リンク３４、
３６が同一の運動平面内で揺動することを妨げるあらゆ
る角度差が補償され、従って、２軸線回りでの傾斜が最
小限になる。

揺動ピボット４２、４４がミラーアーム１８と一致して
移動する間、ハウジング１２の固定ピボット４６、４８
は、ミラーアーム１８が移動しているときでも静止して
いる。静止ピボット（固定ピボット）４６の調節を可能
にするブロック６８を設けることにより、可動ξラー１
４及びミラーアーム１８が運動中でも調節が行えるよう
になる．従って、あらゆる調節の効果を直接見ることが
できる。

本発明は、水平方向の傾斜のみ又は垂直方向の傾斜のみ
の制御を行う必要がある場合にも適用できるものである
。そのような場合には、傾斜調節機構を、水平傾斜調節
のみ又は垂直傾斜調節のみが行えるように設計すること
ができる。

本発明は、以上に図示しかつ説明した特定の構造及び部
品の配置に限定されるものではなく、特許請求の範囲内
に含まれる変更をも含むものである。

【図面の簡単な説明】

第１図は、本発明による可動ミラーの傾斜調節機構を使
用した干渉計の変調器を示す斜視図である。 第２図は、本発明による可動ミラーの傾斜調節機構を使
用した干渉計の変調器正面図である。 第３図は、第２図の３−３線に沿う断面図である。 第４図は、第２図の４−４線に沿う断面図である。 第５図は、第４図の５−５線に沿う断面図である。 第６図は、本発明に使用するのに適したＨ形リンクの斜
視図である。 第７図は、本発明に使用するのに適したミラーアームの
斜視図である。 第８図は、本発明に使用するのに適したピボットの詳細
図である。 ０・・・変調器（モジュレータ）、 ２・・・ハウジング、 ４・・・可動ミラー ８・・・ごラーアーム、 Ｏ・・・ホルダ、 ６・・・変調器のモータ、 ４、３６・・・リンク、 ２、４４・・・揺動ピボット、 ６、４８・・・固定ビボフト（静止ビボッ０・・・第１
りξフト組立体、 ８、６０・・・バンパ、 ８・・・ブロック、 ９・・・フラッグ、 ２、７４・・・ばねプランジャ、 ６・・・調節ねし、 Ｏ・・・カム、 ２・・・調節ねし、 ４・・・ばねプランジャ。 ＦＩＧ． １”ｌＧ． ３ 図面の浄書（内容に変更なし） ＦＩＧ，　８ ＦＩＧ． ７ 手 続 補 正 書 （方式）

