JPH11300581A - スライダ装置およびスライダ装置を用いた工作機械ならびにこの工作機械を用いた回折格子の加工方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 スライダに搭載された主軸の回転に起因する
スライダの熱変形によるレーザ反射ミラー位置の変位を
抑制してワークの位置決め精度を向上させ、ワークの形
状精度劣化を抑えることができるスライダ装置と工作機
械を提供する。 【解決手段】 ワーク１４を取り付け回転駆動される主
軸１１と、主軸１１をＸおよびＹ方向に移動させるＹス
ライダ３と、低熱膨張材製のミラー固定部材２０、２１
を介してＹスライダ３に取り付けられたバーミラー１
ａ、１ｂとレーザ干渉計２ａ、２ｂを備え、ミラー固定
部材２０、２１を測定方向の主軸軸芯位置でボルト２２
等によりそれぞれ１点のみでＹスライダ３に固定し、他
の支持点で移動可能に押しつけ支持することにより、主
軸１１の回転に起因するＹスライダ３の熱変形によるバ
ーミラー１ａ、１ｂの反射面と主軸１１の軸芯との距離
の変動を抑制する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、ワークが搭載され
たスライダの高精度な位置計測および位置決めを行なう
ことができるスライダ装置および該スライダ装置を用い
た工作機械、ならびに該工作機械を用いて回折格子を加
工する加工方法に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】従来、精密工作機械におけるワークが搭
載されるスライダの送り方向の位置計測は、レーザ測長
機を用いて行なわれており、スライダ上にレーザ反射ミ
ラーを固定し、スライダの外部にレーザ干渉計を固定す
ることにより、両者の相対的な距離の変動を測定してい
る。この場合、スライダに搭載された主軸はその回転に
より発熱し、この熱がスライダに伝導してスライダが熱
膨張あるいは熱収縮し、その結果、スライダに固定した
レーザ反射ミラーの位置が変動する。したがって、本来
位置決めしたい主軸に取り付けられているワークとレー
ザ反射ミラーの距離が変動し、高精度なワークの位置計
測および位置決めは困難である。しかし、通常の一般的
な工作機械においては、主軸は１軸方向にのみ移動する
スライダに搭載されているため、測定方向の主軸軸芯位
置にレーザ反射ミラーを設置することにより、主軸の発
熱によるレーザ干渉計とレーザ反射ミラーとの距離変動
を緩和することができていた。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】ところで、自由曲面形
状を加工する場合、少なくとも直交する３軸と主軸が必
要であり、主軸が直交する２軸方向に移動する構成をと
る場合がある。このような構成でワークスライダの位置
をレーザ干渉計により精度良く計測するには、図６に図
示するように、主軸１０４を搭載して２軸移動可能のス
ライダ１０３上に２本のレーザ反射用のバーミラー１０
１ａおよび１０１ｂを直角に配置し、これらのバーミラ
ー１０１ａおよび１０１ｂにそれぞれレーザビームを照
射するＸ方向およびＹ方向の測長用レーザ干渉計１０２
ａおよび１０２ｂが用いられる。このような構成は、半
導体露光装置等のウエハ位置決めスライダに利用される
ことが多いけれども、半導体露光装置等においては、ス
ライダ１０３に主軸１０４のような発熱体がないため
に、レーザ反射用のバーミラーは２軸移動可能なスライ
ダ本体に直接固定されている。しかし、回転駆動される
主軸が搭載されて数℃レベルで温度上昇するワークスラ
イダを有する工作機械において、測長用のバーミラー１
０１ａ、１０１ｂをワークスライダ１０３に直接取り付
けると、ワークスライダ１０３の熱変形によって、本来
計測したい主軸１０４に取り付けられたワークの位置と
バーミラーの距離ｌ_x 、ｌ_y が数μｍ程度変化してしま
い、ワークの位置を精度良く計測することができない。
そのため、主軸ロータにワークを取り付けて回転させ切
削バイトによる旋削加工で回折格子等を加工するとき、
回折格子等の格子ピッチが目標値から数μｍレベルで変
動し、良好な光学性能を得ることができなかった。

【０００４】ところで、半導体露光装置のウエハ位置決
めスライダにおいては、±０．１℃程度の環境温度変化
によってスライダが熱膨張あるいは熱収縮した量を、ス
ライダのある１点での温度測定とスライダ材料の熱膨張
係数、およびバーミラーとウエハの距離から算出し、こ
の変位分だけスライダを移動させ、ウエハの目標位置か
らの変動を抑制しようとする試みが提案されているけれ
ども、前述したような工作機械においては、スライダの
温度変化が環境温度変化に比べ非常に大きいとともに温
度分布が存在するため、上述したような方法では高精度
なワークの位置計測および位置補正を行なうことができ
ない。

【０００５】そこで、本発明は、上記のような従来技術
の有する未解決の課題に鑑みてなされたものであって、
２軸方向に移動可能なスライダに搭載された主軸の回転
に起因するスライダの熱変形によるレーザ反射ミラー位
置の熱変位を抑制して、ワークの位置計測および位置決
め精度を向上させてワークの形状精度劣化を抑えること
ができるスライダ装置および該スライダ装置を用いた工
作機械、ならびに該工作機械を用いて回折格子の加工精
度を向上させることができる回折格子の加工方法を提供
することを目的とするものである。

【０００６】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本発明のスライダ装置は、主軸と、該主軸を主軸軸
芯に直角な第１の方向に移動させる第１の移動スライダ
と、該主軸を主軸軸芯に直角な第２の方向に移動させる
第２の移動スライダと、第１の移動方向および第２の移
動方向の位置を計測するためのレーザ測長機および主軸
近傍に配置されたレーザ反射ミラーと、該レーザ反射ミ
ラーの反射面と主軸の軸芯との距離の変動を抑制する手
段を有することを特徴とする。

【０００７】そして、本発明のスライダ装置において
は、レーザ反射ミラーをミラー固定部材により支持し、
該ミラー固定部材を主軸を搭載する第１の移動スライダ
に測定方向の主軸軸芯位置で１点のみ固定し、他の支持
点は押しつけ支持することにより、レーザ反射ミラーの
反射面と主軸の軸芯との距離の変動を抑制することが好
ましく、さらに、レーザ反射ミラーを低熱膨張材で作製
するとともにミラー固定部材を低熱膨張材で作製するこ
とが好ましい。

【０００８】また、本発明の工作機械は、請求項１ない
し３のいずれか１項記載のスライダ装置を用い、主軸上
にワークを取り付けるようにしたことを特徴とする。

【０００９】そして、本発明の回折格子の加工方法は、
請求項４項記載の工作機械を用い、移動スライダに搭載
された主軸上にワークを取り付け、該ワークを回転さ
せ、移動スライダを水平方向にそして切削バイトを垂直
方向に移動させて、該ワーク面上に回折格子を切削加工
により形成することを特徴とする。

【００１０】

【作用】本発明のスライダ装置および工作機械によれ
ば、主軸を主軸軸芯に直角な２方向に移動させる移動ス
ライダの位置をレーザ測長機により計測する際に、レー
ザ反射ミラーの反射面と主軸の軸芯との距離の変動を抑
制することにより、例えば、レーザ反射ミラーを低熱膨
張材で作製したミラー固定部材により支持し、ミラー固
定部材を２方向に移動可能なスライダに測定方向の主軸
軸芯位置で１点のみ固定し、他の支持点を押しつけ支持
する構成とすることにより、主軸が回転により発熱し移
動スライダに熱変形が生じた場合でも、ミラーの反射面
と主軸の軸芯との距離の変動を数十ｎｍ以下に抑制する
ことができ、これにより、ワークの高精度の位置計測お
よび位置決めが可能となり、さらに、ワークの加工精度
を向上させることができる。

【００１１】さらに、本発明の工作機械を用いて回折格
子の切削加工を行なうことにより、非常に正確な格子ピ
ッチを有する回折格子が得られ、回折格子の光学性能を
劣化させることがない。

【００１２】

【発明の実施の形態】本発明の実施の形態を図面に基づ
いて説明する。

【００１３】図１は、本発明の工作機械において、レー
ザ干渉計によりスライダの位置を計測するようにしたス
ライダ装置の模式的な平面図であり、図２は、図１にお
けるＡ−Ａ線に沿ったスライダ装置の模式的な断面図で
ある。

【００１４】１ａおよび１ｂは、Ｙスライダ３に取り付
けられたレーザ反射用のＸバーミラーおよびＹバーミラ
ーであり、２ａおよび２ｂは、Ｘバーミラー１ａおよび
Ｙバーミラー１ｂにそれぞれレーザビームを照射するよ
うにそれぞれに対向して配置されたＸ方向およびＹ方向
の位置計測用のレーザ干渉計であり、各レーザ干渉計２
ａ、２ｂは干渉計内部のリファレンス光と各バーミラー
１ａ、１ｂで反射して戻ったメジャメント光を干渉さ
せ、Ｙスライダ３のＸおよびＹ方向の移動距離を位相変
化量として計測する。