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 （１）分光計の可動ミラーの運動ラインに対する可動ミ
   ラーの直交性を維持するための可動ミラーの傾斜調節機
   構において、 （ａ）ミラーに取り付けられておりかつ運動ラインに沿
   って運動できる剛性のあるミラーアームと、 （ｂ）ハウジングとを有しており、該ハウジング内には
   前記ミラーアームが移動できるように配置されており、 （ｃ）２つのリンクを有しており、これらの各リンクが
   第１端部及び第２端部を備えており、前記両リンクの各
   第１端部が、前記ミラーアームの長さ方向に沿う位置に
   おいて互いに一定距離を隔てて配置された２つの揺動ピ
   ボットを介して前記ミラーアームに取り付けられており
   、前記両リンクの各第２端部が、２つの独立した固定ピ
   ボットを介して前記ハウジングに取り付けられており、 （ｄ）前記ハウジングの一部を形成しているブロックで
   あって前記両リンクのうちの一方のリンクの前記第２端
   部が取り付けられているブロックと、前記ミラーアーム
   の長さ方向に沿う前記揺動ピボットと前記ハウジングの
   固定ピボットとの間の距離を調節すべく前記ブロックの
   位置を調節する手段とを更に有していることを特徴とす
   る分光計の可動ミラーの傾斜調節機構。 （２）前記ブロックの位置を調節する手段がカムを備え
   ていて、該カムが前記ブロックに対して移動して該ブロ
   ックの位置を調節するように構成したことを特徴とする
   請求項１に記載の機構。 （３）前記ブロックの位置を調節すべく、前記カムの一
   方の側に向かう方向又は離れる方向に前記ハウジング内
   で回転される調節ねじを更に有していることを特徴とす
   る請求項２に記載の機構。 （４）前記調節ねじに対向して前記カムを押圧するよう
   に配置されたプランジャを更に有していることを特徴と
   する請求項３に記載の機構。 （５）前記カムに対向して前記ブロックを押圧するよう
   に配置されたプランジャを更に有していることを特徴と
   する請求項２に記載の機構。 （６）前記ブロックが、前記カムの移動方向に対して傾
   斜した面を備えており、前記カムが前記傾斜面に対して
   移動して前記ブロックの位置を調節するように構成した
   ことを特徴とする請求項２に記載の機構。 （７）前記ブロックの位置を調節して前記両リンクを該
   リンクの運動平面内において平行に配置する手段を更に
   有していることを特徴とする請求項１に記載の機構。 （８）前記ブロックの位置を回転させるべく、前記ブロ
   ックの一方の側に向かう方向又は離れる方向に回転され
   る第２調節ねじを更に有していることを特徴とする請求
   項７に記載の機構。 （９）前記リンクがＨ形をなしていることを特徴とする
   請求項１に記載の機構。 （１０）前記ピボットが撓むことができることを特徴と
   する請求項１に記載の機構。 （１１）分光計の可動ミラーの運動ラインに対する可動
   ミラーの直交性を維持するための可動ミラーの傾斜調節
   機構において、 （ａ）ミラーに取り付けられておりかつ運動ラインに沿
   って運動できる剛性のあるミラーアームと、 （ｂ）ハウジングとを有しており、該ハウジング内には
   前記ミラーアームが移動できるように配置されており、 （ｃ）２つのリンクを有しており、これらの各リンクが
   第１端部及び第２端部を備えており、前記両リンクの各
   第１端部が、前記ミラーアームの長さ方向に沿う位置に
   おいて互いに一定距離を隔てて配置された２つの揺動ピ
   ボットを介して前記ミラーアームに取り付けられており
   、前記両リンクの各第２端部が、２つの独立した固定ピ
   ボットを介して前記ハウジングに取り付けられており、 （ｄ）前記ハウジングの一部を形成しているブロックで
   あって前記両リンクのうちの一方のリンクの前記第２端
   部が取り付けられているブロックと、前記両リンクを該
   リンクの運動平面内で平行に配置すべく前記ブロックの
   位置を調節する手段とを更に有していることを特徴とす
   る分光計の可動ミラーの傾斜調節機構。 （１２）前記ブロックの位置を調節する手段が、前記ハ
   ウジングを貫通している調節ねじと、前記調節ねじに対
   向して前記ブロックを押圧するように前記ハウジング内
   に配置されたプランジャとを備えていることを特徴とす
   る請求項１１に記載の機構。 （１３）前記ミラーアームの長さ方向に沿う前記揺動ピ
   ボットと前記ハウジングの固定ピボットとの間の距離を
   調節すべく前記ブロックの位置を調節する手段とを更に
   有していることを特徴とする請求項１１に記載の機構。 （１４）前記ブロックに対して移動して該ブロックの位
   置を調節するカムを備えていることを特徴とする請求項
   １３に記載の機構。 （１５）前記ブロックの位置を調節すべく、前記カムの
   一方の側に向かう方向又は離れる方向に回転される第２
   調節ねじを更に有していることを特徴とする請求項１４
   に記載の機構。 （１６）前記第２調節ねじに対向して前記カムを押圧す
   るように配置されたプランジャを更に有していることを
   特徴とする請求項１５に記載の機構。 （１７）前記カムに対向して前記ブロックを押圧するよ
   うに配置されたプランジャを更に有していることを特徴
   とする請求項１４に記載の機構。 （１８）前記ブロックが、前記ミラーの運動ラインに対
   して傾斜した面を備えており、前記カムが前記傾斜面に
   対して移動して前記ブロックの位置を調節するように構
   成したことを特徴とする請求項１４に記載の機構。 （１９）前記リンクがＨ形をなしていることを特徴とす
   る請求項１１に記載の機構。 （２０）前記ピボットが撓むことができることを特徴と
   する請求項１１に記載の機構。 （２１）分光計の可動ミラーの運動ラインに対する可動
   ミラーの直交性を維持するための可動ミラーの傾斜調節
   機構において、 （ａ）ミラーに取り付けられておりかつ運動ラインに沿
   って運動できる剛性のあるミラーアームと、 （ｂ）ハウジングとを有しており、該ハウジング内には
   前記ミラーアームが移動できるように配置されており、 （ｃ）２つのリンクを有しており、これらの各リンクが
   第１端部及び第２端部を備えており、前記両リンクの各
   第１端部が、前記ミラーアームの長さ方向に沿う位置に
   おいて互いに一定距離を隔てて配置された２つの揺動ピ
   ボットを介して前記ミラーアームに取り付けられており
   、前記両リンクの各第２端部が、２つの独立した固定ピ
   ボットを介して前記ハウジングに取り付けられており、 （ｄ）前記ハウジングの一部を形成しているブロックで
   あって前記両リンクのうちの一方のリンクの前記第２端
   部が取り付けられているブロックと、前記ミラーアーム
   の長さ方向に沿う前記揺動ピボットと前記ハウジングの
   固定ピボットとの間の距離を調節すべく前記ブロックの
   位置を調節しかつ前記両リンクを該リンクの運動平面内
   で平行に配置すべく前記ブロックの位置を調節する手段
   とを更に有していることを特徴とする分光計の可動ミラ
   ーの傾斜調節機構。 （２２）前記ブロックの位置を調節する手段がカムを備
   えていて、該カムが前記ブロックに対して移動して該ブ
   ロックの位置を調節するように構成したことを特徴とす
   る請求項２１に記載の機構。 （２３）前記ブロックの位置を調節すべく、前記カムの
   一方の側に向かう方向又は離れる方向に回転される調節
   ねじを更に有していることを特徴とする請求項２２に記
   載の機構。（２４）前記調節ねじに対向して前記カムを
   押圧するように配置されたプランジャを更に有している
   ことを特徴とする請求項２３に記載の機構。 （２５）前記カムに対向して前記ブロックを押圧するよ
   うに配置されたプランジャを更に有していることを特徴
   とする請求項２２に記載の機構。 （２６）前記ブロックが、前記ミラーの運動ラインに対
   して傾斜した表面を備えており、前記カムが前記傾斜表
   面に対して移動して前記ブロックの位置を調節するよう
   に構成したことを特徴とする請求項２２に記載の機構。 （２７）前記ブロックを回転させるべく、前記ブロック
   の一方の側に向かう方向又は離れる方向に回転される第
   ２調節ねじを更に有していることを特徴とする請求項２
   ３に記載の機構。 （２８）前記第２調節ねじに対向して前記ブロックを押
   圧するように配置されたプランジャを更に有しているこ
   とを特徴とする請求項２７に記載の機構。 （２９）前記リンクがＨ形をなしていることを特徴とす
   る請求項２１に記載の機構。 （３０）前記ピボットが撓むことができることを特徴と
   する請求項２１に記載の機構。