【００１５】Ｙスライド３は、平面ベース５上でＸスラ
イダ７のＹガイド６に沿ってＹ方向に移動可能に設けら
れ、Ｙスライド３の下面に配設された静圧空気パッド４
により平面ベース５から浮上して非接触で高精度な運動
が可能となるように構成されており、Ｘスライダ７は、
Ｘ横スライダ７ａとＹガイド６によりＨ字形状に構成さ
れ、平面ベース５のＹ方向両端部にＸ方向に固定された
Ｘガイド８、８に沿って移動可能に設けられている。し
たがって、Ｙスライダ３は、平面ベース５上をＸ方向お
よびＹ方向の２方向に移動可能であり、一般的なＸスラ
イダ上にＹスライダを重ねる方式に比べ上下剛性が高
い。そして、Ｘスライダ７は、Ｘガイド８、８の外側に
それぞれ配設されたＸスライダ用リニアモータコイル９
ａとＸスライダ７に取り付けられたリニアモータマグネ
ット９ｂにより駆動され、Ｙスライダ３は、Ｙガイド６
に沿って設けられたＹスライダ用リニアモータコイル１
０ａとＹスライダ３に取り付けられたリニアモータマグ
ネット１０ｂにより駆動される。

【００１６】Ｙスライダ３には回転駆動される主軸１１
が搭載され、主軸１１に固定された主軸ロータ１２の端
面にはワーク雇い１３を介してワーク１４が取り付けら
れる。そして、Ｙスライダ３のＸ方向位置（すなわち、
ワーク１４のＸ方向位置）を測定するためのＸバーミラ
ー１ａおよびＹスライダ３のＹ方向位置（すなわち、ワ
ーク１４のＹ方向位置）を計測するためのＹバーミラー
１ｂは、Ｙスライダ３に後述する平面視コの字形状のミ
ラー固定部材２０、２１を介してそれぞれ取り付けら
れ、そして、これらのＸバーミラー１ａおよびＹバーミ
ラー１ｂにそれぞれ対向するようにＸ方向およびＹ方向
の位置計測用のレーザ干渉計２ａおよび２ｂがＹスライ
ダ３の外部に配設されている。

【００１７】Ｘバーミラー１ａをＹスライダ３に取り付
けるための平面視コの字形状のＸミラー固定部材２０
は、図３の（ａ）および（ｂ）に詳細に示すように、コ
の字形状に開いた一方の端部２０ａのみをＹスライダ３
のＸ方向中心線（すなわち、主軸ロータ１２およびワー
ク１４のＸ方向中心線であり、Ｘ方向の主軸軸芯位置）
上に強固に締結され、他方のコの字形状の開放端部２０
ｂおよび中央部分２０ｃはＹスライダ３に対して移動し
うるように取り付けられる。すなわち、Ｘミラー固定部
材２０のコの字形状に開いた一方の端部２０ａにはボル
ト２２を螺入するためのねじ穴２０ｄを設け、他方の開
放端部２０ｂには押さえピン２３ａを挿通させるための
貫通穴２０ｅを設け、さらに、中央部分２０ｃには押さ
えピン２３ｂ、２３ｂをそれぞれ挿通させる長穴２０
ｆ、２０ｆが設けられている。また、Ｘミラー固定部材
２０の上面には、Ｘバーミラー１ａを支持するための少
なくとも３個の突起２０ｇ、２０ｇ、２０ｇが設けら
れ、さらに、Ｘミラー固定部材２０の下方に配置される
Ｙミラー固定部材２１（図１および図２）のミラー支持
用の突起（図示しない）がＸミラー固定部材２０の下方
から上方へ突出できるようにミラー支持用の突起の大き
さよりも大きく形成された貫通穴２０ｈが設けられてい
る。

【００１８】そして、Ｘミラー固定部材２０をＹスライ
ダ３に取り付けるに際して、Ｘミラー固定部材２０の一
方の端部２０ａに設けたねじ穴２０ｄをＹスライダ３の
Ｘ方向中心線上に位置合わせして、ボルト２２を螺入す
ることにより、Ｘミラー固定部材２０の一端部２０ａを
スペーサ２２ａを介してＹスライダ３のＸ方向中心線上
に強固に締結する。また、Ｙスライダ３の反対側のＸ方
向中心線上に先端部分にタップが切られている押さえピ
ン２３ａを固定し、この押さえピン２３ａにＸミラー固
定部材２０の他方の端部２０ｂの貫通穴２０ｅを通し、
内部に与圧ばねが内蔵されたセットビス２４ａを開放端
部２０ｂの先端部に螺入して、セットビス２４ａの先端
部を押さえピン２３ａに当接させる。これにより、貫通
穴２０ｅは押さえピン２３ａに対して一方に片寄せされ
た状態に維持され、貫通穴２０ｅと押さえピン２３ａの
間のガタツキをなくする。また、Ｘミラー固定部材２０
の中央部分２０ｃの２か所に設けられた長穴２０ｆ、２
０ｆに、押さえピン２３ａと同様にＹスライダ３に固定
された押さえピン２３ｂ、２３ｂが挿入され、押さえピ
ン２３ｂと長穴２０ｆは、Ｘミラー固定部材２０の下面
から取り付けられる与圧ばね内蔵のセットビス２４ｂ、
２４ｂにより上下方向に片寄せされ、長穴２０ｆと押さ
えピン２３ｂとの間のガタツキをなくしている。

【００１９】以上のように平面視コの字形状のＸミラー
固定部材２０をＹスライダ３に取り付け、Ｘミラー固定
部材２０の中央部分２０ｃに設けられた少なくとも３個
の突起２０ｇ、２０ｇ、２０ｇ上にＸバーミラー１ａを
載置する。突起２０ｇ……に対応する部位の上方にはＸ
バーミラー１ａを上から押圧する板ばね２６が配置さ
れ、この板ばね２６は、図４にも図示するように、Ｙス
ライダ３に設けられたばね受け台３ａにねじ２６ａ等に
より固定されている。したがって、板ばね２６、２６は
Ｘミラー固定部材２０の突起２０ｇ……上に載置された
Ｘバーミラー１ａを突起２０ｇ…に対応する部位の２個
所で上方から押圧することにより、Ｘバーミラー１ａの
自重や固定による変形を防止する。また、２７はＸミラ
ー固定部材２０に固定されたＸ方向の突き当て部材であ
り、Ｙスライダ３に取り付けられた与圧ばね内蔵のセッ
トビス２８、２８でＸバーミラー１ａを突き当て部材２
７、２７に突き当るように押圧することにより、Ｘバー
ミラー１ａとＸミラー固定部材２０は一体化されてＸ方
向に一体的に変位する構成とすることができる。

【００２０】このように、Ｘバーミラー１ａをＸミラー
固定部材２０を介してＹスライダ３に取り付けることに
より、Ｙスライダ３に搭載された主軸１１の回転による
発熱によりＹスライダ３が温度上昇した場合、Ｙスライ
ダ３は熱変形しその寸法が変化するけれども、Ｙスライ
ダ３のＸ方向の寸法変化は、Ｙスライダ３に固定された
押さえピン２３ｂがＸミラー固定部材２０の長穴２０
ｆ、２０ｆ内をＸ方向に滑って移動し、Ｘミラー固定部
材２０の変形は抑制され、また、Ｙスライダ３のＹ方向
の寸法変化は、Ｘミラー固定部材２０の開放端部２０ｂ
の貫通穴２０ｅと押さえピン２３ａの滑りで吸収され、
同様にＸミラー固定部材２０の変形を防止する。さら
に、Ｙスライダ３が温度上昇するとしても、Ｙスライダ
３とＸミラー固定部材２０の接触部面積が非常に小さい
ため、Ｙスライダ３からＸミラー固定部材２０への熱伝
導も少なく、Ｘミラー固定部材２０の熱変形や熱膨張は
少ない。

【００２１】また、Ｘミラー固定部材２０を熱膨張係数
が５×１０^-7である低熱膨張鋳鉄等の低熱膨張材で作製
することにより、熱変形量をさらに低減させることが可
能であり、さらに、Ｘバーミラー１ａを低熱膨張ガラス
ゼロデュア（熱膨張係数１×１０^-7）で作製することに
より、熱がバーミラーに伝導してもバーミラー自身の熱
変形はほとんどなくすることができる。

【００２２】Ｙバーミラー１ｂをＹスライダ３に取り付
けるためのＹミラー固定部材２１もＸミラー固定部材２
０と同様の構成としてＹスライダ３に同様に取り付け
る。なお、Ｙミラー固定部材２１は、図１に図示するよ
うに、Ｙスライダ３の対角線に対してＸミラー固定部材
２０と対称的な態様で位置付けられ、そして、図２およ
び図４に図示するように、Ｘミラー固定部材２０の下方
に配置される。このため、Ｙバーミラー１ｂを支持する
ための少なくとも３個の突起（図示しない）はＸミラー
固定部材２０の突起２０ｇよりも長く形成され、それら
の突起の一つはＸミラー固定部材２０の貫通穴２０ｈを
下方から上方へ突き抜けるように位置付けられている。
このように構成することにより、Ｙミラー固定部材２１
においても、Ｘミラー固定部材２０と同様に、主軸１１
の回転に起因する発熱によるワーク１４の中心とＹバー
ミラー１ｂの反射面との距離変化を抑制することができ
る。そして、Ｙミラー固定部材２１においても、Ｘミラ
ー固定部材２０と同様に、熱膨張係数が５×１０^-7であ
る低熱膨張鋳鉄等の低熱膨張材で作製し、さらに、Ｙバ
ーミラー１ｂを低熱膨張ガラスゼロデュア（熱膨張係数
１×１０^-7）で作製することができる。

【００２３】以上のように構成された本発明におけるレ
ーザ反射用のバーミラー１（１ａ、１ｂ）の位置変化に
ついてさらに説明すると、主軸１１の回転による主軸の
発熱がモータの発熱込みで３００Ｗ程度の場合、主軸ハ
ウジングの冷却条件にもよるが、Ｙスライダ３の主軸１
１との接触部で２℃程度の温度変化が発生する。このと
き、Ｙスライダ３がＳ４０Ｃ等の鉄鋼材料で作製され、
バーミラー１がスライダ３の中心から１５０ｍｍの位置
に直接固定されていると、バーミラー１は約３μｍ程度
位置変化する。しかしながら、本発明の構成によれば、
バーミラー固定部材２０、２１は移動可能な押しつけ支
持部の構成によりＹスライダ３の熱変形を吸収し、さら
に、バーミラー固定部材２０、２１に伝導する熱量はわ
ずかなため、温度変化は０．５℃程度で、さらに、バー
ミラー固定部材２０、２１を低熱膨張材で作製すること
により、バーミラー１の位置変化は０．０４μｍ程度に
抑制することができる。また、バーミラー１に伝導する
熱はさらに少なく、そして低熱膨張ガラスで作製するこ
とにより、バーミラー１自身の熱変形量は０．０４μｍ
に比べても無視できるオーダーとなる。

【００２４】次に、前述のように構成された本発明の工
作機械を用いて、撮像系に使用する回折格子を旋削加工
する加工方法を図５を参照して説明する。なお、前述し
た実施例の部材と同様に部材には同一符号を付して説明
する。

【００２５】Ｙスライダ３上に主軸１１を搭載し、主軸
ロータ１２にワーク雇い１３を介してワーク１４を固定
し、ワーク１４を数千ｒｐｍで回転させるとともに、鋸
歯状の回折格子の最小角度θより小さい先端角度をもつ
ダイヤモンドバイト３１を図示しないＺスライダで上下
に運動させ、ワーク１４をＸスライダ（７）により図中
左右に運動させて、両者の運動を同期的に制御すること
により、格子形状を切削により形成する。

【００２６】このとき、主軸１１の回転に起因する発熱
によりスライダ３が熱膨張する際に、スライダ３にバー
ミラー１が直接固定してあると、ワーク１４の中心とバ
ーミラー１のレーザ反射面までの距離ｌが前述したよう
に最大３μｍ程度変化し、ワーク１の中央の位置は変化
していないにも拘らず、位置計測系はスライダ位置がΔ
ｌ変化したものとしてスライダを移動させてしまう。こ
の結果、回折格子の位置あるいはピッチＰが破線のよう
にずれてしまう。ところで、回折格子の光学的な性能を
満足させるには、ピッチ誤差は±１μｍ程度が最低必要
であるが、本発明によれば、回折格子のピッチ誤差を数
十ｎｍに抑えることができる。

【００２７】また、以上の説明においては、主軸の軸芯
とバーミラーのレーザ反射面までの距離変化をバーミラ
ーの取り付け方およびバーミラーとバーミラー固定部材
の材料を選択することにより抑制しているが、バーミラ
ーをスライダに直接固定した場合でも、主軸冷却手段以
外に、スライダの熱膨張を抑制するように、複数の温度
センサーと複数の冷却経路からなるスライダ冷却手段を
別系統で配設して、スライダ温度を初期値から変動しな
いように制御することによっても、主軸の軸芯とバーミ
ラーのレーザ反射面までの距離変化は抑えることができ
る。

【００２８】

【発明の効果】以上説明したように、本発明のスライダ
装置および工作機械によれば、主軸を主軸軸芯に直角な
２方向に移動させる移動スライダの位置をレーザ測長機
により計測する際に、主軸が回転し発熱した場合でも、
主軸近傍に配置されたミラーの反射面と主軸の軸芯との
距離の変動を数十ｎｍ以下に抑制することができ、これ
によりスライドやワークの高精度の位置計測および位置
決めが可能となり、さらに、ワークの加工精度を向上さ
せることができる。

【００２９】また、本発明の工作機械を回折格子の切削
加工に用いることにより、非常に正確な格子ピッチが得
られ、回折格子の光学性能を劣化させることがない。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明による工作機械において、レーザ干渉計
によりスライダの位置を計測するようにしたスライダ装
置の模式的な平面図である。

【図２】図１におけるＡ−Ａ線に沿ったスライダ装置の
模式的な断面図である。

【図３】本発明による工作機械におけるバーミラーをス
ライダへ取り付けるためのミラー固定部材を図示し、
（ａ）は一部を破断して示すミラー固定部材の側面図で
あり、（ｂ）は一部を破断して示すミラー固定部材の平
面図である。

【図４】図１におけるＢ−Ｂ線の沿った拡大断面図であ
る。

【図５】本発明による回折格子の加工方法を説明するた
めに図面である。

【図６】レーザ干渉計によるスライダの位置計測手段を
備えた従来のスライダ位置決め装置の模式的な斜視図で
ある。

【符号の説明】

１ａ Ｘバーミラー １ｂ Ｙバーミラー ２ａ、２ｂ レーザ干渉計 ３ （２方向移動）Ｙスライダ ５ 平面ベース ６ Ｙガイド ７ Ｘスライダ ７ａ Ｘ横スライド ８ Ｘガイド １１ 主軸 １２ 主軸ロータ １４ ワーク ２０ Ｘミラー固定部材 ２０ａ 端部 ２０ｂ 端部 ２０ｃ 中央部分 ２０ｄ ねじ穴 ２０ｅ 貫通穴 ２０ｆ 長穴 ２０ｇ 突起 ２０ｈ 貫通穴 ２１ Ｙミラー固定部材 ２２ ボルト ２３ａ、２３ｂ 押さえピン ２４ａ、２４ｂ （与圧ばね内蔵）セットビス ２６ （ミラー押さえ）板ばね ２８ （与圧ばね内蔵）セットビス ３１ バイト

Claims (5)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 主軸と、該主軸を主軸軸芯に直角な第１
   の方向に移動させる第１の移動スライダと、該主軸を主
   軸軸芯に直角な第２の方向に移動させる第２の移動スラ
   イダと、第１の移動方向および第２の移動方向の位置を
   計測するためのレーザ測長機および主軸近傍に配置され
   たレーザ反射ミラーと、該レーザ反射ミラーの反射面と
   主軸の軸芯との距離の変動を抑制する手段を有すること
   を特徴とするスライダ装置。
2. 【請求項２】 レーザ反射ミラーをミラー固定部材によ
   り支持し、該ミラー固定部材を主軸を搭載する第１の移
   動スライダに測定方向の主軸軸芯位置で１点のみ固定
   し、他の支持点は押しつけ支持することにより、レーザ
   反射ミラーの反射面と主軸の軸芯との距離の変動を抑制
   することを特徴とする請求項１記載のスライダ装置。
3. 【請求項３】 レーザ反射ミラーを低熱膨張材で作製す
   るとともにミラー固定部材を低熱膨張材で作製すること
   を特徴とする請求項２記載のスライダ装置。
4. 【請求項４】 請求項１ないし３のいずれか１項記載の
   スライダ装置を用い、主軸上にワークを取り付けるよう
   にしたことを特徴とする工作機械。
5. 【請求項５】 請求項４記載の工作機械を用い、移動ス
   ライダに搭載された主軸上にワークを取り付け、該ワー
   クを回転させ、移動スライダを水平方向にそして切削バ
   イトを垂直方向に移動させて、該ワーク面上に回折格子
   を切削加工により形成することを特徴とする回折格子の
   加工方法。